JPS5927248A - 分光分析試験用のグロ−放電灯 - Google Patents
分光分析試験用のグロ−放電灯Info
- Publication number
- JPS5927248A JPS5927248A JP58098129A JP9812983A JPS5927248A JP S5927248 A JPS5927248 A JP S5927248A JP 58098129 A JP58098129 A JP 58098129A JP 9812983 A JP9812983 A JP 9812983A JP S5927248 A JPS5927248 A JP S5927248A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main chamber
- pressure
- discharge lamp
- glow discharge
- carrier gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J61/28—Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the lamp
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特許請求の範囲第１項の上意概念記載の分光
分析試験用のグロー放電灯に関する。
分析試験用のグロー放電灯に関する。
西ドイツ国特許明細書第１５８９３８９号並びにこれと
追加の関係にある同第１９１０４６１号からは、陰極電
位にあるサンプル上に大きい光強度の陰極グローが形成
され、このグローがサンプル付近に壕で達する陽極スリ
ーブにより制限される、分光分析試験に殊に適当なグロ
ー放電灯が公知である。この場合、陽極スリーブの端面
およびサンプル間の環状スリットが、陽極−寸たは主室
および陰極室間の絞り部を形成する。陰極室は、そこに
グロー放電が生じえない程度に減圧される。陽極室中で
、キャリヤガス源に至る接続管に配置された絞り弁を使
用し作動圧力が数ミリ・ζ−ルに調節される。グロー放
電は、約１０００〜１５００ボルトの電圧の場合約１０
０〜２００ｍＡの電流で得られる。
追加の関係にある同第１９１０４６１号からは、陰極電
位にあるサンプル上に大きい光強度の陰極グローが形成
され、このグローがサンプル付近に壕で達する陽極スリ
ーブにより制限される、分光分析試験に殊に適当なグロ
ー放電灯が公知である。この場合、陽極スリーブの端面
およびサンプル間の環状スリットが、陽極−寸たは主室
および陰極室間の絞り部を形成する。陰極室は、そこに
グロー放電が生じえない程度に減圧される。陽極室中で
、キャリヤガス源に至る接続管に配置された絞り弁を使
用し作動圧力が数ミリ・ζ−ルに調節される。グロー放
電は、約１０００〜１５００ボルトの電圧の場合約１０
０〜２００ｍＡの電流で得られる。
電圧、電流またはグロー放電効率を不変に維持すること
により、周期律表の全元素につき極めて直線的かつ再現
可能な校正曲線が得られる。
により、周期律表の全元素につき極めて直線的かつ再現
可能な校正曲線が得られる。
常用の分析濃度で、誤差ｒｊＪがこの場合明白に含有率
に対し１係を下廻る。しかしながら、■連の用途、例え
ば冶金工業で、今日すでにさらに高い精度条件が課せら
れている。
に対し１係を下廻る。しかしながら、■連の用途、例え
ば冶金工業で、今日すでにさらに高い精度条件が課せら
れている。
本発明の根底をなす課題は、このような種類のグロー放
電灯を、分析結果の達成可能な精度の点でさらに引続き
改善することである。
電灯を、分析結果の達成可能な精度の点でさらに引続き
改善することである。
本発明によれば、この課題は、主室にキャリヤガスが圧
力制御されて供給可能であることにより解決される。
力制御されて供給可能であることにより解決される。
従来よシ、サンプル分析の残存誤差が、なかんずく校正
の不正確および／またはその時間的安定性の欠如並びに
グロー放電の不安定により惹起されるということから出
発したが、この面で意外にも、主室中で調節されるキャ
リヤガスの目標圧力のわずかな圧力変動でさえ放射分光
分析の誤差＋１−Ｊの原因となると判明した。従って、
作動空間中のキャリヤガス圧力を制御することにより、
はぼ係数５の分析精度改首が得られる２、グロー放電灯
の有利な実施例は、主室に圧力測定発信装置が接続され
、その圧力比例の電気的出力信号が比較装置の第１の人
力部に送入され、その第２の入力部が圧力目標値発信装
置の信号を受けかつその出力部が制御信号を、主室およ
びキャリヤガス源間の接続管中にある電気的に制御可能
な連続制御弁に供給することである。このために適当な
圧力測定発信装置および電気的に連続制御可能な弁は公
知であり、従ってこれらが本発明の目的ではない。
の不正確および／またはその時間的安定性の欠如並びに
グロー放電の不安定により惹起されるということから出
発したが、この面で意外にも、主室中で調節されるキャ
リヤガスの目標圧力のわずかな圧力変動でさえ放射分光
分析の誤差＋１−Ｊの原因となると判明した。従って、
作動空間中のキャリヤガス圧力を制御することにより、
はぼ係数５の分析精度改首が得られる２、グロー放電灯
の有利な実施例は、主室に圧力測定発信装置が接続され
、その圧力比例の電気的出力信号が比較装置の第１の人
力部に送入され、その第２の入力部が圧力目標値発信装
置の信号を受けかつその出力部が制御信号を、主室およ
びキャリヤガス源間の接続管中にある電気的に制御可能
な連続制御弁に供給することである。このために適当な
圧力測定発信装置および電気的に連続制御可能な弁は公
知であり、従ってこれらが本発明の目的ではない。
以下に、本発明を図面実施例につき詳説する。
図面は、本発明によるグロー放電灯を、本発明に関連す
る機能的に重要な部材に限定して略示する。
る機能的に重要な部材に限定して略示する。
グロー放電灯１は、主室２およびこれと絞り部３を経て
接続された陰極室４を包含する。
接続された陰極室４を包含する。
陰極室Φは、真空ポンプ５の第１段５．１に接続されか
つ例えば３ミリバールの化ツノに維持される。主室２は
、絞り位置６を経て同じ真空ポンプ５の第２段に接続さ
れている。
つ例えば３ミリバールの化ツノに維持される。主室２は
、絞り位置６を経て同じ真空ポンプ５の第２段に接続さ
れている。
主室２に、分光的に純粋なアルゴンが剛圧壜７から供給
されるが、この耐圧壜に減圧弁δが後接され、この弁に
手動により調節可能な絞り弁９が引続く。
されるが、この耐圧壜に減圧弁δが後接され、この弁に
手動により調節可能な絞り弁９が引続く。
主室２中の圧力を例えば３ミリバールに制御するため、
主室２に接続された圧力測定発信装置１１より成る制御
回路が使用され、この発信装置がその出力部から測定圧
力に比例する電気信号を比較装置１２の第１の人力部に
供給し、この比較装置が、その第２の入力部で目標値発
信装置１３から目標圧力に相応する信号を受けかつその
出力部から制御信号を、絞り弁９に後接され、流出断面
積がそれぞれ入力制御信号に比例する弁１４に供給する
。
主室２に接続された圧力測定発信装置１１より成る制御
回路が使用され、この発信装置がその出力部から測定圧
力に比例する電気信号を比較装置１２の第１の人力部に
供給し、この比較装置が、その第２の入力部で目標値発
信装置１３から目標圧力に相応する信号を受けかつその
出力部から制御信号を、絞り弁９に後接され、流出断面
積がそれぞれ入力制御信号に比例する弁１４に供給する
。
図面は、本発明による装置の１実施例を略示する系統図
である。 １・・・グロー放電灯、２・・・主室、３・・・絞り部
、４・・・陰極室、５・・・真空ポンプ、６・・・絞り
部、７・・・キャリヤガス源、８・減圧弁、９ ・絞り
弁、１１・・・圧力測定発信装置、１２・比較装［召、
１３・・・目標値発信装置、１４・連続制御弁図面の浄
ｉ’）’（内容に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和５８年特許願第９８１２９号２、
発明の名称 分光分析試験用のグロー放電灯 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ％Ｓ 氏名 ヘルマン・リッノル ４、復代理人 ７、補正の内容
である。 １・・・グロー放電灯、２・・・主室、３・・・絞り部
、４・・・陰極室、５・・・真空ポンプ、６・・・絞り
部、７・・・キャリヤガス源、８・減圧弁、９ ・絞り
弁、１１・・・圧力測定発信装置、１２・比較装［召、
１３・・・目標値発信装置、１４・連続制御弁図面の浄
ｉ’）’（内容に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和５８年特許願第９８１２９号２、
発明の名称 分光分析試験用のグロー放電灯 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ％Ｓ 氏名 ヘルマン・リッノル ４、復代理人 ７、補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、一方でキャリヤガス源に、他方で第１の真空ポンプ
に接続された陽極−または主室を有し、この室が絞り部
を経て、高真空発生用の第２の真空ポンプに接続された
陰極室に接続されている装置において、主室（２）にキ
ャリヤガスを圧力制御して供給可能であることを特徴と
する分光分析試験用のグロー放電灯。 ２、主室（２）に圧力測定発信装置（１１）が接続され
、その圧力に比例する電気的出力信号が比較装置（１２
）の第１の入力部に送入され、その第２の入力部が圧力
目標値発信装置（１３）の信号を受けかつその出力部が
制御信号を、主室（２）およびキャリヤガス源（７）間
の接続管中にある電気的に制御可能な連続制御弁（１４
）に供給することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の分光分析試験用ゆ゛ロー放電灯。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3221274A DE3221274C2 (de) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | Glimmentladungslampe für spektralanalytische Untersuchungen |
| DE32212747 | 1982-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927248A true JPS5927248A (ja) | 1984-02-13 |
Family
ID=6165418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58098129A Pending JPS5927248A (ja) | 1982-06-04 | 1983-06-03 | 分光分析試験用のグロ−放電灯 |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4524303A (ja) |
| JP (1) | JPS5927248A (ja) |
| AR (1) | AR231357A1 (ja) |
| AU (1) | AU557433B2 (ja) |
| BE (1) | BE896959A (ja) |
| BR (1) | BR8302960A (ja) |
| CA (1) | CA1215247A (ja) |
| CH (1) | CH661356A5 (ja) |
| DE (1) | DE3221274C2 (ja) |
| FR (1) | FR2528176B1 (ja) |
| GB (1) | GB2122416B (ja) |
| IN (1) | IN158797B (ja) |
| IT (1) | IT1167184B (ja) |
| MX (1) | MX152836A (ja) |
| NL (1) | NL8301924A (ja) |
| NO (1) | NO832012L (ja) |
| SE (1) | SE8303130L (ja) |
| ZA (1) | ZA834006B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4645977A (en) * | 1984-08-31 | 1987-02-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma CVD apparatus and method for forming a diamond like carbon film |
| DD272017A3 (de) * | 1985-04-01 | 1989-09-27 | Zeiss Jena Veb Carl | Vorrichtung zur emissionsspektralanalyse |
| US4881010A (en) * | 1985-10-31 | 1989-11-14 | Harris Semiconductor Patents, Inc. | Ion implantation method and apparatus |
| EP0419753A1 (en) * | 1989-09-28 | 1991-04-03 | Govoni Spa | Recognition system for the chemical constitution of plastic materials by means of electromagnetic waves |
| DE4401745C2 (de) * | 1994-01-21 | 2003-02-06 | Perkin Elmer Bodenseewerk Zwei | Verfahren zur Lichterzeugung für die Atomabsorptionsspektroskopie und Atomabsorptionsspektroskopiesystem zur Durchführung des Verfahrens |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB481918A (en) * | 1935-10-25 | 1938-03-21 | Barkon Tube Lighting Corp | Apparatus for controlling gas pressures |
| US2819427A (en) * | 1955-04-14 | 1958-01-07 | Rauland Corp | Light source |
| GB933219A (en) * | 1962-01-26 | 1963-08-08 | Masahiko Ogawa | Medical ozone generation apparatus |
| FR1332618A (fr) * | 1962-06-04 | 1963-07-19 | Siderurgie Fse Inst Rech | Perfectionnements à l'analyse spectrale des échantillons métalliques à l'air libre |
| FR1502882A (fr) * | 1966-10-03 | 1967-11-24 | Commissariat Energie Atomique | Chambre et installation perfectionnées pour l'analyse spectrographique des gaz occlus dans les métaux |
| DE1589389B2 (de) * | 1967-06-10 | 1971-03-18 | Grimm. Werner, Dr.rer.nat, 6454 Großauheim | Glimmentladungsroehre |
| US3566304A (en) * | 1968-03-20 | 1971-02-23 | Union Carbide Corp | Gas laser pressure control for maintaining constant pressure |
| US3699383A (en) * | 1970-12-28 | 1972-10-17 | Hewlett Packard Co | Flow-through hollow cathode spectral light source and method of operating same |
| US4060708A (en) * | 1975-09-17 | 1977-11-29 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Metastable argon stabilized arc devices for spectroscopic analysis |
| GB1572025A (en) * | 1976-06-07 | 1980-07-23 | Commw Scient Ind Res Org | Gas purged high intensity atomic spectral lamp |
| DE2823033C2 (de) * | 1978-05-26 | 1983-12-15 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Quelle für UV-Strahlung |
-
1982
- 1982-06-04 DE DE3221274A patent/DE3221274C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-05-30 CH CH2951/83A patent/CH661356A5/de not_active IP Right Cessation
- 1983-05-31 NL NL8301924A patent/NL8301924A/nl not_active Application Discontinuation
- 1983-06-01 AR AR293207A patent/AR231357A1/es active
- 1983-06-02 ZA ZA834006A patent/ZA834006B/xx unknown
- 1983-06-02 SE SE8303130A patent/SE8303130L/ not_active Application Discontinuation
- 1983-06-03 BE BE0/210932A patent/BE896959A/fr not_active IP Right Cessation
- 1983-06-03 GB GB08315237A patent/GB2122416B/en not_active Expired
- 1983-06-03 NO NO832012A patent/NO832012L/no unknown
- 1983-06-03 AU AU15353/83A patent/AU557433B2/en not_active Ceased
- 1983-06-03 IT IT21454/83A patent/IT1167184B/it active
- 1983-06-03 US US06/500,712 patent/US4524303A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-06-03 JP JP58098129A patent/JPS5927248A/ja active Pending
- 1983-06-03 BR BR8302960A patent/BR8302960A/pt unknown
- 1983-06-03 MX MX197532A patent/MX152836A/es unknown
- 1983-06-03 FR FR8309234A patent/FR2528176B1/fr not_active Expired
- 1983-06-06 CA CA000429772A patent/CA1215247A/en not_active Expired
- 1983-06-21 IN IN777/CAL/83A patent/IN158797B/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2528176B1 (fr) | 1986-08-14 |
| IT8321454A1 (it) | 1984-12-03 |
| CH661356A5 (de) | 1987-07-15 |
| GB8315237D0 (en) | 1983-07-06 |
| ZA834006B (en) | 1984-02-29 |
| AU1535383A (en) | 1983-12-08 |
| NL8301924A (nl) | 1984-01-02 |
| DE3221274C2 (de) | 1985-04-11 |
| CA1215247A (en) | 1986-12-16 |
| SE8303130L (sv) | 1983-12-05 |
| US4524303A (en) | 1985-06-18 |
| DE3221274A1 (de) | 1983-12-08 |
| IT8321454A0 (it) | 1983-06-03 |
| BE896959A (fr) | 1983-10-03 |
| SE8303130D0 (sv) | 1983-06-02 |
| GB2122416A (en) | 1984-01-11 |
| AR231357A1 (es) | 1984-10-31 |
| BR8302960A (pt) | 1984-02-07 |
| IN158797B (ja) | 1987-01-24 |
| AU557433B2 (en) | 1986-12-18 |
| NO832012L (no) | 1983-12-05 |
| MX152836A (es) | 1986-06-18 |
| GB2122416B (en) | 1985-10-02 |
| FR2528176A1 (fr) | 1983-12-09 |
| IT1167184B (it) | 1987-05-13 |
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