JPS5965533U - 半導体測定装置 - Google Patents
半導体測定装置Info
- Publication number
- JPS5965533U JPS5965533U JP16046082U JP16046082U JPS5965533U JP S5965533 U JPS5965533 U JP S5965533U JP 16046082 U JP16046082 U JP 16046082U JP 16046082 U JP16046082 U JP 16046082U JP S5965533 U JPS5965533 U JP S5965533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- drive mechanism
- motor drive
- control logic
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のマイクロ・マニピュレータの外観図、第
２図は本考案の一実施例を示す構成図、第３図は外部よ
り操作指令を発するジョイステックの外観図である。 訃・・電位測定用針、９・・・モータドライブ機構、１
０・・・コントロールロジック、１１，１２．１３・・
・モータ、１４・・・針圧測定器。
２図は本考案の一実施例を示す構成図、第３図は外部よ
り操作指令を発するジョイステックの外観図である。 訃・・電位測定用針、９・・・モータドライブ機構、１
０・・・コントロールロジック、１１，１２．１３・・
・モータ、１４・・・針圧測定器。
Claims (1)
- 半導体チップ上の配線部に電位測定用針を突き刺す半導
体測定装置において、電気信号を入力信号として電位測
定用針を前後、左右、並びに上下動させてこれを半導体
チップ上の所定の配線部に突き刺すモータドライブ機構
と、外部よりの操作指令と前記針に加わる針圧を測定し
た針圧測定信号とによりモータドライブ機構の駆動制御
用電気信号を出力するコントロールロジックとからなり
、外部より操作指令に基づきコントロールロジックでモ
ータドライブ機構により針を前後、左右に移動させて水
平面内で針の位置決めを行い、次いで針の水平面内での
動きを停止させて針を下降させこれを半導体チップに突
き刺し、針圧が目標値に達したときその信号によりコン
トロールロジックでモータドライブ機構の駆動を停止さ
せるようにしたことを特徴とする半導体測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16046082U JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16046082U JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965533U true JPS5965533U (ja) | 1984-05-01 |
Family
ID=30352923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16046082U Pending JPS5965533U (ja) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | 半導体測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965533U (ja) |
-
1982
- 1982-10-23 JP JP16046082U patent/JPS5965533U/ja active Pending
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