JPS5941855U - 電子顕微鏡等の鏡筒リ−ク装置 - Google Patents

電子顕微鏡等の鏡筒リ−ク装置

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JPS5941855U
JPS5941855U JP13293082U JP13293082U JPS5941855U JP S5941855 U JPS5941855 U JP S5941855U JP 13293082 U JP13293082 U JP 13293082U JP 13293082 U JP13293082 U JP 13293082U JP S5941855 U JPS5941855 U JP S5941855U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum chamber
leak
lens barrel
leak valve
electron microscopes
Prior art date
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Application number
JP13293082U
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JPS6342459Y2 (ja
Inventor
平野　治男
吉村　長光
青木　好則
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す排気系統図、第２図は
第１図の動作説明図である。 １：カラム、２．７＝排気管、３．　８．　　：真空弁
、４：油拡散ポンプ、５．　９：油回転ポンプ、６：カ
メラ室、１０：開口、１１：仕切弁、１２．１３：リー
ク弁、１４：制御回路、１５：押しボタンスイッチ、１
６．１７：真空計。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃やレンズ部の電子線通路を含んだ第１の真空室と
    、試料やカメラ機構等が置かれ前記第１の真空室に連通
    ずる第２の真空室と、前記第１の真空室の第２の真空室
    から離れた位置に設けられた第１のリーク弁と、前記第
    ２の真空室に設けられた第２のリーク弁とを有し、両頁
    空室をリークする場合前記両頁空室とその真空ポンプと
    の接続を遮断した状態において前記両リーク弁を略同時
    に開き或いは第１リーク弁が開いた後一定時間経過後第
    ２リーク弁を開くように制御する手段を備えてなる電子
    顕微鏡等の鏡筒リーク装置。
JP13293082U 1982-09-01 1982-09-01 電子顕微鏡等の鏡筒リ−ク装置 Granted JPS5941855U (ja)

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JP13293082U JPS5941855U (ja) 1982-09-01 1982-09-01 電子顕微鏡等の鏡筒リ−ク装置

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Publication Number Publication Date
JPS5941855U true JPS5941855U (ja) 1984-03-17
JPS6342459Y2 JPS6342459Y2 (ja) 1988-11-07

Family

ID=30300030

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JP13293082U Granted JPS5941855U (ja) 1982-09-01 1982-09-01 電子顕微鏡等の鏡筒リ−ク装置

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JP (1) JPS5941855U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101686A (ja) * 1984-10-24 1986-05-20 Hitachi Ltd 真空排気装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101686A (ja) * 1984-10-24 1986-05-20 Hitachi Ltd 真空排気装置

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JPS6342459Y2 (ja) 1988-11-07

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