JPS59500302A - ２軸スクリーン振動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、製造プロセスにおいて必須段階として存在する欠陥製品を製造する段 階で用いられる製品のスクリーンユング振勤評価に関するものである。更に詳細 に述べれば、本発明は、滑板上で同時に２軸振動を与えることによって欠陥品を 製造する機械、電気及び電気機器の分野の製品の構成要素及び組立製品にスクリ ーンユングを行なう方法及び装置に関するものである。本発明は、さらに滑板の 中央縦軸を中心とする揺動運動のない２軸スクリーンニング振動を実現すること である。すなわち、一対の振動シェーカーに独立して且つ各々往復運動を行なう ようにランダム（無規則）大力又は正預入力を加えることによって、またテスト 上０−スを支持する共通滑板を用いることによって、製造された製品の極めて高 精度の振動スクリーンを達成する。

テストピースの耐振性、デザイン欠陥及び製造欠陥を評価するため振動エネルギ を付与することは良く知られている。多（の電気１機械及び電気機器製造１％に 航空宇宙関係で使用される製品は、使用の前に上記の如（スクリーンユングを行 なわれる。かがるテストは、構成要素の問題、組立不良及びデザインは良いが製 造加工が悪いために欠陥製品となってしまった製品を発見すみことが２ できるが、振動評価による電気、機械及び電気機器製品くし の従来の品質制御監視はあまり一般的に行なわれていない。欠陥製品を正常な製 品から分別する。製造プロセス（Ｃおいて必須段階である品質制御監視を製品の ”スクリーンユング”と称することとする。

一般的に、デザイン評価及び破壊テストに使用される振動シェーカーは、製造メ ーカーが使用するにはあまりにも複雑で、大きく且つ操作が面倒くさいものであ った。

従来販売されてきたものは、各種の試験機関を主として販売対象としてつくられ たものであり、特性、性能及び価格のｋずれも、それらマーケートでの要求、性 能に合わせたものであった。

従って、スクリーンユング振動の使用で重要な特徴、すなわち、操作の容易性、 信頼性の高さ、正確な制御及び電気１機械及び電気機器製品の欠陥製品を発見し 得る振動性能を持つ低価格で且つ比較的コンパクトなスクリーンユング振動装置 が要望されていたのである。理想的には、かかる装置は、最小の時間で監視がで きるようにテストピースを同時に２軸方向に振動させるものである。

テストピースを支持する共通の滑板を同時に２軸方向に振動させるためには、共 通の滑板に係合されているにもかかわらず、第１の振動入力が第２の振動入力を 制限することにならないようにして２軸方向、例えば相互に直交した２軸方向に 振動エネルギ入力を加える必要がある。また、純粋にリニア（直線的）な振動運 動を実現しなければならない場合、滑板の中央縦軸を横断する方向の運動（（そ れ以外の運動、すなわち、該軸を中心とする揺動運動が入り込むことを防止しな ければならない。これら本質的に相反するように感じられる要望（マ、滑板を連 結リンクの各端部において半円状継手又はスイベル継手を介してシェーカーて連 結してなるシステムにおし・て、未解決のままであった。本発明装置及び方法は 、揺動運動を起こすことなく真の２軸方向の振動を簡単且つ単純な方法で提供し 得る手段に関するものである。従って、本発明装置１工、簡単に製造することが でき、操作が容易で、初期設備費が安くてすみ、そして正確なスクリーンユング テストを行ない得るものである。スイベル継手と相違して、不発明装置は、リン ク機構を使用することによる体積の増大、スイベル継手の潤滑を維持するための 高圧流体システムの使用、及びｉ剛体リンクシステムラ使用することによる所定 の角度を介しての駆動を避けることができる。

発明の概要 従って１本発明の目的は、工業的に使用可能な同時２軸振動スクリーンニング振 動を提供することである。

本発明の他の目的は、その上に載せられたテストピースのスクリーンユング評価 を行なうため共通の滑板を同時に２軸方向に振動させる方法を提供することであ る。

本発明のさらに他の目的は、典型的には直方体形状をなし比較的低価格で製造さ れる部品から構成されてなる上記本発明方法を実施する新規なシェーカー装置で ありて、電機子が、それによって駆動される滑板によって電磁場コイルに対して 相対的に片持ち梁状に支持されてなるシェーカー装置を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、滑板をそれぞれ第１及び第２の方向に駆動し且つ該 滑板を介して相互に従属せしめられた第１及び第２の振動シェーカーを使用する 装置を提供することである。従って、第１のシェーカーの横方向の運動は、第２ のシェーカーが同時に作動しているときに、第２の方向にある程度の横方向自由 度を有しており、逆も同様である。

本発明の他の重要な目的は、滑板の揺動運動を阻止し且つ該揺動運動を主軸運動 の一方又は他方、又は両方に沿う直勝運動に変換することによって複、駆動の滑 板を上記駆動軸方向の運動に制限する手段を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、滑板の２軸制限を達成するための該滑板に対して縦 方向に屈曲可能で且つねじり方向に剛わい支持体を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、横方向伝達自由度を実現するため、滑板から片持ち 梁状に吊下けられたシェーカーの電機子を提供することである。

本発明のこれら及び他の目的；・ま、剛い滑板に支持されたテストピースから欠 陥製品をつくるスクリーンユングテストのための振動スクリーンユング装置であ って、該滑板を同一平面内に存在する２つの軸方向に１駆動する振動手段と、そ して、上記滑板を駆動軸方向のみの運動に制限する上記振動手段から離れて設け られた手段とを含んで構成されてなる振動スクリーンユング＝ｉに関する記載よ り明らかなものとなるであろう。

図面の簡単な説明 本発明を、添附図面を参照してその実庁例に基づいてさらに説明する。

第１図は、本発明に係るスクリーンユング振動装置の平面図である。

第２図は、その側面図である。

第３図は、第１図の３−３線に沿ってとった７エーカーの電磁場コイル及び電気 子の拡大垂直断面である。

第４図は、第１図の４−４線に沿ってとった部分垂直断面図である。そして、 第５図は、不発明装置へつ信号入力手段の″ｆｉ略図である。

好ましく・実施例の説明 本発明において、滑板は、直像に沿って、すなわち、そのスタート位置又はゼロ 位置を横断して直線的に１時には第１の駆動軸に沿って１時（（は第２の駆動軸 に沿って、そして１時には上記両主軸に沿う複合駆動によって生じる上記両主軸 とは相違す上世の軸又は直紐に沿って不一、動する。滑板の実際の運動は、典型 的にはランダム（無規則）な又は正弦波であって、所望のテスト運動パ６ ターンを提供すべ（無規則に加算又は減算して得られる本発明装置への信号入力 によって決定される。ここで。

”駆動軸”とは、滑板の運動のスタート位置である２つのシェーカーの最初の縦 軸、すなわち主軸を表わすとともに、滑板に加わる２つの縦方向の駆動力が加わ った結果生じる運動の第２の軸を表わすものとする。滑板の、駆動軸に対するね じり抵抗により、滑板の駆動軸に対する運動は制限され揺動運動が阻止され且つ その可撓性により、主軸及び第２の軸にａう全ての直線運動は可能となる。

第１図〜第５図を詳細に検討すること圧する。図面には１本発明に係る振動スク リーンユング装置が全体的に番号１０を付されて図示されている。滑板１２は、 シリンダ状の花こう岩屑板支持ブロック１４．更に詳細に述べれば、支持ブロッ クの頂面と同一平面内において、支持ブロックに対して相対的に全ての方向に滑 動可能となるように支持表面上に維持された油の薄膜１６上に支持されている。

滑板は、従来と同様のものであり、典型的には軽量で極めて硬（・マグネシウム 金属より製造される。

テストピース（図示されていない）は、本発明によれば２軸方向に振動テストを 行なうべく滑板１２に固定される。滑板１２の運動は、後述する新規な可撓手段 １３によって特定の軸に対して制限されている。

振動シェーカーの形態をとる２つの振動手段が、相互に直角に且つ滑板端縁１２ ａ、１２ｔ：＋に固定して配置されている。滑板１２によって片持ち梁状如支持 さゎたシェーカーの電機子の構造は新規なものであり、以下、説明する。初めに 、シェーカー１８．２０は、相互に直角な一連の水平、駆動棒２４．２６の如き 手段によって、滑板１２に連結されている。この１駆動棒２４．２６も、また通 常マグネシウム金属からつくられており、各々、滑板端縁１２　ａ、１２ｂが挿 入されるスロット３２を画成する突出フランジ３０を有している。駆動棒２４． ２６は、アダプタ７４に連結するためのボルト３３を挿入する水平孔３１を有し ている。一連の垂直方向に配置された長寸のボルト３４が、駆動棒の上下フラン 、＞３０及び滑板１２の整合孔３５を貫通して延びており、それにより、／Ｖ！ 板１２を、駆動板２４．２６に五ｉ実且つ強固に固定している。

滑板支持ブロック１４は、剛板にコンクリートを流し込んでつくった土台３８の 上て載置せしめられている。

３本の柱４０かコンクリート土台３８に埋設されており、該土台より上方に突出 している。これにより、支持ブロックを土台から間隔をあげて支持し、支持ブロ ックの水平を容易に達成し、且つ支持ブロックの下方に油リザーバ４１を提供す るようになっている。油供給パイプ４２は、供給源４３から土台３８を通り、滑 板支持ブロック１４の中央表面まで延び、油ヲ共給して油薄膜、すなわちフィル ム１６を形成する。油が支持ブロック１４の側壁に過度に落ちるのは、可撓性の シリンダ１３によって制限されており、それにより、油の液面は第４図に図示さ れている如く４１ａの位置になされている。油は、再循環のために油リターンパ イプ４４によって戻される。

使用中、油薄膜テーブルにユニークな形態で囲まれているため、本発明装置は、 後述する如く本装置上方の油の汚染を防止することができる。

本発明の特徴点は、滑板１２がシェーカー１８によって第１の方向に且つ第１の 方向に対して直角な第２の方向にシェーカー２０によって同時（・Ｃ２軸、駆動 されろ点である。この運動は、共通の又は別々の信号供給源から独立してランダ ム信号入力を各シェーカーに送ることによって達成される。滑板１２の２軸、駆 動によって生じる顕著な結果は、各シェーカーをその特定の方向には他方に対し て従属するようにすることによって達成される。

第１図〜第３図を参照すると、シェーカー１８．２０は同一の構成を有しており 、各々直方体形状の金属ハウジングを含んで構成されている。このハウジングは 、それ自身ユニークなものであり、背壁５０、頂壁５２．底壁５４及び正面壁５ ６を有しており、さらに後述する理由により拡大した開口５８を有している。正 面壁５６は。

開口５８が存在していることによる磁束補足のため背壁よりも幾分厚くなってい る、外側極部片３７と一緒になって磁束経路を画成するハウジング壁５０〜５６ 内には、協働する電磁コイル及び電機子装置が、前述した１駆動／従属操作でき るようにしてユニークな構成で設けられている。外側頂部片は、電機子６６の横 方向両端まで延びており、その位置で、電機子は、例えば単一軸方向のみの振動 が要求された時に、横方向に移動できないようにされる。外側極部片５７かこの ように１＋子Ｃ６の端部をおおうと入力のゲインは約１５％となるー　シェーカ ーの全ての部品は、簡単に入手し得る在車■料から容易に製造し得るものであり 、シェーカーの製造コストを安くすることができる。特に図示された実側汐１」 の場合には、全ての部品は基本的に直方体形状をなしているため、λ造コストは 低（なる。更に、装置内における空気循環か充分（Ｃ行なわれているため、操作 温度を低くすることができるとともに、効率を向上させることができる。

各シェーカー１８．２０Ｙよ、シェーカーの察細、すなわち、駆動軸１８ａ、２ ０ａに沿って延びる中央極板５９を有しており、一対の後方電磁コイル６０ｊま 中央極板の面に交差する垂直面内に配置されている。一対の垂直面内に存在する 前方電磁コイル６２が、それぞれシェーカーの縦！Ｆｉｌ］　１８　ａ、２０ａ に沿って後方電磁コイル６０から間隔をあげて設けられている。前方′電磁コイ ル６２は、中央極板５９の面と交差しており且つ後方電磁コイル６０の面と平行 になっている。電磁コイル６０．６２は。

図示されている如く、中央極板５９がその内部に配置されるようになされた中央 直方体形開口６４を有するよって巻かれたワイヤコイルから構成される装置１０ 電機子６６は、一対の後方及び前方電磁コイル６０゜６２に平行な垂直面内にあ り、且つそれらの間、すなわち１両電磁コイル対の縦方向のスは−スによって画 成された中間空間部に位置決めされている。電機子６６は、また、両電磁コイル 対の間に配置された中央極板５９の周囲を取り囲んでいる。電機子６６の主軸が 、それぞれシェーカーの縦軸１８ａ、２０ａを横断して延びていることに注意を 要する。また、電機子６６は、電磁コイル６０．６２によって完全に取り囲まれ てはいない。これは、ソレノイドタイ　プの従来の電磁コイル／電機子装置に比 較して不利益になるよう錯覚を生じさせるが、単位入力あ１こりの出力は極めて 驚（べき効率となっている。

電機子６６は、金属フレーム７０等の仮の又は永久的なマンドレルの端部に巻か れたワイヤ６８から構成されており（第３図参照）、その内側及び外側表面は、 図示されている如く同心円状の合同な長方形となっている。

このように巻かれた後、ワイヤは永久的接着のためにエポキシ樹脂によって接着 されろ。被覆されたフレーム７０は、ワイヤ６８を中ノし・決めするほぼ長方形 形状を有する開口を画成する。

電機子フレーム７０は、第３図に図示されている如きスカー　ト状延長部７２を 有することが好ましく、この延長部は、ワイヤで被優されたフレーム部分から薄 （、・端縁７３まで１項斜状に前方に向って突出している。スカート−状延長部 ７２は長方形断面を有しており、後ヨホするアダプタ７４を介して駆動棒２４． ２６を電・ツ子６６に取り付けるのに使用する。

駆動棒２４．２６は、前述した長寸のボルト３４によって滑板１２に強固に連結 される。シェーカー１８．２０の作動に応答する滑板１２の撮動は、電機子６６ の運動。

さらに特定すると、シェーカーの縦軸１．８ａ、２０ａに沿うフレーム７０及び スカート状延長部７２の運動に応答して起こされる。、町１動棒２４．２６は、 一般的に電機子７２とは大きさが異なるため、中間部材、すなわちアダプタ７４ が使用される。スカート状延長部７２は、アダプタ７４の後方部分と一致してお り、そこに形成された閉鎖した又は開口した面スロット７６と嵌合する。スカー ト状延長部７２は、エポキシ樹脂等により、このスロット７６にセメント付けさ れろ。アダプタ７４の前方部分は、駆動棒２４．２６のボルト３３の／ξターン にほぼ整合するように比較的厚壁に且つ太き（なされている。

長方形断面を有しているため、アダプタ７４は中央成板５９、電機子６６、電磁 コイル対６２の開口６４．そして、駆動棒の孔３１の全体的なパターンと一致し ている。

アダプタ７４は、駆動棒取付ボルト３３を螺着する一連のタップ孔７８を有して おり、それにより、駆動棒をアダプタ及び電機子６６に取り付ける。ボルト３３ は、縦方向のみならず横方向の運動を行ない得るように、さらに電機子６６と協 働してかかる２つの複合運動を行ない２ 得るように比較的大きくされた（図面においては誇張しである）シェーカーハウ ジングの正面壁５６に形成された孔５８を貫通して延びている。

前述した如く、シェーカー１８．２０は、滑板１２を第１のシェーカーの縦軸１ ８ａと、第２のシェーカーの縦軸２０ａの両方に沿って駆動し得るように配置さ ｎている。シェーカー１８，２０は、直角に配置され且つ共通の滑板１２に相互 に動かないように連結されている。

従って、各シェーカーが他方の駆動を容認することができるような工夫が必要と なっている。前述し且つ図示された中央極板５９．電機子６６、電磁コイル６０ ．６２のデザインを長方形にしたことにより、第２のシェーカー２０の１Ｍ子は 、第１のシェーカー１８により滑板１２が１駆動されたとき、それに応答して横 方向に移動可能とされる。逆に、第２のシェーカー２０の駆動により第１のシェ ーカー１８は横方向に移動可能とされる。従って、シェーカー１８．２０は、そ れらの縦軸に沿って１駆動し、横方向には従属されろ。

第３図を参照すると、電機子６６、アダプタ７４及びボルト３３は、シェーカー １８．２０内においては支持されていないことに注意を要する。本発明装置及び 方法のさらに他の顕著な特徴は、電機子６６がその内部に発生された電磁場内に 置かれるばかりでなく、各シェーカーに対してフロート関係（空中に浮いて自由 に動き得る状態）となる点である。本発明装置におし・ては、滑板１２は駆動棒 ２４．２６．ボルト３３及びアダプタ７４を介して電機子６６を片持ち梁状に支 持している。電機子のかかる取付方法は、電機子６６の運動における従属性にお ける横方向の運動に極めて重要な横方向の運動性を提供する。もちろん、このコ イル６０．６２は、図示されている如く例えば開口５８の位置で横方向に自由に 運動し得るような形状にされている。

前述した如く、滑板１２は油薄膜１６の上に載せられている。油薄膜１６の表面 張力は、滑板１２が電機子６６によって伝達された独立の信号入力に応答する時 、滑板１２が回転運動以外の高速の運動を行なっているにもかかわらず、滑板１ ２の水平面内以外の運動及びシェーカー１８．２０の力による持ち上がりを防止 する役割を果たす。後述する如く、滑板１２を可撓性シリンダ上に円形に載置す ることによって、滑板１２が一方又は他方に偏よることを防止され、従って、そ のようにして油薄膜の表面張力の弧少を防いている。滑板の偏よりは。

電機子６６が極板５９に衝突する即因となる。

回転運動が防止され且つ滑板１２にかかる力が軸方向１８ａ、２０ａの直腸運動 に変換されるため、滑板の運動の制御か必要である。ここで、滑板１２は、支持 ブロック１４上の油薄膜１６上に載せられており且つ所望の軌跡に沿って全ての 方向に運動できるよう全ての側面が拘束されていない点に注意されたい。電機子 Ｃ６は滑板１２から片持ち梁状に支持さ第１．ており且つシニーカー１４ １８．２０内には滑板の軸方向の運動を妨げるものは全く存在しない。これは、 直線方向の運動、すなわち、揺動運動でないことを意味するものである。尚、滑 板それ自身は、直線運動をするように制限されていなければならない。

滑板１２の直線運動への制限は、ここでは可撓性手段、例えばシリンダ１３を用 いることによって達成される。

このシリンダは、滑板の中央縦軸を中心とする回転運動を防止するだけでなく直 線状の運動を行なわせるものである。第４図において、支持ブロック１４はシリ ンダの形態とされたねじり手段によって四周を取り囲まれている。このシリンダ としては、例えば、工業にルト、ベロー、又は対称的な若しくは非対称な構造体 に使用されるタイプのねじり岡１ｊ性をもつナイロン・プラスナックスリーブ９ ０が存在する。このシリンダは、その縦軸（図に直角な方向）に沿っては屈曲可 能であるが、ねじりに対しては大きな抵抗をもっており他端に対して一端がねじ れないように頑強に抵抗する。一端から他端に加えられる回転運動のエネルギは 、直線方向の力に変換される。

従って、回転運動は、スリーブの直緋的な屈曲運動となる。屈曲した後、スリー ブ９０）ス滑板１２をその中央位置に復帰させるような傾向を有している。

第２図及び第４図に図示されている如く、スリーブ９０は、スリーブの上端位置 でその全周にわたって一連の締結手段９３によって、ホース用クランプを滑板に 固定されたフランジリンダ９２に固定するようにして滑板１２の下側に固定され ている。一方、スリーブ９０の下端は、第２のホース用クランプによりスリーブ をフランシリンダ９４に締め付けることによって土台３８に固定されている。滑 板１２が回転運動を起こすような負荷がスリーブ９０に加えられたものとする。

スリーブ９０は、ねＬり剛性が大きいために極めて大きなねじりノ抵抗を有して いる。従って、スリーブは、受けた全てのモーメントをスリーブの屈曲によって その縦軸に沿う直線運動に変換することとなる。

スリーブ９０は、その頂部及び底部において液密に固定されている。従って、油 薄膜１６からの油はスリーブ内に閉じ込められており、作業員や近（の設備が油 に汚染されることはない。さらに、前述した如く、滑板１２のためのリング／ス リーブ取付システムにより、均一な円形支持が可能となっているため、所望の油 薄膜１６が長期にわたって消失することが防止され、滑板の一部又は他の部分の 下側（（おける滑板を安定させる表面張力が維持され、そして、滑板のバランス の悪化が防止される。

次に使用方法について説明する。製造プロセスの最終段階において評価を受ける べきテストピースを滑板の上に載せ、ランダム信号をシェーカーに入力する。各 シェーカーは、滑板をその縦軸に沿って駆動する。滑板によってシェーカーの電 機子が相互に連結されているため、一方のシェーカーの電機子は、他方のシェー カーそれ自６ 身も滑板を駆動している状態においても、該他方のシェーカーを横方向に運動さ せる。逆の場合も同様である。

滑板のためのねじり支持ｔ／ｃより、回転運動は直線運動に変換され、テストピ ースを非回転状態に維持する。従って、テストピースは、２軸運動を受けること になり、確実に欠陥製品を製造するべくスクリーンユングを行なうことができる 。

以上の如（、本発明によれば、共通の滑板を同時に駆動する２つのシェーカーと 、２軸運動を行なうように駆動する相互に従属な電機子であって横方向に自由に 運動し得るように滑板がら片持ち梁状に支持された電機子、そして、滑板の回転 運動を阻止するねじり剛性の大きな滑板用の支持体とを含んで構成されたスクリ ーンユング振動シェーカー装置か提供されろ。

２ 第５図　第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）剛い滑板に支持されたテストピースから欠陥製品をツクルスクリーンニン グテストのための振動スクリーンユング装置であって、該滑板を同一平面内に存 在する２つの軸方向に駆動する振動手段と；そして、上記滑板を、駆動軸方向の みの運動に制限する上記振動手段から離れて設げられた手段と；を含んで構成さ れてなる振動スクリーンユング装置。 （２）請求の範囲第１項に記載の振動スクリーンユング装置において、上記振動 手段が、上記滑板に角度関係をもって離れて連結された第１及び第２の振動シェ ーカーから構成されてなり、それにより、上記滑板を上記２軸方向に駆動するよ うにしてなる装置。 （３）請求の範囲第１項に記載の振動スクリーンユング装置において、さらに硬 い滑板を含んでおり；上記制限手段が、上記滑板を上記、駆動軸方向に自由に運 動し得るように制限する上記滑板に固定されたねじり手段から構成される装置 （４）請求の範囲第３項に記載のスクリーンユング装置において、さらに、上記 滑板を全方向に滑動可能に支持するための滑板支持ブロックを含んで構成されて なる装置。 （５）請求の範囲第４項に記載のスクリーンユング装置において、さらに、上記 滑板支持ブロックを支持するための土台を含んでおり；そして、上記ねじり手段 は、上記滑板の上記土台に対する回転運動を阻止すべ《上記滑板及び上記土台に 固定されてなる装置。 （６）請求の範囲第１項に記載のスクリーンユング装置において、上記ねじり手 段が、上記滑板及び該滑板から離れた位置で上記土台に固定されるようになさ牡 た縦方向に屈曲可能で、ねじり方向に剛いねじり部材から構成されており；そし て、上記ねじり部材は、上記滑板のその中央縦軸を中心とする回転運動を阻止し つつ５該滑板をその駆動軸方向に直線運動できるように構成され且つ配置されて なる装置。 （７）請求の範囲第６項に記載のスクリーンユング装置において、上記振動手段 が、２軸振動する上記滑板の水平延長位置を中心として角度関係をもって配置さ れた第１及び第２の振動シェーカーから構成さ汎ておつ；そして、上記ねじり部 材は，上記位置内に垂直に且つ該滑板の下側に固定して配置されてなる装置。 （８）請求の範囲第７項て記載のスクリーンニング装置において，さらに、上記 振動位置内Ｇ（水平に配設された剛い滑板を含んでおり；上記ねじり手段１、エ シリンダ形状を有しており；そして、さらに上記シリンダ状ねじり手段を上記滑 板の下側に円形状の固定する手段を含んで構成されてなる装置。 （９）請求の範囲第８項に記載のスクリーンユング装置（（おいて、さらに、上 記滑板よりも短かい水平長さを持ち且つ上記滑板と支持接触するその表面に油傳 膜供給１９ 源を有する滑板安打ブロックを有しており、それにより、上記滑板は上記振動位 置内で全ての方向に滑動可能に支持されてなり；そして、上記ねじり部材は上記 支持ブロックの四周を取り囲んでなる装置。 （１０）請求の範囲第９項に記載のスクリーン二ンダ装置において、上記振動シ ェーカーが相互に直角になされており；そして、さらに、上記滑板支持ブロック を支持するための土台と上記ねじり手段シリンダを下側シリンダ端で上記土台に 固定する手段とを含んでおり；上記ねじり手段シリンダは−その上端滑板に固定 されており：それにより、上記滑板の上記２軸方回のいずれかへの往復シェーカ ー駆動は、上記土台と上記滑板との間に設けられた上記ねじり手段シリンダの、 縦方向の屈曲により適応され、一方、上記滑板を上記シェーカーによって２軸方 向に同時に駆動することによって生じる該滑板の回転運動は、上記ねじり手段シ リンダのねじり剛性により任意の滑板駆動軸方向への直線運動へ変換されるよう にされてなる装置。 （１１）電磁コイル手段と、滑板によって上記電磁コイル手段に対して相対的に 支持しつつ該滑板を駆動する電機子と、を含んで構成されてなる振動シェーカー 。 （１２）　請求の範囲第１１項に記載の振動シェーカーにおいて、上記電゛ｉ、 子が、該電機子に連結された滑板を２軸振動させるため、上記電磁コイル手段の 体内にぢいて、縦方向の移動可能とされているとともに横方向への自由度を持つ ようにされてなるシェーカー。 ０３）請求の範囲第１１項に記載の振動シェーカーにおいて、上記電機子が、該 電機子の縦移動方向に対して法線方向を示すように配置されたほぼ長方形の断面 を有するように巻かれたワイヤから構成されてなるシェーカー。 ０（１）請求の範囲第１３項に記載の振動シェーカーにおいて、さらに、上記ワ イヤの巻いたものを上記所定位置に支持しておく電機子フレームを含んで構成さ 才ｔてなるシェーカー。 （１５）請求の？Ｎｑｍ１４項に記載の振動シェーカーにおいて、上記電機子フ レームは、はぼ長方形形状の開口を画成しており；そして、上記ワイヤの巻いた ものは、上記フレームの内側及び外側表面上に縦方向に同心状の長方形となるよ うに延びてなるシェーカー。 ０６）請求の範囲第１４項に記載の振動シェーカーにおいて、上記電磁コイル手 段が、上記電機子と同一の形状でそれよりも大きなほぼ長方形の開口を画成する ワイヤコイルから構成されてなるシェーカー。 （１７）請求の範囲第１４項に記載の振動シェーカーにおいて、さらに、上記電 機子フレームを滑板駆動棒に片持ち梁状に連結するための手段であって、上記フ レームと上記、駆動棒との間に設けられたアダプタからなる手段を含んでおり； そして、上記電磁コイル手段は、上記電機子フレームと上記滑板、駆動棒との間 シζおいて上１ 記アダプタの周囲を取り囲むワイヤコイルを含んで構成されてなるシェーカー。 θ８）請求の範囲第１７項に記載の振動シェーカーにおいて・上記連結手段が、 さらに、上記ワイヤの巻いたものを超えて上記電機子フレーム上までの延びるス カート状延長部と、上記アダプタに形成されたスカート状延長部受は入れ手段を 含むアダプタを上記フレームに固定する電機子フレーム固定手段とを含んで構成 されてなるシェーカー。 ０９）請求の範囲第１８項に記載の振動シェーカーにおいて、上記スカート状延 長部は長方形で計り薄い端縁で終わっており；そして、上記アダプタは、フレー ムの上記薄い端縁を受け入れるように補合的な長方形形状になされているシェー カー。 （２０）請求の範囲第１８項に記載の振動シェーカーにおいて、上記アダプタは 、駆動棒支持ボルトを受け入れろようにされた一連の長方形に分布さｎた１駆動 棒ボルト用の孔を形成してなる７エーカー。 （２Ｉ）請求の範囲第２０項に記載の振動シェーカーにおいて、さらに、上記ア ダプタ及び上記滑板にボルト止めされた駆動棒を含んで構成されてなるシェーカ ー。 （２２）請求の範囲第１１項に記載の振動シェーカーにおいて、上記電磁コイル 手段が、上記電機子の移動方向である縦軸を横断するように配置され且つ該縦軸 に沿って上記電機子と作動協動関係をもって相対的に間隔をあけて設けられた前 方及び後方のほぼ長方形形状のワイヤコイルから構成されてなるシェーカー。 （２３）請求の範囲第２２項に記載の振動シェーカーにおいて、上記各前方及び 後方コイル手段が、一対の同様のワイヤコイルから構成されてなるシェーカー。 （２４）テストピースを支持する滑板を２軸振動させる振動シェーカー装置にお いて、上記装置が、第］の電磁コイル手段と、第１の軸の縦方向に移動可能であ って上記電磁コイル手段の体内の第２の軸方向に横方向の自由度を有する第１の 電機子とを含んでなる第１の振動シェーカー；そして、第２の電磁コイル手段と 、第２の軸の縦方向に移動可能であって、上記第２の電磁コイル手段の体内の第 １の軸方向に横方向の自由度を有する第２の電機子とを含んでなる第２の振動シ ェーカー；を有してなり、上記電機子は、それらの各電磁コイルによって独立的 に駆動さｎｌそれにより、電機子に連結された滑板は滑板との支持関係をもちつ つ同時に２軸方向に駆動されるようにされてなる振動シェーカー装置。 （２５）請求の範囲第２４項に記載の振動シェーカー装置において、上記各電機 子；ま、該電機子の移動方向であるその縦軸に直角に配置さユたほぼ長方形の横 断面を有するワイヤの巻いたものから構成される装置（２Ｇ）請求の範囲第２５ 項に記載の振動シェー　カー装置２でおいて、上記各電機子は、開Ｅｌとほほ長 方し！Ｊ）金男フ２３ レームとを含んでおり；そして、上記各ワイヤの巻いたものは上記フレームの内 側及び外側表面上に同心状の長方形となるように縦方向に延びてなる装置。 （２７）請求の範囲第１１項に記載の振動シェーカー装置において、上記各電磁 コイル手段が、上記電機子の移動方向であるその縦軸を横断する平面内に位置す るほぼ長方形の開口を画成するワイヤコイルを含んで構成、されてなる装置。 （２８）請求の範囲第２７項に記載の振動シェーカー装置において、さらに、各 シェーカーのため、上記電機子フレームを上記滑板に片持ち梁状に連結するだめ の手段であって、滑板駆動棒と、上記フレームと上記、駆動棒との間に固定され たほぼ長方形の横断面を有するアダプタと、上記ワイヤの巻いたものを超えて薄 い端縁で終わる上記電機子フレーム上の長方形のスカート状延長部と、そして、 上記フレームのスカート端縁を受け入れるように上記アダプタの面に形成された 補合的な長方形開口からなるスカート状延長部受入手段を含んでなる上記アダプ タ上の電機子フレーム固定手段とを含んで構成されており；そして、上記電磁コ イルの長方形開口は、上記電機子フレームと上記滑板駆動棒との間の周囲を取り 囲んでなる装置。 （２、特許請求の範囲第２８項に記載の振動シェーカー装置において、上記スカ ート状延長部の開口と対向する上記アダプタに、上記駆動棒支持ボルトを受け入 れるようになされた一連の長方形に分布された駆動ボルト孔が形成されてなる装 置。 （３０）請求の範囲第２９項に記載の振動シェーカー装置において、上記第１及 び第２のシェーカーは相互に直角に配置され且つ共通の滑板を有しており；そし て、上記第１及び第２の駆動棒は、上記滑板の直交する両側面にそれぞれ連結さ れた第１及び第２のアダプタにボルト止めされており；そして、上記滑板は、上 記第１　′及び第２の電機子を２軸振動するように支持してなる装置。 ０１）請求の範、＠第３０項に記載の振動シェーカー装置において、さ、らに、 上記電磁コイル手段を画成し、上記電機子の移動方向である縦軸に直角に配置さ れ且つ該縦軸に沿って上記電機子と作動協働関係をもちつつ相互に間隔をあけて 設けられてなる前方及び後方のほぼ長方形のワイヤコイル；そして、上記シェー カー装置を取り囲むハウジング；をきんで構成されてなり、上記ハウジングは、 上記電機子の横方句への移動時、上記駆動棒ボルトを我害しないように通過して いる装置。 （３２）請求の範囲第２４項に記載の振動シェーカー装置において、上記滑板を 上記駆動軸方向への運動に制限するための手段をさらに含んで構成されてなる装 置。 （３３）請求の範囲第３２項に記載の振動シェーカー装置において、上記制限手 段はねじり手段であり；そして、上記シェーカーは、上記滑板を上記駆動軸方向 に駆動５ するため、上記滑板に角度関係をもたして独立して連結されてなる装置。 （３（１）請求の範囲第３３項に記載の振動シェーカー装置ておいて、さらに剛 い滑板を含んでおり；そして、上記ねじり手段は、滑板の運動の自由を上記駆動 軸に限定するように上記滑板に固定されてなる装置。 （３５）請求の範囲第３４項に記載の撮動シェーカー装置において、さらに、上 記滑板を全ての方向に滑動となるように支持する滑板支持ブロックを含んで構成 されてなる装置。 （３Ｇ）請求の範囲第３５項に記載の作動シェーカー装置において、さらに、上 記滑板支持ブロックを支持するための土台を含んでおり；そして、上記ねじり手 段は、上記土台に対して上記滑板が回転運動を起こさないように該土台及び該滑 板に固定さｎてなる装置。 （３カ　請求の範囲第３６項に記載の撮動シェーカー装置において、上記ねじり 手段が、上記滑板及び該滑板から離れた位置で上記土台に固定されるようになさ れた縦方向に屈曲可能で、ねじり方向に剛いねじり部材から構成されてなり；そ して、上記ねじり部材は、上記滑板のその中央縦軸を中心とする回転運動を阻止 しつつ、該滑板をその、駆動軸方向に直線運動できるように構成され且つ配置さ れてなる装置。 （３８）請求の範囲第３７項に記載の振動シェーカー装置において、上記シェー カーは、２軸振動する滑板の水平に延びる位置に直角に配置されており；そして 、上記ねじり部材は、垂直に且つ上記滑板の下側に固定して配置されてなる装置 。 ０９）請求の範囲第３８項に記載の振動シェーカー装置において、上記剛い滑板 は上記振動位置内に水平に配置されており；上記ねじり手段はシリンダ状？なし ており；そして、上記ねじり手段内において上記滑板に固定された環状リングと 、上記ねじり手段を上記リングに固定する外部クランプとを含んでなる手段が、 上記シリンダ状のねじり手段を上記滑板の下１１１ｊに円形状に固定してなる装 置。 （４０）請求の範囲第３９項に記載の振動シェーカー装置において、上記滑板支 持ブロックは、上記滑板よりも水平方向に短かい長さを有し且つその表面に上記 滑板と支持係合を行なうための油薄膜供給源を有しており；それにより、上記滑 板は上記撮動位置において全ての方向に滑動可能に支持されるようになされ；そ して。 上記ねじり手段は上記支持ブロックを油保持関係を保ちつつその四周を取り囲ん でなる装置。 （４Ｉ）請求の範囲第４０項に記載の振動シェーカー装置において、さらに、滑 板支持ブロックを支持するための土台と、ねじり手段シリンダ？下側シリンダ端 で上記土台に固定する手段とを含んでおり；上記ねじり手段シリンダは、その上 端で上記滑板に固定されており；それにより、上記滑板の上記２軸方向のいずれ がへの２７ シェーカーの駆動は、上記土台と上記滑板との間に設けられた上記ねじり手段シ リンダの縦方向の屈曲により適応され、一方、上記滑板を上記シェーカーによっ て２軸方向に同時に駆動することによって生じる該滑板の回転運動は、上記ねじ り手段〉リンダのねじり鳳性により任意の滑板駆動軸方向への直線運動へ変換さ れるようにされてなる装置。 （４ａ　テストピースを支持する滑板を２軸振動させる振動シェーカー装置にお いて、滑板；ハウジングと、該ハウジングの内部に水平に配置された中央極板と 、２対の間隔をあけた長方形電磁コイルと、上記２対のコイルの間に設げられた 上記滑板から片持ち梁状に支持された第１金属フレーム支持ワイヤ電機子であっ て、第１の軸方向に移動可能で且つ上記２対の電磁コイルの間の体内において第 ２の軸方向に横方向の自由度をもつ電機子と、を有してなる第１の振動シェーカ ー：電磁コイル及び電機子に関しては第１の振動シェーカーと同一の構造を有し ており且つ該第１の振動シェーカーに対して直角に配置され、従って、上記滑板 から片持ち梁状に支持されたその電機子は、上記第２の軸方向に移動可能である とともに、上記２対の電磁コイルの間において上記第１の方向に横方向の自由度 をもつ第２の振動シェーカー：そして、上記電機子を同時に且つ独立して２軸方 向に駆動したとき上記滑板の回転運動をねじり方向に抵抗力をかけることによっ て、該滑板を上記滑板駆動軸方向に優先的に案内、するねじり部材：を含んで構 成されてなり、上記コイル対及び電機子は、一連の間隔の平行な垂直平面内に位 置し且つ上記それら垂直平面内において上記極板を取り囲んでなる振動シェーカ ー装置。 （４３１請求の範囲第１項、第１１項、第２４項又は第４２項に記載の振動シェ ーカー装置において、さらに、上記シェーカーにランダム信号又は正弦振動入力 を入力し、それにより、電機子の縦方向の運動を制御する手段を含んで構成され てなる装置。 （４４）硬い滑板上に支持されたテストピースにスクリーンユングテスト、を行 なう方法において、上記滑板の運動を同一平面内の２軸方向にのみ（（制限しつ つ、該滑板を同時に該２軸方向に振動さセる行程を含んで構成されてなる方法。 （４５）　硬い滑板−上に支持されたテストピースにスクリーンユングテストヲ 行なう方法において、一対の電機子を上記滑板により片持ち梁状に支持しつつ、 該滑板を該一対の電機子ＩＣよって同時に同一平面内り」２つの軸方向に振動さ せる行程；を含んで構成さｎてなる方法。 （４６）請求の範囲第４４項又は第４５項に記載の方法において、さらに、上記 滑板をその第１の側面から付勢して上記軸の一方に沿って駆動する行程；上記滑 板の第２の側面から付勢して上記第１の軸に対して所定の角度関係を有する第２ の軸方向に駆動する行程；そして、９ 上記駆動力による上記滑板の回転運動を阻止して、該滑板の運動をその駆動軸方 向のみに限定する行程；を含んで構成されてなる方法。 （４７）　請求の範囲第４４項又は第４５項に記載の方法において、上記滑板が その許されている運動方向に運動している間、縦方向に屈曲可能なねじり部材を 介して該滑板を上記土台に固定維持する行程；を含んでおり。 上記滑板駆動力は回転運動を妨げるように作用してなる方法。