JP2923691B2 - コンデンサ用蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
コンデンサ用蒸着フィルムの製造方法Info
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- JP2923691B2 JP2923691B2 JP2333656A JP33365690A JP2923691B2 JP 2923691 B2 JP2923691 B2 JP 2923691B2 JP 2333656 A JP2333656 A JP 2333656A JP 33365690 A JP33365690 A JP 33365690A JP 2923691 B2 JP2923691 B2 JP 2923691B2
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- deposited film
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はコンデンサ用の蒸着フィルムの製造方法に関
し、特に、全面に金属蒸着したフィルムにレーザ光線を
照射してマージンを形成する際に、ベースフイルムの熱
的損傷を防止する技術に関する。
し、特に、全面に金属蒸着したフィルムにレーザ光線を
照射してマージンを形成する際に、ベースフイルムの熱
的損傷を防止する技術に関する。
［従来の技術］ 金属蒸着フィルムは巻回コンデンサ又は積層コンデン
サ用基材として従来より用いられている。
サ用基材として従来より用いられている。
この蒸着フィルムは、短絡を防止するため、蒸着フィ
ルムの長手方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸着部
を設ける必要がある。この非蒸着部を通常はマージンと
称している。
ルムの長手方向の一側縁に沿って連続的な金属非蒸着部
を設ける必要がある。この非蒸着部を通常はマージンと
称している。
マージンを形成する方法としては、従来からテープマ
スク方式とオイルマスク方式が一般に行われている。テ
ープマスク方式は蒸着時に複数本の細巾のエンドレステ
ープで非蒸着フィルム表面をマスキングする方法であ
り、オイルマスク方法は、マージン部に相当する個所に
オイルを塗布又は噴射して、蒸着時に金属蒸着を妨げる
方法である。これらの方法により形成されたマージンの
巾の中央をスリットして巻き取ることにより１個のコン
デンサ素子用の蒸着フィルムが得られる。
スク方式とオイルマスク方式が一般に行われている。テ
ープマスク方式は蒸着時に複数本の細巾のエンドレステ
ープで非蒸着フィルム表面をマスキングする方法であ
り、オイルマスク方法は、マージン部に相当する個所に
オイルを塗布又は噴射して、蒸着時に金属蒸着を妨げる
方法である。これらの方法により形成されたマージンの
巾の中央をスリットして巻き取ることにより１個のコン
デンサ素子用の蒸着フィルムが得られる。
上記の方法は蒸着時に非蒸着部を形成する方法である
が、テープマスク方法は多数のテープを取りつける工程
の繁雑さ、オイルマスク方式はマージンの境界がボケと
なるなどの欠点があることが指摘されている。近年、全
面に蒸着されたプラスチックフィルムの所定個所の蒸着
膜にレーザ光線をあてて金属を除去することによりマー
ジン部を形成する方法が発明された。このレーザ方式は
上記したテープマスク及びオイルマスク方式の欠点をな
くしたものである。その代表例を挙げると、特開昭57−
118622号発明、特開昭60−170026号発明等である。
が、テープマスク方法は多数のテープを取りつける工程
の繁雑さ、オイルマスク方式はマージンの境界がボケと
なるなどの欠点があることが指摘されている。近年、全
面に蒸着されたプラスチックフィルムの所定個所の蒸着
膜にレーザ光線をあてて金属を除去することによりマー
ジン部を形成する方法が発明された。このレーザ方式は
上記したテープマスク及びオイルマスク方式の欠点をな
くしたものである。その代表例を挙げると、特開昭57−
118622号発明、特開昭60−170026号発明等である。
［発明が解決しようとする課題］ 上記のようにレーザ方式により精確な巾のマージンを
効率良く形成することが可能になってきたが、一方で、
機器の小型化高性能化がますます進み、それに備えてフ
ィルムは４μ以下の極薄フィルムへと主流が移ってきて
いる。
効率良く形成することが可能になってきたが、一方で、
機器の小型化高性能化がますます進み、それに備えてフ
ィルムは４μ以下の極薄フィルムへと主流が移ってきて
いる。
ところで前記レーザ方式は、蒸着金属に焦点をあて、
そのエネルギーにより金属を気化して飛散消失させるも
のであるから金属蒸着膜は瞬間的には高温になってい
る。そのためベースフィルムの熱的損傷を最小におさえ
るために該フイルムを金属製バックアップロールに密着
させた状態でレーザを照射させる必要がある。しかしフ
ィルムが薄物の場合、ロールへの密着を良くさせるため
にテンションをかけるとフィルムがのび、また、たてじ
わができて空気を抱き込んでしまうなどの問題を生ずる
ので、実際問題として、ベースフイルムに掛けるテンシ
ョンを大きくすることは困難である。
そのエネルギーにより金属を気化して飛散消失させるも
のであるから金属蒸着膜は瞬間的には高温になってい
る。そのためベースフィルムの熱的損傷を最小におさえ
るために該フイルムを金属製バックアップロールに密着
させた状態でレーザを照射させる必要がある。しかしフ
ィルムが薄物の場合、ロールへの密着を良くさせるため
にテンションをかけるとフィルムがのび、また、たてじ
わができて空気を抱き込んでしまうなどの問題を生ずる
ので、実際問題として、ベースフイルムに掛けるテンシ
ョンを大きくすることは困難である。
本発明はこの様な点を考慮してなされたものであり、
ベースフイルムに掛けるテンションが小さくても該フイ
ルムをバックアップロールに密着させることができ、ベ
ースフィルムの熱的損傷を防止することを課題とする。
ベースフイルムに掛けるテンションが小さくても該フイ
ルムをバックアップロールに密着させることができ、ベ
ースフィルムの熱的損傷を防止することを課題とする。
［課題を解決するための手段］ 前記課題を解決するため、本発明は以下の構成を採用
したコンデンサ用蒸着フィルムの製造方法を提案する。
すなわち、蒸着フィルムの蒸着膜にレーザ光線を照射す
ることにより、フィルムの流れ方向に連続する一定巾の
蒸着膜を有しないマージン部を形成する蒸着フィルムの
製造方法において、テンションロールによりテンション
をかけてバックアップロールに対して蒸着フィルムを巻
きつけながら、バックアップロールに巻きつけた蒸着フ
イルムを弾性ロールでバックアップロールに対し押しつ
けることにより蒸着フイルムをバックアップロールに密
着させ、しかる後、蒸着膜にレーザ光線を照射すること
を特徴とする。
したコンデンサ用蒸着フィルムの製造方法を提案する。
すなわち、蒸着フィルムの蒸着膜にレーザ光線を照射す
ることにより、フィルムの流れ方向に連続する一定巾の
蒸着膜を有しないマージン部を形成する蒸着フィルムの
製造方法において、テンションロールによりテンション
をかけてバックアップロールに対して蒸着フィルムを巻
きつけながら、バックアップロールに巻きつけた蒸着フ
イルムを弾性ロールでバックアップロールに対し押しつ
けることにより蒸着フイルムをバックアップロールに密
着させ、しかる後、蒸着膜にレーザ光線を照射すること
を特徴とする。
本発明において使用するフィルムとしては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリカーボネー
ト、ポリフェニレンサルファイドなどが挙げられる。蒸
着金属はAl、Znなどが用いられ、蒸着厚さは50〜1000Å
程度の通常のコンデンサ用蒸着フィルムの範囲のものが
使用できる。
レンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリカーボネー
ト、ポリフェニレンサルファイドなどが挙げられる。蒸
着金属はAl、Znなどが用いられ、蒸着厚さは50〜1000Å
程度の通常のコンデンサ用蒸着フィルムの範囲のものが
使用できる。
本発明に使用するレーザ光線としては、波長1.06μｍ
のYAGレーザが代表的な例として挙げられる。レーザ光
は発振源から光ファイバーで照射先端部に伝送すること
が好ましく、この方法によれば照射先端部の巾方向の位
置調整がし易くなる。またレーザ光は連続波ではなく、
いわゆるＱスイッチ動作でパルス状に照射することが望
ましい。また、光線の断面形状はパルス波のスポットを
継なげて連続の非蒸着部を作る必要上から、流れ方向に
縦長のだ円形又は４角形であることが望ましい。４角形
であればＱスイッチ動作において、スイッチオフの時間
を長く取れるので、エネルギー効率上、最も好ましい。
照射量は2mJ/mm2〜10mJ/mm2が好ましい。Ｑスイッチの
周波数は0.5KHz〜10KHzが通常用いられる。
のYAGレーザが代表的な例として挙げられる。レーザ光
は発振源から光ファイバーで照射先端部に伝送すること
が好ましく、この方法によれば照射先端部の巾方向の位
置調整がし易くなる。またレーザ光は連続波ではなく、
いわゆるＱスイッチ動作でパルス状に照射することが望
ましい。また、光線の断面形状はパルス波のスポットを
継なげて連続の非蒸着部を作る必要上から、流れ方向に
縦長のだ円形又は４角形であることが望ましい。４角形
であればＱスイッチ動作において、スイッチオフの時間
を長く取れるので、エネルギー効率上、最も好ましい。
照射量は2mJ/mm2〜10mJ/mm2が好ましい。Ｑスイッチの
周波数は0.5KHz〜10KHzが通常用いられる。
［実施例］ 以下本発明の方法を図面を参照して具体的に説明す
る。
る。
添付図面は本発明たる蒸着フイルムにレーザ方式でマ
ージンを形成する方法と装置の要部概念図である。蒸着
フイルム１は巻取（図示省略）から繰り出されて、ガイ
ドローラに案内されながらレーザ光照射部２に送られ
る。レーザ光照射部２には、金属製のバックアップロー
ル３周りに蒸着膜にレーザ光を照射するための射出光学
系４が配設されている。また前記バックアップロール３
のフイルムの導入側と、導出側にはそれぞれテンション
ロール５及び６が配設されており、これらテンションロ
ール５及び６によりバックアップロール３の周面に蒸着
フィルム１が巻きつけられている。
ージンを形成する方法と装置の要部概念図である。蒸着
フイルム１は巻取（図示省略）から繰り出されて、ガイ
ドローラに案内されながらレーザ光照射部２に送られ
る。レーザ光照射部２には、金属製のバックアップロー
ル３周りに蒸着膜にレーザ光を照射するための射出光学
系４が配設されている。また前記バックアップロール３
のフイルムの導入側と、導出側にはそれぞれテンション
ロール５及び６が配設されており、これらテンションロ
ール５及び６によりバックアップロール３の周面に蒸着
フィルム１が巻きつけられている。
符号７は、フイルム導入側のテンションロール５と射
出光学系４との間に、蒸着フィルムがバックアップロー
ル３に巻きついたのち蒸着フィルムをバックアップロー
ルに対し上から押しつけるために配設した弾性ロールで
ある。この弾性ロール７は支持軸８に対して回転可能に
取付けられていると共に、流体圧シリンダ９によりバッ
クアップロール３に対する接触圧を調節できるように構
成されている。
出光学系４との間に、蒸着フィルムがバックアップロー
ル３に巻きついたのち蒸着フィルムをバックアップロー
ルに対し上から押しつけるために配設した弾性ロールで
ある。この弾性ロール７は支持軸８に対して回転可能に
取付けられていると共に、流体圧シリンダ９によりバッ
クアップロール３に対する接触圧を調節できるように構
成されている。
なお、弾性ロールは、硬度100以下のゴム、また引張
弾性率500kg/mm2以下のプラスチックを用いて形成する
ことを可とする。
弾性率500kg/mm2以下のプラスチックを用いて形成する
ことを可とする。
こうして蒸着フィルムをバックアップロールに巻き付
け、かつ巻き付けたフイルムをさらに弾性ロールで押し
付けることによりバックアップロールに密着させ、しか
るのち、該フィルムの上からレーザ光線を照射して蒸着
膜にフィルムの流れ方向に連続する一定巾の蒸着膜を有
しないマージン部を形成する。こうして得られたコンデ
ンサ用の蒸着フィルムは、これをスリッタ（図示省略）
によって所定巾に栽断して巻取製品を得るものである。
け、かつ巻き付けたフイルムをさらに弾性ロールで押し
付けることによりバックアップロールに密着させ、しか
るのち、該フィルムの上からレーザ光線を照射して蒸着
膜にフィルムの流れ方向に連続する一定巾の蒸着膜を有
しないマージン部を形成する。こうして得られたコンデ
ンサ用の蒸着フィルムは、これをスリッタ（図示省略）
によって所定巾に栽断して巻取製品を得るものである。
［発明の効果］ 以上に説明した通り本発明は、テンションロールによ
りテンションをかけてバックアップロールに対して蒸着
フィルムを巻きつけながら、バックアップロールに巻き
つけた蒸着フイルムを弾性ロールでバックアップロール
に対し押しつけることにより、蒸着フィルムをバックア
ップロールに密着させ、しかるのち、蒸着膜にレーザ光
線を照射するようにしたから、ベースフイルムに掛ける
テンションが小さくても該フイルムをバックアップロー
ルに密着させることができ、ベースフィルムの熱的損傷
を防止することができるという優れた効果を発揮する。
りテンションをかけてバックアップロールに対して蒸着
フィルムを巻きつけながら、バックアップロールに巻き
つけた蒸着フイルムを弾性ロールでバックアップロール
に対し押しつけることにより、蒸着フィルムをバックア
ップロールに密着させ、しかるのち、蒸着膜にレーザ光
線を照射するようにしたから、ベースフイルムに掛ける
テンションが小さくても該フイルムをバックアップロー
ルに密着させることができ、ベースフィルムの熱的損傷
を防止することができるという優れた効果を発揮する。
添付図面は本発明たる蒸着フイルムにレーザ方式でマー
ジンを形成する装置の要部概念図である。 1:蒸着フイルム、2:レーザ光照射部、3:バックアップロ
ール、4:レーザ射出光学系、５及び6:テンションロー
ル、7:弾性ロール、8:支持軸、9:流体圧シリンダ
ジンを形成する装置の要部概念図である。 1:蒸着フイルム、2:レーザ光照射部、3:バックアップロ
ール、4:レーザ射出光学系、５及び6:テンションロー
ル、7:弾性ロール、8:支持軸、9:流体圧シリンダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横田 篤 神奈川県川崎市幸区堀川町72番地 株式 会社東芝堀川町工場内 (56)参考文献 特開 平２−247088（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−64469（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−158831（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01G 4/00 - 4/40
Claims (3)
- 【請求項１】蒸着フイルムにレーザ光線を照射すること
により、フィルムの流れ方向に連続する一定幅の蒸着膜
を有しないマージン部を形成する蒸着フィルムの製造方
法において、 テンションロールによりテンションをかけてバックアッ
プロールに対して蒸着フィルムを巻きつけながら、バッ
クアップロールに巻きつけた蒸着フィルムを弾性ロール
でバックアップロールに対して押しつけることにより蒸
着フイルムをバックアップロールに密着させ、しかる
後、蒸着膜にレーザ光線を照射することを特徴とするコ
ンデンサ用蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項２】弾性ロールは、硬度100以下のゴム材料か
らなる請求項１記載のコンデンサ用蒸着フィルムの製造
方法。 - 【請求項３】弾性ロールは、引張弾性率500kg/mm2以下
のプラスチック材料である請求項１記載のコンデンサ用
蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333656A JP2923691B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | コンデンサ用蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333656A JP2923691B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | コンデンサ用蒸着フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04206615A JPH04206615A (ja) | 1992-07-28 |
| JP2923691B2 true JP2923691B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=18268500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2333656A Expired - Fee Related JP2923691B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | コンデンサ用蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2923691B2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2333656A patent/JP2923691B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04206615A (ja) | 1992-07-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |