JPS5943334A - プラズマ発光分析装置 - Google Patents
プラズマ発光分析装置Info
- Publication number
- JPS5943334A JPS5943334A JP15377882A JP15377882A JPS5943334A JP S5943334 A JPS5943334 A JP S5943334A JP 15377882 A JP15377882 A JP 15377882A JP 15377882 A JP15377882 A JP 15377882A JP S5943334 A JPS5943334 A JP S5943334A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- emission
- spectrometer
- light
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
Landscapes
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不光明はプラズマ発光分析装置ｔに関し、特にモノクロ
メータを１（」いた発光分析装置に対し、機知試料導入
装置を通用するための新規な改良に関するものである。
メータを１（」いた発光分析装置に対し、機知試料導入
装置を通用するための新規な改良に関するものである。
従来、モノクロメ−タラ）１１いり発光分析装置では、
モノクロメータ目体のＹ晶度ドリフトやグレーティング
駆動機構のバックラツンユにより、機織的に分析波長全
きめることが難しかった。そのため周矧の霧化装置６に
より分析目的元素をフ゛ラズマに導入し、イ（１られた
光′ｙｔ、最メ全ン皮長衣とモノクロ、メータの波長目
盛から経験的に判別し。
モノクロメータ目体のＹ晶度ドリフトやグレーティング
駆動機構のバックラツンユにより、機織的に分析波長全
きめることが難しかった。そのため周矧の霧化装置６に
より分析目的元素をフ゛ラズマに導入し、イ（１られた
光′ｙｔ、最メ全ン皮長衣とモノクロ、メータの波長目
盛から経験的に判別し。
モノクロメータのクレーティングを回転して最大ピーク
を分析波長としていた。この方法でに４、分析波長全検
出する壕での時間に卦いて、一定の持続する分析目的元
素の発光が必四であり、一過性の発光ピーク［７か与え
ない微量試料２Ｎ人装置では上記の安住を満たすことは
できない。
を分析波長としていた。この方法でに４、分析波長全検
出する壕での時間に卦いて、一定の持続する分析目的元
素の発光が必四であり、一過性の発光ピーク［７か与え
ない微量試料２Ｎ人装置では上記の安住を満たすことは
できない。
水元明は、この欠点全すみやかに除去するための効果的
な手段全提供するものでｌ）す１発光源であるプラズマ
ウｔとモノクロメータ全結ぶ光Ｉ１１＋＋土に。
な手段全提供するものでｌ）す１発光源であるプラズマ
ウｔとモノクロメータ全結ぶ光Ｉ１１＋＋土に。
Ｔ５Ｊ ｎｉｈ反射鏡？設け、中空園極故…管からの兄
元も分光器に集光しうる構成をとっている。以下図１ｆ
１１と共に１本発明によるプラズマ発光分析装置ｒ（つ
いて訂二細に説明する。
元も分光器に集光しうる構成をとっている。以下図１ｆ
１１と共に１本発明によるプラズマ発光分析装置ｒ（つ
いて訂二細に説明する。
図ｉ（ｉ＋にシいて符号１で示されるものは一高周波で
誘嗜励起きれるプラズマ兄元曽である。２は試料気化器
であり、Ａｆｌ ８ｒＳブラスマ１とは中空・くイブ３
に、ｌニジ連結ちれている。４．５はそ〕１．それ凹面
鏡、平１１１１鋭を示ｔ〜、プラズマ光尤諒からの元金
モノクロメータ６０人［コスリット７−ヒに集光する。
誘嗜励起きれるプラズマ兄元曽である。２は試料気化器
であり、Ａｆｌ ８ｒＳブラスマ１とは中空・くイブ３
に、ｌニジ連結ちれている。４．５はそ〕１．それ凹面
鏡、平１１１１鋭を示ｔ〜、プラズマ光尤諒からの元金
モノクロメータ６０人［コスリット７−ヒに集光する。
８はモノクロメータ６に内蔵されるグレーティングでめ
り、パルスモータ９ Ｖｃより任慧に回転され、人［］
スリット７．１：り入射する光を分光し−７で１図に示
していない出ロスリットＶｃ壱＜。光は検出器１０で検
出される。１１は５Ｊ動型の平面反射鏡であり、１２は
中空−極放車肯である・ 次に、以−ヒのような構成に水・ける不発明によるプラ
ズマ発光分析装置全作動させる重付について極放電雷１
１からの元金４．５全とおして入口スリット７上に楽光
烙せる。鉄の中空隔極放匿肯の発光スペクトル全符号１
６で示す。クレーディング８全パルスモータ９で駆動し
て、分析目的波長１４の最近値に４１在する鉄光）を線
１３ａを検出する。光尤腺１６ａのふ・び１４は厳密に
波長か決凍っているので、グレーティング８′（ｉ−駆
動するパルスセ―り９のづルスケ、パルスカウンタ１５
で岬。
り、パルスモータ９ Ｖｃより任慧に回転され、人［］
スリット７．１：り入射する光を分光し−７で１図に示
していない出ロスリットＶｃ壱＜。光は検出器１０で検
出される。１１は５Ｊ動型の平面反射鏡であり、１２は
中空−極放車肯である・ 次に、以−ヒのような構成に水・ける不発明によるプラ
ズマ発光分析装置全作動させる重付について極放電雷１
１からの元金４．５全とおして入口スリット７上に楽光
烙せる。鉄の中空隔極放匿肯の発光スペクトル全符号１
６で示す。クレーディング８全パルスモータ９で駆動し
て、分析目的波長１４の最近値に４１在する鉄光）を線
１３ａを検出する。光尤腺１６ａのふ・び１４は厳密に
波長か決凍っているので、グレーティング８′（ｉ−駆
動するパルスセ―り９のづルスケ、パルスカウンタ１５
で岬。
出して△λｆ パルス数Ｖ′Ｃ換聯−シてやることにエ
リ、グレーティング８を、元光想１５ ａ （ｒ検出す
る位置から１４全検出する位置１で容易に駆動し９る。
リ、グレーティング８を、元光想１５ ａ （ｒ検出す
る位置から１４全検出する位置１で容易に駆動し９る。
そののち、可動反射鏡１１全点線の位置へもどし、プラ
ズマ１からの光ｉ４，５，７．８′にとおしで検出器１
０へ導く、試料気化器２から発生した試料蒸気全プラズ
マ１に導けば、分析目的元素の発光全検出器１０により
検出できる。１元素の′６１１冗が終了したら、再び可
動反射鏡１１を実線位ｔｆｆｆ、に傾け、次の元素の分
析波長へグレーティフグ全回転させるため、上述の操作
ｔくり返（／（二やる。なお、ここで鉄の中窒陰極放延
管全使用しＲのは、広範囲の波長領域にわたって、既知
のスペクトルが存在するためであり、他の元素の中空陰
極放電管を使用することも可能でめる。
ズマ１からの光ｉ４，５，７．８′にとおしで検出器１
０へ導く、試料気化器２から発生した試料蒸気全プラズ
マ１に導けば、分析目的元素の発光全検出器１０により
検出できる。１元素の′６１１冗が終了したら、再び可
動反射鏡１１を実線位ｔｆｆｆ、に傾け、次の元素の分
析波長へグレーティフグ全回転させるため、上述の操作
ｔくり返（／（二やる。なお、ここで鉄の中窒陰極放延
管全使用しＲのは、広範囲の波長領域にわたって、既知
のスペクトルが存在するためであり、他の元素の中空陰
極放電管を使用することも可能でめる。
不発明によるブラスマ光ｙム分析装置は１以上のような
構成と作用全備えているため、従来尚歯なポリクロメー
タＶこしか１眞用で＠なかった微小憲試朴１１人装置金
、安価なモノクロメータを使用するシステムに組み入れ
ることができるうえ、６１０定のたびに波長較′ＬＬ金
するのでモノクロメータの厳密な温度調膀も不９ｙ匠な
るという効果がある。
構成と作用全備えているため、従来尚歯なポリクロメー
タＶこしか１眞用で＠なかった微小憲試朴１１人装置金
、安価なモノクロメータを使用するシステムに組み入れ
ることができるうえ、６１０定のたびに波長較′ＬＬ金
するのでモノクロメータの厳密な温度調膀も不９ｙ匠な
るという効果がある。
図面は本発明の実ｈｌＵ４列の１つ金示すもので、第１
陶は、本蛇明の構成図であ）す、第２図は鉄ふ−よび分
析目的元素の分析波長近傍の発光スペクトルである。 １・・・・・・〜、周波プラズマ ２・・・・・試料気ｆヒ器 ６・・・・・・試料蒸気導入バイフ ４・・・・・・凹面鏡 ５・・・・・・平面鏡 ６・・・・・・モノクロメータ ７・・・・・・人口スリット ８・・・・・・グレーティング ９・・・・・・パルスモータ １０・・・・・・光検出器 １１・・・・・・可動反射鏡 １２・・・・・・中空陰極前 １３・・・・・・鉄の発光スペクトル ｉ３ａ・・・分析波長に８％近い鉄の光光脚１４・・・
・・・分析目的元素の分析波長１５・・・・・パルスカ
ウンタ レノ上 出願人 株式会社 第二梢工合 代理人弁理士最上 務
陶は、本蛇明の構成図であ）す、第２図は鉄ふ−よび分
析目的元素の分析波長近傍の発光スペクトルである。 １・・・・・・〜、周波プラズマ ２・・・・・試料気ｆヒ器 ６・・・・・・試料蒸気導入バイフ ４・・・・・・凹面鏡 ５・・・・・・平面鏡 ６・・・・・・モノクロメータ ７・・・・・・人口スリット ８・・・・・・グレーティング ９・・・・・・パルスモータ １０・・・・・・光検出器 １１・・・・・・可動反射鏡 １２・・・・・・中空陰極前 １３・・・・・・鉄の発光スペクトル ｉ３ａ・・・分析波長に８％近い鉄の光光脚１４・・・
・・・分析目的元素の分析波長１５・・・・・パルスカ
ウンタ レノ上 出願人 株式会社 第二梢工合 代理人弁理士最上 務
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔｌｌ 高周波により誘導励起８れたプラズマ元ケ有
するプラズマトーチと、試料全気化して前記プラズマト
ーチに導入するための気化器と、鉄またはそれに類似す
る範囲の広い多数の発光線會廟する元素の中空陰極放甫
管と、前記プラズマ元からの発光線及び前記中窒隘極放
屯管からの発光線のどちらかを任意に分光器方向へ送る
ための可動平面反射鏡と、発光線を果尤さ七−るための
レンズまたは凹面鏡からなる集光系と、分光器とからな
り。 ｎｉｌ ｉ上平面反射１ト１動σせて前り已中空爾極放
■管からの放Ｘ＋も光線にエリ、分析目的元素゛の波長
を検出すること全特徴とするプラズマ発光分析装（飢（
２１Ｍｔｌ記第（１）項において、鉄または類似する多
数の中窒陰極放■、・面金１史うかわりに、分析目的元
素の中ζ式陰極放ＰＬ＋青金設はグ（こと全特徴とする
プラズマ発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15377882A JPS5943334A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | プラズマ発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15377882A JPS5943334A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | プラズマ発光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5943334A true JPS5943334A (ja) | 1984-03-10 |
Family
ID=15569927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15377882A Pending JPS5943334A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | プラズマ発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5943334A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS623053U (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-09 |
-
1982
- 1982-09-03 JP JP15377882A patent/JPS5943334A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS623053U (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-09 |
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