JPS5928842B2 - ソクテイソウチ - Google Patents
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- JPS5928842B2 JPS5928842B2 JP50150726A JP15072675A JPS5928842B2 JP S5928842 B2 JPS5928842 B2 JP S5928842B2 JP 50150726 A JP50150726 A JP 50150726A JP 15072675 A JP15072675 A JP 15072675A JP S5928842 B2 JPS5928842 B2 JP S5928842B2
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 37
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 29
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 210000002105 tongue Anatomy 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34761—Protection devices, e.g. caps; Blowing devices
- G01D5/34769—Sealing means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/08—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
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- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G12B9/02—Casings; Housings; Cabinets
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、測定区間に沿つて可動で且つ被測定物と連結
された構造部材を有する測定装置にして、測定区間を直
接取り囲む空間が環境の諸影響に対して遮蔽されている
ような測定装置に関するものである。
された構造部材を有する測定装置にして、測定区間を直
接取り囲む空間が環境の諸影響に対して遮蔽されている
ような測定装置に関するものである。
測定区間に沿つて可動構造部材を有する測定装置は、例
えば干渉計の形状で公知となつており、この場合には、
上記可動構造部材は、反射鏡である。更に上述の測定装
置は、レーザ光束によつて画定せる直線からの可動部材
の軌道の偏差を決定する装置にもすることができる。し
かもこの測定装置は電気的ディジタル測長装置でも良く
・この場合環境の諸影響に対して目盛とこの目盛の前に
支承された走査ヘッドとが遮へいされている。ドイツ公
開公報第２１１３４７７号から既にレーザ干渉計が公知
となつており、この場合その測定区間を直接取り巻く空
間が管によつて遮へいされ且つ真空とされている。この
管は、反射鏡に対する携行装置を通すスリットを有する
。スリットのところでのこの管の密封は、可撓性密封装
置によつて行こなわせ、この密封装置を通つて携行装置
が貫通している。この干渉計装置の場合管の真空は、高
出力の真空ポンプで漏えいに追従して排気することによ
つて維持させることができる。本発明の目的は、上述の
種類の測定装置の場合特別な構造上のコストを必要とす
ることなく測定区間を直接取り巻く空間の環境空気に対
する気密密封を達成しかつ測定区間導溝内の真空を該構
造部材の運動中にも維持させ、その際連続して漏えいに
追従して排気する操作を必要としない装置を提供するに
ある。更に本発明の別の目的は、中空体のスリツトのと
ころで密封装置をつくり、加うるにこの密封装置が携行
装置と密封機素との間の摺動状態を有利にするものを提
供するにある。
えば干渉計の形状で公知となつており、この場合には、
上記可動構造部材は、反射鏡である。更に上述の測定装
置は、レーザ光束によつて画定せる直線からの可動部材
の軌道の偏差を決定する装置にもすることができる。し
かもこの測定装置は電気的ディジタル測長装置でも良く
・この場合環境の諸影響に対して目盛とこの目盛の前に
支承された走査ヘッドとが遮へいされている。ドイツ公
開公報第２１１３４７７号から既にレーザ干渉計が公知
となつており、この場合その測定区間を直接取り巻く空
間が管によつて遮へいされ且つ真空とされている。この
管は、反射鏡に対する携行装置を通すスリットを有する
。スリットのところでのこの管の密封は、可撓性密封装
置によつて行こなわせ、この密封装置を通つて携行装置
が貫通している。この干渉計装置の場合管の真空は、高
出力の真空ポンプで漏えいに追従して排気することによ
つて維持させることができる。本発明の目的は、上述の
種類の測定装置の場合特別な構造上のコストを必要とす
ることなく測定区間を直接取り巻く空間の環境空気に対
する気密密封を達成しかつ測定区間導溝内の真空を該構
造部材の運動中にも維持させ、その際連続して漏えいに
追従して排気する操作を必要としない装置を提供するに
ある。更に本発明の別の目的は、中空体のスリツトのと
ころで密封装置をつくり、加うるにこの密封装置が携行
装置と密封機素との間の摺動状態を有利にするものを提
供するにある。
その上本発明によると、厳しい環境条件のもとでも多方
面に応用できる装置の測定導溝での密封装置をつくるこ
とができる。本発明は、一定測定区間に沿つて運動自在
な構造部材を有する測定装置によつて上記目的を解決し
上記測定装置では、上記測定区間の遮へいが該可動構造
部材に対して携行装置を通過案内させるためにスリツト
を備えた細長い中空体により行われるものであり、この
際該中空体のスリツトは上記携行装置をその間に受け入
れる柔軟性密封機素を用いて閉鎖することと、更にそれ
ら密封機素にある隙間を磁性液体で充満し該液体を磁場
により保持することを特徴とする。
面に応用できる装置の測定導溝での密封装置をつくるこ
とができる。本発明は、一定測定区間に沿つて運動自在
な構造部材を有する測定装置によつて上記目的を解決し
上記測定装置では、上記測定区間の遮へいが該可動構造
部材に対して携行装置を通過案内させるためにスリツト
を備えた細長い中空体により行われるものであり、この
際該中空体のスリツトは上記携行装置をその間に受け入
れる柔軟性密封機素を用いて閉鎖することと、更にそれ
ら密封機素にある隙間を磁性液体で充満し該液体を磁場
により保持することを特徴とする。
密封液体として特別な磁性液体が適している。文献で磁
化し得る液体またはワエロフイルドとも称する磁性液体
は、微細分布せる磁気微粒子（好しくはフエライト材料
）を一定液状坦体（例えばケロシンまたはシリコーン油
の如き）中に分散させたもので、゛磁性１なる術語は、
磁化させられる能力を意味する。磁性液体に関する詳細
に就いては、文献゛ＩｎｔｅｒｎａｔｘＯｎａｌｓｃｉ
ｅｎｃｅａｎｄｔｅｃｈｎＯｌＯｇｙ′５誌の１９６６
年７月刊行第５５号第４８から５６頁までに掲載されて
いる。次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明
することにしよう。
化し得る液体またはワエロフイルドとも称する磁性液体
は、微細分布せる磁気微粒子（好しくはフエライト材料
）を一定液状坦体（例えばケロシンまたはシリコーン油
の如き）中に分散させたもので、゛磁性１なる術語は、
磁化させられる能力を意味する。磁性液体に関する詳細
に就いては、文献゛ＩｎｔｅｒｎａｔｘＯｎａｌｓｃｉ
ｅｎｃｅａｎｄｔｅｃｈｎＯｌＯｇｙ′５誌の１９６６
年７月刊行第５５号第４８から５６頁までに掲載されて
いる。次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明
することにしよう。
第１図は、本発明の例として使用する公知設計のレーザ
干渉計を示す。
干渉計を示す。
固定物体に設けるこの干渉計１０は、可動反射鏡１１と
共働して長さの測定を行ない、その光源１２はレーザを
使用する。基本構造ユニツト１３は、ビームスプリツタ
によつて測定ビームと参照ビームとに上記レーザビーム
を分割する干渉計光学装置である。両ビームを再びビー
ム集合装置で集合させ従つて測定ビームと参照ビームと
の光路長の差に関連する干渉現象を発生させる。反射鏡
１１の移動によつて参照ビームが通過する光路（バス）
の長さを変動させる。これに従つて干渉現象とそのため
光電パスへ案内するシグナルを変動させる。光学的シグ
ナルを電気的シグナルへ変換する光電検出装置は、基本
構造ユニツ・ト１４内にある。反射鏡１１が移動する場
合発生するシグナルの周波数は、前進／後退カウンタ１
６でカウントさせる。コンピユータ１７で計測せる移動
量の１０進値への変換を行なわせ、その測定結果を指示
装置１８で読み取ることができる。前述の干渉計装置は
、その細部に関して本発明の要旨ではないので詳細に説
明をしない。この干渉計装置は適宜公知の種類のものに
構成させることができる。或る構造部材の移動距離を一
定の光の波長と比較して測定を行なう測定装置の場合、
上記測定の基本となる測定区間の領域における光の波長
が環境の影響（気圧、湿度、炭酸ガス含有量、温度）に
左右されて変動する。
共働して長さの測定を行ない、その光源１２はレーザを
使用する。基本構造ユニツト１３は、ビームスプリツタ
によつて測定ビームと参照ビームとに上記レーザビーム
を分割する干渉計光学装置である。両ビームを再びビー
ム集合装置で集合させ従つて測定ビームと参照ビームと
の光路長の差に関連する干渉現象を発生させる。反射鏡
１１の移動によつて参照ビームが通過する光路（バス）
の長さを変動させる。これに従つて干渉現象とそのため
光電パスへ案内するシグナルを変動させる。光学的シグ
ナルを電気的シグナルへ変換する光電検出装置は、基本
構造ユニツ・ト１４内にある。反射鏡１１が移動する場
合発生するシグナルの周波数は、前進／後退カウンタ１
６でカウントさせる。コンピユータ１７で計測せる移動
量の１０進値への変換を行なわせ、その測定結果を指示
装置１８で読み取ることができる。前述の干渉計装置は
、その細部に関して本発明の要旨ではないので詳細に説
明をしない。この干渉計装置は適宜公知の種類のものに
構成させることができる。或る構造部材の移動距離を一
定の光の波長と比較して測定を行なう測定装置の場合、
上記測定の基本となる測定区間の領域における光の波長
が環境の影響（気圧、湿度、炭酸ガス含有量、温度）に
左右されて変動する。
このため上記環境の影響を補償する高価なコンピユータ
を使用しない限り測定結果に誤差を生じることになる。
一定光線の波長が真空中でのみ物理学的絶体値を示すか
ら本発明による装置の場合上記測定個所を真空中に置く
ことによつて前述の欠陥を防止する。第２図は、本発明
による別の密封装置を示す。
を使用しない限り測定結果に誤差を生じることになる。
一定光線の波長が真空中でのみ物理学的絶体値を示すか
ら本発明による装置の場合上記測定個所を真空中に置く
ことによつて前述の欠陥を防止する。第２図は、本発明
による別の密封装置を示す。
反射鏡１１は、すんなりしたサーベル形状の携行装置１
９を介して真空にした中空体１２０に挿入させる。中空
体１２０のスリツト１２２は、屋根形状にした柔軟性密
封リツプ１２３／１２４を用いて密封させる。これら密
封リツプ１２３／１２４は、合成樹脂からつくるのが好
しい。この密封リツプ１２３／１２４の端部をいづれも
外側に向けて形成する。この形状にして構成せるＶ字形
状導溝の中へ磁性液体Ｆを注入し、永久磁石１２５／１
２６の磁場によつてこの液体を保持させまた真空と成さ
れた中空体の気密を、携行装置１１９または被計測物体
１３３の移動の際にも保証させる。永久磁石１２５／１
２６は、密封リツプ１２３／１２４の全長に亘つて延長
させる。屋根状の密封リツプを用いて中空体２０のスリ
ツトを閉鎖しまた極めて微細隙間のみを磁性液体Ｆで充
満するという本発明による手段によつて多数の長所が生
ずる。一方では密封リツプ１２３／１２４にある微細な
隙間を介して高真空または厳しい環境条件の場合にも上
記磁性液体Ｆを確実に維持させまた他方ではこの磁性液
体の注入によつて携行装置１１９と密封リツプ１２３／
１２４との間の摺動状態を好しいものにする。本密封装
置によつて中空体１２０の真空を長時間に亘つて漏えい
に追従して排気する必要がなく維持させることができる
。なお別の長所は、この測定装置をどんな位置にでも取
り付けられる様にしている上記密封装置の有利な構成で
ある。第３図は、本体１２１１の中空室の中へ突出する
屋根形状密封リツプ１２３１／１２４１を有する配置を
示し、これらリツプは、第２図で判るようにリツプの間
に携行装置をとりつける。磁性液体Ｆを密封リツプ１２
３１／１２４１によつて構成せるＶ字形状溝の中へ注入
し、密封装置の隙間の磁性液体Ｆを永久磁石１２５１／
１２６１によつて保持させ、この磁石は、中空体１２０
１の内部に設けられる。保護板１２８１／１２９１は、
機械的に損傷させないように密封リツプ１２３１／１２
４１を保護する。この装置の場合には厳しい環境状況の
もとにおいてもこの測定装置を多方面の用途に使用させ
る簡単かつ小型の構成にできるのが有利である。第４図
による装置の場合、屋根形状密封リツプ１２３２／１２
４２の内面で溝２７を堀り込んで、この溝の中へ磁性液
体Ｆを注入する。
９を介して真空にした中空体１２０に挿入させる。中空
体１２０のスリツト１２２は、屋根形状にした柔軟性密
封リツプ１２３／１２４を用いて密封させる。これら密
封リツプ１２３／１２４は、合成樹脂からつくるのが好
しい。この密封リツプ１２３／１２４の端部をいづれも
外側に向けて形成する。この形状にして構成せるＶ字形
状導溝の中へ磁性液体Ｆを注入し、永久磁石１２５／１
２６の磁場によつてこの液体を保持させまた真空と成さ
れた中空体の気密を、携行装置１１９または被計測物体
１３３の移動の際にも保証させる。永久磁石１２５／１
２６は、密封リツプ１２３／１２４の全長に亘つて延長
させる。屋根状の密封リツプを用いて中空体２０のスリ
ツトを閉鎖しまた極めて微細隙間のみを磁性液体Ｆで充
満するという本発明による手段によつて多数の長所が生
ずる。一方では密封リツプ１２３／１２４にある微細な
隙間を介して高真空または厳しい環境条件の場合にも上
記磁性液体Ｆを確実に維持させまた他方ではこの磁性液
体の注入によつて携行装置１１９と密封リツプ１２３／
１２４との間の摺動状態を好しいものにする。本密封装
置によつて中空体１２０の真空を長時間に亘つて漏えい
に追従して排気する必要がなく維持させることができる
。なお別の長所は、この測定装置をどんな位置にでも取
り付けられる様にしている上記密封装置の有利な構成で
ある。第３図は、本体１２１１の中空室の中へ突出する
屋根形状密封リツプ１２３１／１２４１を有する配置を
示し、これらリツプは、第２図で判るようにリツプの間
に携行装置をとりつける。磁性液体Ｆを密封リツプ１２
３１／１２４１によつて構成せるＶ字形状溝の中へ注入
し、密封装置の隙間の磁性液体Ｆを永久磁石１２５１／
１２６１によつて保持させ、この磁石は、中空体１２０
１の内部に設けられる。保護板１２８１／１２９１は、
機械的に損傷させないように密封リツプ１２３１／１２
４１を保護する。この装置の場合には厳しい環境状況の
もとにおいてもこの測定装置を多方面の用途に使用させ
る簡単かつ小型の構成にできるのが有利である。第４図
による装置の場合、屋根形状密封リツプ１２３２／１２
４２の内面で溝２７を堀り込んで、この溝の中へ磁性液
体Ｆを注入する。
溝２７の磁性液体Ｆは、永久磁石１２５２／１２６２に
よつて保持させる。溝２７は、補償容器（図示せず）と
連結させ、この容器を中空体２０の端面側に設ける。こ
のような配置にすると塵埃粒子または汚物粒子が磁注液
体Ｆ内へ侵入できない。第５図は、屋根形状リツプ１２
３３／１２４３０）両端端部を面取した装置を示す。
よつて保持させる。溝２７は、補償容器（図示せず）と
連結させ、この容器を中空体２０の端面側に設ける。こ
のような配置にすると塵埃粒子または汚物粒子が磁注液
体Ｆ内へ侵入できない。第５図は、屋根形状リツプ１２
３３／１２４３０）両端端部を面取した装置を示す。
磁性液体Ｆは、密封リツプ１２３３／１２４３によつて
構成せるＶ字形溝内へ注入する。永久磁石１２５３／１
２６３は、その隙間内にある磁性液体Ｆを漏れないよう
にする。第６図は、密封リツプ１２３４／１２４４の外
側に形成せる薄いウエブ１２３′４／１２４７４を有す
る装置を示し、これらウエブの間に磁性液体Ｆを入れて
、この磁性液体Ｆを永久磁石によつて保持させる。
構成せるＶ字形溝内へ注入する。永久磁石１２５３／１
２６３は、その隙間内にある磁性液体Ｆを漏れないよう
にする。第６図は、密封リツプ１２３４／１２４４の外
側に形成せる薄いウエブ１２３′４／１２４７４を有す
る装置を示し、これらウエブの間に磁性液体Ｆを入れて
、この磁性液体Ｆを永久磁石によつて保持させる。
第７図において、密封リツプ１２３５／１２４５の内側
で一層薄い屋根形状のリツプ１２３′５／１２４′５を
成形する。
で一層薄い屋根形状のリツプ１２３′５／１２４′５を
成形する。
磁性液体Ｆは、密封リツプ対１２３５および１２３７５
／１２４５および１２４？の間に構成せるポケツト内に
ある。磁性液体Ｆを永久磁石１２５５／１２６５によつ
て保持させる。このような装置にすると塵埃粒子または
汚物粒子が磁性液体Ｆへ侵入できないという利点がある
。第８図は、携行装置１１９６に対するスリツトを合成
樹脂またはゴムから成る軟質密封ストリツプ１２３６／
１２４６によつて密封する。これら密封ストリツプ１２
３６／１２４６は永久磁石１２５６／１２６６に固着さ
せるのが合目的であり、上記永久磁石を中空体１２６６
に設ける０磁性液体Ｆは、密封ストリツプ１２３６／１
２４６にある溝の中に注入するのが好しい。この液体は
、永久磁石１２５６／１２６６によつて隙間の中に保持
させる。携行装置１１９６を収容する密封ストリツプを
磁化した合成樹脂からもつくることもできる。第９図に
よる装置の場合サーベル形状の携行装置１１９７を永久
磁石として少くとも部分的に構成し、この永久磁石を屋
根形状密封リツプ１２３７／１２４７の間のサーベル端
部にある微細な隙間でのみ磁性液体Ｆを保持させ従つて
移動する場合携行する。この装置は中空体内に電気式デ
イジタル測長装置の目盛および走査ヘツドが設けられて
いる中空体をカバーするのに適している。本発明は、干
渉計の場合の応用へ限定しないで、例えば構造部材の軌
道のレーザビームによつて画定せる直線からの偏差を決
定する装置の場合にも応用できることは自明である。
／１２４５および１２４？の間に構成せるポケツト内に
ある。磁性液体Ｆを永久磁石１２５５／１２６５によつ
て保持させる。このような装置にすると塵埃粒子または
汚物粒子が磁性液体Ｆへ侵入できないという利点がある
。第８図は、携行装置１１９６に対するスリツトを合成
樹脂またはゴムから成る軟質密封ストリツプ１２３６／
１２４６によつて密封する。これら密封ストリツプ１２
３６／１２４６は永久磁石１２５６／１２６６に固着さ
せるのが合目的であり、上記永久磁石を中空体１２６６
に設ける０磁性液体Ｆは、密封ストリツプ１２３６／１
２４６にある溝の中に注入するのが好しい。この液体は
、永久磁石１２５６／１２６６によつて隙間の中に保持
させる。携行装置１１９６を収容する密封ストリツプを
磁化した合成樹脂からもつくることもできる。第９図に
よる装置の場合サーベル形状の携行装置１１９７を永久
磁石として少くとも部分的に構成し、この永久磁石を屋
根形状密封リツプ１２３７／１２４７の間のサーベル端
部にある微細な隙間でのみ磁性液体Ｆを保持させ従つて
移動する場合携行する。この装置は中空体内に電気式デ
イジタル測長装置の目盛および走査ヘツドが設けられて
いる中空体をカバーするのに適している。本発明は、干
渉計の場合の応用へ限定しないで、例えば構造部材の軌
道のレーザビームによつて画定せる直線からの偏差を決
定する装置の場合にも応用できることは自明である。
この種の直線性点検装置の場合、空気の変動する屈折率
は参照直線の変動を惹起させることが公知であり、この
ため測定に誤差を招く。本発明による遮断装置によつて
この種の測定誤差を解消できる。
は参照直線の変動を惹起させることが公知であり、この
ため測定に誤差を招く。本発明による遮断装置によつて
この種の測定誤差を解消できる。
第１図は、レーザ干渉計の略図、第２図は、磁性流体を
有する実施例の断面図、第３図は、内側に向いた密封舌
部を有する別の実施例の断面図、第４図は、密封リツプ
内に溝を有する別の実施例の断面図、第５図は、密封リ
ツプの端部を面取りした実施例の断面図、第６図は、密
封リツプの外側に設けた液密用ポケツトを有する別の実
施例の断面図、第７図は、密封リツプの内側に設けた液
密用ポケツトの別の実施例の断面図、第８図は、柔軟な
密封ストリツプを有する別の実施例の断面図、第９図は
、携行装置が永久磁石である実施例の断面図を示す。 １１，１１１・・・・・・可動構造部材、１１９・・・
・・・携行装置、１２０・・・・・・中空体、１２２・
・・・・・スリツト、１２３／１２４，１２３１／１２
４１から１２３７／１２４７まで・・・・・・密封機素
。
有する実施例の断面図、第３図は、内側に向いた密封舌
部を有する別の実施例の断面図、第４図は、密封リツプ
内に溝を有する別の実施例の断面図、第５図は、密封リ
ツプの端部を面取りした実施例の断面図、第６図は、密
封リツプの外側に設けた液密用ポケツトを有する別の実
施例の断面図、第７図は、密封リツプの内側に設けた液
密用ポケツトの別の実施例の断面図、第８図は、柔軟な
密封ストリツプを有する別の実施例の断面図、第９図は
、携行装置が永久磁石である実施例の断面図を示す。 １１，１１１・・・・・・可動構造部材、１１９・・・
・・・携行装置、１２０・・・・・・中空体、１２２・
・・・・・スリツト、１２３／１２４，１２３１／１２
４１から１２３７／１２４７まで・・・・・・密封機素
。
Claims (1)
- １ 測定区間に沿つて可動で且つ被測定物と連結された
構造部材を有する測定装置にして、測定区間を直接取り
囲む空間が環境の諸影響に対して遮蔽されそして測定区
間の遮蔽が長手方向に延びた中空体により行われ、該中
空体は上記可動な構造部材の携行装置を通過させるため
のスリットを備え、該スリットは中空体の内部で、携行
装置をその間に収容する特に屋根状に配置された柔軟性
のある密封機素を用いて閉鎖されている測定装置におい
て、密封機素１２３／１２４または１２３＿１／１２４
＿１乃至１２３＿７／１２４＿７にある隙間を磁性液体
Ｆで充満すること、および磁性液体Ｆは密封機素１２３
／１２４または１２３＿１／１２４＿１乃至１２３＿７
／１２４＿７の間の隙間の中に磁場により保持されてい
ることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19742460406 DE2460406C3 (de) | 1974-12-20 | Längen- oder Winkelmeßsystem |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5193250A JPS5193250A (ja) | 1976-08-16 |
| JPS5928842B2 true JPS5928842B2 (ja) | 1984-07-16 |
Family
ID=5933998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50150726A Expired JPS5928842B2 (ja) | 1974-12-20 | 1975-12-19 | ソクテイソウチ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4057258A (ja) |
| JP (1) | JPS5928842B2 (ja) |
| CH (1) | CH602974A5 (ja) |
| FR (1) | FR2295403A1 (ja) |
| GB (1) | GB1535056A (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2623526C2 (de) * | 1976-05-26 | 1978-03-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
| DE2816621C3 (de) * | 1978-04-17 | 1980-10-09 | Lumoprint Zindler Kg (Gmbh & Co), 2000 Hamburg | Dichtungsanordnung in einer Entwicklungsvorrichtung eines Kopiergeräte |
| DE2841501B2 (de) * | 1978-09-23 | 1980-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Winkelmefieinrichtung |
| DE3006489C2 (de) * | 1980-02-21 | 1982-09-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Wegmeßeinrichtung |
| JPS5739307U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-03 | ||
| EP0055690B1 (de) * | 1980-12-30 | 1986-01-02 | SIG Schweizerische Industrie-Gesellschaft | Abdichtung des Schlitzes im Waffengehäuse einer Handfeuerwaffe für den Durchtritt des Spanngriffs |
| DE3215336C1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Messeinrichtung |
| JPS5989206U (ja) * | 1982-12-09 | 1984-06-16 | ソニ−マグネスケ−ル株式会社 | 位置検出装置 |
| DE3338305A1 (de) * | 1983-10-21 | 1985-05-02 | Wabco Westinghouse Steuerungstechnik GmbH & Co, 3000 Hannover | Druckmittelzylinder mit einem endseitig verschlossenen laengsgeschlitzten zylinderrohr |
| DE3400395C1 (de) * | 1984-01-07 | 1985-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
| DE3410944C1 (de) * | 1984-03-24 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
| DE3429644C1 (de) * | 1984-08-11 | 1986-02-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
| DE3509891A1 (de) * | 1985-03-19 | 1986-09-25 | Herion-Werke Kg, 7012 Fellbach | Kolbenstangenloser zylinder |
| US4830119A (en) * | 1987-04-02 | 1989-05-16 | 501 W-N Apache Corporation | Top head drive cooling system |
| DE3841721C1 (ja) * | 1988-09-30 | 1990-01-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| DE3935830C2 (de) * | 1989-10-27 | 2000-05-11 | Teves Gmbh Alfred | Stellvorrichtung, insbesondere Scheibenreinigungsanlage für Kraftfahrzeuge |
| DE4333651A1 (de) * | 1993-10-02 | 1995-04-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| EP0848770B1 (en) * | 1995-09-06 | 2001-10-24 | The Procter & Gamble Company | Tissue paper product comprising adhesively joined plies |
| US6530317B2 (en) | 2000-12-05 | 2003-03-11 | Creo Srl | Method to engrave surface using particle beam |
| JP2004312881A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Smc Corp | アクチュエータ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3738754A (en) * | 1970-03-20 | 1973-06-12 | Thomson Csf | Optical contacting systems for positioning and metrology systems |
| JPS4974554A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-07-18 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3031802A (en) * | 1960-11-29 | 1962-05-01 | Bell Intercontinental Corp | Blast machine sealing means |
| US3612549A (en) * | 1970-05-25 | 1971-10-12 | Melvin H Berkowitz | Pressure seal |
| US3848879A (en) * | 1972-12-19 | 1974-11-19 | Us Army | Shaft seal |
-
1975
- 1975-12-04 CH CH1575675A patent/CH602974A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-12-05 GB GB50044/75A patent/GB1535056A/en not_active Expired
- 1975-12-18 FR FR7538868A patent/FR2295403A1/fr active Granted
- 1975-12-19 US US05/642,471 patent/US4057258A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-12-19 JP JP50150726A patent/JPS5928842B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3738754A (en) * | 1970-03-20 | 1973-06-12 | Thomson Csf | Optical contacting systems for positioning and metrology systems |
| JPS4974554A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-07-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1535056A (en) | 1978-12-06 |
| CH602974A5 (ja) | 1978-08-15 |
| DE2460406A1 (de) | 1976-06-24 |
| FR2295403A1 (fr) | 1976-07-16 |
| JPS5193250A (ja) | 1976-08-16 |
| US4057258A (en) | 1977-11-08 |
| FR2295403B1 (ja) | 1979-04-20 |
| DE2460406B2 (de) | 1977-03-24 |
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