JPS5956084A - 複数炉の温度制御方式 - Google Patents
複数炉の温度制御方式Info
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- JPS5956084A JPS5956084A JP16374482A JP16374482A JPS5956084A JP S5956084 A JPS5956084 A JP S5956084A JP 16374482 A JP16374482 A JP 16374482A JP 16374482 A JP16374482 A JP 16374482A JP S5956084 A JPS5956084 A JP S5956084A
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Landscapes
- Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複数炉の制御卸方式に関し、特に炉温のような
制御量が多変数である複数炉の制4m1方式に係わる。
制御量が多変数である複数炉の制4m1方式に係わる。
従来から、例えば1つのカス燃1;l’li装置あ不い
は電熱装置に複数個の炉(あるいは複数のノーンに仕切
られた1つの炉)に熱風を供給し7て香炉(あるいは昏
ゾーン)を所望の湿度に制御することは極めてむj″か
しくほとんど実施されていない。従来1斤なわれている
一般的な一実施j+lJを第1図(a)、(blに示す
。ダンパー1を介してダクト2により連辿する燃焼炉3
と、複数炉4a〜4C(あるいは複数のゾーン4 a
/〜4 c/に仕切られた1つの炉4)に熱風を矢印方
向に供給するブロア5と、香炉4a−4C(あるいは各
シー74a′〜40′)とそれぞノ七直列に連結された
谷タンパ−6a〜6Cおよび冷却装置(図示せず)が付
設された例えは三方弁からなる各非十誂装Jt7 a−
7cと、ダクト2の湿度、香炉4a〜4.C(あるいは
各ゾーン43′〜40′)の導度をそれぞれ検出する各
熱電対8.9a〜9Cとから構成さJt−Cいる。
は電熱装置に複数個の炉(あるいは複数のノーンに仕切
られた1つの炉)に熱風を供給し7て香炉(あるいは昏
ゾーン)を所望の湿度に制御することは極めてむj″か
しくほとんど実施されていない。従来1斤なわれている
一般的な一実施j+lJを第1図(a)、(blに示す
。ダンパー1を介してダクト2により連辿する燃焼炉3
と、複数炉4a〜4C(あるいは複数のゾーン4 a
/〜4 c/に仕切られた1つの炉4)に熱風を矢印方
向に供給するブロア5と、香炉4a−4C(あるいは各
シー74a′〜40′)とそれぞノ七直列に連結された
谷タンパ−6a〜6Cおよび冷却装置(図示せず)が付
設された例えは三方弁からなる各非十誂装Jt7 a−
7cと、ダクト2の湿度、香炉4a〜4.C(あるいは
各ゾーン43′〜40′)の導度をそれぞれ検出する各
熱電対8.9a〜9Cとから構成さJt−Cいる。
まず、ダンパー1を所定の開朋にして熱風をブロア5に
より各ダンパ6a−5Cを介し−C114枦4a〜4c
(あるいは各ゾーン4a′〜40′)へ供給する。
より各ダンパ6a−5Cを介し−C114枦4a〜4c
(あるいは各ゾーン4a′〜40′)へ供給する。
そして熱電対9)、]・−90により導度′1゛2〜′
I゛4を検出し、ダンパー 6a〜6Cの開度を調整し
て、香炉(あるいは各ゾーン4 a/〜40′)の温度
ケ所望の値にm1j−調するため、各冷却装J しこよ
って偏度′I″2〜T4ヲコントロールL、ll’−ン
パー6a〜6C(7)1つのダンパー1−開閉による各
炉温(あるいは他のゾーンの温度)・\の影響を非干渉
装置7 a −’/ cにより防止して、各炉温(ある
いは谷ゾーンの湿度)が所望の設定値になるよう、Pl
l)制御することによって温度側j’+!AIを行なっ
ていた。
I゛4を検出し、ダンパー 6a〜6Cの開度を調整し
て、香炉(あるいは各ゾーン4 a/〜40′)の温度
ケ所望の値にm1j−調するため、各冷却装J しこよ
って偏度′I″2〜T4ヲコントロールL、ll’−ン
パー6a〜6C(7)1つのダンパー1−開閉による各
炉温(あるいは他のゾーンの温度)・\の影響を非干渉
装置7 a −’/ cにより防止して、各炉温(ある
いは谷ゾーンの湿度)が所望の設定値になるよう、Pl
l)制御することによって温度側j’+!AIを行なっ
ていた。
しかしながら上VRのように、冷却”4’i l直がイ
テ]投された非干渉1臂置を介して経験的に手動により
制御することはできても、操作が煩雑で効率的に操作す
ることはき、1つめてむずかしい。しかも余計な熱油を
消費して省エネルギーにも反し、冷却装置が付設された
高1111iな非干渉装櫛金必要とするためコスト高と
なる安置となっていたCまた、タンパ−1の開度によっ
ては非干渉装置を介しても制御u1できない場合も生じ
ていた。
テ]投された非干渉1臂置を介して経験的に手動により
制御することはできても、操作が煩雑で効率的に操作す
ることはき、1つめてむずかしい。しかも余計な熱油を
消費して省エネルギーにも反し、冷却装置が付設された
高1111iな非干渉装櫛金必要とするためコスト高と
なる安置となっていたCまた、タンパ−1の開度によっ
ては非干渉装置を介しても制御u1できない場合も生じ
ていた。
従゛つて、非干渉装置を介在萌すに、多数の制御量(本
実施例の場合、各熱電対8.9a′−9Cによる温度゛
1゛、〜T、+ )を含む多数のalll定喰(本実
施例の場合、各熱電対9a〜9Cによる湿1規′1゛2
〜′v4)が、多数の操作l(本実施例の書、@、タッ
パ−1,6a・〜6Cの開度)の倒れか1つを操作した
時、吃れそれ変動する場合の制御(多変数制御目1)に
おいで、測定量の測定により、各側nLtl 1’f(
−が所望の値になるようにそれぞれの操作量を同時に、
かつ自動的にNjll’を卸することは従来技術では不
IIjl;iFでりった。
実施例の場合、各熱電対8.9a′−9Cによる温度゛
1゛、〜T、+ )を含む多数のalll定喰(本実
施例の場合、各熱電対9a〜9Cによる湿1規′1゛2
〜′v4)が、多数の操作l(本実施例の書、@、タッ
パ−1,6a・〜6Cの開度)の倒れか1つを操作した
時、吃れそれ変動する場合の制御(多変数制御目1)に
おいで、測定量の測定により、各側nLtl 1’f(
−が所望の値になるようにそれぞれの操作量を同時に、
かつ自動的にNjll’を卸することは従来技術では不
IIjl;iFでりった。
また、このような多変数の制御1階と操作量の相関関係
で、このような各対の制御量−操作量に依る制伊1方式
では制御量の安定性が悪く、かつ応答性に劣るという都
へかあった。
で、このような各対の制御量−操作量に依る制伊1方式
では制御量の安定性が悪く、かつ応答性に劣るという都
へかあった。
本発明の目的は非干渉装置r介在せずに腹スダ炉の多変
数制r卸4E行なうにあたり、炉、′昌のような割部1
吐を含む測定計の検出要素により、谷“制御量がそバぞ
れ所望の値(設定目標値)になるようにダンパーの開度
のような操作量を同時に、かつ自動的に制御1して、熱
効率のよい省エネルギーとなる複数炉の制御方式(系ン
および、安定性と応答性の一段と向上した制御@1手段
を佛[其することを目的とする。
数制r卸4E行なうにあたり、炉、′昌のような割部1
吐を含む測定計の検出要素により、谷“制御量がそバぞ
れ所望の値(設定目標値)になるようにダンパーの開度
のような操作量を同時に、かつ自動的に制御1して、熱
効率のよい省エネルギーとなる複数炉の制御方式(系ン
および、安定性と応答性の一段と向上した制御@1手段
を佛[其することを目的とする。
以下、本発明による複数炉の側頭1方式を、複数炉の侶
度制御に適用した実施例につき図面に基つき詳述する1
、 先ず、本実Jj:li例イC第2図tal、(1〕)に
示す。タンパ−10を介してダクト11i/こより連、
113する1つの燃焼装置12と、複数炉13a−13
c(あるいは複数のゾーンに仕りjられた1つの炉13
)に熱風を矢印方向に供給するブロア14と、各戸1
:I a〜13C(あ4い(〆よ・j1ノー71:a
a’ 〜1.5+” )内を所望の現度に1i171節
するダンパー 15 ;1〜15Cと、これらのダンパ
ー15a〜15Cの開吸俊調節するステッピングモータ
ーM1〜M3ト、ダクト11および各戸13a・〜13
C(あるいは各ゾーン13a′〜1’3C′)に自己設
された:脣l−電QrJ 16.17a 〜17cとか
らなっているc’hステツピノグモータM、〜M4
は入力信号(大綱で示す)が印加され、かつ出力信号(
点線で示す)か発生される。1だ、谷熱戒対16.17
a〜17Cからは出力’lr3号が生起される。これら
の信号はI、/U (A、/I) )コントローラ1B
でA−71J変換されてCL)t119 (ヒユーレ
ットパラカード社製IN’ 1100f1ンリー スノ
ヘ供給きれ、ヤこで演算、制i、ff1lされた信号が
、再びコントローラ18で1)、/A 変倶されて谷タ
ンパ−10,15a〜15Cのステッピングモータ1警
11〜M4へ印加さiLる。
度制御に適用した実施例につき図面に基つき詳述する1
、 先ず、本実Jj:li例イC第2図tal、(1〕)に
示す。タンパ−10を介してダクト11i/こより連、
113する1つの燃焼装置12と、複数炉13a−13
c(あるいは複数のゾーンに仕りjられた1つの炉13
)に熱風を矢印方向に供給するブロア14と、各戸1
:I a〜13C(あ4い(〆よ・j1ノー71:a
a’ 〜1.5+” )内を所望の現度に1i171節
するダンパー 15 ;1〜15Cと、これらのダンパ
ー15a〜15Cの開吸俊調節するステッピングモータ
ーM1〜M3ト、ダクト11および各戸13a・〜13
C(あるいは各ゾーン13a′〜1’3C′)に自己設
された:脣l−電QrJ 16.17a 〜17cとか
らなっているc’hステツピノグモータM、〜M4
は入力信号(大綱で示す)が印加され、かつ出力信号(
点線で示す)か発生される。1だ、谷熱戒対16.17
a〜17Cからは出力’lr3号が生起される。これら
の信号はI、/U (A、/I) )コントローラ1B
でA−71J変換されてCL)t119 (ヒユーレ
ットパラカード社製IN’ 1100f1ンリー スノ
ヘ供給きれ、ヤこで演算、制i、ff1lされた信号が
、再びコントローラ18で1)、/A 変倶されて谷タ
ンパ−10,15a〜15Cのステッピングモータ1警
11〜M4へ印加さiLる。
次に、かかる制御方式について第3図に基つき詳述する
、 同方式において、制御I ’XJ 探である複数炉20
の、1列えば+ig +< (7,) J、’うi q
’、i i:、’l C7) を回(ftJl t (
屯17 ;+、1r1]、1−t”Cにおけるag、度
> を含む複数の測定ht (屯16.17a、1Tl)、
t7cにおける7晶)jS) かダンパーの開度のような複数の操咋譬(ダンパー10
.1521.151)、15cの開度)の何れによって
も変動する謁合に、該制+fljl 逍がその目標値 に調節層れるように操作1.tを制御せんとするもので
ある。
、 同方式において、制御I ’XJ 探である複数炉20
の、1列えば+ig +< (7,) J、’うi q
’、i i:、’l C7) を回(ftJl t (
屯17 ;+、1r1]、1−t”Cにおけるag、度
> を含む複数の測定ht (屯16.17a、1Tl)、
t7cにおける7晶)jS) かダンパーの開度のような複数の操咋譬(ダンパー10
.1521.151)、15cの開度)の何れによって
も変動する謁合に、該制+fljl 逍がその目標値 に調節層れるように操作1.tを制御せんとするもので
ある。
制イ+Iil l達Y、〜Y3は、引出しへ21から引
出されて目標値Yh、 −YR3の差引0但22へ・そ
れぞれ接続され、制7j41 量と目標値の差 を得ている。
出されて目標値Yh、 −YR3の差引0但22へ・そ
れぞれ接続され、制7j41 量と目標値の差 を得ている。
これらの差ε1・・・・・ε3は、演算甥素(シに印加
される。要素C(は と記述される行列で、 の操作変数1.J’c、・・・・・1.J’c3 を線
形処理により馬えるものである。これらの操作変数Vま
それぞれ積分罰II〜■、に印加され、積分!ITjj
作が遂行されて喧lJc、〜Uc、、と17で各操作番
U1−U4に印IJ【1される。
される。要素C(は と記述される行列で、 の操作変数1.J’c、・・・・・1.J’c3 を線
形処理により馬えるものである。これらの操作変数Vま
それぞれ積分罰II〜■、に印加され、積分!ITjj
作が遂行されて喧lJc、〜Uc、、と17で各操作番
U1−U4に印IJ【1される。
この旨[Jcは、積分1幾能が遂↑イされる結果11次
17)」二うに表わされる。
17)」二うに表わされる。
この積分動作とは、積分ン:引による趣形の積分・1境
能のみならず、積分機能を含む、あるい番:[これと類
似する動作全色ISするものである。
能のみならず、積分機能を含む、あるい番:[これと類
似する動作全色ISするものである。
壕だ、積分切作には、動的補1if(ケ含まぜるように
してもよい、 なお、演1)、要素Cの、 の俗要素は、制御対象と1〜ての複数炉20を自動i!
tll 1fNIする前に、予じめその制(1’lll
えJ象ω・モテルとして峡適11tlト’ll J’、
j、lj論と、目標値YR,〜Yet、をりえるときの
、操作変数[J′c、〜U′C3、操作1jtlJ1〜
(j3、制4141 計’1’ +〜)′3の$勅の7
エミレーン=3ノとにヨリ求め、最も滴切り・二定めら
れるものである(、CI) ”t)y K、Furut
a et at at the 1FAc
Symposiu+ri onNlc Thco+y
;uni Application of l)ig
ital Corrlrol。
してもよい、 なお、演1)、要素Cの、 の俗要素は、制御対象と1〜ての複数炉20を自動i!
tll 1fNIする前に、予じめその制(1’lll
えJ象ω・モテルとして峡適11tlト’ll J’、
j、lj論と、目標値YR,〜Yet、をりえるときの
、操作変数[J′c、〜U′C3、操作1jtlJ1〜
(j3、制4141 計’1’ +〜)′3の$勅の7
エミレーン=3ノとにヨリ求め、最も滴切り・二定めら
れるものである(、CI) ”t)y K、Furut
a et at at the 1FAc
Symposiu+ri onNlc Thco+y
;uni Application of l)ig
ital Corrlrol。
Dclhi、 5ession 20.1932参照)
。
。
また、引出しへ21は、フィー ドパツク要素IS忙介
して差引き・ユ23(lこ接?、・たGれ一〇いる、こ
れにより、制G目1はY、−Y、、1含む4111定+
%i’、 Y 1〜Y4にフィードバック動作が線形処
理に上り、Y行され、操作ポ1)1−U4へ減算的に印
加さ九る3、このフィードバック動作には、動的禰(:
!1 k含−ませるようにしてもよい。フィードバック
の出力t、l Fは、である。
して差引き・ユ23(lこ接?、・たGれ一〇いる、こ
れにより、制G目1はY、−Y、、1含む4111定+
%i’、 Y 1〜Y4にフィードバック動作が線形処
理に上り、Y行され、操作ポ1)1−U4へ減算的に印
加さ九る3、このフィードバック動作には、動的禰(:
!1 k含−ませるようにしてもよい。フィードバック
の出力t、l Fは、である。
の各要素も、i11述の最適制Hn+理論と、/ユミレ
ー/ヨンとにより予にめ求められるものである。
ー/ヨンとにより予にめ求められるものである。
更に、引出し屯24は、フイ、−ドフォワード要素Nを
イトし7C力1111せへ23へ12会続されている。
イトし7C力1111せへ23へ12会続されている。
これにより、11(・l:j I直YR,〜Y貼に〕・
r−ドフオワー1動作1”II 1:、比IPII I
l、+作か線形処理により遂行されて1ψ作敞IJ 、
、=、 11 、へ加);γ的に叩ノIl+さえ1.
る、このン1−ドフオワ−1・動1″1−には、動的補
償イ℃言1せるようにしてもよい。、7・(−ドフAワ
−トの出力可くOl、 である。
r−ドフオワー1動作1”II 1:、比IPII I
l、+作か線形処理により遂行されて1ψ作敞IJ 、
、=、 11 、へ加);γ的に叩ノIl+さえ1.
る、このン1−ドフオワ−1・動1″1−には、動的補
償イ℃言1せるようにしてもよい。、7・(−ドフAワ
−トの出力可くOl、 である。
の各望素も、前述と同様に最適制御理論と、ンユミレー
ンヨ/とによって予じめ求められるものである。
ンヨ/とによって予じめ求められるものである。
このように、操作!iUには、3種類の1栗作木力か供
給される結東、最終的に!1.l:操作儀【Jは次のよ
うになる、 U ;二 Uc−UF−t−[JN 操作刊、へ(供給されるこれらの和出力Uc −UF
−1−UN が所定の範囲を越えるときに、前記積分動作を停止塾仕
るリミッタLが各操作ンfンに介(Eされている(第3
1凶)。
給される結東、最終的に!1.l:操作儀【Jは次のよ
うになる、 U ;二 Uc−UF−t−[JN 操作刊、へ(供給されるこれらの和出力Uc −UF
−1−UN が所定の範囲を越えるときに、前記積分動作を停止塾仕
るリミッタLが各操作ンfンに介(Eされている(第3
1凶)。
第31図にし・いて、点線で囲む部分1・−まc t’
uを辰わし、目4票値)′助〜Y+t、の入カーf/
クーフェースにはA 、/ p Hf 41へのだめの
入出力装置前L/’0−1、S作置tJ、〜11.の出
力インターフェースにはl) 、、/A変換のだめの入
出力装置110−2、割部1遺Y1〜YA金含む測定量
Y1〜Y4の後1…き径路−・の入カイ/ターフエース
にはA、 :、/ I)変換のための人出力装’、g
L、10−3が介在ぢ2tている(第3 +:AJ。
uを辰わし、目4票値)′助〜Y+t、の入カーf/
クーフェースにはA 、/ p Hf 41へのだめの
入出力装置前L/’0−1、S作置tJ、〜11.の出
力インターフェースにはl) 、、/A変換のだめの入
出力装置110−2、割部1遺Y1〜YA金含む測定量
Y1〜Y4の後1…き径路−・の入カイ/ターフエース
にはA、 :、/ I)変換のための人出力装’、g
L、10−3が介在ぢ2tている(第3 +:AJ。
このように構成されて成る多変数自l1i)J tti
ll (卸系は次のように動作する。
ll (卸系は次のように動作する。
先ず慎数炉20を働らかせて、制御ii1’、 Y 1
〜Y。
〜Y。
を含む測定量Y、〜Y4に応じて積分・1νJ作の初期
値を設定する(第41閃)。次いで、CPUは目標1i
ty xz 、〜YR3、制御′Ji: y1〜Y、を
含む測定量Y1〜Y4のデータ4:l洸み取る。Ci’
IJの(寅算投素C、フィードバック要素F1)・r
−ドンオワード要素Nはそれぞれ前述の行列式で表わさ
れる値に従−りでその演算を遂行12、 金網轡、する。
値を設定する(第41閃)。次いで、CPUは目標1i
ty xz 、〜YR3、制御′Ji: y1〜Y、を
含む測定量Y1〜Y4のデータ4:l洸み取る。Ci’
IJの(寅算投素C、フィードバック要素F1)・r
−ドンオワード要素Nはそれぞれ前述の行列式で表わさ
れる値に従−りでその演算を遂行12、 金網轡、する。
この操作道出力は、所定の範囲内に維持されて制御され
る心安がある。このため、・讐1慄作耽出力値は、その
範囲にあるか否がが刊i(″、[1され、若しもその範
囲内にあるときは、積分動作全遂行し、範囲ヲ毬えると
きは、リミッタLを介して出力ぜしめる(第4図)。
る心安がある。このため、・讐1慄作耽出力値は、その
範囲にあるか否がが刊i(″、[1され、若しもその範
囲内にあるときは、積分動作全遂行し、範囲ヲ毬えると
きは、リミッタLを介して出力ぜしめる(第4図)。
と(7)ようにして、各操作変数IJ’c、・・・・は
それぞれ積分器■l゛・°14 が1叩] ’) @
、積分動作が隊?テされて の積分出力を生じる。
それぞれ積分器■l゛・°14 が1叩] ’) @
、積分動作が隊?テされて の積分出力を生じる。
このような機能を導入すれば、本実施1+11のように
操作量としてのダンパーの開度が0・〜100%である
にもかかわらず、動作開始時から1所分動作を遂行すれ
は、当初は操作量と目標値との差ε1・・・ε3 が太
さいので、ダンパーの開度が事実上200あるいは30
0%という不都合な操作量信号を発生するということが
回避される。
操作量としてのダンパーの開度が0・〜100%である
にもかかわらず、動作開始時から1所分動作を遂行すれ
は、当初は操作量と目標値との差ε1・・・ε3 が太
さいので、ダンパーの開度が事実上200あるいは30
0%という不都合な操作量信号を発生するということが
回避される。
こうして、積分器は目標値と制(卸1逢の差が零になる
まC積分〜υ作を繰返し、 tljll IdAI量か
目1路値に可及的にし近′J″ゐように制御1jループ
定形成するものである。
まC積分〜υ作を繰返し、 tljll IdAI量か
目1路値に可及的にし近′J″ゐように制御1jループ
定形成するものである。
面し、て、操作量U
IJ −二 1Jc−LJF 十 (JNがH1尋
きれ、匍1 (341対尿2uへ出力Δれる。
きれ、匍1 (341対尿2uへ出力Δれる。
この場合、フィードバック要素1・゛のフィードバック
出力tJFは、制jjl系の固有の!1![・ljl:
1 安定化させるi’J 貨4j)もつものである。
出力tJFは、制jjl系の固有の!1![・ljl:
1 安定化させるi’J 貨4j)もつものである。
一方、フィードフォワード要素Nの出力IJ Nは、目
標値YRに1till侶11、−1.i Yか迅速に接
近するようにその立」=りを堅めるもので、特に炉の動
作開始時に大きな効采忙有する。この要素Nにより匍制
御系の応答ヰ(レスポンス)は一段と向−1ニする。
標値YRに1till侶11、−1.i Yか迅速に接
近するようにその立」=りを堅めるもので、特に炉の動
作開始時に大きな効采忙有する。この要素Nにより匍制
御系の応答ヰ(レスポンス)は一段と向−1ニする。
こうして、操作機(Jが制御対象20へ出力されると、
次のす/プリングーまで所定時同遅延沁ぜ、再び次の動
作が繰返される6 上を記、μ)血汐りにおいて、市II ?lIl吐、目
(項1直は31固、操作変数、操作量ば4個、(則定量
に4・個の」易合に一’ イテA51 明L タカ、’
c しf Jt、 e ]+J、111固、m l固(
e、1]、m &’J、正ノ整HB−c、n 、m 、
3 g ) (DIニも、本発明は等しく1X用できる
ものである。
次のす/プリングーまで所定時同遅延沁ぜ、再び次の動
作が繰返される6 上を記、μ)血汐りにおいて、市II ?lIl吐、目
(項1直は31固、操作変数、操作量ば4個、(則定量
に4・個の」易合に一’ イテA51 明L タカ、’
c しf Jt、 e ]+J、111固、m l固(
e、1]、m &’J、正ノ整HB−c、n 、m 、
3 g ) (DIニも、本発明は等しく1X用できる
ものである。
以上の実施例からも明らかなfうに、本発明によれば、
非干jル装置を介在せずに、制+til ;!t Jk
と1〜ての複数炉の例えばIli?+ )、ljのよう
な複数のω’I 4i+I故を含む測定鼠が、例えばダ
ンバーの開度のような複数の操作11の伺れによっても
変動する場合に、’+tflli、Ml靴をその11標
値に調゛(盗されるように操作lを1間[]」1するに
あたり、制ii[’tl ilと目1票(直の差から1
坪られる陛作変政のそれぞれに積分動作を遂行して各操
作量に印加するようにしたから、各操作量が相仏にかつ
独立し一〇機能を遂行し制御if lバ目標値に接近す
るように多変数刊i卸される。亘た、この開側1系にフ
ィードフォワード動作および(または)フィードバンク
動作を遂行させることによりレスポンスが向上し7安定
性が増大L7、しかも最も幼率よく最小の熱改で各戸の
炉岱を1役定することができる。
非干jル装置を介在せずに、制+til ;!t Jk
と1〜ての複数炉の例えばIli?+ )、ljのよう
な複数のω’I 4i+I故を含む測定鼠が、例えばダ
ンバーの開度のような複数の操作11の伺れによっても
変動する場合に、’+tflli、Ml靴をその11標
値に調゛(盗されるように操作lを1間[]」1するに
あたり、制ii[’tl ilと目1票(直の差から1
坪られる陛作変政のそれぞれに積分動作を遂行して各操
作量に印加するようにしたから、各操作量が相仏にかつ
独立し一〇機能を遂行し制御if lバ目標値に接近す
るように多変数刊i卸される。亘た、この開側1系にフ
ィードフォワード動作および(または)フィードバンク
動作を遂行させることによりレスポンスが向上し7安定
性が増大L7、しかも最も幼率よく最小の熱改で各戸の
炉岱を1役定することができる。
第1図にil)、(1,+) 6i複1’l炉(あるい
’/J−「り4’l Qノノ−ンに仕切られた1つの炉
)の従来の実施例を示すISi’。 開園、 第2図(2皇)、(1))は制御卸対象と1−ての複数
炉(あるいは儂斂のゾーンに仕切りけ1つの炉)の説明
図、 第3図は該i1t制御ス・1)Pへ本発明ケ適用(7た
自動;同1jll方式のブIJツクダイヤクラム、第4
図は該方氏の動作)「I−チャートを示す。 20 ・・・・・・・複数炉 Y、〜Y3 ・・・制御ik Y、−Y、・・・測定瞭 tJ、〜U、・・・操作量 YR1〜YIえ、・・目標値 ε1〜ε、・・・・iii制御量と目標値の差U′c、
−し1′、−、・操作変数 代理人 弁J1す士 守 谷 −雄 % l 図 (ノン
’/J−「り4’l Qノノ−ンに仕切られた1つの炉
)の従来の実施例を示すISi’。 開園、 第2図(2皇)、(1))は制御卸対象と1−ての複数
炉(あるいは儂斂のゾーンに仕切りけ1つの炉)の説明
図、 第3図は該i1t制御ス・1)Pへ本発明ケ適用(7た
自動;同1jll方式のブIJツクダイヤクラム、第4
図は該方氏の動作)「I−チャートを示す。 20 ・・・・・・・複数炉 Y、〜Y3 ・・・制御ik Y、−Y、・・・測定瞭 tJ、〜U、・・・操作量 YR1〜YIえ、・・目標値 ε1〜ε、・・・・iii制御量と目標値の差U′c、
−し1′、−、・操作変数 代理人 弁J1す士 守 谷 −雄 % l 図 (ノン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 複数炉の、例えは温度のような゛複数の制御)t
′C を吉む複数の測定量 か、例えばダンパーの開度のような複数の操作V何れに
よっても変動する場合に、前記制御量がその目標値 に調節されるように前記操作数を制御するにあたり、前
記制御量と前記目標値の差 心ら得られる操作変数 )それぞれに積分動作を遂行し/・1出力を各操作数と
することを特徴としたvi数炉の制御方式。 1、前記制御量ケ含む複数個の測定:Aにフィードバッ
ク動作を遂行したI’B力を前記操作量へ印加すること
を特徴としたfi−許請求の範囲第1項記載の複数炉の
制御方式。 3、 前記目標値にフィードフォワード動作を遂行した
出力 を前記操作量へ印加すること社特徴とした特許請求の範
囲第1項または第2項記載の複f、父炉の制一方式。 4、前記操作量へ供給される、前記出力Llc −前記
出力Ul;’ +前記出力UNの第1」出力が所定の軸
間を越えるときに、前記積分動作を停止E塾亡ることを
特徴とする特許請求の範1B+4 >れ:3項記載の複
数炉の制御方式。 5、前記測定数に応じて前記積分動作の初期値老設定す
ること全特徴とした特許請し1りの範囲第1項または第
2項記載の複数炉の制御方式。 6、前記操作変数および前配債分動作は線形処理によっ
て優ら、n、ることを特徴とする特許請求の範囲第11
頁記載の複数炉の制御力式。 7、 前記キv!作変数は動的補償足金むことを特徴と
する特6′1請求の範囲第1項記載のr複数炉の制御方
式。 8、前記フィードバック動作は線形、I(+、4 、p
ゼによって得ら)1.ることを特徴とする特許請求の範
囲第2項記載の復ν(炉の制御方式。 9、 1iiI記フイ一ドバンク動作は動的補償を含む
こと′If:特徴とした特許請求の範囲第2項記載の、
ト夏叔炉の制御卸方J′X:、c 10、前記フィードフォワード動作は、線形処理によっ
てイ(上られることを特徴とする特許請求の1屹囲第3
、ll’l記載の複にダ炉の匍1 tiL41方式。 11、前記フィードフォワード動作は動的補償を含むこ
とを特徴とする特許:It求の頓囲第3項記載のi家政
枦の前制御方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16374482A JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16374482A JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5956084A true JPS5956084A (ja) | 1984-03-31 |
JPH0323835B2 JPH0323835B2 (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=15779852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16374482A Granted JPS5956084A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 複数炉の温度制御方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5956084A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000183072A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-06-30 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置およびその温度制御方法 |
JP2001306103A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Omron Corp | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
JP2002108408A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置の温度制御方法 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16374482A patent/JPS5956084A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000183072A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-06-30 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置およびその温度制御方法 |
JP2001306103A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Omron Corp | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
JP2002108408A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置の温度制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0323835B2 (ja) | 1991-03-29 |
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