JPS5938380A - 帯状金属体の連続パタ−ン蒸着法 - Google Patents
帯状金属体の連続パタ−ン蒸着法Info
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- JPS5938380A JPS5938380A JP14944182A JP14944182A JPS5938380A JP S5938380 A JPS5938380 A JP S5938380A JP 14944182 A JP14944182 A JP 14944182A JP 14944182 A JP14944182 A JP 14944182A JP S5938380 A JPS5938380 A JP S5938380A
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- Japan
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- vapor deposition
- evaporation
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は例えば半導体用リードフレームの製造に適用す
ることができる帯状金属体の連続パターン蒸着法に関す
る。
ることができる帯状金属体の連続パターン蒸着法に関す
る。
一般に集積回路（ＩＣ）およびトランジスタ（Ｔ Ｒ）
の組立てに際しては半導体用リードフレームが用い
られるが、この半導体用リードフレームとして長尺の帯
状金属体上にアルミニウムをパターン蒸着したものがあ
る。
の組立てに際しては半導体用リードフレームが用い
られるが、この半導体用リードフレームとして長尺の帯
状金属体上にアルミニウムをパターン蒸着したものがあ
る。
このアルミニウムをパターン蒸着したリードフレームは
、従来特公昭４５−４１４５１号公報に示されるように
、帯状金属体上にアルミニウムを蒸着した後、所要のア
ルミニウム蒸着部分を液体ビニール等を噴射してマスク
し、不要のアルミニウム蒸着部分をエツチング除去し、
ついで前記マスクを除去して帯状金属体上に所望のアル
ミニウム蒸着パターンを形成するという方法で製造され
る。この方法はマスク、エノチンダ工程が煩雑であり、
したがってアルミニウム蒸着からリードフレーム完成ま
でを１ラインで連続して行なうことができないという問
題がある。
、従来特公昭４５−４１４５１号公報に示されるように
、帯状金属体上にアルミニウムを蒸着した後、所要のア
ルミニウム蒸着部分を液体ビニール等を噴射してマスク
し、不要のアルミニウム蒸着部分をエツチング除去し、
ついで前記マスクを除去して帯状金属体上に所望のアル
ミニウム蒸着パターンを形成するという方法で製造され
る。この方法はマスク、エノチンダ工程が煩雑であり、
したがってアルミニウム蒸着からリードフレーム完成ま
でを１ラインで連続して行なうことができないという問
題がある。
このことからアルミニウムをパターン蒸着したリードフ
レームの効率的な製造方法が検討されるが、その１つと
して予めアルミニウムのパターン蒸着形状に対応する貫
通口模様を有する金属あるいはプラスチック製機械マス
クを用い、これを帯状金属体上に密着当接させて帯状金
属体上にアルミニウムを蒸着すると同時にパターン化す
る方法が考えられる。この方法によれば、機械マスクを
用いることにより製造工程の単純化が図られ１ライン化
が可能であるが、機械マスクは普通短尺品であり蒸着装
置と一体に使用されることから機械マスクにより蒸着を
安定に行なうためには、少なくとも蒸着時において帯状
金属体の移動を停止する必要があり、さらに機械マスク
はその貫通口周縁に必ず蒸着金属が付着するためにその
堆積状況により定期的に洗浄あるいは交換する必要があ
る。
レームの効率的な製造方法が検討されるが、その１つと
して予めアルミニウムのパターン蒸着形状に対応する貫
通口模様を有する金属あるいはプラスチック製機械マス
クを用い、これを帯状金属体上に密着当接させて帯状金
属体上にアルミニウムを蒸着すると同時にパターン化す
る方法が考えられる。この方法によれば、機械マスクを
用いることにより製造工程の単純化が図られ１ライン化
が可能であるが、機械マスクは普通短尺品であり蒸着装
置と一体に使用されることから機械マスクにより蒸着を
安定に行なうためには、少なくとも蒸着時において帯状
金属体の移動を停止する必要があり、さらに機械マスク
はその貫通口周縁に必ず蒸着金属が付着するためにその
堆積状況により定期的に洗浄あるいは交換する必要があ
る。
このことから帯状金属体の移動は必然的に間欠的となら
ざるを得す、したがってそのパターン蒸着における生産
性の向上には限界があるＶ。
ざるを得す、したがってそのパターン蒸着における生産
性の向上には限界があるＶ。
これに対し、第１図に示すようにアルミニウムのパター
ン蒸着形状に対応する貫通凹模様を有する遮蔽用エンド
レスベルト１からなるマスクを用いて帯状金属体２上に
アルミニウムを連続パター／蒸着する方法が考えられる
。６輪蒸発源４からのアルミニウム金属蒸気流、５は回
転ドラムである。
ン蒸着形状に対応する貫通凹模様を有する遮蔽用エンド
レスベルト１からなるマスクを用いて帯状金属体２上に
アルミニウムを連続パター／蒸着する方法が考えられる
。６輪蒸発源４からのアルミニウム金属蒸気流、５は回
転ドラムである。
この方法においては帯状金属体の移動とマスクの移動は
夫々同期させる必要があり、したがってリードフレーム
の生産性は明らかに向上する。しかしながらこの方法に
よれば、時間の経過とともに遮蔽用エンドレスベルトに
蒸着金属が堆積し、その量が一定“厚さ以上になると脱
落し作業あるいは蒸着品質に支障をきだすと共に、脱落
しない場合においても蒸着金属がエンドレスベルトの貫
通口周縁に付着しこの付着量が増大すればパターン蒸着
の寸法、形状に変化を与えるという問題がある。
夫々同期させる必要があり、したがってリードフレーム
の生産性は明らかに向上する。しかしながらこの方法に
よれば、時間の経過とともに遮蔽用エンドレスベルトに
蒸着金属が堆積し、その量が一定“厚さ以上になると脱
落し作業あるいは蒸着品質に支障をきだすと共に、脱落
しない場合においても蒸着金属がエンドレスベルトの貫
通口周縁に付着しこの付着量が増大すればパターン蒸着
の寸法、形状に変化を与えるという問題がある。
このことから、その対策の一つとして一般に定期的に蒸
着作業を中断し、遮蔽用エンドレスベルトに付着した蒸
着金属を除去しエンドレスベルトを洗浄するかあるいは
新しいエンドレスベルトに交換することが行われるが、
このような方法は蒸着厚さが薄くかつ蒸着速度が遅い場
合にはエンドレスベルトの洗浄および交換頻度が少なく
問題とならないが、例えばμオーダーに蒸着厚さが厚く
かつ例えば１μ／ｍｉｎ以上に蒸着速度が早い場合には
エンドレスベルトの洗浄および交換頻度が多くなるため
に作業性が著しく悪くなるという問題がある。
着作業を中断し、遮蔽用エンドレスベルトに付着した蒸
着金属を除去しエンドレスベルトを洗浄するかあるいは
新しいエンドレスベルトに交換することが行われるが、
このような方法は蒸着厚さが薄くかつ蒸着速度が遅い場
合にはエンドレスベルトの洗浄および交換頻度が少なく
問題とならないが、例えばμオーダーに蒸着厚さが厚く
かつ例えば１μ／ｍｉｎ以上に蒸着速度が早い場合には
エンドレスベルトの洗浄および交換頻度が多くなるため
に作業性が著しく悪くなるという問題がある。
まだ、別の対策として堆積した蒸着物を除去するスクレ
ーパー等機構を蒸着装置内に設ける方法もあるが、この
場合除去した蒸着金属片が周囲に飛散し蒸着装置機構部
に落下したり円滑に除去できずエンドレスベルトに傷を
付は正常な蒸着を困難にするという問題がある。
ーパー等機構を蒸着装置内に設ける方法もあるが、この
場合除去した蒸着金属片が周囲に飛散し蒸着装置機構部
に落下したり円滑に除去できずエンドレスベルトに傷を
付は正常な蒸着を困難にするという問題がある。
本発明の目的は、上記点に鑑みきわめて生産性が高くか
つ高精度に蒸着を行うことができると共にまた蒸着厚さ
を高め蒸着速度を上げることができる帯状金属体の連続
パターン蒸着法を提供することにある。
つ高精度に蒸着を行うことができると共にまた蒸着厚さ
を高め蒸着速度を上げることができる帯状金属体の連続
パターン蒸着法を提供することにある。
すなわち本発明の要旨は、表面にパターン蒸着すべき長
尺の帯状金属体と前記パターン蒸着の形状に対応する貫
通凹模様を有する長尺の遮蔽用帯状金属体を夫々コイル
巻き状態から同時に繰り出して重ね合わせ、この重ね合
わせ状態において前記貫通凹模様を通して所望の金属蒸
気流をパターン蒸着すべき帯状金属体の表面に蒸着させ
、その後両帯状金属体を分離し夫々コイル状に巻取るよ
うにしたことにある。
尺の帯状金属体と前記パターン蒸着の形状に対応する貫
通凹模様を有する長尺の遮蔽用帯状金属体を夫々コイル
巻き状態から同時に繰り出して重ね合わせ、この重ね合
わせ状態において前記貫通凹模様を通して所望の金属蒸
気流をパターン蒸着すべき帯状金属体の表面に蒸着させ
、その後両帯状金属体を分離し夫々コイル状に巻取るよ
うにしたことにある。
本発明において遮蔽用帯状金属体を用いる理由は、これ
がプラスチックテープなどだと蒸着厚さが１／１０〜１
／１００μのオーダーで非常に薄い場合には蒸着時間が
短時間で済むために蒸発源からの熱影響が少ないこと、
また蒸着金属について高度の密着性を要求しない場合に
は蒸着すべき金属体を予熱することが不要であることな
どからプラスチックテープで十分であるが、蒸着金属に
ついて厚く強固な密着性が要求される場合には蒸着時間
が長くなり予熱等も必要となることから熱影響が無視で
きなくな９、そこで耐熱性の要求に適するものとして帯
状金属体が採用されたものである。
がプラスチックテープなどだと蒸着厚さが１／１０〜１
／１００μのオーダーで非常に薄い場合には蒸着時間が
短時間で済むために蒸発源からの熱影響が少ないこと、
また蒸着金属について高度の密着性を要求しない場合に
は蒸着すべき金属体を予熱することが不要であることな
どからプラスチックテープで十分であるが、蒸着金属に
ついて厚く強固な密着性が要求される場合には蒸着時間
が長くなり予熱等も必要となることから熱影響が無視で
きなくな９、そこで耐熱性の要求に適するものとして帯
状金属体が採用されたものである。
次に添付図面を参照し本発明の一実施例をアルミニウム
被覆半導体用リードフレームの製造を例にとって説明す
る。
被覆半導体用リードフレームの製造を例にとって説明す
る。
第２図および第６図において、幅５０ｍ＋ｎ、厚さ０．
１ｒｒｒ！ｎ１長さ５００ｍのＦｅ−４２％Ｎｉ合金条
からなる帯状金属体６と、幅５０ｍ、厚さ０．１５１１
１＋Ｉ＋、長さ５００ｍの長手方向５０閣間隔毎に２０
關角の貫通口１７を有するステンレス鋼条からなる遮蔽
用帯状金属体７を、夫々コイル巻き８，９状態にして真
空蒸着装置の送シ出し側にセットする。前記帯状金属体
６を夫々矢印方向に同時に繰り出し、押えロール１０．
１１および押えロール１２．１３をもって夫々直径１ｍ
の回転ドラム１４上に導き、パターン蒸着すべき帯状金
属体６を内側にして互いに重ね合わせる。この重ね合わ
せ状態においては両帯状金属体６．７の移動速度’ｒｉ
、 ０．５ ｍ ７’ ｍｉｎである。禽発源１５から
はアルミニウム金属蒸気流１６が遮蔽用帯状金属体７の
貫通口１７を通して蒸着すべき帯状金属体１の所定の部
分に１μ／罷の蒸着速度で蒸着される。蒸着後両帯状金
属体６，７を分離し、夫々コイル巻き１８．１９に巻取
る。この結果、裁着すべき帯状金属俸乙の表面に、厚さ
２μのアルミニウムスポノトハターン蒸着膜２０が形成
される。
１ｒｒｒ！ｎ１長さ５００ｍのＦｅ−４２％Ｎｉ合金条
からなる帯状金属体６と、幅５０ｍ、厚さ０．１５１１
１＋Ｉ＋、長さ５００ｍの長手方向５０閣間隔毎に２０
關角の貫通口１７を有するステンレス鋼条からなる遮蔽
用帯状金属体７を、夫々コイル巻き８，９状態にして真
空蒸着装置の送シ出し側にセットする。前記帯状金属体
６を夫々矢印方向に同時に繰り出し、押えロール１０．
１１および押えロール１２．１３をもって夫々直径１ｍ
の回転ドラム１４上に導き、パターン蒸着すべき帯状金
属体６を内側にして互いに重ね合わせる。この重ね合わ
せ状態においては両帯状金属体６．７の移動速度’ｒｉ
、 ０．５ ｍ ７’ ｍｉｎである。禽発源１５から
はアルミニウム金属蒸気流１６が遮蔽用帯状金属体７の
貫通口１７を通して蒸着すべき帯状金属体１の所定の部
分に１μ／罷の蒸着速度で蒸着される。蒸着後両帯状金
属体６，７を分離し、夫々コイル巻き１８．１９に巻取
る。この結果、裁着すべき帯状金属俸乙の表面に、厚さ
２μのアルミニウムスポノトハターン蒸着膜２０が形成
される。
なお、このようなパターン蒸着膜２ｏを形成した帯状金
属体６は、本実施例においては半導体用リードフレーム
として使用されるからその後打抜きがなされるが、この
ような場合予め打抜きがなされた帯状金属体を本発明の
出発材料として使用することも可能である。
属体６は、本実施例においては半導体用リードフレーム
として使用されるからその後打抜きがなされるが、この
ような場合予め打抜きがなされた帯状金属体を本発明の
出発材料として使用することも可能である。
次に第４図により本発明の他の実施例を同じく半導体用
リードフレームを例にとって説明する。
リードフレームを例にとって説明する。
幅５０Ｍ、厚Ｊ［］、ｉＭ、長さ１００００ｍのＦｅ−
４２％Ｎｉ合金条からなる蒸着すべき帯状金属体２１と
、幅６０ｍｍ、厚さＱ、１５ｍ＋＋＋、長さ１００００
ｍの長手方向５０胴間隔毎に２０脳角の貫通口（図示せ
ず）を有するステンレス鋼条からなる遮蔽用帯状金属体
２２を、夫々コイル巻き２３．２４状態のところから押
えロール２５．２６および押えロール２７．２８を介し
て夫々直径３００市回転ドラム２９．３０上に導き、こ
こで両帯状金属体２１．２２を一体に重ね合わせる。蒸
発源６１からのアルミニウム金属蒸気流６２を遮蔽用帯
状金属体２２の貫通口を通して蒸着すべき帯状金属体２
１の表面にアルミニウムを２μ蒸着する。
４２％Ｎｉ合金条からなる蒸着すべき帯状金属体２１と
、幅６０ｍｍ、厚さＱ、１５ｍ＋＋＋、長さ１００００
ｍの長手方向５０胴間隔毎に２０脳角の貫通口（図示せ
ず）を有するステンレス鋼条からなる遮蔽用帯状金属体
２２を、夫々コイル巻き２３．２４状態のところから押
えロール２５．２６および押えロール２７．２８を介し
て夫々直径３００市回転ドラム２９．３０上に導き、こ
こで両帯状金属体２１．２２を一体に重ね合わせる。蒸
発源６１からのアルミニウム金属蒸気流６２を遮蔽用帯
状金属体２２の貫通口を通して蒸着すべき帯状金属体２
１の表面にアルミニウムを２μ蒸着する。
なお帯状金属体２１．２２の移動速度は５ｍ／酊であり
、アルミニウムの蒸着速度は１０μ／ｍＩ７＋である。
、アルミニウムの蒸着速度は１０μ／ｍＩ７＋である。
蒸着後両帯状金属体２１．２２を分離し、夫々コイル巻
き３３．３４状態に巻取る。
き３３．３４状態に巻取る。
以上説明したように、本発明によれば蒸着すべき長尺の
帯状金属体と遮蔽用帯状金属体を夫々コイル巻状態から
同時に繰り出して重ね合わせ、蒸着することから動作が
連続的であシ、きわめて生産性の高い方法で非常に高度
かつ安定した寸法精度をもって帯状金属体のパターン蒸
着を行なうことができる。また、蒸着厚さを高め蒸着速
度を上げることができると共に蒸着膜の脱落の危険性が
ないため蒸着の品質を向上させることができる。
帯状金属体と遮蔽用帯状金属体を夫々コイル巻状態から
同時に繰り出して重ね合わせ、蒸着することから動作が
連続的であシ、きわめて生産性の高い方法で非常に高度
かつ安定した寸法精度をもって帯状金属体のパターン蒸
着を行なうことができる。また、蒸着厚さを高め蒸着速
度を上げることができると共に蒸着膜の脱落の危険性が
ないため蒸着の品質を向上させることができる。
第１図は従来例を示す正面図、第２図は本発明の一実施
例を示す正面図、第６図は同概略を示す斜視図、第４図
は本発明の他の実施例を示す正面図である。 ６．２１ ：帯状金属体、７．２２：遮蔽用帯状金属体
、８，９，２３，２４ ：コイル巻き、１８．１９，３
３，３４：コイル巻き、１４．２９，３０ ：回転ドラ
ム、 １５．３１：蒸発源、 １６．３２ニアルミニウム金属蒸気流、１７二貫通口、 ２０：アルミニウムスポラトノζターン蒸着膜。 捧 １ 図 算２日 隊 ４ 図 １
例を示す正面図、第６図は同概略を示す斜視図、第４図
は本発明の他の実施例を示す正面図である。 ６．２１ ：帯状金属体、７．２２：遮蔽用帯状金属体
、８，９，２３，２４ ：コイル巻き、１８．１９，３
３，３４：コイル巻き、１４．２９，３０ ：回転ドラ
ム、 １５．３１：蒸発源、 １６．３２ニアルミニウム金属蒸気流、１７二貫通口、 ２０：アルミニウムスポラトノζターン蒸着膜。 捧 １ 図 算２日 隊 ４ 図 １
Claims (1)
- １、 表面にパターン蒸着すべき長尺の帯状金属体と前
記パターン蒸着の形状に対応する貫通口模様を有する長
尺の遮蔽用帯状金属体を夫々コイル巻き状態から同時に
繰り出して重ね合わせ、この重ね合わせ状態において前
記貫通口模様を通して所望の金属蒸気流をパターン蒸着
すべき帯状金属体の表面に蒸着させ、その後両帯状金属
体を分離し、夫々コイル状に巻取ることを特徴とする帯
状金属体の連続パターン蒸着法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14944182A JPS5938380A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 帯状金属体の連続パタ−ン蒸着法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14944182A JPS5938380A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 帯状金属体の連続パタ−ン蒸着法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5938380A true JPS5938380A (ja) | 1984-03-02 |
Family
ID=15475180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14944182A Pending JPS5938380A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 帯状金属体の連続パタ−ン蒸着法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6113653A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 半導体リ−ドフレ−ムの金属部分被覆法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS596372A (ja) * | 1982-07-03 | 1984-01-13 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 金属帯条の部分真空蒸着方法およびその装置 |
-
1982
- 1982-08-27 JP JP14944182A patent/JPS5938380A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS596372A (ja) * | 1982-07-03 | 1984-01-13 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 金属帯条の部分真空蒸着方法およびその装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6113653A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 半導体リ−ドフレ−ムの金属部分被覆法 |
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