JPS59500487A - デジタル出力容量圧力計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 名　称 テジタル出力容量圧力計 技術分野 この発明は圧力ないし真空度の変化を検出するため可変容量を用いる圧力、ｔい し真空測定装置に関する。

発明の背景 工業的な製造や処理システム、ことに半導体部品の製造で使用されるシステムに おいては、システムの種々の場所での真空度ないし圧力を高感度の圧力計ないし 測定器で正確（（測定する必要がしばしばある。測定変数の値を遠隔表示したり 、自動プロセス制御装置の入力として使用するためには測定器力Ｅ　Ｉ１１定し た量を電気信号に変換しなければならない。特に、今日の多くの処理システムの 要求事項を満たすには、圧力ないし真空測定装置は数桁に及ぶ値の範囲にわたり 圧力ないし真空度を精度よく測定できなければならない。

このような範囲及び電気変換要件を満たすべく種々の圧力計が開発されてきた。

これらの従来の圧力計（Ｃは夫々、今日の処理システムでの使用を理想的でなく する個々の限界がある。

周知のアナログ計のひとつとして、グロー・フィラメントより真空で発生するイ オン化電流を監視することにより圧力ないし真空度を測定するイオン計がある。

イオン計は高真空には適しているが（１０−２Ｔｏｒｒ以下）低真空ではう１く 働かないため、上述した範囲の要件を満たさない。

高真空、低真空及び圧力環境のいす？を足も適しているタイプの圧力計は各量圧 力計である。この種の圧力計１ま通常変換器さ、容量変化を電気信号に変換する 信号処理回路とで構成される。変換器の・・ウジングないしケーシングは張力を かけてハウジングに取り付けられた薄い金属ダイヤフラムにより２つの部分、７ て分割さｉｌでいるっハウジングの一方には測定すべき圧力、ないし真空源（（ 接続可能なポートが設けられている。このボートでの圧力ないし真空度の変化が ダイヤフラムｊフ伝わりダイヤフラムを動かす。この動きによりダイヤプラムと 〕・ウジング壁に取り付けられた固定電極とにより形成される「コンデンサ」の 容量が変化する。

容量の変化をプロセス制御を行うシステムが使用するのに適した電気信号に変換 するため種々の方法が開発されてきた。ひとつの方法では圧力変換器が生み出す 可変の容量を固定周波数の電気官号を発生する周波数電源て付勢する。これによ り圧力変換器の容量の変化はコンデンサを流れる電流の変化に変換さ７するっ　 したがって測定圧力を表わすこのアナログ電流をメータその他の表示装置に表示 させたり、処理回路に与えることができる。

色」ノイズに問題がある。％：Ｃ低圧（すなわち高置仝）３ では、ダイヤフラムの物理的な動きが非常に小さくなるため、Ｋｍ器の容量の変 化も非常Ｇ′ご小さくなってし１う。

信号が非常に小さいためノイズとドリフトの問題が大きくなる。

アナログに号をデジタル信号に変換しでデジタル信号で表示装置や処理回路を駆 動することによりドリフトとノイズの問題をある程度除去しようとする試みがな さｎてきた。しかしながら、アナログ／デジタル変換器自体がノイズとドリフト をつくりだすという問題があった。

ノイズとドリフトの問題を散り除くためになされたその他の従来の試みにより、 変換器のダイヤフラムを含む機械式の発振装置のフィード・バンク要素さして変 換器の容量を利用する圧力計が開発されている。ダイヤフラムは外部の磁気コイ ルにより変換器の容量に依存する周波数で物理的に振動さぜらｎる。出力周波数 はダイヤフラムに加えられる圧力の大きさにも依存する、というのは加えらｎる 力がダイヤフラムの機械的な共振を変えるからである。この構成によればノイズ 問題のいくつかはなくなるものの、変換器のダイヤプラムの１わりに配置した駆 動コイルを作動するのに大きなエネルギーが必要である。

そこで本発明は従来の容量圧力計に固有のノイズとドリフトの問題を除去するこ とを目的とする。

もうひとつの本発明の目的は変換器の容量を直接デジタル出力形式で出力する回 路を提・洪することである。

さらに本発明の目的は夏換器ユニット自体ｉ／ｃ厘裏装看できる程度に貸車な付 勢回路を用いて変換器ユニットよりノイズとドリフトの問題による影響を受Ｃプ にくいテジタル出力信号を発生させることである。

発明の概要 上述の問題を解決し上記目的を達成するため、本発明の一実施例によれば、変換 器の容量を抵抗／容量発撮回路における容量として浮のて発振回路の周波数が容 量の変化（これは測定される圧力ないし真空度の変化により詳しくは、変換器の ダイヤフラムとハウジング間の容量を２つのコンパレータとフリップ・フロップ を含む抵抗／容量発振回路で検出する。変換器の容量を直列抵抗を介して電源よ り充電する。容量の両端電圧が基準電位より下がると第１のコンパレータが７リ ツプ・フロップのリセット入力には号を与えてリセットする。コンデンサが充電 さｎ続けるうちに両端の電圧は第２の基準電位を超える。この状態に応答して第 ２のコンパレータよりセット・リセット・フリップ・フロップにセット信号が加 わり、フリップ・フロップのセソトシでよりトランジスタが動作して容量を放電 する。このため容量の両端電圧は減少し、第１の丞準醒圧より下がると第１のコ ンパレータが７リツプ・７０ツブをリセットし充電サイクルがする。

第１図は本発明の容量功計の回路のブロック図である。

第２図は容量変換器の構成の変形を示す。

第３図は出力彼形例を示す。

詳細な説明 図面において、容量式の圧力ないし真空変換器は断面図で示さｎている。変換器 に接伏さｎているのは容量／周波数変換・発振回路である。

容量変換器は２つのハウジング１００と１０１とから成り、両ハウジングはハウ ジング１０１の方に圧力の入力管１０６があることを除いて同一である。両ハウ ジング片はボルトで結合さイして圧力測定を行うための密閉容器を形成する。ハ ウジングの両片を分離するの（１ダイヤフラム１０５で、こｎは均一の張力をも たせた金属で構し真空度において維持さｎ得る閉じた各項１０２が形成される。

ダイヤフラム１０５は絶縁スペーサ１１１によりハウジング片１００と１０１か ら電気的に、ｌｅ！縁されている：ｌ菅１０６を通って導入される圧力が変動す るとダイヤフラムは矢印１０９の方同に動かされる。

一方のプレートをハウジング１００とし他方のプレートをダイヤフラム１０５と する「コンデンサ」が形成される。ダイヤフラム１０５はリード１０５を介して 電気的に接地しているため、容量変換器は電気的には一方のプレートが接地され ているコンデンサに等しい。コンデンサの開方のプレートはり一ド１０８を介し て、トランジスタ１３０、フリップ・フロップ１４５及びコンパレータ１４６と １４７から成るＲＣ発振回路に接続さｚ″Ｌるっ第１図に示す変換器はほとんど の用途に遍している。

代り、）に第２■に示す構成の変換器を使用できる。こｎは周知の差動式容量変 換器である。第１図に示す変換器と同じ機械的構成をもっている。電気的（・こ は２′つのコンテｙｆｌレ−）２００と２０１を使用している薇で違っている。

プレート２００と２０１は絶縁物２１０，２１５及び、２２０によりハウジング 片２０５から絶縁されている。プレート２００はリード２２５を介して第１図の 電子回路に接続でき、プレー）２０１は回路を動作させるため接地できる。

容量変換器は可変抵抗１１５と１２０を介して変換器につながっている直流電圧 源１１０より充電される。この充電回路により変換器の両端に生成さ、Ｉする電 圧は発振回路の残りの回路により監視、制御さ２″Ｌ、６つ詳しくは、コンパレ ータ１４６の負入力みコンパレータ１４７の正人力は変換器（・τ接続される。

コンパレータ１４６と１４７の他方の入力は基準電圧源１４８　（Ｖ２Ｒｅｆ） と１４９（Ｖ　Ｉ　Ｒｅ４　）に接続される。電圧源１４８と１４９はＶＩＢ、 １の方がＶ　２　Ｂ、１より犬となるよう選定される。

これらの１圧源は電圧源１１０より抵抗を介して取り出すことができ、あるいｊ まツェナー・ダイオードその他の適当な手段によりつくるこ吉ができる。こわら の電源により生成された電圧は容量変換器の雨宿に生成された電圧と比較さｎて 発振出力・信号の切換点を形成するのに用いらｎる。

コンパレータ１４６（！：１４７の出力はフリップ・フロップ１４５を制御して 出力波形を形成するのに用いら乙る。詳シくは、コンパレータ１４６と１４７の 出力は、夫々リード１７０と１６５を介してフリップフロップ１４５のリセット 入力とセット入カニ接続さｎる。リード１３５上の、フリップフロップ１４５の 出力はトランクろ夕１３０（これは各サイクルの終りに容量変換器を放電させる ものである）のベースに接続されるとともに、バッファ・アンプ１３７の入力に 接続される。回路の出力波形はバッファ・アンプの出力側、端子１４０上に形成 される。

各量変換器の形成する容量の変化を周波数変調１言号に変換する回路動作につい て以下詳細に説明する。まず、変換器の容量が完全に放電されているとする。充 電電流は電源１１０より可変抵抗１１５と１２０を通り、リード１０８を通り、 ハウジング１００とダイヤフラム１０５が形成するコンデンサを通ってグラウン ドに流れる。最Ｗはコンデンサの両端電圧は基準電圧源Ｖ２Ｈｅ１とＶＩＲｅｆ のいずｎよりも小さい。容量変換器の両箱電圧はリード１ジ５を介してコンパレ ータ１４６の負入力Ｖこ加えらｎるため、コンパレータ１４６の負入力Ｖこ加え られる電圧はコンパレータ１４６の正入力Ｖこ加えら３する電圧より低く、この ためコンパレータ（ばリード１７０を介してフリップフロップ１４５のリセット 入力に「高」信号を与え、フリップフロップをリセツｒして出力Ｑ　！’こ「低 」信号を発生させる。

この［低Ｊ　＜信号はバッファ・アンプ１３７に〃目えらｎ出力１４０に「低」 信号として現わｎる。さらに、フリップ・フロップ１４５の出力の「低」信号は り一ド１３５を介してトランジスタ１３０に加えらｎｌ　トランジスタを「オフ 」状態に保ち充電工程を継続させる。容量圧力計が構成する容量の両端電圧が上 昇しであるところまで達すると、リード１６０を介してコンパＬ／−夕１４７の 正入力に加えられる電圧が電源１４９が生成する電圧Ｖ　Ｉ　Ｂ、１の値を超え る。この時点でコンパレータ１４７より「高」信号がリード１６５を介してフリ ップ・フロップ１４５０セツト入力に加わるっセット入力Ｖこ「高」信号ヲ受け たフリップ・フロップ１４５は出力Ｑに「高」信号全出力してバッファ・アンプ １３７の出力端子１４０に「高」信号を与える。さらにフリップ・フロップ１４ ５のＱ出力の「高」信号はトランジスタ１３０をターンオンする。このため容量 変換器はリード１０８、抵抗１２０、リード１２５及びターンオンしたトランジ スタ１３０を通って放電する。したがって容量変換器の両端電圧は変換器の容量 の大きさと、可変抵抗１２０の大きさくＣより定められる抵＠／コンデンサ時定 数に従う率で減少する。

変換器の容量の両端電圧がｖ　ｉ　Ｂｅｄより下がるとコンパレータ１４７は出 力から「高」信号を取り除く。

放電サイクルの間変撲器の容量の両端電圧は減少し続け、やがてＶ２Ｒｅｆより 小さくなる。この時点でコンパレータ１４６は出力１７０（Ｃ「高」信号を出力 １−でフリップ・フロップ１４５のリセット入力に加える。こイｔに応答してフ リップ・フロップ１４５はリセットさｎて出力に「低」君号を出してトランジス ター３０をターンオフし放電サイクルを終了させ充電サイクルを開始させる。

さらに、クリップ・７０・ツブ１４５の出力の１低」信号はバッファ・アンプ１ ３７を介して出力端子１４０に与えらｎる。

このように変換器の容量が可変抵抗１１５と１２０を通して充電され、抵抗１２ ０を通して放電されるというかたちで動作が続く。

充電と放電サイクルは夫々「低」と「高」の回路出力により示される。充電と放 電の時間は変換器の容量の大きさに依存するから出力波形の周波数も変換器の容 量の大きさに依存する。可変抵抗１１５と１２０を過当に調繋することにより出 力波形のデユーティ比と周波数Ｑ両方を調監できる。

端子１４０に生成さｎる出力波形の代表例を第３刃に示すが、この波形を周波戒 カウンタあるいは周波数／電圧変換器に加えることにより処理装置その他の装置 が第１」用できる電気１言号にに換することができる。高真空度で出力信号が通 常の背景ノイズに比べて小さい場合、本発明の周波数出力は従来のアナログ回路 ；Ｃよる：ｉｊ１］定に比べ周波数カクンタでの誤り率を小さくするっこの状況 ｋｇ３図に例示しである。

ダイヤフラム１０５（ないし第２図のプレート２０１）が接地さｎているため無 線周波数ループが形成される場合がある。この接地ループは系に許容できないノ イズをとりこむおそれがある。この問題を避（するため、本発明によれば、変換 器が生成したアナログ信号を端子１４０のデジタル信号に変換する発振回路を、 抵抗分圧器を用いて基準電圧源ＶＩＲｅｆとＶ２Ｅｅｆを形成する場合−・Ｃは 、単一の電源で運転することができる。さらｉｃ、発振回路を含む部品はタイプ ５５５集積タイマ一回路として却らｎているパッケージ化さｎた集積回路により 市場で入手できる。この場合、電気装置はバッテリ作動となるためダイヤフラム （ないしはプレート〕を電気的に「浮かせる」ことができる。こうして接地ルー プの問題を避けることができる。

さらに、電子回路がバッテリ作動の場合（・ては回路ｔｘ換器ユニットと物理的 瓦近接して取り付Ｃ・することがでさひらうノイズの量を少なくてきる。端子１ ４０＋／Ｃ発生する周波数出力は容量変換器より取り出さ３ｔだアアログ信損う ことなく変換器と発Ｓ器を利用装置から離して使用できるっ 本発明のひとつの笑施例についてのみその内容を明らかにしたが、本発明の趣旨 と範囲から逸脱することなくその曲の実施例が可ｆＥなことは当業者（（は明ら かである。

浄化（内容（二変更なＬ） 一 手続補正書（方式） １、事件の表示 ３、補正をする者 事件との関係　出　願　人 医ヱラム、ψＶビ゛ン・Ｚス、／Ｚ−ビン５、補正命合の日付　昭和行年／、、 １月・３日（発送日）補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の７第１項） 昭和５８年１１月１７− 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、特許出願の表示 ＰＣＴ／ＵＳ８３１００３９２ ２、発明の名称 ディジタル出力容量圧力計 ６、特許出願人 住　所　アメリカ合衆国ニューノツプシャー州０３１０２゜ペッドフォード、ア ールエフディー９．ウォレイス・ロード　７７ 氏　名　ラム、カルピン・クオンクービン５、補正書の提出年月日 昭和５８年９月１２日 請求の範囲 Ｌ（削除）真空度ないし圧力の直の相対変化を変換器の容量の相対変化に変換す る真空ないし圧力変換器、及び前記変換器の容量の変化に応答して変換器の容量 の大きさと関係する周波数の出力信号を生成する抵抗／容量発掘手段。

とから成る容量圧力計。

２、（削除）請求の範囲第１項記載の容量圧力計に２いて、前記圧力変換器はハ ウジングとこのハウジングＣで取り付けられたダイヤスラムとで構成さｎｌ　ダ イヤフラムは印加さｎた真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容 量はハウジングとダイヤフラム間に形成されること。

ａ（削除）請求の範囲第２項記載の容量圧力計１・ておいて、前記発振手段は、 前記変換器の容量の両端電圧に応答し、電圧が第１の値と等しいときに第１信号 を発生し、第２の値と等しいときに第２君号を発生する手段と、 前記第１信号に応答して前記変換器の容量を充電し前記第２＠号に応答して前記 変換器の容量を放電する手段、とから成ること。

４（削除）請求の範囲第３項記載の容量圧力計において、前記発振手段はさらに 、 前記第１と第２信号に応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力信号を 発生する手段、を備えること。

５（削除）請求の範囲第４項記載の容量圧力計において、前記出力信号は前記変 換器の容量の大きさに関係する周波数を有する振動信号であること。

ｅＬ（削除）真空度ないし圧力の値の相対変化を変換器の容量の相対変化に変換 する真空ないし圧力変換器を備えた容量圧力計において、 前記変換器の容量の変化に応答して変換器の容量の太赤さに関係する周波数の出 力盾号を発生する抵抗／容量発振手段、 を設けたことを特徴とする各量圧力計。

７（削除）Ｍ求の範囲第６項記載の容量圧力計において、前記圧力変換器はハウ ジングとこのハウジングに取り付けらｎたダイヤフラムとで構成さｎｌ　ダイヤ フラムは印部された真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容量は ハウジングとダイヤスラム間（（形成されること。

＆（削８）請求の範囲第７項記載の容量圧力計１・ておいて、前記発振手段は、 前記変換器の容量の両ｉｔ圧に応答し、電圧が第１の値と等しいときに第１信号 を発生し、第２の１直と等しいときに第２＠号を発生する手段と、 前記第１信号に応答して前記変換器の容量を充電し前記第２信号に応答して前記 変換器の容量を放電する手段、とから成ること。

９、（削除）請求の範囲第８項記載の容量圧力計において、前記発振手段はさら に、 前記第１と第２信号に応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力信号を 発生する手段、を備えること。

１０（補正）真空度ないし圧力の値の相対変化を変臭器（り容量の相対変化に変 換する真空ないし圧力変換器、前記変換器の容量の両端電圧に応答しこの電圧が 第１の値に等しいとき第１信号を発生する手段、前記変換器の容量の両端電圧に 応答しこの電圧が第２の値に等しいとき第２虞号を発生する手段、前記第１信号 に応答して前記変換器の容量を充電し、前記第２信号に応答して前記変換器の容 量を放電する手段、及び 前記第１と第２信号に応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力周波数 １言号全発生する手段、とから成る容量圧力計。

ＩＬ請求の範囲第１０項記載の容量圧力計（・て２いて、前記圧力変換器はハウ ジングとこのハウジングに取り付けられたダイヤフラムとで構成され、ダイヤフ ラムは部属された真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容量は前 記ハウジングとダイヤスラム間に形成さｎること。

１２、請求の範囲第１１項記載の容量圧力計（・でおいて、前記第１信号を発生 する手段は、前記変換器の容量の両端電圧を第１の基準電圧と比故する第１のコ ンパレータより成ること。

１ａ請求の範囲第１２項記載の容量圧力計に２いて、前１４謙求煉囲第１３項記 載の容量圧力計において、前記変換器の容量を充電、放電する前記の手段は、前 記第１信号に応答してその２状態の一方↓′こなり前記第２信号に応答してその ２状態の他方になる双安定テバイスより成ること。

１ＥＬ請求の範囲第１４項記載の容量圧力計に２いて、前記変換器の容量を充電 、放電する前記の手段はさらに、前記変換器の両端に接現されたスイッチを有し 、このスイッチは前記双安定デバイスにより開閉？５１１ｎさイすること。

１６、（新）ハウジングと、このハウジングに取り付けらイｔたダイヤスラムで あって印刀日さ孔た真空度ないし圧力の変化に応じて動いてハウジングとダイヤ スラム間に可変の変換器容量を形成するダイヤフラムを備える真空々いし圧力変 換器を有する容量圧力計において、変換器の容量の変化に応答して出力信号を発 生する抵抗／容量発振手段にして、 前記変換器の容量の両端電圧に応答しこの電圧が第１の値に等しいときに第１信 号を第２の値に等しいとき第２遺号を発生する手段と、 前記第１信号に応答して前記変換器の容量を充電し、前記第２信号に応答して前 記変換器の容量を放電して、前記抵抗／容量発振手段から前記容−槍の大きさの 変化と直接かつ比例的に変化する周波数の出力信号を発生するようＶＣした手段 、 とから成る抵抗／容量発振手段を設けたことを特徴とする容量圧力計。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　真空度ないし圧力の値の相対変化を変換器の容量の相対変化に変換する真空 ないし圧力変換器、及び前記変換器の容量の変化に応答して変換器の容量の大き さと関係する周波数の出力信号を生成する抵抗／容量発振手段、 とから成る容量圧力計。 ２、請求の範囲第１項記載の容量圧力計において、前記圧力変換器はハウジング とこのハウジングに取り付けらｎたダイヤスラムとで構成さｎｌ　ダイヤフラム は印加さｎた真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容量はハウジ ングとダイヤフラム間に形成されること。 ａ　請求の範囲第２項記載の容量圧力計において、前記発振手段は、 前記変換器の容量の両端電圧に応答し、電圧が第１の値と等しいときに第１信号 を発生し、第２の値と等しいときに第２信号を発生する手段と、 前記第１信号（・て応答して前記変換器の容量を充電し前記第２＠号に応答して 前記変換器の容量を放電する手段、とから成ること。 ４　請求の範囲８３項記載の容量圧力計において、前記発振手段はさらに、 前記第１と第２消号に応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力信号を 発生する手段、全備えること。 五　請求の範囲第４項記載の各量圧力計、においで、前記出力信号は前記変換器 の容量の大きさに関係する周波数を有する振動信号であること。 Ｇ　真空度ないし圧力の値の相対変化を変換器の容量の相対変比に変換する真空 ないし圧力変換器を儒えた容量圧力計において、 前記変換器の容量の変化に応答して変換器の容量の大きさに関係する周波数の出 力信号を発生する抵抗／容量発振手段、 を設けたことを特徴とする容量圧力計。 ７　請求の範囲第６項記載の各量圧力計において、前記圧力変換器はハウジング とこのハウジングに取り付けられたダイヤフラムとて構成さ才ｔ１　ダイヤフラ ムは印加された真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容量はハウ ジングとダイヤフラム間に形成さイするこ杏。 ＆　請求の範囲第７項記載の各量圧力計において、前記発振手段は、 前記変換器の容量の両端電圧に応答し、電圧が第１の値と等しいときに第１信号 を発生し、第２の値と等しいときに第２信号、を発生する手段と、 前記第１・は号に応答して前記変換器の容量を充電し前記第２信号に応答して前 記変換器の容量を放電する手段、とから成ること。 ９６　請求の範囲第８項記載の容量圧力計において、前記発振手段はさらに、 ｌ４ 前記第１と第２信号（・て応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力信 号を発生する手段、を備えること。 １α真空度ないし圧力の値の相対変化を変換器の容量の相対変化に変換する真空 ないし圧力変換器、前記変換器の容量の両端電圧に応答しこの電圧が第１の値に 等しいとき第１信号を発生する手段、前記変換器の容量の両端辺圧に応答しこの 電圧が第２の値に等しいとき第２信号を発生する手段、前記第１信号に応答して 前記変換器の容量を充電し、前記第２信号に応答して前記変換器の容量を放電す る手段、及び 前記第１と第２１言号に応答して前記変換器の容量の大きさに関係する出力周波 数信号を発生する手段、とから成る容量圧力計。 ｔＬ請求の範囲第１０項記載の容量圧力計において、前記圧力変換器は）・ウジ ングとこの・・ウジングに取り付けらｎたダイヤフラムとで構成され、ダイヤフ ラムは印加さｎた真空度ないし圧力の変化に応じて動き、前記変換器の容量は前 記ハウジングとダイヤフラム間に形成されること。 １２、請求の範囲第１１項記載の容量圧力計において、前記第１信号を発生する 手段は、前記変換器の容量の両端電圧を＄１の基準電圧と比較する第１のコンブ ずレータより成ること。 ｌａ項求の範囲第１２項記載の容量圧力計において、前記第２信号を発生二丈る 手段は、前記変換器の容量の両端電圧を第２の基準電圧と比較する第２のコンパ レータより成ること。 １４詩釆○範囲第１３項記載の容量圧力計に２いて、前記変換器の容量を光電、 放電する前記の手段は、前記第１信号に応答してその２状態の一方、・こなり前 記第２信号Ｉで応答してその２状態の北方シでなる双安定テ）＜イスより成るこ と。 １５、請求の範囲第１４項記載の容量圧力計に２いて、前記変換器の容量を充電 、放電する前記の手段はさらに、前記変換器の両端に接続さ１′したスイッチを 有し、このスイッチ１ま前記双安定デバイスにより開閉制御さｎること。