JPS5946833A - Mtf測定機のピ−ク検出装置 - Google Patents

Mtf測定機のピ−ク検出装置

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JPS5946833A
JPS5946833A JP15760082A JP15760082A JPS5946833A JP S5946833 A JPS5946833 A JP S5946833A JP 15760082 A JP15760082 A JP 15760082A JP 15760082 A JP15760082 A JP 15760082A JP S5946833 A JPS5946833 A JP S5946833A
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peak
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ram
circuit
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JP15760082A
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Inventor
Mitsuki Sagane
砂金 光記
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0292Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は愼与板、カメラ、ファクシミリ寺に使用される
レンズの結揮註能を評価するlvi T F測定機のピ
ーク検出装置fIiに関する。
複数の固体撮像素子を被検レンズの各測足点に対応して
設置したMTF測定イLにお(・て、軸上部I辺のMT
F値をンフトウエアで演算してアナログメータで表示す
るようにした合焦肌綴方法が%開昭56−2526号公
報により知らね、また光学オ8巻オ6号「丙体撮像累子
を用いたMTF測M4えt」1979年12月発行によ
り、―J上のMTF測定結果を電圧レベルVC変侠して
陰極線賃上に表示するようにした合焦方法が知らねてい
る。
しかしこねらの方法ではM ’T F 4Kをンフトウ
ェアで演算して表示するため、合焦調醗にかなり時間が
かかる。
本発明は上bcのような欠漬を改古し、ディンタルフー
リエ変快方式のMTF測−欽においてスリット1駅ノピ
ーク位−とピーク1直乞恢出することにより合焦調萱の
高速化?計り且つスリット1!のピーク位−検出により
被検レンズの遍心〇ミ出の尚連化も計ることができるM
 T l!’測’M 仏のピーク・L4.4出装置を)
是俳、することを目的とする。
以下図1川馨参照しなから不発ψ」について芙紬例−ケ
あけて説明する。
テンタルノーリエ変侯方式のiVI T F測定]l≧
は仮構レンズによって投影されるスリット像の]隅方向
元・適度分布(、陳像の光強度分布)をサップリング測
定して1411赦的にフーリエ変換する。このM T 
[”I11’l e、rl Tz−イ゛は勝1象の光強
度分布(LSI’)KサップリングyJl n 、ザノ
フ”リノグ出」隔6 lで゛ソ゛ノブリノグしtフーリ
エ変17透した。・47合その振幅iiB分がPJJT
 Fになることから、仝間周仮叔u9こズ・J応するl
νITFIVI (u ) Its、rl〔式千′為え
らねろ。
5in(πυa)n −1 Σ Lk k=0 ここ肴Lk  はサップリングさλまたi’i;J i
□へ」の光弓虫度で・あり1m−投影信子、a(、・ス
リット幅である。
また右辺の矛1′JMはスリット賦(j f?c刈する
袖WIA・、j(馨表わしており、スリット幅が、・、
4:Hl只V(小さい切合には力(I:イ児しi(僚る
1jl(jとf、f :4qが、−1反附二に1スリツ
ト甲晶か1.0μrd〜20 pm ’+’jj= I
fとなイ)7こめm ”、’La Aする苧1ij1周
を皮数Uにズ1応してあらかじめN1’ :V1゛ずべ
きILで゛ある。
3アJ図(1、テンタルフーリエ皮1.〜力式σ) M
 T F il:り足装置の一クリにおけ4)光学系ン
/」<ず。チャー1・月u幅5μm〜20μm  t/
) h’i′!、!litなlji」IJよりなるスリ
ットか各側>と点に対応して形複さJlでおL)、ラン
プ]2 及び拡散板】3より71る元い1によって照射
さ牙する。チャート】1の6スリノト化ノ足ノbした光
束は被検レンズ】4により、谷?1lll ’txl 
、専11C刈応した肛16に高置されて(・る゛屯イ。
fj吉合素子又、にLフィートクーイオードアレイ、バ
ケツトブリゲードテバイス向のJ次凡自己走り型向体」
取1り;に子]51〜15.で受光さJl、その元延度
分布にX寸しした1m系列7よ屯ン(11刊に夏Hさ1
する。仮6(レンズ14&’、+レノズポルタ゛−16
に装着さね、砿・1只しノス]4自体のヒ′/ト合わ→
右佐、イ偉もしくはレンズボルター−16のどノド合わ
せ1別構により」1下に移動さ牙1て合焦調寡が行7よ
り十する。
ここf−1更用さ第1る固体Jjρ1家累子Oj′フォ
トエレメント間IM’i;がシ:1えは1.0μm〜2
0μmで直小間法を・1コするフォトエレメントかライ
ン状に配列さ、!またもノ1゛アリ、′屯ン(1了りな
りロックパルスで・1・樹6動さ牙する。
uljち自己走揃、つ張能を不しているため(ズ、イ戒
的走食が全く不吸であり、[VI T F測定(戒のよ
うな光学的3.、j聚伝j’Aiが必罰とさ第1る装置
に訓:Mヒ1]イ間の短編を「11゛る目的で−広く使
用さノ′1始めている。
ところで゛この1求な固体昆1イ索子を用いたrv+ 
T Fit111定恢1゛は定見1゛像(オ同捧j1反
1オ計2子のi”h−1uツ・クロックパルスによりサ
ップリングさA′1、元″亀変侠1b号となる。この先
′直笈艮1−号はアナログ16月であるため、アナログ
/ティ/タル変侠器によりティ/タル化した試、高速の
ミニコンピータでフーリエ笈j*するか又は−収約なラ
ンダムアクセスメモリに)f?’z fq’+ してハ
ードウェアによりフーリエ変換する方式か知ら牙1でい
る。
Al1図はゼー七〇ノ・−トウエアーと・フーリエ変換
を行う方式のIVI T F測5M慣に16げる′電気
1(j路の一例を示す。
(υ式におけるa、u、m、△lθ)IFI及0” W
I T F値ノ検茄、規格値がテレタイプライタJ7に
より人出カイフタ−フェース18ナブ1゛シてコンピュ
ータJ 99’t:人力さね、こ牙1らの胆に1人出力
ボート20馨介してフロノビ−ティスフ21に蓄えら第
1る。またコンピータ19はUに応じたsin 、  
cosのi+u: ’、t ノ、=次513/してフロ
ノビ−ティスフ21に佑え、(1)式V)スリット幅に
応じた補正係数も188ロ?シーノロノビ−1イスク2
Jに蓄える。こ」1らの11「tは横−i〕1・、’I
には不変(旬/よ1直となるので゛、セノ、ティ/グ0
、)にノロノビ−1イスク21に雀えら)する。
検’n、 l;9にはフロノヒーティスク21. VC
論えらにた11!i力・コノピユータ19に内ル、さJ
lている夕゛イナミノクランダムアクセスメモリ(以下
1(A1〜1と吋ぷ)VCQi、i送さfl、こり)う
ちsin 、  cosの胆#ゝcos用RA M22
.  sin用+tA+v23に4・t’; A4’I
さ第1る。この・”易会コンピュータ19より入山カポ
−t・24. 7−1ハス25を通してアドレスカウン
タ26ニ初ルjアドレスがグリセノドさね、タイミング
発生回hv327まり発生ずるクロックパルスによりア
ドレスカウンタ26が歩進して行ってフロソビーテイス
ク21よりコンピュータ19内のターイナミノクRAM
に転送さねたsin 、  cosの直がRA M 2
2 、 23 K遂次格納される。ここまでの操作は検
音準備としてあらかじめ行なわJ]る。
上記操作が完了した/よらは固体掠、像素子151〜]
5iからの線像光強度分布に対応した光電皮侠18号は
コノピユータ19より指示されるアドレスr(従ってマ
ルチブレクス28によりて選択され、サンプルボールド
回路29によりサノプルホールドさねてアナログ/デジ
タル愛挨器30によりテジタル化さ旧、心像用RAM3
]K込次格納さ1する。このuky131  は上記R
AM22.23と同イ求にアドレスカー用足される。
固体点球累子154〜354からの光′心変換1凸号が
RAM31に格納されると、アドレスカウンタ26#)
ラリードシーノド色号かコノピユータ19に取込まね、
コノピユータ〕9がこの伝号rテコードして(1)式に
相応−jる針弁ぞしI:始させる州、′1N倍′F号な
送出する。
つまりコンピータ19&’lます、尿1ノ」ハ、l R
A、 I司31の先頭アドレスをセットし、且つ疋2d
用+tAM32の先頭アトt、’ スf + 7 トし
、コti ;)(”) RA M 31 、 32から
のデータがタイミング発生kql 11’、’l ′t
’ 7からのクロックパルスによるアドレスカウンタ2
60歩、止f1胆次送出さ氾て乗jf、器3:(に人力
される。東真器33はこわらのデータを−I」;1け合
わゼー、その結果かアキュノ・レータ34−(” 込次
加痣される。こ■らのi)叫乍(J、タイミング兄生口
節35から來舞: 自+Y 3 :3、アキュムレータ
34にがJえらtIるクロックパルスによってflil
J l1lnlされる。ここで′lt数用RAIV13
11!&こ(ま]、0の2 ++区1d号か格納さねて
おり、(1)式のΣLkか乗宕、6に33fj%Aさセ
てアキュムレータ34に牢IJ)1白さ」]るごとにl
よ5ろ。こねは谷固体、、v、1b4糸子151〜】5
□からの膨I鰻!テータについて繰り返さJ′+、その
度にΣLkの偵鋒結来がデータバス25馨進してコノピ
ユータ19のタイナミノクRA iv+に取込ま第1心
次に同a求vc、:+7ビユータ19がcos JLJ
 E< A M22゜)rM像用RAM31の先頭アド
レスを七ノトシ、ΣLk固体j層像素子J力にデータバ
ス25を通しコンピ−タ19のダイナミックRA Mに
取込ま牙する。次にΣLksinθk の針弁も全く同
様に行なわれてコンピュータ19のダイナミックRAM
に取り込ま牙する。
そしてコンピュータ19はダイナミックRAMに取込ん
たΣLk 、ΣLksinOk+ ΣLkcosθによ
り(1)式に従ってMTFを各固体撮像素子48に針弁
し、このMTFをダイナミンクRAM内の検盃規411
値と比較し、その検量結果をテレタイプライク17の陰
極、尿宮上に捩水させる。なお固坏撮13J累子151
〜15□は駆動回路36により駆動される。
上記MTF測定装−においてはMTFを測矩する削に被
検レンズの合焦W−余を行う必巽があり、軸上のM ’
I’ F値か最大となるように被検し7ズ?調蚤しなけ
ねばならない。
そこで調に時には固体う敢像系子(このし;、f″は゛
電イ8j粕合素子)151の駆動周波数に同ル9.シて
固・1本j取像累子154からのヒデ第1−刊がRA 
M:(l K連1胱的なアドレスで1込まわる。ここに
固体!堆11゛し、を子151からのビデオ信号は木3
図の句;に固体」枢1名°素子151の蓄槙時間を1周
ルjとした連η尻1凸号と/Fす、スリット像の光強度
分布に対応した山j14の分イUとして表わさ第1る。
このビデオ1bづが固体娠1ソ系子の、駆動パルスに同
ル」してRA +VI :31 l17)連11プ、】
的なアドレスに皺込まわるため、スリットばの−1;ト
i、−d変化はビデオ信号のピーク値が歯辺よ氾ても・
るアドレス馨、険出することにより、固1本」取14″
糸イのフメトエレメント間隔の1論度で検出ずく)こと
かできる。また固体撮1尿累子151n′−らビデオl
+j’ −’i Y +j A IV13]、 I/コ
Wc込む母にそのビーク1直を1火出し、て判電するこ
とにより被4火レンズの会沃り一・11【を1丁うこと
が口」1′止となる。こねは松71灸レンズの丸、面ツ
ノ向の藺1,1いスリット律のビーク1ばか最大となる
悼に固□、工した”M v(ベストフォーカスVこ/−
一るからである。
ところでスリット1iは矛3図の休に山形の分イ11ぞ
/よしており、IζAM31の連21ダシ1」′す7z
アドレスにt)込まわるため、RA M31の各し、l
’ ;、、Cするアドレスの内容の差?順次にとればこ
の差が一定呟以上であって且つその符号が変化する部分
が最大値を与えることになるパ。即ち固体撮俊素子15
1として例えばn個のフォトエレメントを有する電荷結
合素子を用いた場合この電荷結合素子からのビデオ信号
が【ζA MB2のアドレス0〜nに頭首に殉込まわ、
そのディジタル埴が1・4図のようにxo −Xnであ
るものとしたとき、最大値Xk k与えるアドレスなk
とすると、 i=0.l、2・・・・・・・・・k−1ではXH+1
− Xl> 0 となり、i=に、に+1・・・・・・・・・nではX4
+1− X4 < 0 となってxo −XnKおける符号の変化する部分kが
ピーク値Xk  を与えることが判る。従って上記差(
隣扱するアドレスの内容の差)の符号が変化したときに
アドレスとその内容を検出することにより、スリットI
Wの被検レンズによる投影位置゛とピーク値を求めるこ
とがlJJ′能となる。
才5図は才2図の要部を示す。iL 4hひ、fには固
体m 11 素子151からのヒテ第11−、号汀コノ
ピユータJ9からの信号によりマルチプレクサ28f、
、3択されてサンプルホールド川回路29.アナログ/
ディジタル変侠器30を経て紘像用RAM3]の理I仇
したアドレスに固体−1A1.像素子]5iの駆抑1パ
ルスに開用JしたクロックパルスWE により111L
t?Xに1−・:込fhる。そしてビデオ信号カ稍詠像
用RAM3]に一全て描込まれた穀にコノピユータJ9
はコマンド出力ボート24aより制# (=号発生回路
37にコマンドを−りんて[、D 信号をアドレスカウ
ンタ26に送も・k、入出刃ボート24bよりデータバ
ス38VCアドレスの初紡値を送出してアドレスカウン
タ26にプリセノトシ、?/J Jν)状態に決す。次
にコンピュータJ9はコマンド出力ボート24aより1
UN (i−+Iイ自号j641E、 ll’l lU
l、’l :(7にコマンド?出力してS E T I
F3号ンゲート回E391/こ込らせ、このケート回路
390出力16号によりタイミンク94生回M27aが
クロックパルスCJI 、  CLK ]を発生づ−る
このクロックパルスCEIか、オアIL’+1640を
介して線像用RA MB2に送らねビデオ信号の初ル」
値X。
がン腺像用RAMよりデータバス38に送出さ第9てク
ロックパルスCLK ]によりレジスタ4jに格納され
る。この格納が終了すると、タイミング発生回路27a
はAD ” l  fm号を発生してアドレスカウンタ
26  を+1だけ行進させる。次にタイミングパルス
発生回路27aが月びCEI信号を発生して線像用RA
M31から+1ノどけ進んだアドレスの内’6)C+か
データバス38に送出さね、こ第1に同Jす」してタイ
ミンク発生回路27aがクロックパルスCLI(2k’
A生し一〇データバス38上のデータX1  がレジス
タ42にタロツクパルスCLK 2により格納さオ]る
。この格納か終了すると、タイミング発生1!!I 路
27 a 4以MOD信号を発生して演A、回路43を
減算モードにし、演請1回路43がレジスタ42の内容
からレジスタ41のヒコ各を減算する。この演算回路4
3の出カイぎ号は符号と絶対値よりなるものであり、符
号判別回すい44により拘号の変化が判別されると同時
に絶対1′IIL判別回路45により絶対値が品準旭と
比軟される。ピーク状態検出回路46は符号判別回路4
4反び絶対値判別回路45の出力侶七が入力さねてωf
3−(ロ)路43の出力信号の符号が変化し絶対値かつ
と準ず11以上である場合のみピーク状虚、と判疋して
11)  を出力し、その他の場合にはl Ol 馨出
力する。このビー名状態検出回路460rll 出力は
ゲート1(・1路39のRe5et(U号となっており
、こσ) 1LeseL 11i号が発生するまでは上
述の動作が縁返さJする。Illもタイミング発生回路
27aからの信号により、腺Ill 711 tcA〜
131  からデータX1  がd出さ1+てし/メタ
41Vc格納さJまた1表に次のアドレスのプ゛−タx
2  か、線像用1(A MB2からioL出さJ1℃
し/メタ4jvc4h納さλ′1、成算回路43.杓号
判別回路44.泪2ス・月1判別回V’(: 45及び
ピーク状態便出回R146ircよりし7スタ4]。
42  の内dから上述の如くピーク状1ト:になった
か否かか111別さtl心。luJ椋に1.21□ノ用
RAM31からデータX2゛とX3 *  x3とx4
.x4と°X5  というように各1癖駁アドレスの内
容がIll(次に商出さ1+てレジスタ41.42に格
納されて行−)でピーク状jbKなったか否かが判別さ
λする。その献称1メ・用RA IVl:31からデー
タxkl Xk+1か飢出さ才′1でレジスタ41゜4
2  に格納さJすると、演算回路43、符号判別回路
44.杷対値判別回′#545及びピーク状態検出回路
46  によりピーク状態が検出さ11、Re5et信
号、′がゲート回路39に送出されてタイミング発生回
路27aが信号を発生しなくなる。そしてコンピュータ
J9はRe5et信号な状態読取りボート24cよりル
ー取ってピーク状態検出動作が終了したことな検知。
する。ラッチ47はアドレスカワツタ26の内容¥1時
的に格納するから、コノピユータJ9は制′OI′lノ
信号発生回路371’こコマンドを与えてA D H1
%号をラッチ47に送出させ、ラッチ47よりデータバ
ス38す通してアドレスデータ’a’ Lt取ることに
よってスリット1駅のピーク位置t′検出する。またコ
ンピータ]9 は澗イ仰信号発生回路37にコマンドを
与えてCE 01g号をオア1良I40を介して線像用
[ζA M3]に送らせ、この線1ν用RAM31より
データバス38に出力さJまた信号を読取ることによっ
てスリット1貧のピーク1直ン伎出する。この場合アド
レスカウンタ26の内容はスリット像のピークm: X
k  にzlするアドレスにより+またけ行進している
から、コンピュータJ9はラッチ47より1.;、Rっ
だアドレスに+1より1ノビは減算することIc 、J
ニー)でピーク1■置な正1171に検出し、かつその
値に1.、(アトレス力ウノタンらにプリセットしたk
vc、、尿1為゛川RA MB2よりヒーtり値Xk 
 を正しく品1.込むようにしてもよい。
コノピユータJ9は上述の+)?!IL7臥出しまたス
リット1fJのピーク値62及びピーク値?し!」えは
テレタイプライタJ7の陰極、−宙に表示させ、測〉を
渚はそのピークwl il、1&びピーク値を兄℃板侵
レンズの合:1、@ Ij’u 、’;r乏を行うこと
かできる。ここに」二記;1#j! lシバl RA 
MB2へθ)ビデ第1h号の潜込4と、ピークIM 1
ai及びピーク値の検出及び表示をハードウェアVCよ
り尚3j斐て−行うことVこより合焦眺望* 141i
心検出を迅速に行うことカい」」1j目となる。また絶
刈1iA判別巨ん245で絶メ・11匹を基準値と比M
 するので、屯荷結合砧子のイ、)・1生のバラツキに
対処でき、つまり−何、、8合系子の1ij辺郡で暗酸
b!Lα)バラツキVこよりλi+4− Xiの13号
が元伽する場合にも対処できる。
なお上1g実軸例において偵)7回船4;3はM OD
 iii号により加昇、栄↓1..逐J♀の11モード
マ゛帆昇さ1七ることかでき、フーリエ変換に必要な演
算も行“なわせるようにしてもよい。
以上のように本発明によねばMTF’測足機において、
スリット像の光電i要人りしてRAMの連続したアドレ
スに順次に記憶した後にその各隣接アドレスの内容の減
算を順次−行ない、減算結果の符号変化を検出してスリ
ット像のピーク位置及びピーク値を検出するので、高速
度でピーク位置及びピーク値の検出を行うことができ、
合焦脚を及び偏心検出の高速化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
371図及び才2図はMTF測γ梯;の−例における光
学系及び電気回路を示す斜視図及びブロック図、壜・3
図はビデ第1ぎ号を示す成形間、ぢ・4図は本発明を欧
明するための図、1・5図は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。 19・・・コンピュータ、26・・・アドレスカワツタ
、31・・・線像用RAM、41.42・・・レジスタ
、43・・・演算回路、44・・・符号判別回路、46
・・・ピーク状態検出回路、47・・・ラッチ。 手糸左有口正書 (自発) 昭和58年4月28日 特許庁長官 若杉 和夫 殿 1 事件の表示 昭和57年特許願第157600号 2 発明の名称 MTF追1j定機のピーク検出装置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名    称 (674)  株式会社リコー4代理人 住    所 東京都凹田谷区経堂4丁目5番4号明細
訃の「発明の詳細な説明」の欄 明細書第3頁中の(1)式を (ILJ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検レンズによるスリット像の光強度分布を固体撮像素
    子で充電変換してディジタル信号に変換し、このディジ
    タル信号乞うンタームアクセスメモリに記憶した後にフ
    ーリエ変換するM T F測定機において、前記ランダ
    ムアクセスメモリへのディジタル信号の普通るは前記固
    体撮儂累子の定食に同ル」して連続的なアドレスで行な
    って各隣接するアドレスの内容の減算を順次に行う手段
    と、この手段による減/Ji1.結果の符号が変化する
    位置を検出するピーク位置検出手段と、このピーク位i
    検出手段の出力信号に対応する前記ランダムアクセスメ
    モリのアドレスの内容を検出するピーク値検出手段とを
    備えたことを特徴とするMTF測冗梯、のビーク検串装
    置。
JP15760082A 1982-09-10 1982-09-10 Mtf測定機のピ−ク検出装置 Pending JPS5946833A (ja)

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JPS61272714A (ja) * 1985-05-28 1986-12-03 Olympus Optical Co Ltd 走査型光学顕微鏡
US5745609A (en) * 1995-03-03 1998-04-28 Northrop Grumman Corporation Fixed pattern compensation with adaptive window for MTF testing
CN104180971A (zh) * 2014-07-24 2014-12-03 青岛歌尔声学科技有限公司 获取透镜最佳成像焦距的方法、系统和组装透镜的方法

Cited By (3)

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