JPS5960342A - 粉塵濃度測定システム - Google Patents
粉塵濃度測定システムInfo
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- JPS5960342A JPS5960342A JP17209182A JP17209182A JPS5960342A JP S5960342 A JPS5960342 A JP S5960342A JP 17209182 A JP17209182 A JP 17209182A JP 17209182 A JP17209182 A JP 17209182A JP S5960342 A JPS5960342 A JP S5960342A
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- JP
- Japan
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- air
- dust
- measurement container
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- concn
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
- G01N21/534—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke by measuring transmission alone, i.e. determining opacity
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は粉塵濃度′６ｉｌ＋定システムに係り、特に、
Ｉｆ’に乱光量から空気中に含まねる粉塵の濃度を沖１
定するのにθＦ ：ｉ＋；’ａ′ｊｒ粉塵濃度沖）定シ
ステノ・に関する。
Ｉｆ’に乱光量から空気中に含まねる粉塵の濃度を沖１
定するのにθＦ ：ｉ＋；’ａ′ｊｒ粉塵濃度沖）定シ
ステノ・に関する。
空気中にｊ＋、−、、ｌれる粉）ノ）３の濃度を測定す
るシステノ・とじて測定￥ｒ器内に空気を供給して測定
容器内に集光ビーノ・を照射し、Ｆｊｌｌ記測冗容器内
の粉塵に、しる集光ビームの散乱光゛を受光し、この受
光ｔ：゛から前記測定容器内の空気中に含まれる粉塵の
濃度を測定する方式が従来から用いられていた。
るシステノ・とじて測定￥ｒ器内に空気を供給して測定
容器内に集光ビーノ・を照射し、Ｆｊｌｌ記測冗容器内
の粉塵に、しる集光ビームの散乱光゛を受光し、この受
光ｔ：゛から前記測定容器内の空気中に含まれる粉塵の
濃度を測定する方式が従来から用いられていた。
ところで、粉塵濃度を測定するために測定容器内に粉塵
を含む空気を導入すると、この粉塵によって測定容器内
に８塵が（＝Ｊ着したり、あるいは光学系が汚れたりす
るので、ぞの１まの状態で測定を繰り返すと高梢ＩＷな
粉シ：１Ｔ、泥瓜を６１；１定することができない。そ
のため、従来のシステＪ、においては、粉塵濃度を測定
するごとに測定容器内等を清う・１ｈする作業が行なわ
れていた。
を含む空気を導入すると、この粉塵によって測定容器内
に８塵が（＝Ｊ着したり、あるいは光学系が汚れたりす
るので、ぞの１まの状態で測定を繰り返すと高梢ＩＷな
粉シ：１Ｔ、泥瓜を６１；１定することができない。そ
のため、従来のシステＪ、においては、粉塵濃度を測定
するごとに測定容器内等を清う・１ｈする作業が行なわ
れていた。
このように従来のシステムにおいては、）７５）塵濃度
を測定するたびに清掃作業を行なわなけれは高精度な粉
塵濃度全測定することができないという欠点があつ／Ｃ
１，父、測定のたびごとに７＋’／稲作業を行なっても
、７／を掃作業の仕方に、しってｒＪ、測定容器等・に
付着した粉塵が取り除かれないことがあるので （ｇ頼
性の高い粉塵濃度を測定すＺ）ことができなかった。
を測定するたびに清掃作業を行なわなけれは高精度な粉
塵濃度全測定することができないという欠点があつ／Ｃ
１，父、測定のたびごとに７＋’／稲作業を行なっても
、７／を掃作業の仕方に、しってｒＪ、測定容器等・に
付着した粉塵が取り除かれないことがあるので （ｇ頼
性の高い粉塵濃度を測定すＺ）ことができなかった。
本発明は、前記従来の課題に鑑みてなされたものであり
、その［１的は、測定システムの？＋Ｙ掃作業金行なわ
なくてもイＬ４頼性の高い粉１）；＋４砲度を測定する
ことができるｅ）塵濃度測Ｗシスデム（＋、”ｆｉ１４
供することにある。
、その［１的は、測定システムの？＋Ｙ掃作業金行なわ
なくてもイＬ４頼性の高い粉１）；＋４砲度を測定する
ことができるｅ）塵濃度測Ｗシスデム（＋、”ｆｉ１４
供することにある。
前記目的を珪酸−ｊ゛るために、Ａｓ発明ｒ、ｌ 、測
定容器内に空気葡供給して前記測定容器内に隼）゛Ｌビ
ームを照射し、前ｉ己測定容器内の粉塵による集光ビー
ムの散乱光を受光し、この受光ドから前記測定容器内の
空気中に含まれる粉塵の濃度ｔ、 １ｌｌｌｌ定する粉
塵濃度測定システムにおいて、被測定用のりと気を前記
測定容器内に供給して測定容器内の空気中に言寸れる粉
塵の濃度を測定し、この粉塵濃度測定後、清純度一定の
空気を所定圧力で前記測定容器内に供給し、この空気の
供給により前配測定容番内の被測定用り、＋ｊ気分Ｕ１
出［７て前記測シピ容器内の空気を入れ替え、この空気
の入れ）〜え後の前記測定容器内の空気中に含１れる粉
ｌＩｒ４の濃度を測定し、この測定値と被測定用空気の
供給によるｉｔｔＩＩ ５ｉ値との相対値から被測定用
の空気中に含オれる粉塵の温度を測定することを特徴と
する。
定容器内に空気葡供給して前記測定容器内に隼）゛Ｌビ
ームを照射し、前ｉ己測定容器内の粉塵による集光ビー
ムの散乱光を受光し、この受光ドから前記測定容器内の
空気中に含まれる粉塵の濃度ｔ、 １ｌｌｌｌ定する粉
塵濃度測定システムにおいて、被測定用のりと気を前記
測定容器内に供給して測定容器内の空気中に言寸れる粉
塵の濃度を測定し、この粉塵濃度測定後、清純度一定の
空気を所定圧力で前記測定容器内に供給し、この空気の
供給により前配測定容番内の被測定用り、＋ｊ気分Ｕ１
出［７て前記測シピ容器内の空気を入れ替え、この空気
の入れ）〜え後の前記測定容器内の空気中に含１れる粉
ｌＩｒ４の濃度を測定し、この測定値と被測定用空気の
供給によるｉｔｔＩＩ ５ｉ値との相対値から被測定用
の空気中に含オれる粉塵の温度を測定することを特徴と
する。
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する
。
。
第１図には、本発明の好適な実施例のシステム構成が示
されている。
されている。
第１図において、測定容器１０にはシステムが設置さＪ
ｔだ室内の空気を尋人するだめの導入管１２と、ｕ１１
ｊ定容器内の空気を排出する排出管１４が設けられでい
る。尋人′ｆ！１２の導入孔側には誘引ファン１６が設
けられており、誘引ファン１６の作動により室内の空気
を測定容器ｌＯ内に導入することができる。又、導入管
１２、排出管１４には逆止弁１８．２０が設けられでい
る。これらの逆止弁１８．２０Ｕ：第２図に示されるよ
うに、弁２２がスプリング２４によって支持さノじＣお
り、弁２２にスプリング２４を抗する圧力が加わったと
き弁２２が開くように構成されている６、 又、本実施例に卦いては、導入管１２と分岐した分岐管
２Ｇが設けられており、この分岐管２６内には電磁弁２
８が設置ｒｊされ、分岐点２６の末端には圧縮空気発生
器３０が配設されている。
ｔだ室内の空気を尋人するだめの導入管１２と、ｕ１１
ｊ定容器内の空気を排出する排出管１４が設けられでい
る。尋人′ｆ！１２の導入孔側には誘引ファン１６が設
けられており、誘引ファン１６の作動により室内の空気
を測定容器ｌＯ内に導入することができる。又、導入管
１２、排出管１４には逆止弁１８．２０が設けられでい
る。これらの逆止弁１８．２０Ｕ：第２図に示されるよ
うに、弁２２がスプリング２４によって支持さノじＣお
り、弁２２にスプリング２４を抗する圧力が加わったと
き弁２２が開くように構成されている６、 又、本実施例に卦いては、導入管１２と分岐した分岐管
２Ｇが設けられており、この分岐管２６内には電磁弁２
８が設置ｒｊされ、分岐点２６の末端には圧縮空気発生
器３０が配設されている。
圧縮空気発生器３０は清純度一定のり）−気を所定圧力
で発生することができるので、’ｒ１７． （ｉｔｔ
ｊ「２８ ｋ開くことにより測定容器１０内に苗Ａ’Ｊ
ｌ＋ １（４ニ一定の空気を供給することができる。
で発生することができるので、’ｒ１７． （ｉｔｔ
ｊ「２８ ｋ開くことにより測定容器１０内に苗Ａ’Ｊ
ｌ＋ １（４ニ一定の空気を供給することができる。
叉測定谷器１０には集光ビーム人材」孔３２が設けられ
ており、この集光ビーム人身ｊ孔３２にυ：、集光装ｊ
！’（３４から発生する集光ビームが７ヤツタ３６を介
して照射される。集光装置；３４はレーザー光等の光源
３８からの光を集光し、１に光ビーム全発生することが
できる。
ており、この集光ビーム人身ｊ孔３２にυ：、集光装ｊ
！’（３４から発生する集光ビームが７ヤツタ３６を介
して照射される。集光装置；３４はレーザー光等の光源
３８からの光を集光し、１に光ビーム全発生することが
できる。
集光ビーム人躬孔３２から照射され／Ｃ集光ビームの光
［ｌ＋ｌ１１の延長線と交わる測定客器ｊＯの内壁には
枚数の受光素子４０が前記光軸から丙１１隔した位置に
設けられでいる。受光素子４０け集光ビームの光軸から
肉１１隔して配硝゛、されていることにより、測定容器
１０内の粉塵によって生じる集光ビームのｆｉｋ乱孔奮
受）Ｃし、この受光上１に比例した（Ｆτ号を平均値回
ｈ’ｆｒ ４２に供給する。
［ｌ＋ｌ１１の延長線と交わる測定客器ｊＯの内壁には
枚数の受光素子４０が前記光軸から丙１１隔した位置に
設けられでいる。受光素子４０け集光ビームの光軸から
肉１１隔して配硝゛、されていることにより、測定容器
１０内の粉塵によって生じる集光ビームのｆｉｋ乱孔奮
受）Ｃし、この受光上１に比例した（Ｆτ号を平均値回
ｈ’ｆｒ ４２に供給する。
平均値回路４２は複数の受光素子４０の出力を取込みこ
Ｊｔ、もの平均値を求め、補正回路４４を介して演掬制
御部４６に供給する。
Ｊｔ、もの平均値を求め、補正回路４４を介して演掬制
御部４６に供給する。
制御演シ目１１Ｘ４６は補正回路４４出力の信号に基づ
いて側／ＩＬ ′、４ＥＸ器内の空気中に含寸れる粉塵
の（震度を削３′１ず２．とともに誘引ファン１６、′
［Ｌｌ、磁弁２８、シャッタ３（ｊ１袖上回路４４に制
御もぢを出力する。即ち、誘引ファン１６、電磁弁２８
、シャッタ３６は制御演ｙｔ部４６からの制御信号によ
りその作動が制御さＪ１５、補正回路４４は制御信号に
基づいて平均値回路４２の出力信号の寄合ぜが行なわれ
る。
いて側／ＩＬ ′、４ＥＸ器内の空気中に含寸れる粉塵
の（震度を削３′１ず２．とともに誘引ファン１６、′
［Ｌｌ、磁弁２８、シャッタ３（ｊ１袖上回路４４に制
御もぢを出力する。即ち、誘引ファン１６、電磁弁２８
、シャッタ３６は制御演ｙｔ部４６からの制御信号によ
りその作動が制御さＪ１５、補正回路４４は制御信号に
基づいて平均値回路４２の出力信号の寄合ぜが行なわれ
る。
本実施例ｔよ以上の構成かｌっなり、次にその作用を説
明する。
明する。
まず、制御訊ｎ部４６からの制御（Ｕ号により１．Ｌ磁
弁２８の作動金停止させて分岐管２６を閉塞した後誘引
ファン１６を作動する。誘引ファン］６が作動すると逆
止弁１８が開らき室内の空気が測定容器１０内に供給き
れる。測定容器ｌｏ内に室内の空気が充１ｉｉ４すると
逆止弁２ｏが開らき測定容器内の空気が排出管１４がら
室内にＪＪ１出され、室内の空気が導入管１２、測定容
器１０ ） ｆｌｉ＋出管１出金１４することになる。
弁２８の作動金停止させて分岐管２６を閉塞した後誘引
ファン１６を作動する。誘引ファン］６が作動すると逆
止弁１８が開らき室内の空気が測定容器１０内に供給き
れる。測定容器ｌｏ内に室内の空気が充１ｉｉ４すると
逆止弁２ｏが開らき測定容器内の空気が排出管１４がら
室内にＪＪ１出され、室内の空気が導入管１２、測定容
器１０ ） ｆｌｉ＋出管１出金１４することになる。
ここで制御演算Ｔｆμ４６からの制御化−シづによりシ
ャツタ３６金作動すると、集光装置３４からの集光ビー
ムが測定容器１ｏ内に照射され粉塵による集光ビームの
１１に乱孔が受光索子４０によって受光される。このと
きの受光柘から測定容器１０内の空気中に含まれる粉塵
の濃度が制御濱：’ｔ；ｒ、部４６によってｐ出される
。この測定値は被測定用の空気である室内の空気の供給
による測定値として制イ１１Ｉ１７↓（Ｊｑ、郡４６に
格納される１゜次に、制（ｉｌ（１７ｉｉｉ ）月耶４
６がらの制（ｉ＋＋＋イ、；けに上りｉつり引ファン１
６の作動金１）；°−ｔＪ＝−Ｊると】すＬ止弁１８．
２゜が閉じる。ここで制ｉＩ［ＩＩＩｔ＜一部４６がし
の制御イぽ号によりＩｔ、 Ｂｌ弁２８全作動すると圧
縮空気発生器３゜から清純度一定の空気が分岐管２６、
導入管１２を介して測定容器１０内に供給をれる。圧縮
空気が測定容器１０内に供給されると、この空気の供給
により逆止弁２０が開らき測定容器１０内の空気を排出
する。この圧縮空気の供給を所定時間継続すると測定容
器１０内に残留していた室内の空気が圧縮空気と入れ替
えられる。又測定容器１０内には圧縮空気が供給される
ので、測定容器１０内等に付着した粉塵全域り除くこと
ができる。
ャツタ３６金作動すると、集光装置３４からの集光ビー
ムが測定容器１ｏ内に照射され粉塵による集光ビームの
１１に乱孔が受光索子４０によって受光される。このと
きの受光柘から測定容器１０内の空気中に含まれる粉塵
の濃度が制御濱：’ｔ；ｒ、部４６によってｐ出される
。この測定値は被測定用の空気である室内の空気の供給
による測定値として制イ１１Ｉ１７↓（Ｊｑ、郡４６に
格納される１゜次に、制（ｉｌ（１７ｉｉｉ ）月耶４
６がらの制（ｉ＋＋＋イ、；けに上りｉつり引ファン１
６の作動金１）；°−ｔＪ＝−Ｊると】すＬ止弁１８．
２゜が閉じる。ここで制ｉＩ［ＩＩＩｔ＜一部４６がし
の制御イぽ号によりＩｔ、 Ｂｌ弁２８全作動すると圧
縮空気発生器３゜から清純度一定の空気が分岐管２６、
導入管１２を介して測定容器１０内に供給をれる。圧縮
空気が測定容器１０内に供給されると、この空気の供給
により逆止弁２０が開らき測定容器１０内の空気を排出
する。この圧縮空気の供給を所定時間継続すると測定容
器１０内に残留していた室内の空気が圧縮空気と入れ替
えられる。又測定容器１０内には圧縮空気が供給される
ので、測定容器１０内等に付着した粉塵全域り除くこと
ができる。
この空気の入れ替えが行なわれた後再びシャツタ３６ケ
作動し、測定容器１０内に集光ビームを照射する。この
とき測定容器１０内の粉塵による集光ビームの散乱孔が
受光素子４０によって受光され、受光出力が制御前ｐ部
４６に供給される１、制御演算部４６Ｉよ受光素子４０
出力に基づいて測定容器１０内の空気中に含１れる粉１
／にの濃度を規−出する。ここで制御演詩４部４６＆よ
空気の入れ替え後に３”を出された粉ｕＪ４ｇ＞ 度の
測定値と室内の空気が測定容器１０内に供給されたとき
に１２Ｌ出された粉穎凝度の測定値との相対値を演碧し
、被測定用の空気と１．て測定？ｆ器内に供給さｔした
空・イ（の中に含まれる粉塵の濃度を９出する。
作動し、測定容器１０内に集光ビームを照射する。この
とき測定容器１０内の粉塵による集光ビームの散乱孔が
受光素子４０によって受光され、受光出力が制御前ｐ部
４６に供給される１、制御演算部４６Ｉよ受光素子４０
出力に基づいて測定容器１０内の空気中に含１れる粉１
／にの濃度を規−出する。ここで制御演詩４部４６＆よ
空気の入れ替え後に３”を出された粉ｕＪ４ｇ＞ 度の
測定値と室内の空気が測定容器１０内に供給されたとき
に１２Ｌ出された粉穎凝度の測定値との相対値を演碧し
、被測定用の空気と１．て測定？ｆ器内に供給さｔした
空・イ（の中に含まれる粉塵の濃度を９出する。
この後制り１ｖ演算部４６からの制御信じにより電磁弁
２８の作動金停止することに」、す１回の測定が終了す
る。
２８の作動金停止することに」、す１回の測定が終了す
る。
このように本実施例においては、″ｆＪυ１ｌｌｌｌ定
川の空気を測定容器１０内に供給して測＞ｉｊ’？旨：
：ｉ １０内の空気中に訝唸れる粉塵の濃度を測定し、
この粉塵濃度１１１１１定後’１１（λＪロ度一定の空
気全所定ＩＬ力で測定容器１０内に供給し、この空気の
供給に」２り測定容器］０内の被測定用空気を排出して
測定容器１０内の空気を入れ替え、この空気の入れ１ノ
、え佐の測定容器１０内の空気中に言まれる粉Ｈｔ＞５
の濃度を測定し、この測定値と被測定用空気の供）１１
３による測定値との相対値から被測定用の空気中Ｑ（含
−よれる粉塵の載１史全測定するようにしているので、
測定容器１０、受光素子４０等をｒ＋’を掃しなくても
面精度な粉塵の濃度を測定することができる。
川の空気を測定容器１０内に供給して測＞ｉｊ’？旨：
：ｉ １０内の空気中に訝唸れる粉塵の濃度を測定し、
この粉塵濃度１１１１１定後’１１（λＪロ度一定の空
気全所定ＩＬ力で測定容器１０内に供給し、この空気の
供給に」２り測定容器］０内の被測定用空気を排出して
測定容器１０内の空気を入れ替え、この空気の入れ１ノ
、え佐の測定容器１０内の空気中に言まれる粉Ｈｔ＞５
の濃度を測定し、この測定値と被測定用空気の供）１１
３による測定値との相対値から被測定用の空気中Ｑ（含
−よれる粉塵の載１史全測定するようにしているので、
測定容器１０、受光素子４０等をｒ＋’を掃しなくても
面精度な粉塵の濃度を測定することができる。
又本実施例においては、粉塵の仏隷度ケ測シピする際シ
ャッタ３６が作動するわずかな時間のみ測定を行なわな
くてもも軸性の高い粉１”！ （’：５ ＋１Ｌ−全測
定することができるという優れた効果がある。。
ャッタ３６が作動するわずかな時間のみ測定を行なわな
くてもも軸性の高い粉１”！ （’：５ ＋１Ｌ−全測
定することができるという優れた効果がある。。
第１図は本発明の一実施例を示−４システノ・（１”ｒ
ｔ成図、拘′Ｓ ２図は逆止弁の４，７ζ成金説、明す
る／（めの図、第３図ｄ、粉塵濃度の相対値と換気風ｆ
ｊ”７ ）−の関係を示す線図である１、 １０・・・測定容器、１２・・・専入管、１４・・・抽
出管、２６・・・分岐？、２８・・・′１）Ｌ磁弁、３
０・・・圧縮空気発生器、３４・・・集光装Ｍ、’、３
６・・・シャンク、：３８・・・光りｆ、４０・・・受
光素子、４６・・・制御演５’１ｉｊ（１、、代理人
鵜 沼 辰 之 （ｔ／１か２名）
ｔ成図、拘′Ｓ ２図は逆止弁の４，７ζ成金説、明す
る／（めの図、第３図ｄ、粉塵濃度の相対値と換気風ｆ
ｊ”７ ）−の関係を示す線図である１、 １０・・・測定容器、１２・・・専入管、１４・・・抽
出管、２６・・・分岐？、２８・・・′１）Ｌ磁弁、３
０・・・圧縮空気発生器、３４・・・集光装Ｍ、’、３
６・・・シャンク、：３８・・・光りｆ、４０・・・受
光素子、４６・・・制御演５’１ｉｊ（１、、代理人
鵜 沼 辰 之 （ｔ／１か２名）
Claims (1)
- （１） 測定容器内に空気を供給してＧｉｌ記測定容
器内に集光ビームを照射し、前記測定容）：：；内の粉
塵による集光ビームの散乱光を受光し、この受）℃量か
ら前記測定容器内の空気中に含まれるわ目ｒ）１の一度
を測定する粉塵製置測定システムにおいて、被測定用の
空気を前記測定容器内に供給り、て測定容器内の空気中
に含まれる粉塵の濃度を測定し、この粉塵濃度測定後、
清純度一定の空気（＋＝ １９ｉ定圧力で前記測定容器
内に供給し、この空気の供給により前記測定容器内の被
測定用空気を排出して前記測定容器内の空気全入れ替え
、この望気の入れ替え後の前記測定容器内の空気中に含
１れる粉１／、Ｉ５の一度を測定し、この測定値と被測
定用空気の供給による測定値との相対値から被測定用の
空気中に含まれる粉塵の濃度を測定することケ１時徴と
する粉塵濃度測定システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17209182A JPS5960342A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 粉塵濃度測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17209182A JPS5960342A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 粉塵濃度測定システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960342A true JPS5960342A (ja) | 1984-04-06 |
Family
ID=15935368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17209182A Pending JPS5960342A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 粉塵濃度測定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960342A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103449A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Mitsubishi Electric Corp | 塵埃量検出装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990984A (ja) * | 1972-12-08 | 1974-08-30 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP17209182A patent/JPS5960342A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990984A (ja) * | 1972-12-08 | 1974-08-30 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103449A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Mitsubishi Electric Corp | 塵埃量検出装置 |
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