JPS595971Y2 - 電子線露光装置等における試料移動装置 - Google Patents
電子線露光装置等における試料移動装置Info
- Publication number
- JPS595971Y2 JPS595971Y2 JP8220578U JP8220578U JPS595971Y2 JP S595971 Y2 JPS595971 Y2 JP S595971Y2 JP 8220578 U JP8220578 U JP 8220578U JP 8220578 U JP8220578 U JP 8220578U JP S595971 Y2 JPS595971 Y2 JP S595971Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- sample
- electron beam
- sample moving
- moving mechanism
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子線露光装置等における試料移動装置、特に
試料移動機構を駆動するモータの改良に関する。
試料移動機構を駆動するモータの改良に関する。
ＩＣからＬＳＩへＬＳＩから超ＬＳＩへという集積回路
の高密度化に伴ない、微細な図形を描くことのできる電
子線露光装置が脚光をあびている。
の高密度化に伴ない、微細な図形を描くことのできる電
子線露光装置が脚光をあびている。
特に超ＬＳＩの製作にあたっては１μｍ以下の所謂サブ
ミクロンオーダの精度が要求されるため、電子線露光装
置においては電子線の偏向の偏向精度ばかりでなく、外
乱磁場による電子線の不正偏向を極少（例えば０．１μ
以下）にする必要がある。
ミクロンオーダの精度が要求されるため、電子線露光装
置においては電子線の偏向の偏向精度ばかりでなく、外
乱磁場による電子線の不正偏向を極少（例えば０．１μ
以下）にする必要がある。
ところで電子線露光装置の試料移動装置においては自動
化や移動精度の向上をはかるために、駆動源にはモータ
（パルスモータ）が使用されている。
化や移動精度の向上をはかるために、駆動源にはモータ
（パルスモータ）が使用されている。
そのため該モータから発生する漏洩磁場により電子線が
不正に偏向されたり、又モータから発生する熱が試料移
動機構や他の部材に伝達されて熱伸縮をおこすため、露
光精度が低下する。
不正に偏向されたり、又モータから発生する熱が試料移
動機構や他の部材に伝達されて熱伸縮をおこすため、露
光精度が低下する。
これを防止するために従来装置ではモータを電子線光軸
からできるだけ遠ざけて設置するように構威している。
からできるだけ遠ざけて設置するように構威している。
従ってモータと試料移動機構とを連結するための駆動伝
達機構が必要となり、装置が大型且つ複雑化すると共に
モータの回転を正確に試料移動機構に伝達することが困
難となるので、移動精度の低下を招き、更に耐振性に問
題が生ずる等の欠点がある。
達機構が必要となり、装置が大型且つ複雑化すると共に
モータの回転を正確に試料移動機構に伝達することが困
難となるので、移動精度の低下を招き、更に耐振性に問
題が生ずる等の欠点がある。
本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下添付図面に示す実施例装置に基づき詳説する。
で、以下添付図面に示す実施例装置に基づき詳説する。
図中１は電子線露光装置の試料室であり、内部に試料２
を保持した試料ステージ３がおかれている。
を保持した試料ステージ３がおかれている。
４は該試料ステージ３を直交するＸ及びＹ方向の２方向
に移動させるための試料移動機構である。
に移動させるための試料移動機構である。
５は該試料移動機構４を駆動するための例えばＸ軸方向
用のモータで、該モータは試料室１の外側におかれてい
る。
用のモータで、該モータは試料室１の外側におかれてい
る。
従ってモータの軸６は試料室１の側壁を回転可能に貫通
し、歯車７ ａ ，７ ｂを介して前記試料移動機構４
に連結される。
し、歯車７ ａ ，７ ｂを介して前記試料移動機構４
に連結される。
又前記モータ５は例えばパーマロイ等の磁記シールド効
果の高い高透磁率材料からなる第１及び第２のシールド
部材８ａ，８ｂにより二重に囲繞されており、外側にお
かれた第２のシールド部材８ｂはテフロン等の熱絶縁体
９ａを介して、前記試料室１の外壁に固定される。
果の高い高透磁率材料からなる第１及び第２のシールド
部材８ａ，８ｂにより二重に囲繞されており、外側にお
かれた第２のシールド部材８ｂはテフロン等の熱絶縁体
９ａを介して、前記試料室１の外壁に固定される。
前記モータの基台１０と第１のシールド部材８ａ及び第
１と第２のシールド部材８ ａ ，８ ｂとの間にもテ
フロン等の熱絶縁体９ｂ及び９Ｃが介在されてあり、又
これらの熱絶縁体は非磁性体であることは言うまでもな
い。
１と第２のシールド部材８ ａ ，８ ｂとの間にもテ
フロン等の熱絶縁体９ｂ及び９Ｃが介在されてあり、又
これらの熱絶縁体は非磁性体であることは言うまでもな
い。
前記第１及び第２のシールド部材８ ａ ，８ ｂはモ
ータの点検等を容易に行うために夫々記号ａ及びｂで示
す位置において切り離されるように構或されている。
ータの点検等を容易に行うために夫々記号ａ及びｂで示
す位置において切り離されるように構或されている。
前記モータの基台１０には冷却水を流すための冷却パイ
プ１１が形威してあるため、モータ部の温度は一定に保
たれる。
プ１１が形威してあるため、モータ部の温度は一定に保
たれる。
１２は前記基台１０に着脱可能に取付けられたカバーで
あり、該カバー１２及び基台１０は熱伝導のよい材料で
形或されており、又第１及び第２のシールド部材８ａ，
８ｂと同様にパーマイロイ等の高透磁率材料を使用すれ
ば、磁気シールドの面から更に好都合である。
あり、該カバー１２及び基台１０は熱伝導のよい材料で
形或されており、又第１及び第２のシールド部材８ａ，
８ｂと同様にパーマイロイ等の高透磁率材料を使用すれ
ば、磁気シールドの面から更に好都合である。
斯くすることによりモータ５から発生する漏洩磁場はカ
バー１２（基台も含む），第１及び第２のシールド部材
８ａ，８ｂより遮蔽することができるため、モータを試
料室外壁に直接固定してもモータからの漏洩磁場による
電子線の不正偏向を抑えることができる。
バー１２（基台も含む），第１及び第２のシールド部材
８ａ，８ｂより遮蔽することができるため、モータを試
料室外壁に直接固定してもモータからの漏洩磁場による
電子線の不正偏向を抑えることができる。
その結果従来のようにモータと試料移動機構との間に駆
動伝達機構を用いることなくモータ軸を直接試料移動機
構に連結させることができるため、装置を小型且つ簡素
化することができると共にモータの回転を正確に伝達で
きるので移動精度の向上をはかることができる。
動伝達機構を用いることなくモータ軸を直接試料移動機
構に連結させることができるため、装置を小型且つ簡素
化することができると共にモータの回転を正確に伝達で
きるので移動精度の向上をはかることができる。
又モータを試料室に堅固に固定させることができるので
、耐振性の向上をはかることができる。
、耐振性の向上をはかることができる。
更にモータ５から発生する熱に関しても殆んどの熱は基
台１０を通して冷却パイプ１１により冷却され、しかも
残りのモータ表面から発散する熱についても互いに熱絶
縁されたカバー１２や第１及び第２のシールド部材８ａ
，８ｂによって遮蔽することができるため、モータから
の熱が試料移動機構や他の部材に伝達されることを阻止
することができ、その結果試料移動機構等の熱変化に基
づく露光精度の低下を防止することができる等の実用性
大なる効果を有する。
台１０を通して冷却パイプ１１により冷却され、しかも
残りのモータ表面から発散する熱についても互いに熱絶
縁されたカバー１２や第１及び第２のシールド部材８ａ
，８ｂによって遮蔽することができるため、モータから
の熱が試料移動機構や他の部材に伝達されることを阻止
することができ、その結果試料移動機構等の熱変化に基
づく露光精度の低下を防止することができる等の実用性
大なる効果を有する。
尚モータは試料室の内部に設置してもよい。
添付図面は本考案の一実施例を示す断面図である。
図中 １は試料室、２は試料、３は試料ステージ、４は
試料移動機構、５はモータ、６はモータの軸、７ａ及び
７ｂは歯車、８ａ及び８ｂは第１及び第２のシールド部
材、９ａ乃至９ｂは熱絶縁体、１０はモータの基体、１
１はパイプ、１２はカバーである。
試料移動機構、５はモータ、６はモータの軸、７ａ及び
７ｂは歯車、８ａ及び８ｂは第１及び第２のシールド部
材、９ａ乃至９ｂは熱絶縁体、１０はモータの基体、１
１はパイプ、１２はカバーである。
Claims (1)
- 試料を保持した試料ステージを試料室内において移動さ
せるための試料移動機構と該試料移動機構を駆動するた
めのモータを備えた装置において、前記モータから生ず
る漏洩磁場を磁気シールドするためにモータを透磁率の
高い材料で形或された部材で包囲し、且つ該モータの基
台に冷却手段を設け、該モータを試料室の外壁に非磁性
の熱絶縁体を介して固定したことを特徴とする電子線露
光装置等における試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8220578U JPS595971Y2 (ja) | 1978-06-15 | 1978-06-15 | 電子線露光装置等における試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8220578U JPS595971Y2 (ja) | 1978-06-15 | 1978-06-15 | 電子線露光装置等における試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54183281U JPS54183281U (ja) | 1979-12-26 |
| JPS595971Y2 true JPS595971Y2 (ja) | 1984-02-23 |
Family
ID=29002838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8220578U Expired JPS595971Y2 (ja) | 1978-06-15 | 1978-06-15 | 電子線露光装置等における試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595971Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6795929B2 (en) | 1990-03-23 | 2004-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Data processing apparatus |
-
1978
- 1978-06-15 JP JP8220578U patent/JPS595971Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54183281U (ja) | 1979-12-26 |
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