JPS62138733A - 閉鎖空間の圧力測定方法とその装置 - Google Patents
閉鎖空間の圧力測定方法とその装置Info
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- JPS62138733A JPS62138733A JP27921285A JP27921285A JPS62138733A JP S62138733 A JPS62138733 A JP S62138733A JP 27921285 A JP27921285 A JP 27921285A JP 27921285 A JP27921285 A JP 27921285A JP S62138733 A JPS62138733 A JP S62138733A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は閉鎖された空間の圧力をａｌｌｌ定する装置に
関する。より具体的にいえば、本発明は例えばハロゲン
化金属のガスのような腐食性およびまたは固化性の気体
を含む反応容器のような閉鎖された特に高温の空間内の
圧力を測定する装置に関する。
関する。より具体的にいえば、本発明は例えばハロゲン
化金属のガスのような腐食性およびまたは固化性の気体
を含む反応容器のような閉鎖された特に高温の空間内の
圧力を測定する装置に関する。
〈従来技術とその問題点〉
閉鎖空間の圧力の測定は１例えば、そのなかで行われる
化学反応の制御のためにしばしば非常に重要である。閉
鎖空間内の圧力を測定する典型的な装置はよく知られた
ブルドン管である。しかし、この装置を高温気体、腐食
性もしくは固化性の気体の圧力測定に使用する場合は非
常な困難がある。
化学反応の制御のためにしばしば非常に重要である。閉
鎖空間内の圧力を測定する典型的な装置はよく知られた
ブルドン管である。しかし、この装置を高温気体、腐食
性もしくは固化性の気体の圧力測定に使用する場合は非
常な困難がある。
装置が腐食し、装置の指示部分が高温のガスによって作
動不能となり、圧力伝達部が同化性ガスの析出によって
閉さがれるからである。（従って頻繁に圧力計を取り替
えなけれずならぬ。）装置自身を保護するために改良さ
れ、あるいはその重要な部分が気体の高温、腐食、析出
の有害作用から保護されるように改良されなければなら
ない。例えば、測定部と指示部と受圧部が隔１摸によっ
て分離され、圧力伝達管がシリコーン油や水銀のような
液体で満たされる。このタイプの装置が使用される最高
温度はその使用される液体の性質によって限定される。
動不能となり、圧力伝達部が同化性ガスの析出によって
閉さがれるからである。（従って頻繁に圧力計を取り替
えなけれずならぬ。）装置自身を保護するために改良さ
れ、あるいはその重要な部分が気体の高温、腐食、析出
の有害作用から保護されるように改良されなければなら
ない。例えば、測定部と指示部と受圧部が隔１摸によっ
て分離され、圧力伝達管がシリコーン油や水銀のような
液体で満たされる。このタイプの装置が使用される最高
温度はその使用される液体の性質によって限定される。
シリコーン油と水銀の場合、これらの液体の熱的安定性
と沸点の故に３５０℃以下゛に限定される。ある場合に
、このタイプの装置の測定部と指示部は高温の影響を避
けるために冷却してもよい。しかしながら、冷却は固化
性ガスの好ましからざる析出を招く。
と沸点の故に３５０℃以下゛に限定される。ある場合に
、このタイプの装置の測定部と指示部は高温の影響を避
けるために冷却してもよい。しかしながら、冷却は固化
性ガスの好ましからざる析出を招く。
上記の装置の欠点をなくすために、高温で使用するダイ
アフラムタイプの圧力計であって、充填液としてガリウ
ムやガリウム合金を使用するものが開発された。しかし
ながらこのタイプの圧力計では、低圧を測定するには大
面積のダイアフラムが必要である。このことは装置が不
可避的に大型になり、それ故に、その圧力を測定すべき
容器に装架することが容易でなくなる。
アフラムタイプの圧力計であって、充填液としてガリウ
ムやガリウム合金を使用するものが開発された。しかし
ながらこのタイプの圧力計では、低圧を測定するには大
面積のダイアフラムが必要である。このことは装置が不
可避的に大型になり、それ故に、その圧力を測定すべき
容器に装架することが容易でなくなる。
〈問題解決の手段〉
固化性気体はその固化温度より冷却されると圧力伝達管
に析出してこれをふさぐ。この困難を避けるために１本
発明者らはこのタイプの圧力計の圧力伝達管に枝管を設
けて、これより不活性ガスを導入することによって高温
同化性ガスの圧力伝達管への侵入を防ぐことによって高
温の同化性ガスの圧力を測定することを試みた。
に析出してこれをふさぐ。この困難を避けるために１本
発明者らはこのタイプの圧力計の圧力伝達管に枝管を設
けて、これより不活性ガスを導入することによって高温
同化性ガスの圧力伝達管への侵入を防ぐことによって高
温の同化性ガスの圧力を測定することを試みた。
この方法により本発明者は、従来の圧力計で可能である
よりも長時間支障なく圧力を測定できることを見出した
。これは管端が導入された不活性ガスによって冷却され
るからである。
よりも長時間支障なく圧力を測定できることを見出した
。これは管端が導入された不活性ガスによって冷却され
るからである。
前述の方法と装置は圧力伝達管の開口端を液封すること
により更に改良され、これにより本発明が達成された。
により更に改良され、これにより本発明が達成された。
〈発明の構成〉
本発明は、閉鎖空間の圧力を測定する方法であって、該
空間に連通する圧力計の液封された圧力伝達管を通じて
不活性ガスをゆっくりとかつ連続的に導入し、該圧力計
の指示計を読むことからなる方法を提供する。
空間に連通する圧力計の液封された圧力伝達管を通じて
不活性ガスをゆっくりとかつ連続的に導入し、該圧力計
の指示計を読むことからなる方法を提供する。
本発明は、また、閉鎖空間内の圧力を測定する装置であ
って、圧力測定手段と、該圧力測定手段に接続する圧力
伝達管と、その内圧が測定される容器に挿入される圧力
伝達管の開口端と、制御弁を具え上記圧力伝達管に連通
ずる分岐管と、該圧力伝達管の開口端を液封するシール
ポットとを具えた装置を提供する。
って、圧力測定手段と、該圧力測定手段に接続する圧力
伝達管と、その内圧が測定される容器に挿入される圧力
伝達管の開口端と、制御弁を具え上記圧力伝達管に連通
ずる分岐管と、該圧力伝達管の開口端を液封するシール
ポットとを具えた装置を提供する。
本発明の方法と装置とは、本来、高温高圧のガス、特に
反応容器中の腐蝕性およびまたは固化性ガスの測定であ
って、これらの使用が制限されていないが反応容器中の
ガスの状態についての近似的な情報を得る目的のための
ものである。
反応容器中の腐蝕性およびまたは固化性ガスの測定であ
って、これらの使用が制限されていないが反応容器中の
ガスの状態についての近似的な情報を得る目的のための
ものである。
本発明の装置では、加えられた圧力を測定でき、かつ測
定圧力を表示できるものである限り、いがなる圧力測定
手段も用いることができる。換言すれば、ブルドン管や
ダイヤフラム型の装置から複雑な圧力検出器までいかな
る圧力測定装置も適用しうる。
定圧力を表示できるものである限り、いがなる圧力測定
手段も用いることができる。換言すれば、ブルドン管や
ダイヤフラム型の装置から複雑な圧力検出器までいかな
る圧力測定装置も適用しうる。
上記圧力伝達管は圧力測定装置の受圧部に接続される。
上記シールポットは圧力伝達管の開口端を受容する小型
の槽でもよい。該槽に、封止液、通常は１８融金属が装
入される、該金属は、それが曝されるガスの腐蝕性と温
度を考慮して選ばれる。
の槽でもよい。該槽に、封止液、通常は１８融金属が装
入される、該金属は、それが曝されるガスの腐蝕性と温
度を考慮して選ばれる。
概ね該金属は液体金属（水銀（ｌ１ｇ）、ガリウム（Ｇ
ａ）、インジウム（Ｉｎ）） 、低融点金属および合金
から選ばれる。低融点封止金属および合金の典型的な例
はｔ＜ｆ（Ｐｂ）、鉛−アンチモン（ｐｂ−ｓｂ）合金
、錫（Ｓｎ）。
ａ）、インジウム（Ｉｎ）） 、低融点金属および合金
から選ばれる。低融点封止金属および合金の典型的な例
はｔ＜ｆ（Ｐｂ）、鉛−アンチモン（ｐｂ−ｓｂ）合金
、錫（Ｓｎ）。
錫−亜鉛（Ｓｎ−Ｚｎ）合金、リボウィッッ合金等であ
る。ｐｂ −ｓｂ系の場合は、Ｓｂ：１０〜１５重址％
、Ｐｂ：８５〜９０重量％、約２５０℃の融点のものが
好適である。 Ｓｎ−Ｚｎ系の場合は、Ｓｎ：５〜１０
重量％、Ｚｎ：９５〜９０重斌％、約２００℃の融点の
ものが好適である。
る。ｐｂ −ｓｂ系の場合は、Ｓｂ：１０〜１５重址％
、Ｐｂ：８５〜９０重量％、約２５０℃の融点のものが
好適である。 Ｓｎ−Ｚｎ系の場合は、Ｓｎ：５〜１０
重量％、Ｚｎ：９５〜９０重斌％、約２００℃の融点の
ものが好適である。
本発明の装置を反応容器に取付けて該容器の内圧を４１
す定するために用いる際、例えばチッ素（Ｎ）。
す定するために用いる際、例えばチッ素（Ｎ）。
アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（１１）等の不活性ガスが
適当な圧力で分岐管および圧力伝達管を通じて該容器に
導入される。該圧力は該不活性ガスが封圧液即ち溶融金
属を通過してバブリングしながら上記容器に徐々にかつ
連続的に流入するように調節される。圧力のａｌｌ定は
この状態で行なわれる。
適当な圧力で分岐管および圧力伝達管を通じて該容器に
導入される。該圧力は該不活性ガスが封圧液即ち溶融金
属を通過してバブリングしながら上記容器に徐々にかつ
連続的に流入するように調節される。圧力のａｌｌ定は
この状態で行なわれる。
〈発明の具体的記載〉
以下、本発明を図面および実施例を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図に示すように、本発明の装置は、圧力ｄｌｌ＋ｌ
ｌ設定０、例えばブルドン管型の圧力計、圧力伝達管１
２、制御弁■を具えた分岐管２０およびシールポット即
ち４’！！！１１４を有する。該装置は容器２２に装着
される。
ｌ設定０、例えばブルドン管型の圧力計、圧力伝達管１
２、制御弁■を具えた分岐管２０およびシールポット即
ち４’！！！１１４を有する。該装置は容器２２に装着
される。
第１図において、
Ｐ工： 容器２２の内圧、
Ｐ２： 該容器内に導入される不活性ガス圧力（定数
） ＰＸ： 液封された圧力伝達管内の液面に作用する圧
力。
） ＰＸ： 液封された圧力伝達管内の液面に作用する圧
力。
ΔＰ：封止液の水頭に依存する差圧
圧力測定手段１０により示される圧力はＰＫであり、こ
れはＰ□＋ΔＰに等しい。ｈが封止液の水頭、即ちシー
ルポットの液面から圧力伝達管の液面までの深さ、ρを
封止液の密度のとき、ΔＰ＝ρｈである。
れはＰ□＋ΔＰに等しい。ｈが封止液の水頭、即ちシー
ルポットの液面から圧力伝達管の液面までの深さ、ρを
封止液の密度のとき、ΔＰ＝ρｈである。
しかし、該深さ、即ち水頭りは、ΔＰがそれ程大きくな
いように設定できる。なぜなら不活性ガスはＰｘがほぼ
静的であるように、かつバブリングによる乱れが大きく
ないように徐々に導入され、該水頭はＰ□に比較してそ
れ程太い必要はないからである。それ故Ｐ１は充分ＰＫ
に等しいとみなせる。つまり、圧力測定手段の表示を容
器内のガス圧として把握することができる。
いように設定できる。なぜなら不活性ガスはＰｘがほぼ
静的であるように、かつバブリングによる乱れが大きく
ないように徐々に導入され、該水頭はＰ□に比較してそ
れ程太い必要はないからである。それ故Ｐ１は充分ＰＫ
に等しいとみなせる。つまり、圧力測定手段の表示を容
器内のガス圧として把握することができる。
一方、不活性ガスの導入が続くにつれて、容器の内圧は
上昇する。それ故、容器内の混合ガスはクーラーとヒー
ターとを具えた頚部と該頚部の下流側に配設された弁を
有する出口から適宜放出されなければならない。混合ガ
スが放出される際、弁の容器上流側の頚部は冷却され、
不活性ガスが放出される一方、固化性ガスが凝固堆積す
る。該放出が終了した後、弁は閉じられ、頚部は同化性
ガスを蒸発させるように加熱される。これにより容器内
の不活性ガスの割合が増加するのを避けることができる
。ガス放出は一定時間毎に行う必要はなく、圧力の増加
をｌ１１？Ｘして適宜行なえばよい。
上昇する。それ故、容器内の混合ガスはクーラーとヒー
ターとを具えた頚部と該頚部の下流側に配設された弁を
有する出口から適宜放出されなければならない。混合ガ
スが放出される際、弁の容器上流側の頚部は冷却され、
不活性ガスが放出される一方、固化性ガスが凝固堆積す
る。該放出が終了した後、弁は閉じられ、頚部は同化性
ガスを蒸発させるように加熱される。これにより容器内
の不活性ガスの割合が増加するのを避けることができる
。ガス放出は一定時間毎に行う必要はなく、圧力の増加
をｌ１１？Ｘして適宜行なえばよい。
放出ガスを解放しないで別のガス捕集器に捕集するよう
にすれば、前記出口管の加熱および冷却は省略すること
もできる。
にすれば、前記出口管の加熱および冷却は省略すること
もできる。
表示圧力を第２図に示す。
もし、出口頚部が冷却および加熱しうるちのでなければ
固化性ガスと不活性ガスの両方が同時に放出され、容器
内の２種のガスの比はそれ程度化せず、作業者は容器内
の反応ガス（腐蝕性または固化性）の量を正確に把握で
き、これにより容器内の化学反応を制御するための反応
ガスの近似量を把握できる。なぜなら不活性ガスの導入
は緩慢であるからである。
固化性ガスと不活性ガスの両方が同時に放出され、容器
内の２種のガスの比はそれ程度化せず、作業者は容器内
の反応ガス（腐蝕性または固化性）の量を正確に把握で
き、これにより容器内の化学反応を制御するための反応
ガスの近似量を把握できる。なぜなら不活性ガスの導入
は緩慢であるからである。
〈実施態様〉
本発明に係る装置の具体例を第３図に示す。該装置はブ
ルドン管圧力計ｌＯ１該圧力計１０の受圧部に接続され
ている圧力伝達管１２およびシールポットを形成するた
めに複数の捧１６により圧力伝達管１２に装着されてい
る槽１４を有する。適当な封止液１８が槽に貯溜されて
いる。圧力伝達管１２の上部に分岐管２０が設けられて
いる。不活性ガスは供給シリング（１２Ｉ示せず）から
制御弁（図示せず）を通じて上記分岐管２０に供給され
る、該圧力伝達管の中央部にはフランジ２６が設けられ
ており、該フランジは容器の一部２２に設けたフランジ
２４に取付けられている。該装置は市販のブルドン管圧
力計を用いて容器に組立てることができる。
ルドン管圧力計ｌＯ１該圧力計１０の受圧部に接続され
ている圧力伝達管１２およびシールポットを形成するた
めに複数の捧１６により圧力伝達管１２に装着されてい
る槽１４を有する。適当な封止液１８が槽に貯溜されて
いる。圧力伝達管１２の上部に分岐管２０が設けられて
いる。不活性ガスは供給シリング（１２Ｉ示せず）から
制御弁（図示せず）を通じて上記分岐管２０に供給され
る、該圧力伝達管の中央部にはフランジ２６が設けられ
ており、該フランジは容器の一部２２に設けたフランジ
２４に取付けられている。該装置は市販のブルドン管圧
力計を用いて容器に組立てることができる。
実施例１
圧力範囲Ｏ〜６ｋｇ／ｃＪＧのブルドン管圧力計のノズ
ル先端をｐｂ単体で封入し、かつ枝管を有した本発明に
係る圧力計を４００℃に保たれた１００Ｑの塩化アルミ
ニウムの連続蒸留精製装置に取り付け、圧力計の枝管か
ら１０〜２０１１１７分（６ｋｇ／ａｌＧ）のＡｒガス
を流した。この蒸留装置には固体の塩化アルミニウムが
連続的に供給され、そして気化した塩化アルミニウムは
この蒸留装置に付けられた凝縮器で凝縮固化される。ま
た一方、この蒸留装置には比較の意味で従来のブルドン
管型圧力計を取り付けた。
ル先端をｐｂ単体で封入し、かつ枝管を有した本発明に
係る圧力計を４００℃に保たれた１００Ｑの塩化アルミ
ニウムの連続蒸留精製装置に取り付け、圧力計の枝管か
ら１０〜２０１１１７分（６ｋｇ／ａｌＧ）のＡｒガス
を流した。この蒸留装置には固体の塩化アルミニウムが
連続的に供給され、そして気化した塩化アルミニウムは
この蒸留装置に付けられた凝縮器で凝縮固化される。ま
た一方、この蒸留装置には比較の意味で従来のブルドン
管型圧力計を取り付けた。
しかし、このものは１０分もたたないうちにノズル先端
が塩化アルミニウム固体で閉塞してしまい、使用に値し
なかった。その１０分間のうちに従来の圧力計と本発明
に係る圧力計を比較したところ。
が塩化アルミニウム固体で閉塞してしまい、使用に値し
なかった。その１０分間のうちに従来の圧力計と本発明
に係る圧力計を比較したところ。
本発明圧力計は従来品に比較して誤差０．２％ＦＳ（フ
ルスケール）であった。
ルスケール）であった。
そして時々排気弁から圧を抜きながら、延べ１０．００
０時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごとに
従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行な
ったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１．
５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであった
。
０時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごとに
従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行な
ったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１．
５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであった
。
失１匹主
実施例１と同一の圧力計にそのノズル先端の封入液とし
てＰｂ（８７，５％）−Ｓｂ（１２，５％）合金を仕込
み、５００℃に保たれた１００ Ｑの塩化第２鉄連続精
製装置に取り付け、実施例１と同一の条件でアルゴンを
流して使用に供した。この装置には固体の塩化第２鉄が
連続的に供給され、そして気化した塩化第流側１と同様
の従来のブルドン管型圧力計を取り付けた。しかし、こ
のものは１０分もたたないうちノズル先端が塩化第２鉄
固体で閉塞してしまい。
てＰｂ（８７，５％）−Ｓｂ（１２，５％）合金を仕込
み、５００℃に保たれた１００ Ｑの塩化第２鉄連続精
製装置に取り付け、実施例１と同一の条件でアルゴンを
流して使用に供した。この装置には固体の塩化第２鉄が
連続的に供給され、そして気化した塩化第流側１と同様
の従来のブルドン管型圧力計を取り付けた。しかし、こ
のものは１０分もたたないうちノズル先端が塩化第２鉄
固体で閉塞してしまい。
使用に・値しなかった。その１０分間のうちに従来の圧
力計と本発明に係る圧力計を比較したところ、本発明品
は従来品に比較して誤差０．２％ＦＳであった。
力計と本発明に係る圧力計を比較したところ、本発明品
は従来品に比較して誤差０．２％ＦＳであった。
そして、時々排気弁から圧を抜きながら、延べ］０．０
００時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
００時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
犬１［剋」−
圧力範囲０〜６ｋｇ／ｃＪＧの発信型圧力計にそのノズ
ル先端の封入液としてＳｎ （６％）−Ｚｎ（９４％）
を仕込み。
ル先端の封入液としてＳｎ （６％）−Ｚｎ（９４％）
を仕込み。
かつ枝管を有した本発明に係る圧力計を６００℃に保た
れた１００ Ｑの三塩化インジウムの連続昇華精製装置
に取り付け、圧力計の枝管から実施例１と同一の条件で
アルゴンを流して使用に供した。こ三− の装置しこけ固体のも塩化インジウムが連続的に供給さ
れ、そして気化した三塩化インジウムはこの装置に付け
られた凝縮器で凝縮固化される。また一方、この装置に
は比較の意味で実施例１と同様の従来のブルドン管型圧
力計を取り付けた。しかし、このものは１０分もたたな
いうちノズル先端が三塩化インジウム固体で閉塞してし
まい、使用に値しなかった。その１０分間のうちに従来
の圧力計と本発明に係わる圧力計を比較したところ１本
発明品は従来品に比較して誤差０．３％ＦＳであった。
れた１００ Ｑの三塩化インジウムの連続昇華精製装置
に取り付け、圧力計の枝管から実施例１と同一の条件で
アルゴンを流して使用に供した。こ三− の装置しこけ固体のも塩化インジウムが連続的に供給さ
れ、そして気化した三塩化インジウムはこの装置に付け
られた凝縮器で凝縮固化される。また一方、この装置に
は比較の意味で実施例１と同様の従来のブルドン管型圧
力計を取り付けた。しかし、このものは１０分もたたな
いうちノズル先端が三塩化インジウム固体で閉塞してし
まい、使用に値しなかった。その１０分間のうちに従来
の圧力計と本発明に係わる圧力計を比較したところ１本
発明品は従来品に比較して誤差０．３％ＦＳであった。
そして時々排気弁から圧を抜きながら、延べｔｏ、ｏｏ
ｏ時間の使用に供した。その間、 ２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
ｏ時間の使用に供した。その間、 ２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
大盃舅土
実施例３と同一の圧力計にそのノズル先端の封入液とし
てＳｎ単体を仕込み、４００℃に保たれた１００Ｑの三
塩化アンチモン連続精製装置に取り付け、供した。この
捧半票には固体の三塩化アンチモン化される。また一方
、この装置には比較の意味で実施例１と同様の従来の圧
力計を取り付けた。しかし、このものは１０分もたたな
いうちノズル先端が三塩化アンチモンで閉塞してしまい
、使用に値しなかった。その１０分間のうちに従来の圧
力計と本発明に係わる圧力計を比較したところ、本発明
品は従来品に比較して誤差０．３％ＦＳであった。
てＳｎ単体を仕込み、４００℃に保たれた１００Ｑの三
塩化アンチモン連続精製装置に取り付け、供した。この
捧半票には固体の三塩化アンチモン化される。また一方
、この装置には比較の意味で実施例１と同様の従来の圧
力計を取り付けた。しかし、このものは１０分もたたな
いうちノズル先端が三塩化アンチモンで閉塞してしまい
、使用に値しなかった。その１０分間のうちに従来の圧
力計と本発明に係わる圧力計を比較したところ、本発明
品は従来品に比較して誤差０．３％ＦＳであった。
そして、時々排気弁から圧を抜きながら、延べ１０．０
００時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
００時間の使用に供した。その間、２，０００時間ごと
に従来の検査済のブルドン管型圧力計との比較検査を行
なったところ、いずれの場合も、その誤差は許容誤差１
．５％ＦＳ以内であり、充分に使用に値するものであっ
た。
第１図は本発明に係る測定装置の使用状態を示す説明図
、第２図は本発明の測定装置による測定時間と測定圧力
との関係を示すグラフ、第３図は本発明に係る測定装置
の一実施例を示す概略斜視図である。 図面中、１０−圧力計、１２−圧力伝達、１４一槽。 １６−捧、１８−封止液、２〇−分岐管、２２−被測定
容器の一部、２４．２６−フランジ部。
、第２図は本発明の測定装置による測定時間と測定圧力
との関係を示すグラフ、第３図は本発明に係る測定装置
の一実施例を示す概略斜視図である。 図面中、１０−圧力計、１２−圧力伝達、１４一槽。 １６−捧、１８−封止液、２〇−分岐管、２２−被測定
容器の一部、２４．２６−フランジ部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、閉鎖空間の圧力を測定する方法であって、不活性ガ
スを該空間に連通する圧力計の液封された圧力伝達管を
通じて徐々にかつ連続的に導入し、該圧力計の表示を読
み取ることからなる方法。 ２、特許請求の範囲第１項の方法であって、該空間内の
ガスが上記不活性ガスの導入による内圧の上昇に伴い開
放される方法。 ３、閉鎖空間の圧力を測定する装置であって、圧力測定
手段と、該圧力測定手段に連通する圧力伝達管と、内圧
を測定すべき容器に挿入される圧力伝達管の開口端と、
制御弁を具えた該圧力伝達管に連通する分岐管と、該圧
力伝達管の開口端を液封するシールポットとを有する装
置。 ４、特許請求の範囲第３項の装置であって、上記シール
ポットは上記圧力伝達管の開口端を受容する槽を有する
もの。 ５、特許請求の範囲第３項の装置であって、封止液が溶
融金属であるもの。 ６、特許請求の範囲第３項の装置であって、封止金属は
Ｈｇ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｐｂ−Ｓｂ合金、Ｓｎ
−Ｚｎ合金、リポウィッツ合金からなる群から選択され
るもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27921285A JPS62138733A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 閉鎖空間の圧力測定方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27921285A JPS62138733A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 閉鎖空間の圧力測定方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62138733A true JPS62138733A (ja) | 1987-06-22 |
| JPH0577976B2 JPH0577976B2 (ja) | 1993-10-27 |
Family
ID=17607990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27921285A Granted JPS62138733A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 閉鎖空間の圧力測定方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62138733A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100497795B1 (ko) * | 2003-03-08 | 2005-06-29 | 두산중공업 주식회사 | 담수화 시스템에서의 증발기 압력 관측 장치 |
| CN103868640A (zh) * | 2012-12-16 | 2014-06-18 | 何永 | 双微数字流体压力计 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS507479U (ja) * | 1973-05-19 | 1975-01-25 | ||
| JPS57134648U (ja) * | 1981-02-16 | 1982-08-21 | ||
| JPS5968636A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-18 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 高温用圧力置換器 |
| JPS59131134A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 溶融塩の圧力測定装置 |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP27921285A patent/JPS62138733A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS507479U (ja) * | 1973-05-19 | 1975-01-25 | ||
| JPS57134648U (ja) * | 1981-02-16 | 1982-08-21 | ||
| JPS5968636A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-18 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 高温用圧力置換器 |
| JPS59131134A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 溶融塩の圧力測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100497795B1 (ko) * | 2003-03-08 | 2005-06-29 | 두산중공업 주식회사 | 담수화 시스템에서의 증발기 압력 관측 장치 |
| CN103868640A (zh) * | 2012-12-16 | 2014-06-18 | 何永 | 双微数字流体压力计 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0577976B2 (ja) | 1993-10-27 |
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