JPS5965533U - 半導体測定装置 - Google Patents
半導体測定装置Info
- Publication number
- JPS5965533U JPS5965533U JP16046082U JP16046082U JPS5965533U JP S5965533 U JPS5965533 U JP S5965533U JP 16046082 U JP16046082 U JP 16046082U JP 16046082 U JP16046082 U JP 16046082U JP S5965533 U JPS5965533 U JP S5965533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- drive mechanism
- motor drive
- control logic
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のマイクロ・マニピュレータの外観図、第
2図は本考案の一実施例を示す構成図、第3図は外部よ
り操作指令を発するジョイステックの外観図である。 訃・・電位測定用針、9・・・モータドライブ機構、1
0・・・コントロールロジック、11,12.13・・
・モータ、14・・・針圧測定器。
2図は本考案の一実施例を示す構成図、第3図は外部よ
り操作指令を発するジョイステックの外観図である。 訃・・電位測定用針、9・・・モータドライブ機構、1
0・・・コントロールロジック、11,12.13・・
・モータ、14・・・針圧測定器。
Claims (1)
- 半導体チップ上の配線部に電位測定用針を突き刺す半導
体測定装置において、電気信号を入力信号として電位測
定用針を前後、左右、並びに上下動させてこれを半導体
チップ上の所定の配線部に突き刺すモータドライブ機構
と、外部よりの操作指令と前記針に加わる針圧を測定し
た針圧測定信号とによりモータドライブ機構の駆動制御
用電気信号を出力するコントロールロジックとからなり
、外部より操作指令に基づきコントロールロジックでモ
ータドライブ機構により針を前後、左右に移動させて水
平面内で針の位置決めを行い、次いで針の水平面内での
動きを停止させて針を下降させこれを半導体チップに突
き刺し、針圧が目標値に達したときその信号によりコン
トロールロジックでモータドライブ機構の駆動を停止さ
せるようにしたことを特徴とする半導体測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16046082U JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16046082U JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5965533U true JPS5965533U (ja) | 1984-05-01 |
Family
ID=30352923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16046082U Pending JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5965533U (ja) |
-
1982
- 1982-10-23 JP JP16046082U patent/JPS5965533U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5965533U (ja) | 半導体測定装置 | |
JPS5939931U (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
JPS5821879U (ja) | 電子回路試験装置 | |
JPS6051601U (ja) | ト−ンア−ム制御装置 | |
JPS5966937U (ja) | テ−プレコ−ダの制御装置 | |
JPS59146112U (ja) | 合成樹脂造粒装置におけるカツタ刃位置調整装置 | |
JPS6030011U (ja) | センサ位置制御装置 | |
JPS6238185U (ja) | ||
JPS5885253U (ja) | 会話型グラフィック・タ−ミナル | |
JPS6035346U (ja) | カセットホルダ装置 | |
JPS593537U (ja) | 半導体素子検査装置の測子カ−ド | |
JPS589476U (ja) | ベランダ用遮蔽扉装置 | |
JPS5839641U (ja) | デイスプレイ装置のカ−サ制御回路 | |
JPS6092304U (ja) | 数値制御装置 | |
JPS5899613U (ja) | 計測装置 | |
JPS59131034U (ja) | バツクテンシヨン測定装置 | |
JPS5971608U (ja) | 超音波断層装置 | |
JPS6146484U (ja) | 探知表示装置のマ−カ表示制御回路 | |
JPS60173524U (ja) | コンテナクレ−ンの積込番地設定装置 | |
JPS5881437U (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
JPS5925694U (ja) | 電子機器 | |
JPS594635U (ja) | ボンデイング装置 | |
JPS60163800U (ja) | 配線板のランド位置指示機 | |
JPS601560U (ja) | モニタ装置 | |
JPS63194790U (ja) |