JPS5949297A - 精密摺動部品 - Google Patents

精密摺動部品

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Publication number
JPS5949297A
JPS5949297A JP16033982A JP16033982A JPS5949297A JP S5949297 A JPS5949297 A JP S5949297A JP 16033982 A JP16033982 A JP 16033982A JP 16033982 A JP16033982 A JP 16033982A JP S5949297 A JPS5949297 A JP S5949297A
Authority
JP
Japan
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sliding parts
coated
precision sliding
precision
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP16033982A
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English (en)
Inventor
Takeshi Yajima
矢島 猛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP16033982A priority Critical patent/JPS5949297A/ja
Publication of JPS5949297A publication Critical patent/JPS5949297A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D

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  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Lubricants (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明し[、詐i1j!)1耐摩耗精密摺動部品に係ゎ
シt1!rに、J’+ty l1ilJ +′Xlt品
のイlソ面をあらかじめピッカス硬度200以下の軟質
金属−または合金で被樟した後、その表面に有機金属化
合物と同体旧情性微粒子からなる複合皮膜を形成せしめ
ることによって、潤滑性と耐摩耗性を付力した精密部品
に関する。
本発明の目的は、高度な潤滑性と耐摩耗性を有する皮膜
を精密摺動部品の全面もしくは摩擦括′動部分に形成す
ることによシ、完全無注油状態で駆動する精密機械、特
にアナログ水晶腕時Nt’を提供することにある。
従来、精留機械部品の摩擦摺動部には潤滑性と耐摩耗性
をH4して機械精度と機能を長期間維持するために刈滑
油が使用されてきた。しかし潤滑油を使用すると油の摺
動部以外への拡散や、低温下における潤滑能力の低下、
あるいは経時的な化学変化による潤滑能力の低下々と、
精密機械の精度と機能を長期間に渡って維持するために
不都合な点が多い。凍だ精密機械の組立の合理化、市場
における間欠的な注油作業の廃止など各方面でオイルレ
ス飼滑処理技術の開発が希求されている。
このような観点からこれまでも種々の固体潤fi?処理
が検討されてきた。例えば、MO82、WS2、グラフ
ァイト、BN、(eF)n、PTFEなどのイ;タオ分
末丘イJ(;虎バインダー、力1(イ:炎バインダーを
用いて1イメp;<li□j7 jji17玲i品の表
面に皮j模形IJ′v、する力沈、あるい&J−lii
: 9+金属やその合金を含む固体4″X、l l’t
’)性物’i’i、 1: 7hン1”< 、スパック
リング、イオンヲ°レーティングなどでJ・14膜形成
−する方法、あるいに、J−fl’i、l /’=件粉
末fK′(i・1四″1士たv」、軟/ilfメッキ中
に共析されて皮膜化する方法などが検n−1されている
寸だ、耐11−′粍性金向]−さする1」的で表面を窒
化する方法、あるいは、超硬質化合物を皮膜形成する方
′/)、:々どで表面硬化処理を施こずこともイ發d・
tされ/こ。しかし2、いづh−の方法も精密JiM動
部品に適用′ジる陽イ1厳しい摩(〈4条件、たとえば
低速高荷重使用糸fl ’F (アナrJグ水晶腕時泪
の表輪列の場合、佃IT−が約1. (1〜20 Rり
/鞄21周速度が0.08mJP’spc )での酊、
−1yHr;皮井シ\の寿命が、きわめて咬豆かいとい
う問題がある。寿命の知かい主な原因V」、潤滑イ・′
1′1勿′lノjの厚+u12とともり(,4習動部素
利との密着力が不)l” l〜でいることKよるハク^
1(摩旧ユ現象と考えることができる。さらに従来の4
″・り苗処理技術、とりわり【′(シと装置i・1″分
用いる方法においては、高価な装置19を心安とするこ
と、彼処1−11部品を冶J■、などに脱着−する二l
−1数が大きいこと、バッチ処理であるためt1産化が
&−1【かしいことなどコスト的にも不利である。以上
の欠点により従来の処理技術をN!、!I密]−ヘ(動
H++品に適用、実用化することは内端であつ/こ。
本発明はかかる従来技術の欠点を完全に解決するもので
、摺動部品の表面をあらかじめピッカス硬度200以下
の軟質全組または合金で被処した後、その表面に有機金
属化合物と周体旧情性微粒子を適当な有機溶媒に溶解、
分散せしめた処即液をコーティングし、加熱することに
より、高度な間溝性と耐摩f−L性を長期間に渡って有
する均一複合皮膜を形成したものである。これによって
従来の潤滑処理では得られなかった4′司滑性能を付−
リし、摩擦摺動部の完全無注油化を可能ならしめたもの
である。
本発明をさらに詳述す)1.ば、本発明のIPJ ?i
7処理は上記した様に2段階の工程から構成さえもてい
る。
第1図に示す様に、1段階は摺動部品1の表面に軟質金
属または合金皮11!22を形成する。この皮膜Q11
.21’3 +・;“7+1に形1+’νεさノLる固
体+I:’、1 ?i’i件微粒子4をつJii′IL
 lj皮J託C3のc1旧i1件との相乗作用1にこよ
り従凍の固f1、+l・’l ?i1i’iりでif:
イ(Iら)1.なかった1り□スf命の7tjtl 滑
性11(:をり′1穐(:、”1する効1.jiを5イ
jトる。
4’に′111金l・弓ゴ、た&、l−合金〕J< J
jIXの形成刃メツξ、祠7!f、 J?みll、 l
、−77:・I+ ;、K l’ll’l ノ((II
’i 、 FJf 用J、G? 境どI’F カラe’
8 jRf ルコ々がでさ/、。
、+、(rνE ’a′;Afi −i 1i: 1.
1合金の力杉成方法brr &:l−、メッキ法、イ1
:学t、’:: a’I/、1; A)Z)イ&J: 
物j’、’f! m’i 着ui lr トカアル75
:、蒸ノ、1メツ<11.−Jメト1j’71 ILL
なりメッキ法がJ’j?も有効な方法である。
2段階11の土(1!で形成するr、’i1体Hr4m
性微粉子4を分:’+’l した訓/it皮11!瀘3
 iに、イ]機金属化合物の1種4s t、 < v:
t 2神ノブ上と固体潤滑性微粒子及び適当なイI鎧I
容/J1.!、からなる処j甲7夜を、スプレー、浸i
責、スピンノー−などの一般的に用いらノしる塗布方法
でコープインク1〜だ後、加熱することによってイ!I
られる。用いらJシるイJ機金属化合物としでは、b亜
族丸・よび8族ノ1.素、3族a亜族、4族a ill
、i族、5族a llj JMの名元素のアルギル化合
物、アルコキシ化合物、アシレート化合物、キレート化
合物、ヂ]ヲート化合物などの1種もしくは2種以上の
混合物、反応物が使用される。これらの有機金属化α物
の中でA A (OC3H7)3r工n (”C<He
 )sなどの3族a亜族元素、Cn3Si(OCH3)
3.Si(OCH3)4,5n(oe4H,)4. P
b(OC3H17)4 t ’などの4族a亜族冗素5
b(OC2H5)5などの5族a亜族元素、C4H9C
00Ti(OC4H9)3  p Tj (OC8H1
7)4 rZr (OC4H9)4などの4族す亜族元
素の各アルコキシ化合物は比較的容易に皮膜形成り」能
な化合物ti(である。金属アルコキシ化合物は熱分)
す′「反応もしくは、加水分解反応と熱分解反応の併用
反応によって皮膜形成すると同時に、被処理部表面に存
在する水酸基(−OH)、吸着水と化学結合し、強固な
密着性が得られる。しかも金属アルコキシ化合物の種類
、組み合せ組成、濃度加熱条件を選択することによシ軟
質皮膜から硬質皮膜寸で均一厚みで付与出来る。一方、
これらの皮膜に分散させる固体II#j滑性微粒子とし
ては、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、窒化は
う素、黒鉛、ふつ化黒鉛、合成樹脂、金桟酸化物などか
あシ、こり、らの固体+l’ニー1滑性微粒子を114
独もしくは必要によって&J 211i 、I−j、−
にの組み合せで使用する。分散mlシよイ1゛(陵金属
化合物の総に;に対してIWtチ〜90 ttJt%の
R+i)I/flで使用さノLる。とhらの固体11−
″11渭性微粒子は精?「・: J!1′1j’I(υ
部品に使用されるためには、」法精度上出来る/こけ、
別かいものが良< O,0Lzt〜0.5μ範囲が使い
易い。以」−の各皮膜成分を溶解、分散せしめるイ)機
溶媒は各第111タイプが使用可能である。
例えば、メタノール、エタノール、イソプロパツールな
どのアルコール類、アセトン、メチルエヂルクトンなど
のケトン類、酢酸メチルエステル、酢酸ニゲ゛ルエスデ
ルなどのエステル類、ベンゼントルエン、キシレンなど
の芳香種類、塩化メチレン、1,1.1−)リクロルエ
タン、1,1.2−トリクロロ、1,2.2−トリフル
オロエタンなどのハロゲン化炭化水素類などが却独もし
くは混合さり、て使用さり、る。皮膜化反応全速進させ
る目的でそ1Lらの有機溶媒中に塩酸、硫酸、酢酸、リ
ン酸などの酸類を夕闇添加してもよい。処理液の組成、
濃度、加熱条件を選択することにより軟質皮膜から硬質
皮膜まで任意の厚みで形成可能である。それらの各条件
は被処理部の素利拐質寸法梢バ(、要求潤滑性能などに
よって仔Aに調整すihばよい。アナログ水晶腕時泪の
摩擦摺動部品に、11&用する場合は軟質金属棟たは合
金皮膜片帆I B〜4μ濶滑皮潤滑()、1μ心2μ程
度の範囲で、形成条件60℃〜250℃、5分〜120
分で形成すれは動摩擦係数μ= 0.05〜0゜30.
硬さは鉛部(i1J!度3〜9 以上の皮膜が得られ、
実用潤滑寿命は充分確保される。他の精密機械のM擦摺
動部についても適正な皮膜厚、形成条件の選択によって
良好な潤滑性能が得られる。
以下に実施例によp本発明を具体的に説明する。
実施例1 アナログ水晶腕時計の表輪列部品である、炭素(ill
、l (C: 1 % )製ローターカナをビッカース
硬度700に熱処理しその表面に下記条件で純金メッキ
を2μ厚み付ける。
〈浴組成〉 ノアン金カリウム   1.5〜3.75g/Aシアン
化ノlリウノ、       15q/βく1「れンへ
条f’l  > 浴  ’1.’、’、’、   m:     60〜
70   ℃′11j   流  密  度     
 2〜3     A/dtn、”茜時バ1部品金下配
組成の処理液fAlに宰況で2分間と、・”/+’CL
、しかる後20 (1℃で20分間焼成した。
〈処rIll沼iA1組成〉 γ−アミノプロビルトリエトキシノヲン  32γ−グ
リ/;′ルブロビルトリエトキシシヲン6yシトフェト
虎シシヲン           12iトソブトキシ
チクン           11(++   1+′
)   ?1.   (へ11.1勺 才1゛/ 仔 
0.0:(tt   )              
      4   yイソメ“ロヒルアルコール  
     100 n+J処叩さノl 75 r:+−
クーカナの皮膜厚は約300 OAであっ/(。又、該
処哩部品を200℃に加熱した後、(] ℃の/’Fi
水中に、りっ、冷し外観観察したところ全くクラックが
発生ぜJ“強固な密着性であることが6’6” gされ
た。この皮膜の摩擦係数を測定するために温子型油性摩
擦試験機用テストピースにローターカナと同様の処理を
行ない測定したところl!111(<係数μ=0.12
であった。このようなローターカナをアナログ水、晶腕
時R1に組込み32倍の加速で輪列耐久W・(ハ・力を
行なって、印加電圧1.58Vでの2番111に昼ける
出力トルク(以下出力トルクと略記)及び腕時計が駆動
を停止する限界印加電圧である作動停止電圧の経時変化
を測定した。その結果を第2図、及び第3図に示す。第
2図は、本発明の憫l;q処理を施ζしたローターカナ
を組み込んだ腕時言IAと金メツキ皮膜を施こしたロー
ターカナを゛ ボIIみ込んだ腕時=’l’ Bと潤滑
油((8Y N T −A−LUBE (スイス。メー
ビス社製)))をローターの上下納に注油した腕時計C
と、二硫化モリブデン′ff:1μ厚でスパッタコーテ
ィングしたローターカナを組み込んだ腕時計りを32倍
加速で駆n1カしたときの出力トルクの経時変化を定期
的に測定した結果を示す。また第3図は、同じく32倍
加速で駆動したときの作動停止電圧を定期的に測定した
結果を示す。第2図から明らかなように、ロータ−の1
1拍にl1曲し/、−、It!it時削Cの出力トルク
は、?7]−々に低1” l、 6イl”、 111a
″lから1、(1、槽水7(C(より低くなる。
また、−11de化にリフデンスバッタJIl:、4に
よるローターカッ(r−組みへんだI+’旧時バ11〕
シ士、その出力トルクが3 ’「H14’1から規格(
1h’、 f:下まわり以降急速に低下12でいる。−
・ツバ腕時11Bは腕時削C,Dに比べ面1久性が向−
1−シているが、約8年で規格価を下まわっている。そ
り、に対しで本発明による処理f:施とした腕”:J’
 F71’ A Iよ、10年経過時においても規格領
内にあシ格段に1iil久件のある潤滑処理であること
が(1rCI謬さ〕1.た。また、第3図に示さり、る
ように作動停市電1月−の変化においても、本発明によ
る潤汁1々ル」甲をその表1白1に/1iijこしたロ
ーターカナff:系11みtへんグど腕時IAは長期間
、初期水j%f4を維持するととが確、;、g4さノ1
.た。
実 力i1i  イ幻12 実h11;例1で使用し/こと同様のローターカナを下
ii1腎1を成の処理液113)に′?8温で4分間浸
漬し、しかる(g 60℃で10分間溶剤乾燥し、その
後に150℃で100分間焼成した。
〈処Jjlj液(B1組成〉 メチルトリメトキシシラン     32テトフエトキ
シシヲン       27デトヲブトキヒ鉛    
     J()7テトヲブトキシグータン     
  1v(CF)n(平均粒径0.05/Z )   
 3 PM、O8,(XV均粒径 0,2/A)   
  11’アセトン             50?
?+、#イソプロピルアルコール      50η最
上記処理液で処理されたローターカナの皮膜IIハま約
0゜5μmであった。また密着性も良好で、動ll1l
I擦係数はμ= 0.14であった。このようなロータ
ーカナを腕時計に絹み込み実施例1と同様に輪列耐久試
験を行ない、出力トルク及び作動停止君)、圧の経時変
化を観察した。その結果を202図及び第3図における
腕時言1.AIによって示す。図から明らかな様に本実
施例によるローターカナを組み込んだJFi1時言iA
’は、実施例1による腕時泪Aと同様、出力トルク、作
動停止電圧共に長期間にわたって規格値を完全にクリア
し、メインテナンスフリーな潤/i’i ’14「(7
1である仁とが41″11゛Mイできた。
′、)′ ノ/i’li 例 3 アナn り/Fy 晶11?t[l’+’l’ iil
’ (7) IrJJ J”;’、 !−部品テ;Aす
、Lz!<鋼(C: f)。5係)でHtノロ00に熱
処理したオシドリとカンヌキ押工の表面に下記浴成分、
?l’i’、着条flvこ」−りA7ノノギ皮j1−:
Iを3μ厚み形成した。
〈浴組成〉 シアン化fiilI!36 g/、L シアン化ノノリウノ、    60g/ルJ、ンづ −
3(・′  ツノ リ ウ j−15g/lシ< 7:
l’、 /1°Iイ:イノ1ン浴   粘、1.   
 B>1               20 〜40
℃〕′「11、  r+Ir、  ’A’:  lに 
              0−5〜4 ’y’ri
m、’ij’?’ll、’1バl 741を品で実ノ+
71i例2と同様の処理液fBlを用いて室部で4分間
7ぴ消?160 ℃で10分間溶剤を乾燥し、さらII
C2(1(1’C:で60分間焼成して皮膜を形成し/
こ。皮II・、”、IJiハJ 、j′l〕f1.5/
lであった。密着性及び動摩1、〆作り、9υ4を実M
Q例2と回/y;’な水準であった。このようυでi)
処理さノ1.た1;1−品分11!i! n、++泪r
(絹み込み巻真の引き出し、囲し込みにIB3 、iる
ツバす々わち切換力を測定した。腕時δ1の通常使用Φ
件下でに1.9月!″!えIパf(作を1年間に100
回行なわ力、るものとして、■()年分の切換え操作を
行なってその間の切換力の変化を第4図に示した。、A
は本実施例により処理した部品を組み込んだ腕時計の切
換力をi)箒t0Bは4”4滑油((SYNT−A−L
UBE(スイス。
メービス社製) )) ff、オシドリとカンヌキ押工
の係合部に注油した腕時泪の切換力の変化、Cは二硫化
モリブデンを1μ厚にスパッタコートし部品表面rC工
nメッキを下記メッキ条件で2 II J’:p施こし
た。
く浴組成〉 塩化インジウム    15〜(io Y/Aシアン化
カジカリウム 140〜160 V/A水酸化カリウム
    30〜40 f7Bデギストリン     3
0〜4()々r〈電着条件〉 浴  温  度         18〜25℃電流密
度     1.5−3.0A/dm2この部品を下記
組成の処理液1cIに室温で2分間(v’、 i’l’
l +/、しかZ、帥バ+)℃r1分間乾H: L/、
220℃C”3 fl ’)′)間ジ(111成しl”
・−3゜−′んIL 、l’d /lす((:)相成ン
′フトノノ1−X7・シフン     1572 % 
fllt f’;’2  水 ’/(i  を夜   
                     4  m
eイソノ°r1ビルアル−J−ル    40 ml&
11′「♂l化メチI/ン           (j
Oq++A(に  F  )  ?+、  (jJ’ 
、r/ブオrン仔 (ン、03it  )    3 
 y処1111皮肋のjす゛み&、L約O95μmで、
密着性は良好であつ/ζ。1lij+ j’r’看?1
4係数tt = 0.14であった。この部品を腕I1
.’、「汀i k(組み込み、実施例1,2と同様に3
2倍加I虫の輪列11i1久試験を行なった。その結果
、出力トルク、作動(Ji’+市71j、JITI共に
第2図及び第3図の腕時1=4i A 、 A’と同様
の傾向を示し、良好なか゛4滑性能をイJしていること
が確h4できた。
以上の各′、2’J Ar!+例でVl(べた様に、本
発明による潤r;1処、r:1j2 y14とした摺動
部否の潤滑特性は、長期間に渡って極めて安定したもの
であり、従来の潤滑処理技1t、jではイ1)らitな
かったものである。
実ノ+lji例では、1段階の軟%金属はAu 、 A
g 。
工nの各単一金属の場合について述べたが、Ph−8H
,Pb−Ag、Ag−工n、Au−Ag、Aフt−1t
l。
Au −11ttなどの2元合金、AlL−Ag−Ih
、 、 A?1.−Cu −Ztlなどの3元合金でも
結果は同様であった。
また、軟質金属または合金の形成方法も、メッキ法に限
定して実施例を述べたが化学蒸着法、物理蒸着法で形成
したものも結果は同様であった。
さらに、実施例ではアナログ水晶腕時泪の部品への適用
のみを述べたが、本発明によノ1.ば潤溺油の使用もし
くは他の固体潤滑処理?i:施こしている全ての精密機
器の摺動部品に適用可能であり、それによって従来の潤
滑処理の欠点である間欠的な注油の必要性、耐久におけ
る初期品質水準の劣化などの問題が完全に解決される。
精密機器としては、腕時計の他、カメラなどの光学機器
、カセットテープレコーダー、ビデオテープレコーダー
などの電子機器、あるいは医療機器、事務機器、端末機
器などが例として挙げられる。
本発明による高度な潤滑効果は、下地累月が金属に限定
されるものではなく、セラミック、高分1′−イ」料な
どあらゆる宰相に対しても得ら−h−るものである。
以−1のイ・トに本発明の泪’Ii 7:を処理K・¥
、j7密摺ii1百−1糧品にMli t−iことVC
よって各独イ′;7密機器のイ8頼イ/1が長期用1確
仙i?+J能となった。
【図面の簡単な説明】 2Jシ11゛スl&ユ、本発明によるII’、I滑処理
の概要図である。 】:括1動都晶の表m1の断面 2:軟t′[金属せたは合金の断面 3:本発明によるII’i、J渭皮jjQの障i i#
’i4:固体1’R’、l f”t°1件微粒子第2図
に[、本発明による。141.j 1lii・処理をが
(1こしたローターカナを組み込んだアナログ水晶腕時
削A。 A1と他の旧I′:″1処即%= Mliこしだロータ
ーカナを組み込ん/どアナログ水品腕時F?IBt C
r Dを32倍加叱で、駆動(、lこときの出力トルク
の変化を定期的に測51′した結果を示す。 A:本発明の丈/+111例1による処理を施としだロ
ーターカナを組み込んだアナログ水晶腕時削。 A I +、本発明の実施例2による処理をMliこし
たローターカナを組み込んだアナログ水晶腕時泪。 B:金メッキを2 /Z厚施こ[7たローターカナを組
み込んだアナログ水晶腕時計。 C:潤滑油をロークーカナの」二下納に注油したアノー
ログ水晶腕時刷。 D:二硫化モリブデンをスパッタコートしたローターカ
ナを組み込んだアナログ水晶腕時il。 第3図は、@2図と同様の潤滑処理を施こしたローター
カナを組み込んだアナログ水晶腕時則を32倍加速で駆
動したときの作動停市電用の変化を定期的に測定した結
果を示す。 第4図は、本発明における潤滑処■1をMljこしたA
シトリとカンヌキ押工を組み込んだアナログ水晶腕時泪
Aと、他のd’、’d滑処理をMliこしたオシドリと
カンヌキ押工を組み込んだアナログ水晶腕11′+’ 
HIB、Cの切換力の耐久による変化を定期的に測定し
た結果を示す。 A:本発明による処理を施こしたオシドリ、カンヌキ押
工を組み込んノ゛どアナログ水晶Mil ll’?言1
゜B:d’□’11:′)油をオントリ七カンヌキ押工
の係合部にt)、(lilシたアナログ水晶腕時泪。 〔::ニイ+ii:―化モリブデンをスパッタコートし
たA)1゛りとカンヌキ押工f:組み込んだアナログ水
晶腕時割。 以   上 出願人 株式会社開訪精工舎 fI圀77ZフZ7フー1 1才1#官 1Zj9ト  ”;67  8   q+o  (キン
径遇卑敏

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ’J−4r+’+iがA 7/、 、 A g 、エフ
    +、 、 P b 、 P b −S n 。 P b −A g 、 A g−一工n 、 A u 
    −A g 、 、A B−工n、 、 A 7t−A 
    g−工t1. 、 A u −Cu −Z n笠、ピッ
    カス硬度200以下の軟質金属または合金で被、y、l
    IQさノまた鞘盾11摺動部品の表面に、有機金属化合
    物σ) I 7Ijiもしくは2種以上と、固体潤滑性
    微粒子−、イil勲溶媒からなる処理液を二l−ティン
    グ1〜、力1洋1(することによって皮膜形成せしめた
    ことを唱f;tと一シーる精密’IiW動部品。
JP16033982A 1982-09-14 1982-09-14 精密摺動部品 Pending JPS5949297A (ja)

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