JPS593224A - 波長走査型分光分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は自動的に波長走査を行いピーク検出を行う自動
波長走査型分光分析装置に関する。

従来の分光分析装置では、波長走査によってピークを検
出しピーク波長で測光を行って分析情報−１−１すＩ を得る場合、ピークを検出するには波長走査において−
Ｈピーク位置を通過する必要があるから、ピークが検出
されたとき分光装置をピーク波長位置まで戻して測光を
行うのであるが、波長走査機構にはバックラッシュがあ
るから分光装置をピーク波長位置より更に後戻させ改め
てピーク波長位置に移動させると云う操作手順を踏むよ
うにしており、一つのピークについて測定を行うのにも
非常に時間がか＼る上、機構的にも往復を繰返すので摩
耗を早めると云う問題があった。本発明は従来の分光分
析装置におけるこのような問題を解決することを目的と
するものである。

本発明は第コ−と第２の二つの出射スリットを近接して
配置し、夫々の出射スリットから出射した光を区別して
測光し得るようにし、波長走査の過程で第１の出射スリ
ットを出射した光によってピーク検出を行い、検出され
たピーク波長から、同ピークを第２の出射スリット上に
位置させたときの分光装置の波長位置を算出して、その
波長位置まで分光装置を駆動するようにｊ〜だ分光分析
装置）　　　　　　　　　　　　−２− を提供するものである。即ち第１の出射スリットから波
長λの光が出射１〜でいるときの分光装置の波長位置を
λとするとき、その波長λの光が第２の出射スリットか
ら出射するようにするだめの分光装置の波長送り量Δλ
は第］、第２の出射スリットの間隔から定まっているか
ら、第１の出射スリットによってピークが検出されたと
き、そのピーク波長にΔλを加えた値を分光装置の目標
位置として分光装置を駆動すれば第２の出射スリット上
にピークを位置させることができ、この過程で分光装置
は一方向へのみ駆動すればよいのである。

以下実施例によって本発明を説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。Ｍは分光器で、１４
ｊ、入射スリット、２は回折格子、３，３１は主鏡、４
は第１の出射スリット、７は第２の出射スリットである
。５は第１及び第２の出射スリットの背後に置かれた三
角鏡で、第１出射スリツト４から出射した光を光検出器
６へ向けて反射させ、第２出射スリツト７から出射した
光を光検出器８へ向けて反射させる。回折格子２は不図
示の波長走査機構によって図示矢印のように回動せしめ
られ、その回動に従ってスペクトル像はスリット４．７
を連らねる面上を移動する。波長走査機構はパルスモー
タによって駆動され、波長走査機構のスタート位置から
の駆動パルスの計数値は第１の出射スリット４から出射
する光の波長に対応している。寸だ第］−の出射スリッ
ト４から出射している波長の光が第２の出射スリット７
から出射するようになるまでの駆動パルスの計数値は２
つのスリット４，７間の距離によって予め定まっている
。

Ｐはピーク検出回路で、光検出器６の出力についてピー
ク検出を行う。ピーク検出回路は光検出器６の出力をサ
ンプリングし、Ａ’−Ｄ変換して記憶し、前回のサンプ
リング値と今回のサンプリング値を比較し、今回のサン
プリング値が前回のサンプリング値と等しいか小さくな
っているときピーク検出信号を出すものである。もちろ
んピーク検出の方法はこれに限られるものではない。Ｃ
はカウンタで波長走査機構を駆動するパルスモータ駆動
回路ＰＭに供給する駆動パルスを計数している。

ＰＧはパルス発生器である。ＣＰＵは制御回路で、ピー
ク検出回路Ｐからピーク検出信号を受取ると、そのとき
のカウンタＣの計数値を読込む。この計数値はスペクト
ルピークが出射スリット４上にあるときのカウンタＣの
計数値に一定値を加えたものになっている。この一定値
はピーク検出回路Ｐの設計によって決った値であ・る。

従って制御回路ＣＰＵはカウンタＣから読込んだ計数値
からこの一定値Ａを引算してピーク波長の値を求める。

またカウンタＣから読込んだ値に他の一定値Ｂを加算し
、カウンタＣの計数値がこの加算して求めた値に達する
まで波長走査機構を駆動させる。一定値ＡとＢとを加え
た値がスペクトル上ヒの成る波長位置がスリット４から
スリット７まで移動するときの駆動パルスの計数値にな
るようにＢの値が予め決めである。従ってピークが検出
されてからカウンタＣの計数値がＢだけ増加した所で光
検出器８によって第２の出射スリット７から出射する光
を測光すればスペクトル上のピーク波長の光について測
光を行うことができる。

第２図は本発明の他の実施例を示し、第１図における光
検出器６，８を共通の一個の光検出器６０にしだもので
ある。この場合２つの出射スリット４，７の背後に切換
えシャッター９を設け、マグネツ）１１で操作するよう
になっている。マグネット１１に通電していない状態で
はシャッター９はばね１０に引かれてシャッター開口Ａ
ｐは第１の出射スリット４の背後に位置しておシ、第１
の出射スリット４を通過した光が光検出器６０に入射す
る。この状態でピーク検出を行い、ピークが検出された
らマグネツ）１１に通電しシャッター９をばね１０に抗
してマグネット１１の方に引寄せるとシャッター開口Ａ
ｐは第２の出射スリットγの背後に位置せしめられ、こ
の状態では第２の出射スリット７を通過した光が光検出
器６０に入射せしめられる。この状態でスペクトル上の
目的の波長位置がスリット７上に来た所で光検出器６０
によってその波長の光について測光を行う。

２つの出射スリット４，７間の間隔は光学的にはせまい
程よい。分光装置がモ、ノクロメータである場合、実用
的に正しいスペクトル像が得られる範囲は］、　Ｏｍ　
ｍ程度であり、第１．第２の両出射スリット間の間隔は
これ以下であることが必要で、更に温度変化による両ス
リット間の距離の変化量を少くするためにも両スリット
間の間隔はせまい方が良い。第１図の実施例でスリット
４，７の間隔は］、　ｍ　ｍ程度にすることができる。

波長走査型のシーケンシャル分析装置はマルチチャンネ
ル型の多元素同時分析装置に比し、多元素分析の場合時
間がか５る欠点があるが、本発明によれば、上述したよ
うな構成でピークを検出してから一旦後退し再びピーク
位置に戻って測光を行うと云う往復動作が不要で分析所
要時間が短縮でき、分光装置の特定波長位置（各種元素
のピークの位置）での往復運動がなくなり、従って装置
の局部的摩耗がなく、また駆動量が少くてすむから装置
の機械的寿命が長くなると云った効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例装置の光学系の平面７− 図と制御系のブロック図、第２図は本発明の他の一実施
例の要部平面図である。 Ｍ・・・分光器、］・・・入射スリット、４・・・第１
の出射スリット、７・・・第２の出射スリット、５・・
・三角鏡、６．８・・・光検出器、Ｐ・・・ピーク検出
回路、ＣＰＵ・・・制御口ＦＭ’ｔ　、”　Ｍ・・・パ
ルスモータ、ＰＧ・・・パルス発生器、Ｃ・・・カウン
タ、９・・・シャッター、１１・・・マグネット、６０
・・・光検出器。 代理人　弁理士　　林　　　浩　　介 ８−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 近接して配置した第１と第２の２つの出射スリットと、
   これら２つの出射スリットから出射する光を区別して測
   光する測光手段と、第］−の出射スリット出射光につい
   てピーク検出を行う手段と、ピークが検出されたときの
   分光器の波長位置からスペクトル上のピーク波長位置を
   上記第２の出射スリット上に位置させるだめの分光器の
   波長位置を算出し、その位置まで分光器を駆動させ、そ
   のときの第２の出射スリットからの出射光について測光
   を行わせる制御回路を備えだ波長走査型分光分析装置。