JPS5927206A - Defective pattern detecting method - Google Patents
Defective pattern detecting methodInfo
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- JPS5927206A JPS5927206A JP13755382A JP13755382A JPS5927206A JP S5927206 A JPS5927206 A JP S5927206A JP 13755382 A JP13755382 A JP 13755382A JP 13755382 A JP13755382 A JP 13755382A JP S5927206 A JPS5927206 A JP S5927206A
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
発明の対象
本発明は、欠陥パターン検出方法に関し、特にテレビジ
ョン・カメラ等で入力した対象物表面の映像信号から濃
度が高く、かつ形状の大きい、致命的な欠陥なjE U
Mに・秤択するための欠陥パターン検出方7μに門する
。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention The present invention relates to a method for detecting defect patterns, and in particular detects fatal defects with high density and large shape from a video signal of the surface of an object inputted by a television camera or the like. jE U
Let's move on to the defect pattern detection method 7μ for weighing M.
従来技術
プリント>k KNあるいはI C,L S l−1−
1r、Kllらのマス・、り等を検査する炉i(母、往
:1′B−1目7tシに」゛)]行われていたが、信4
刊性向11鈴′41′時間「ハ知乙、Meコストの低廉
化等をHするために、柚伯の自昨1化が要望されていた
。Prior art print > k KN or I C, L S l-1-
1r, Kll et al.'s mass inspection furnace i (formerly: 1'B-1 7t)] was carried out, but the
Publication Inclination 11 Suzu '41' Time ``Hachiotsu, in order to reduce the Me cost, etc., there was a request for Yuhaku to be made into a private company.
LSI等の久1象物表面の欠陥を白組;1的に検査1゛
る方法としては、従来、プレビジョン・カメラ等で入力
した対浄物表面の映像但叶からj1淡画像4・■■す出
し2、対象lnf面が灼−のときに871、千σ)士す
欠陥候補パターン抽出画像(致命(H′1j7欠陥と〕
jり得る画像)として、また、対象物# i+’+’l
にバ々−ンが存在すると青には、パターン設′81デー
タや、標準パターン・データや隣接バ々−ン・デ、−夕
等との差分画像を欠陥f:袖パターンIW11像として
、それぞれこれらの画像から欠陥閘像、欠陥位1コf、
欠陥面積等の欠陥の特徴量を算出している1、しかし、
この方法で(:L1次の2つの欠点1)・メ゛・る7、
(1)欠陥の特徴量を算出ずろに際してt、l、μ・ら
かしめ欠陥候補パターンの濃淡画像を適当tc 61可
11Δで2値化しておくのが涌常で主)るハ、この9!
f1αのP少宗が唾しく、あまり高い飴に段室すると、
欠陥の正し、い形状が反吐され・4′、1=2対にあま
り低い値に設ガ!才ろと、ノイズや対象和声jjiの起
伏等の欠陥と畔、f故IJ・かいものすで抽出してしま
う。Conventionally, a method for inspecting defects on the surface of an object, such as an LSI, is to use an image of the object's surface input using a pre-vision camera, etc. ■Start 2, when the target lnf surface is burnt, the defect candidate pattern extraction image (871, 1,000σ) is detected (fatal (H'1j7 defect))
j possible image), and object #i+'+'l
If there is a bump in the blue, the difference image between the pattern design data, standard pattern data, and adjacent bump pattern IW11 is displayed as the defect f: sleeve pattern IW11 image, respectively. From these images, the defective lock image, defective position 1 f,
1, which calculates defect feature values such as defect area,
In this method (:L1 following two drawbacks 1)・M・Ru7,
(1) When calculating the feature quantities of a defect, it is common practice to binarize the grayscale image of the defect candidate pattern using t, l, μ, and an appropriate tc 61 or 11Δ.
When P. Shaojong of f1α was disgusted and refused to buy candy that was too expensive,
If the correct shape of the defect is not correct, the incorrect shape will be ejected and set to a value too low for 4', 1 = 2 pairs! If you are smart, you will be able to extract defects such as noise and undulations of the target harmony, as well as f late IJ and distortion.
52)欠陥候(1(iバ々−ンを荷択1゛る陛に、あま
り小さいJI’E状のもの士で製板するど、致命(!’
Jになり得ない大きさの欠陥(r7 tfitパ々−ン
も同時に抽出してしすう。52) Defect (1) It would be fatal (!'
Defects of a size that cannot be J (r7 tfit pattern) are also extracted at the same time.
寸た、欠陥候補パターンを選択する際に、ある大きさL
J下のものを中線に除外してしまうと致命的f、r欠陥
P神パ々−ン士で排除されてし丈う。When selecting a defect candidate pattern, a certain size L
If you exclude those below J to the midline, you will be eliminated by the fatal f, r defective p god pa-pat players.
すなわち、傷やクラック等で生じる線状の形をした火1
:fiiの中には、面積が小さくてもτj法が大きいた
めに、致命的な欠陥候補パターンが含まれる。In other words, linear fire caused by scratches, cracks, etc.
:fii contains fatal defect candidate patterns because the τj method is large even if the area is small.
したがって、大きさの判断基準として、単#Iiに面積
を用いる・二と4.j i+;:ft当でない。Therefore, the area is used for single #Ii as a criterion for size. 2. and 4. j i+;:ft is not correct.
発明の目的
本発明の竺1のl、J的G」、検査対を物表面の欠陥伺
゛袖パ々−ンを抽出した#淡YiIIi像において、m
!淡値がノイズ・レベル相当の低い細工p1あるいけ欠
陥と見做せない表面起伏等を除去して、正しい形状で欠
陥を選択することができる欠陥パターン検出方法を提供
することにある。丈だ、本発明の鉛2の目的は、検査対
象物表面の欠陥候補パターンを抽出したl!両画像おい
て、面積の小さいものでも致命的7j欠陥を判定して正
しい欠陥のみを選択テキる欠陥パターン検出方法を提供
することにある。Object of the Invention Summary of the present invention
! To provide a defect pattern detection method capable of selecting a defect with a correct shape by removing surface undulations and the like that cannot be regarded as defects due to the work p1 having a low lightness value equivalent to a noise level. The purpose of the lead 2 of the present invention is to extract defect candidate patterns on the surface of the object to be inspected. It is an object of the present invention to provide a defect pattern detection method that can determine fatal 7j defects even if they are small in area in both images and select only correct defects.
パターン検出方法は、
a)欠陥候補パターンが抽出され、少なくとも3種類以
上の濃淡値が含まれる#淡画像から欠陥を選択する欠陥
パターン検出方法において、2A1の―値以上の濃7M
?値を内部に有する欠陥イ[六補パターンの中で、該竺
1より低い第2のFjA値以上のlj:% fj>値を
有する部分だけを欠陥パ4−ンとして出力することに特
徴を有する。さらに、本発明の欠陥パターン検出方法は
、(2> 上記(1)の処理を行って2fiα画像を生
成した後、上記欠陥候補パターンのすべての画素に対し
て、対象となる画蕃に防接する複数個の画素の中の最大
濃淡値に”l ITを加えた値を上記対象rrr!を輩
に書き込む、いわゆる距離変換処理を一定の走行方向に
したがって実行し、得られた距離変換画像をあらかじめ
設定した第3の閾値により2値化することに特徴がある
。The pattern detection method is as follows: a) In the defect pattern detection method in which a defect candidate pattern is extracted and a defect is selected from a light image containing at least three types of gray values,
? A defect pattern having an internal value of lj:% fj>value greater than or equal to the second FjA value lower than the line 1 in a six-complementary pattern is characterized by outputting only the portion having a value of fj> as a defective pattern. have Further, in the defect pattern detection method of the present invention, (2> After performing the process (1) above to generate a 2fiα image, all pixels of the defect candidate pattern are shielded from the target screen. A so-called distance conversion process is performed in which a value obtained by adding "l IT to the maximum gray value of multiple pixels is written to the target rrr!" in a fixed running direction, and the obtained distance conversion image is pre-written. The feature is that binarization is performed using a set third threshold value.
実施例
竿1図は、本発明に至るまでの前処理過程を示すブロッ
ク図である。Embodiment 1 FIG. 1 is a block diagram showing the pretreatment process leading up to the present invention.
第1図において、1olけ表面に一定のパターン、欠陥
等を有する被検査対象物表面、102はプレビジョン・
カメラ等の光学系の検出器、103はA/D変換器、1
04は画像メモリ、105は同じく画像メモリ、106
は差分検出回路であり、fyはすべての画素値を示す。In FIG. 1, 1ol is the surface of the object to be inspected which has a certain pattern, defect, etc. on the surface, 102 is a pre-vision
A detector for an optical system such as a camera, 103 is an A/D converter, 1
04 is image memory, 105 is also image memory, 106
is a difference detection circuit, and fy indicates all pixel values.
プリント基板あるいLJ、IC,LSI、およびそれら
のマスク等の被検査対象物表面101に対し、テレビジ
ョン・カメラ102等で設定視野内の像を拡大した後、
雷、気信号に変換して次のA/D変換器103に出力す
る。A/D変換器103は、入力した映像信号をクロッ
ク(’ L Kにより一定時間ごとにザンブル・ホール
ドし、ディジタル化けに変換し、画像メモリ104に格
納ずろ。この画像メモリ104は、視野内の仲を2次元
のiit+i (Q+イメージで格納するシフト・レジ
スタ等で構成される。一方、被検査対象物表面101の
パターンと同一のパターン(基準パターン)を、2次元
の画像イメージで格納するシフト・レジスタ空・で構成
された画像メモリ105にあちかじめFmして士3く
。After magnifying an image within a set field of view with a television camera 102 or the like on the surface 101 of the object to be inspected such as a printed circuit board or LJ, IC, LSI, and their masks,
It converts into a lightning and air signal and outputs it to the next A/D converter 103. The A/D converter 103 zams and holds the input video signal at fixed time intervals using a clock (LK), converts it into digital data, and stores it in the image memory 104. The center is composed of a shift register, etc. that stores a two-dimensional iit+i (Q+ image).On the other hand, a shift register that stores a pattern (reference pattern) that is the same as the pattern on the surface 101 of the object to be inspected as a two-dimensional image image.・Register empty・Fm to the image memory 105 consisting of
.
画像メモリ104と105の対b3するすべての画素値
を順次、差分検出回路106に出力才ろと、差分検出回
路106け、入力した対応する画・ダ値を絶対値の形で
差分をとり、その結果をメモリ104.105の入力丹
百序と同一%i3序で月11次シリアルに出力する。All the pixel values of the pair b3 of the image memories 104 and 105 are sequentially outputted to the difference detection circuit 106, and the difference detection circuit 106 calculates the difference between the input corresponding image values in the form of absolute values. The results are output in the 11th monthly serial order in the same %i3 order as the input order of the memories 104 and 105.
第2図は、本発明の実施例を示す欠陥パターン検出のた
めの映像信号処理防rdの全体フロック図である。FIG. 2 is an overall block diagram of a video signal processing block for defect pattern detection showing an embodiment of the present invention.
第2図において、40]は欠陥何補画像データを入力し
、論理演算を行って濃淡値を変換する回路、402は2
値化画像に対する大きさ判定回路、403は”01と4
02とで得られた2値化画像を伸1素ごとに加算する加
算回路、4 (’l 4は加算により得られた5値化画
像に対して4−01と同じ論理演算を行い、濃淡値を変
換する回路、また、405はシフトレジスタからなる1
QIIF回路である。In FIG. 2, 40] is a circuit that inputs the defect/complement image data and performs a logical operation to convert the grayscale value, and 402 is 2
A size determination circuit 403 for a valued image
Addition circuit 4 ('l) performs the same logical operation as 4-01 on the 5-valued image obtained by addition, A circuit for converting values; 405 is a shift register;
It is a QIIF circuit.
第2図の映像信号処理装置は、第1の発明と竿2の発明
による処理回路を含スでおり、濃淡値変換回路/L01
とAQ4が竿1の発明による欠陥パターン検出方法を用
いる回路である。さらに、判定回路/1.02 +遅延
回路/LO5,加券回路403までの処理過程が笛2の
発明による致命度判定を含む欠陥パターン検出処理を行
う部分である。The video signal processing device shown in FIG. 2 includes a processing circuit according to the first invention and the invention of Rod 2, and includes a grayscale value conversion circuit/L01.
and AQ4 are circuits using the defect pattern detection method invented by Kan 1. Further, the processing process from the determination circuit/1.02 + delay circuit/LO5 to the ticket addition circuit 403 is a part that performs defect pattern detection processing including criticality determination according to the invention of Fue 2.
牛ず、第1Iン1の:/a淡値変換回路401、および
404では、濃淡レベルの違いにより欠陥候補パターン
を抽出した少なくとも3種類以上の濃淡値を翁する濃淡
画像において、欠陥パターンの形状を変形することなく
、ノイズ・レベル相当の低い濃淡レベルflI域を除去
する。1なわち、この方法は、あらかじめ欠陥と見做せ
l、(い低い濃淡レベルであるが、欠陥の正しい形状を
反映てきる比1J的低レベルの閾値と、濃溶レベル1−
でのノイズは殆んど除去できるが、正しい形状の一部し
か抽出できない比較的高レベルの閾値の2つを設定する
。The :/a light value conversion circuits 401 and 404 of the 1st I in 1 calculate the shape of a defective pattern in a grayscale image that has at least three types of grayscale values from which defective candidate patterns are extracted based on differences in grayscale levels. To remove the low gray level flI region corresponding to the noise level without deforming the image. 1. In other words, this method has a threshold value that is as low as 1J, which is considered to be a defect in advance (although the density level is low, it reflects the correct shape of the defect), and a concentration level of 1-
We set two relatively high-level thresholds that can remove most of the noise, but only extract part of the correct shape.
これら2つの閾値を用いて、低い閾値以上の?!’%
15値を有する欠陥候補の中で、高い閾値以Hの濃淡値
を有する欠陥のみを抽出する。Using these two thresholds, ? above the lower threshold? ! '%
Among the defect candidates having 15 values, only defects having a gray value H equal to or higher than a high threshold value are extracted.
これにより、欠陥の形状を変形することなく、ノイズ・
レベル相当の欠陥候補パターンを画像上で除去すること
ができる。This eliminates noise without changing the shape of the defect.
Defect candidate patterns corresponding to the level can be removed on the image.
次に、第2の発明である致命的でt「い欠陥候補fI!
J域を除去する方法について述べろ。Next, the second invention, the fatal defect candidate fI!
Describe the method for removing the J region.
先ず、前述の低い閾値で2 fla化した1i11i像
を対象として、濃淡値変換画像を生成する。濃淡Wi変
換画像に目、一定の走査方向にしたがって距離変換によ
り生成したもの、あるいは走査方向が妖なる2種類の距
離変換を行い、両者の変換結、−を合成したものを用い
る。次に、大きさに閂する閾値により、距離変換画像を
2値化する。First, a grayscale value-converted image is generated using the 1i11i image converted to 2 fla using the aforementioned low threshold value. An image generated by distance conversion according to a fixed scanning direction, or an image generated by performing two types of distance conversion depending on the scanning direction, and a composite of the two conversion results, are used for the grayscale Wi conversion image. Next, the distance-converted image is binarized using a threshold value that determines the size.
このようにして、一定値以一ヒの形状の大きさく面積で
はない)の欠陥ft−補パターンだζJを、正しい形状
で抽出することができる。In this way, it is possible to extract a defect ft-complementary pattern ζJ with a correct shape (the size of the shape is larger than a certain value, but the area is not).
第5図は、本発明の実施1例を示す映像信号処理方法の
手順説明図である。FIG. 5 is a procedure explanatory diagram of a video signal processing method showing an example of the present invention.
第31m (a)は、濃淡1ノベルの違いにより欠陥候
補パターンを抽出した少なくとも3種類以上の濃淡値を
イjする濃淡画像である。ここでは、白地Aを最も濃淡
値が高い領域、黒点Bを次に濃淡値が高い領域、斜線C
を最も濃淡値が低い9A域とする。The 31st m (a) is a grayscale image in which at least three types of grayscale values are extracted from which defect candidate patterns are extracted based on the difference in grayscale of one novel. Here, the white background A is the area with the highest gradation value, the black point B is the area with the next highest gradation value, and the diagonal line C is the area with the highest gradation value.
is the 9A region with the lowest gradation value.
この濃淡画像において、欧式を満足するような2つの閾
値t□、t、を設定する。In this grayscale image, two threshold values t□ and t that satisfy the European style are set.
Δ≧t、)B≧t、〉C−Tj(,1)第5図(PL)
の濃淡画像に対して、先ず、閾値t。Δ≧t,)B≧t,〉C-Tj(,1) Fig. 5 (PL)
First, for the grayscale image of , the threshold value t.
以上の71!淡イ直を有する欠陥候補パターン領域の中
で、閂植t□ 以上の濃淡値を含む領域のみを抽出した
2イ1へ化伸1イΦを生成する(第3図(1))参照)
。すなわち、Pb0図<a>では、右上と右下の領域か
t。More than 71! Out of the defect candidate pattern areas with light and dark areas, only areas containing shading values greater than or equal to barplant t□ are extracted to generate 2-1 to 1-Φ (see Figure 3 (1)))
. That is, in the Pb0 diagram <a>, the upper right and lower right areas are t.
以1−σ)濃淡値[3とtl 以上の濃淡jjfi
Aを含むのに対して、左下の領域はt、 pJ、17
.の4・、h7;?値イrンζ1?が、tl 以上の濃
淡値を含まtCいt−?j)、抽出さ2また2値化画像
に(」右1−と右下の領域のスフ゛バ佑j /7+ t
、以(・の処理が、第2図の濶淡値変換回t’s ’
01で行われる。1-σ) Shading value [3 and tl or more shading jjfi
A, whereas the lower left region contains t, pJ, 17
.. 4・, h7;? Value in ζ1? contains grayscale values greater than or equal to tl? j), extracted 2 and binarized image (' right 1- and lower right area's fiber qj /7 + t
, the processing of
It will be held on 01.
次に、第31劫(b)の2値化画像に<r=I L −
c sオらかじめ定めた基準値以十の大きさを翁する領
域のみを抽出した2値化画像を生成する(第5図(c)
参照)、。Next, in the binarized image of the 31st kalpa (b), <r=I L −
A binarized image is generated by extracting only the area whose size is larger than a predetermined reference value (Fig. 5(c)).
reference),.
すなわち、第2図の判定回路4−02において針(、単
純に一定値以上の面積を有する欠陥仔補を抽出するので
はt「<、致命的なものか否かの判カッを行って、致命
的な形状・寸法を翁する欠+<r イリ″・補バクーン
のみを抽出する。That is, in the determination circuit 4-02 of FIG. Extract only the missing +<r iri''/supplementary Bakun that has a fatal shape/dimension.
面積の極端に大きい欠陥は勿論致イh的であるが、面積
よりも寸法の長いものの方がひひ!、l(れ等に起因し
ており、致命度は高い15判シtのためのHq (a
ii、距離変換を一定の走査方向にしたがって?rう。Defects with extremely large areas are of course dangerous, but defects that are longer in size than in area are more dangerous! Hq (a
ii. Distance transformation according to constant scanning direction? ru.
この方法によると、欠陥候補の領I′i/ン、にi’;
4:lる札ゲ4各長さの和の値で致命度が表わされる
。このように、判定回路402は、面積を判定1′乙の
でる」なく、大きさく寸法)を判定するのである。距離
変換は、第5図により詳述するが、ffff itiに
dρ明すると、°°1”と’ (1”の2値画像中、欠
陥イb補パターンを示ずl゛°の画素に対して、それぞ
れ肢接する複数個の画素の最大値に1を加えたflげを
対象画素に書き込むことにより行われる。According to this method, the defect candidate region I'i/n, i';
4: L Card Game 4 The degree of fatality is expressed by the sum of each length. In this way, the determination circuit 402 determines the area (1') and the size (size). The distance conversion will be explained in detail in Fig. 5. This is performed by writing a value obtained by adding 1 to the maximum value of a plurality of pixels adjacent to each other into the target pixel.
次に、笛、”51¥il in)の2値化画像で(、J
1右下の領域の形ご1大が第3図(b)と異なっており
、正しい欠陥形状ではない。そこで、正しい欠陥形状を
示すpjf 3図(b)の2値化画像と、第5図(c)
の2値化画像とを加算することにより、M31M(d)
に示す3値化画像を生成する。Next, with the binarized image of the whistle, ``51\il in'' (, J
1. The shape of the lower right region is different from that in FIG. 3(b), and is not the correct defect shape. Therefore, the binarized image of pjf in Figure 3 (b) showing the correct defect shape and Figure 5 (c)
By adding the binarized image of M31M(d)
The ternary image shown in is generated.
この場合、第31項(b)の2値化画像の処す((はす
でに完了しているので、第2図に示1ように、遅延回路
405を介して加7(回路405に濃淡値変換方法を←
−J”< ly、判シ11回路402からの距離変換後
の画イΦと11′f間的に対応させて入力し加尊さやる
必;11)ニンニー(;ある。In this case, since the processing (() of the binarized image in Section 31(b) has already been completed, as shown in FIG. How ←
-J''< ly, it is necessary to input the image Φ after the distance conversion from the size 11 circuit 402 and 11'f in correspondence and to perform the processing.
ン欠に、f1〜21’;:lの濃侠値裂換[【1げ谷4
−04に」べいて、2!V3図(bjの2値化jl+i
像を生成したときと同じ処理を行う。In the absence of f1 ~ 21';:l's strong chivalry value split
-04, 2! V3 diagram (binarization of bj jl+i
Perform the same processing as when generating the image.
すなわち、轍も濃淡11薩の高い部分A′、次に濃1i
ii(11′4の高い部分B 、 (jうも濃淡1直の
(IX:い部分Cとすると、Δ′≧t)R≧t、>cを
711・711(するUνdfi/It2 以Lの濃f
k値を41する欠陥候補パクーン領琥のうち、閾G/j
b、 C1f−の濃淡11!(を含む(11域のみ
抽出した2値化画像を生成する。第3図(d)で61、
右上の饋城がA′を含まないため除去され、右下の領域
のみが残されて、か3図(e)のようになる。In other words, the rut is also the high part A' of the shade 11, then the high part A' of the shade 1i.
ii (high part B of 11'4, (j) Uνdfi/It2 of L dark f
Threshold G/j among the defect candidate Pakun Ryohaku with k value of 41
b, C1f-shade 11! Generates a binarized image in which only 11 regions are extracted (including 61 in Figure 3(d),
Since the upper right region does not contain A', it is removed, leaving only the lower right region, as shown in Figure 3(e).
以1−の一律の処理を行うことにより、欠陥候補パター
ン画口9の中から、大きさが基i%r%値以下であり、
かつ;;海淡値がノイズ・レベルtl当の欠陥イ炉Ml
tな除−ハし、しかも正しい欠陥形状を反映した2値化
iif+i像が?すられる(飴3図(θ)参照)。By performing the uniform processing in 1- below, from among the defect candidate pattern openings 9, the size is less than or equal to the base i%r% value,
and;;; the defective reactor Ml whose seawater value is equal to the noise level tl;
Is there a binarized IIF+I image that reflects the correct defect shape? (See candy 3 (θ)).
第牟図員、本発明の実IIti例を示す濃淡値変換方法
の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a grayscale value conversion method showing an actual example of the present invention.
少なくとも3極力1以上の濃淡値を有する濃淡画像に%
t t、て、低い閾値t2以上の濃淡値を有するへi
tAの中で、高い閾値し4以上の!、il淡値を含tr
領域のみを抽出する方法を説明する。% for grayscale images with at least 3 maximum grayscale values of 1 or higher.
t t, i to have a gray level value equal to or higher than the low threshold t2
In tA, the high threshold is 4 or more! , including the il light value tr
A method for extracting only a region will be explained.
い丈、濃淡画像の1行j列の画宍の濃淡値がfijであ
る鳩舎に、fl、1について次の処刑を行う。The following execution is performed for fl,1 on a pigeon coop where the gray scale value of the picture in the 1st row and jth column of the grayscale image is fij.
〉
tx :(fl:、 +2)△((’i−1,j−1
≧t□)” j、、 j−1≧11)(fi+1. j
−’1≧11)■〉
(fl−]、 j −tl )■(f□+11.!≧1
1)〉
(fi、−1,jや、−七〇)\” ’1.. 、i+
、≧1.)(f□や0.++、≧七〇))
fu :その伸 ここで、11> 1.である。〉 tx :(fl:, +2)△(('i-1,j-1
≧t□)” j,, j−1≧11)(fi+1.j
-'1≧11)■> (fl-], j -tl)■(f□+11.!≧1
1)〉 (fi, -1, j, -70)\” '1.., i+
, ≧1. ) (f□ or 0.++, ≧70)) fu: Its extension Where, 11> 1. It is.
・・・(2)
上式2)は、ある画素の濃淡値がt、以J−であり、か
つその画素の周囲の画素の少なくとも1つか濃淡値t1
以上である画素を、濃淡値力〇に変換することを意
味している。また、それ以外の画素は、fljのままに
しておく。...(2) The above equation 2) means that the gray value of a certain pixel is t, hereinafter J-, and at least one of the pixels surrounding that pixel has a gray value t1.
This means that the pixel with the above value is converted into a gray level value of 〇. In addition, other pixels are left as flj.
そして、上式(2りのケト刊1をすべての画像について
行うと、W41+^t1 以上の画素に隣接した画素
のうち、閾値t2 以上のf淡値を不°するものは、す
べて濃淡値t1 に変換される。Then, if the above formula (2) is applied to all images, among the pixels adjacent to the pixels of W41+^t1 or more, those that do not have an f-light value of not less than the threshold value t2 will all have a gray-scale value of t1 is converted to
この処理を全ptii 寧について操り返した後、全画
面をトイ値t1 で2値化することにより、低い閾値
58以上の濃淡(n¥メど論するイ’a’JJ・にの中
−(高い闘イ1f+、 t 1以上の連路ミ値を含む領
+jtQ 4−抽出−dること7ン・ζ′きる。After repeating this process for all PTII values, the entire screen is binarized with the toy value t1, so that the shading (n\\medo discussion I'a'JJ / Ni-( High combat A 1f+, t +jtQ 4-extraction-d is 7n・ζ'.
以I:、Get、一般的な濃7′1°b画倫を幻9七I
−,たケし理]i法である。不発1すjてIt−J %
l”V l’b画j’<、’: 6>匝・″()J各
firj ’、r゛次式により一日、3伯化する。I:, Get, the general dark 7′1°b art line phantom 97I
-, Takeshi Ri] is the i-method. Unexploded 1st It-J %
l"V l'b picture j'<,': 6>匝・"()Jeach firj', r゛One day, it is trigonized by the following formula.
ここで、a 1) a n ) a8である。Here, a1) an) a8.
δ値化した後に、次式を用いて)β都(1’(弥換Jl
p理を行う。After converting to δ value, use the following formula to calculate β capital (1')
Do p-principle.
J : (fi−j4 L2)△((f、、1−0≧8
.)X/〉
(f、j−0−al)(fj、+1. 、i−1≧P、
x)(fi−1,,1≧a1)V(f1+1.−二8、
)■(fニー11.1や、≧・1)(fl、 、i+]
ニー・1■(f、士□1.1刊 ≧81 ))
f工j:その他 11.(4−)上
式(4)は、ある画素の濃淡値力・a 2 L’J、
、l−でパい)、かつその画素の周囲の世+i素のlし
なくどイー・1つが7.7>淡値a1 以上であるよう
な画一本を、濃淡(+fi 淘 に変換することを意
味している。そして、それ以外の(iIτ;飼iで□1
.のオまにしておく。J: (fi-j4 L2)△((f,,1-0≧8
.. )X/〉 (f, j-0-al) (fj, +1., i-1≧P,
x) (fi-1,,1≧a1)V(f1+1.-28,
) ■ (f knee 11.1, ≧・1) (fl, , i+]
Knee 1■ (f, 1.1 publication ≧81)) f Engineering j: Other 11. (4-) The above equation (4) is the gradation value power of a certain pixel・a 2 L'J,
, l- for each stroke), and the world around that pixel + the i element's l, one of which has a value of 7.7>light value a1 or more, is converted to gray (+fi 淘). This means that other than that (iIτ;
.. Leave it alone.
トjk (4)の濃淡(ii′j変搏処理は、一般1・
Jなに11ト画像と比’Ii・ンして濃淡%fiのメモ
リ賓h[が少ス(くてすむため、n?i甲な回路f、!
、’/ li!により実現できる。The shading (ii'j variation processing of (4) is generally 1.
Compared to the 11th image, the memory of the shading %fi is small, so the circuit f,!
,'/li! This can be achieved by
さらに、次式の々Ijp(1を行えば、濃淡fM変換処
理と3値化とを同時に行うことができる。Furthermore, if the following equation Ijp(1) is performed, the grayscale fM conversion process and the ternarization can be performed at the same time.
p、t、 : f 1.1(tB
!J、1. : (f ≧t)△((f□−Lj ]
” t1 )i、j +1
(’ j、、’ j−1≧1. )(ft+t、 、1
−1 = tl)V (f、−、,1≧11)■(f
≧t)1+1.j ]
V (fJ、−1,、,1や、ご11)ゾ(fl、、
++、≧11)V(f、、〜l、;1.□、二t工))
のときa、:その他 ・・・(δ)
なお、ここで、al:>e、’)a、、 t、>七。p, t, : f 1.1(tB !J, 1. : (f ≧t)△((f□−Lj ]
" t1 ) i, j +1 (' j, , ' j-1≧1. ) (ft+t, , 1
−1 = tl)V (f, −,,1≧11)■(f
≧t)1+1. j ] V (fJ, -1,,,1ya,go11)zo(fl,,
++, ≧11)V(f,,~l,;1.□, 2t))
When a, :Other...(δ)
In addition, here, al:>e,') a,, t,>7.
第4図1において、++ 011 、 +“l ” 、
” 2″′の5和を磐゛jの濃か値を有する第4図(
b)のδ値化画像に対し、第4図(8)のIJ線矢印で
示す走査方間にしたがって:a淡f11τ変抄グL理を
行うものとする。In FIG. 4 1, ++011, +“l”,
Figure 4 (
Assume that the δ-valued image in b) is subjected to the following scanning direction indicated by the IJ line arrow in FIG. 4(8):
へ′41ンl (a) G−1、fjへ4図(b)に対
し゛(、tl(または’l ) = 21 ”−2(
tたはa、) = 3 どしで、1山j像全体に削代
(2)オたIJ、 j)i+式(4)%4 ir、’i
t用したときσ)直芦f直変換結KLである。また、汀
< 4.1!ン1(di G−1、ヒl”j弓f”’
?2+2値変換処理を干1月ゾ行ったときの結果である
1、さらに、笛牛図(θHt、第4]ンJ (d)の「
口1像を、L万値1.(またはa工)で2値化したとき
の結果である。To '41 in l (a) G-1, fj to 4 Figure (b) ゛(, tl (or 'l) = 21 ''-2(
t or a, ) = 3, and the cutting allowance for the entire image of one mountain j (2) Ota IJ, j) i + formula (4) %4 ir, 'i
When t is used, σ) is a direct-to-f direct conversion connection KL. Also, 汀<4.1! 1 (di G-1, hill"j bow f"'
? 1, which is the result of performing the 2+2 value conversion process, and ``1'' of the flute cow diagram (θHt, 4th)
Mouth 1 image, L value 1. This is the result when binarized using (or A).
第5図は、本発明の実14i例を示す距離変換による大
きさ判定方法のlq明図である。FIG. 5 is a 1q diagram of a size determination method using distance conversion, showing an actual example of the present invention.
第5図では、欠陥候補パターン領域を“+ 1 u、そ
れ以外の領域を°゛0”とした++ I ++か°O“
の値しか含まない欠陥候補バクーンを抽出した2値画f
・※に対して、欠陥候補パターン領舛の大きさが一定値
以上のものだけを抽出する方法ケ示r。In FIG. 5, the defect candidate pattern area is set to "+1 u", and the other areas are set to "0".
The binary image f extracted from the defect candidate Bakun containing only the value
・For *, a method for extracting only defect candidate pattern regions whose size is larger than a certain value is shown.
先ず、第51fi (a)の実線で示ずラスタ走査方向
にしたがって、fJX5図(c)の2値画像に次のよう
ム距隋変換を輛、ず。すなわち、2 (1/+画像のt
rJ、+列の(1)
次式で距離変換画像(di、、 )を求める。First, in accordance with the raster scanning direction (not shown by the solid line in Figure 51(a)), the binary image in Figure 5(c) is subjected to the following transformation. That is, 2 (1/+t of image
rJ, + column (1) Find the distance transformed image (di, , ) using the following equation.
(](t)j−(m a X (d 1書) 、i 、
、□、?1... 、 、 、、、にl 、−レ−
,。(](t)j-(m a X (d 1 book), i,
,□,? 1. .. .. , , , , ni l , -le-
,.
Xflj ・・・(6
)上式(6)において、(1)け平杏方向が左から右に
向、?、 y5合を示し、m a yは最大値% d−
11,j+ jLl、 、11 rdi、、i−1+、
tそわぞれ対象とメ「るii′IIi米の:j’f1・
、左I−1左のP?接画素の濃浩値を示し、f J、、
1は対浄1−寧の元の7病溪値(” 1 ”または0“
)を示している。Xflj...(6
) In the above equation (6), (1) the direction of the keira anpricot is from left to right, ? , y5, m a y is the maximum value % d-
11,j+ jLl, , 11 rdi, , i-1+,
t sowa each object and mail ii'IIi rice: j'f1・
, left I-1 left P? Indicates the density value of the adjacent pixel, f J, ,
1 is the original 7-illness value of 1-Ning ("1" or 0")
) is shown.
第51図(a)に示すようy、r対象画車末を含料4画
素のマスクで十から下に向って実絆矢印方向に町i次走
査しながら、上式(6)の演l′yを行い、対象町麦末
の値を書き替えていく。いま、4画嚢σ)マスクのdl
−L j i−1,、i −1’ 飄、1−11
dl、1 カ” 1+ 0+ 1+、 d
1′′の領域に到達した際に6=J 、隣接する画素の
最大値が1であるから、これに1を加えた値2を対象画
素d4.Iに書き込む。次の瞬間に6才、l iir+
i ”4g分だけマスクが右側にずれるので、”2.1
.1. ]、 ”の領域で演算を行うことになり、この
領域の2はnt+の処理で書き替えられた対象画素であ
るが、今回は隣接画素となっている。このときに目、隣
接するPtt 関の最大値が2であ木から、これに]を
加えた値3を対象画素に書き込む。このようにして、赤
杏しながら演算を行うことに上り、Q初II I I+
であった画素の値は後方になる11どその値を増加する
。そして、第4図(d)に示すように、欠陥候補領域の
(垂直方向)→(水平方向)すなわちL QJの、ある
いけ(水平方向)→(垂直方向)ずなわち逆、L K4
Jの班1序で1〜7に値を」〜9加していく。As shown in FIG. 51(a), while scanning the end of the target image wheel y and r with a mask of 4 pixels from 10 to 10 in the direction of the actual bond arrow, the formula (6) above is performed. 'y and rewrite the value of the target town Mugisue. Now, 4 strokes σ) mask dl
-L j i-1,, i -1' 飄, 1-11
dl, 1" 1+ 0+ 1+, d When reaching the area of 1'', 6=J. Since the maximum value of the adjacent pixels is 1, the value 2 obtained by adding 1 to this is set to the target pixel d4.I. Write in.The next moment you are 6 years old, l iir+
i ``The mask shifts to the right by 4g, so ``2.1
.. 1. ], ”, and 2 in this area is the target pixel that was rewritten in the nt+ process, but this time it is an adjacent pixel. At this time, the eye, the adjacent Ptt Since the maximum value of is 2, the value 3 obtained by adding ] to this is written to the target pixel.In this way, the calculation is performed while red apricot, and Q first II I I +
The value of the pixel that was 11 is increased by 11. Then, as shown in FIG. 4(d), the defect candidate area (vertical direction) → (horizontal direction), that is, L QJ, is (horizontal direction) → (vertical direction), that is, the opposite, L
In J's group 1 order, add values ``~9'' to 1~7.
また、一方向のみの走査では処理が片寄る1−め、第5
図(h)に示すように、マスクシ右から左方向に走査し
t「がら、前述したと同一の演Uを行い、第51叉1(
c)の1ilti像にχ・1して筆5図(e)の画像を
作成する。In addition, when scanning in only one direction, the processing is biased in the 1st and 5th
As shown in FIG.
The 1ilti image in c) is multiplied by χ·1 to create the image in Brush 5 (e).
そして、竺6図(cl1と(e)の値を対応する1ir
if 未相互で比較し、大きい方の値をとると、竿5図
(f)に示す値のパターンとtりる。仲の方法として、
両方の(+Ii。Then, set the values of Cl1 and (e) to the corresponding 1ir
If we compare each other and take the larger value, we get the pattern of values shown in Fig. 5 (f). As a way of getting along,
Both (+Ii.
を加算して画素値とすることもできる。次に、第51>
l (f)における濃淡画イΦの各1iIIi素に対し
て、あらかじめ9iTぬられた値、ここでは凸で2値化
することにより、第5図(g)の21直1山1f1をイ
1することかτ゛きる。It is also possible to obtain a pixel value by adding . Next, the 51st >
By binarizing each 1iIIIi element of the grayscale image Φ in l (f) with a value of 9iT in advance, here a convex value, 21 straight lines 1 peak 1f1 in Fig. 5 (g) are converted to I1. There's nothing I can do.
竿5図(a)の実線矢印で示すマスク方向にしたがった
距離肇換を式で表わすと、次のようになる。The distance change according to the mask direction indicated by the solid line arrow in Figure 5(a) can be expressed as follows.
式のL方に記17た(1)は左から右方向・\の走査を
示し、Pkは欠陥候補領域内の画素の年分を示す。(1) written in the L side of the equation indicates scanning from left to right and \, and Pk indicates the number of years of pixels within the defect candidate area.
距離を表わしていることを示す。Indicates that it represents distance.
一例とし、て、欠陥候補領域の形状が矩形の場合、上記
の距離番」、矩形の水平長さと垂直長さの和を示す。し
たがって、このような距離変俊を用いることにより、欠
陥候補の辺の長さを判定基準とした大きさ判定が可能と
なる。これに対して、序純に百楯を大きさ判定の基準に
すると、線状をした欠陥等は、たとえ盾1辺長が長くて
も欠陥から除外されることがある。しかし、綿状をした
欠陥は、前述のように、傷やクラック等の致命的の高い
欠陥である可能性をもつ。したがって、本発明のように
、辺の長さを判定基準にすると、一部の致命性の高い欠
陥を歿して、一定の面邸以下の欠陥候補を除去すること
ができる。As an example, if the defect candidate area has a rectangular shape, the above distance number indicates the sum of the horizontal length and vertical length of the rectangle. Therefore, by using such a distance variation, it is possible to determine the size using the length of the side of the defect candidate as a criterion. On the other hand, if the 100 shields are used as a standard for size determination, linear defects may be excluded from defects even if one side of the shield is long. However, as described above, cotton-like defects have the possibility of being fatal defects such as scratches and cracks. Therefore, if the length of the side is used as a criterion as in the present invention, it is possible to eliminate some highly fatal defects and remove defect candidates with a surface area below a certain level.
次に、第51r;4 (b)のマスク方向にしたかった
利+ 8’<Q(11)
の距離変換画像(di、、 )は、次式で求められる。Next, the distance transformed image (di, , ) of interest+8'<Q(11) desired in the mask direction of 51r; 4 (b) is obtained by the following equation.
・・・(el)
削代(7)に示した欠陥電I城の最大画素値(」、欠陥
形1入が凸図形や凹図形である場合、ケ陥◇11抽の水
平長さと垂直長さの和を正しく反映し1.fいことがあ
るので、これを補足するため、逆方向の走イYにょろり
1111結果を付加するのである。...(el) The maximum pixel value of the defective electrical field shown in cutting allowance (7) ('', if the defective shape 1 is a convex or concave shape, the horizontal length and vertical length of the defect ◇11 In order to supplement this, we add the 1111 result of running in the opposite direction.
すなわち、art式(6)と上式ら)でイIIられた2
柚類の(1) (B)
距離変換画像(dlj、) 、 (、cl、、、 、)
の各対応p111訃゛について、次式により大きい方の
(ljを選択覆る。In other words, 2 given by art formula (6) and the above formula, etc.
(1) (B) Distance transformation image (dlj,) , (,cl,,, ,) of Yuzu
For each corresponding p111 ゛, select the larger one (lj) using the following equation.
(1) (2)
d1j= max(d 、 a ) −
−−(9,1i、1 ij
上式(Q)により生成された距1G変換W11像(d、
、、1)において、欠陥候補領域内の画素のijt、合
1゛ヶ内のf+)
最大画素値”k rra、x は、削代〇)に示した’
k mFlxに比べて、欠陥形状の水平長さと垂直長さ
の和をさらに正確に反映したものとt[る。したが−)
で、l PI+類の距離変換しか行わないぜ!1合に比
べると、大キさの判定がより効果的となる。(1) (2) d1j= max(d, a) −
--(9, 1i, 1 ij Distance 1G transformed W11 image (d,
,,1), the maximum pixel value "k rra,
Compared to k mFlx, t[t] more accurately reflects the sum of the horizontal and vertical lengths of the defect shape. However-)
So, we only perform distance conversion of l PI+ type! Compared to 1 go, the judgment of the magnitude is more effective.
−へ6(1″4c、l 、本発明の実施例を示す濃淡値
変換回路の構成1)IJである。- to 6 (1″4c, l, configuration 1 of the gray value conversion circuit showing the embodiment of the present invention) IJ.
第6図において、501は2次元配列された濃淡画像デ
ータを5ライン分蓄稗して、順次シフトさぜる凸ライン
・シフトレジスタ、5o3は3ライン・シフトレジスタ
501の処理される画素データf s、tと、あらかじ
め設定されたM@ts との大小比較をイ〒い、比較
結果に応じた2値の論理出力を与える比較回路、502
は画素データf i、+に隣接する3ライン・シフトレ
ジスタ501の周辺画素データft−1,j−0t+□
、j−1−0と、あらかじめ設定された閾値t□ との
大小比較を行い、比較結果に応じた2mの論理出力を与
える比較回路、504は上記比較回路凸02の8つの論
理出力の淘理和を求めるオア回路、505は比較回路5
03の出力とメア回路504の出力の喘理稍を求めるア
ンド回路、506はアンド回路、505の出力値に応1
′、て、I#値t、か、あるいは現在の画素データfu
のいずれか一方を選択してn淡11t4変換後の新たな
画素フ′−タ(これも簡単化のためにfijで表わす)
として出力する剖択回ll’n % 50 ’γけ画素
データ出力値と閾値t1 との大きさを比φりするJ
1較回路である。In FIG. 6, 501 is a convex line shift register that stores 5 lines of two-dimensionally arranged grayscale image data and sequentially shifts the data, and 5o3 is pixel data f to be processed by the 3-line shift register 501. Comparison circuit 502 which compares the magnitudes of s and t with a preset M@ts and provides a binary logic output according to the comparison result.
is the peripheral pixel data ft-1,j-0t+□ of the 3-line shift register 501 adjacent to the pixel data f i,+
, j-1-0 and a preset threshold value t□, and provides a 2m logic output according to the comparison result. 504 is a selection circuit for the eight logic outputs of the comparison circuit convex 02. OR circuit for calculating rational sum, 505 is comparison circuit 5
03 and the output of the main circuit 504; 506 is an AND circuit;
', te, I# value t, or current pixel data fu
Select one of these to create a new pixel footer after n-dark 11t4 conversion (this is also expressed as fij for simplicity)
The ratio of the size of the output value of the pixel data output value ll'n % 50 'γ to the threshold value t1 is calculated as J
1 comparison circuit.
第6図の回路は、旧式2)にしたがって濃淡値性逆処理
を行うものであり、以下群#、ttlにその動作を説、
明する。The circuit shown in FIG. 6 performs gray scale inverse processing according to the old method 2), and its operation will be explained below in groups # and ttl.
I will clarify.
いま、濃νう伸i像の画宋データが順次3ライン・シフ
ト1ノジスタ501に入力され、画素データ転送りロッ
クに同期し7て順次シフトされているものとする。この
場合、3ライン・シフトレジスタ501に2υζ元配列
される原画像の所定領域、つまり第6図に示ず3×5ビ
ツトの止方影格子を影戒する画素データf 、およびそ
の周辺画素デー土j
りfi−1,、j −11”tj −111+]、、j
−11’i−1.j lfL 、1刊’ fi−1
,、i+l l fi、 j+I T fi+l、 j
+1を5ライン・シフトレジスタ501から転送lクロ
ックごとに引き出す。画素データf 1.jに関しては
、比較回路503によりrjd値t、と比較し、また周
辺画素データに門しては、J′f較回路502により閾
値t、と比較して、各画素データが閾値よりも太きl′
jれば°゛1°“、小さければ0”を出力する。これら
の出力値なオア回路504、アンド回路、505によっ
て論理演算すると、周辺画素データの少なくとも1つが
閾値t1 より大きく、かつ中心画素データがF#
(m t ! より大きいとき1”、その他の堀合番
オ°°0”という論理出力が得られる。この出力値を選
択回路506に導き、論理出力が”1“のときには閾f
直t0 を、°゛O′”のときには原ii1+i伸デ
ータf□、を選択し、これを新たな画素データとして出
力する。以上の動作を原画像全体、つまり入力される画
素データすべてについて施す。Now, it is assumed that the image data of the dark and dark images are sequentially input to the 3-line shift 1 register 501 and are sequentially shifted in synchronization with the pixel data transfer lock. In this case, pixel data f that shadows a predetermined area of the original image arranged in 2υζ elements in the 3-line shift register 501, that is, a 3×5-bit stop shadow grid (not shown in FIG. 6), and its surrounding pixel data. Satj rifi−1,,j −11”tj −111+],,j
-11'i-1. j lfL, 1st edition' fi-1
,, i+l l fi, j+I T fi+l, j
+1 is pulled out from the 5-line shift register 501 every transfer l clock. Pixel data f1. Regarding j, the comparison circuit 503 compares it with the rjd value t, and regarding the surrounding pixel data, the J'f comparison circuit 502 compares it with the threshold value t, and determines whether each pixel data is thicker than the threshold value. l′
If j, outputs °゛1°, and if smaller, outputs 0. When a logical operation is performed using the OR circuit 504, AND circuit, and 505 as output values, it is determined that at least one of the peripheral pixel data is larger than the threshold t1 and the center pixel data is F#.
(When it is larger than m t !, a logic output of "1" is obtained, and for other values, a logic output of "°°0" is obtained. This output value is led to the selection circuit 506, and when the logic output is "1", a
When the current value is t0, the original ii1+i decompressed data f□ is selected and output as new pixel data.The above operation is performed on the entire original image, that is, on all input pixel data.
このような処理を行うことにより旧式いが実現さ1する
。士た V<際には、この処理を複数回繰り返すため、
以上の処理回路を複数段設ける。さらに、最終的に決定
されたS鋳面素データは、比較回路507によって閾値
t□で2値化され、濃淡値変換処理が完了する。By performing such processing, the old style can be realized. In case V<, this process is repeated multiple times, so
A plurality of stages of the above processing circuits are provided. Further, the finally determined S surface element data is binarized by a comparison circuit 507 using a threshold value t□, and the grayscale value conversion process is completed.
′?P7図は、本回路の実施例を示す判定回路の構成図
である。′? FIG. P7 is a configuration diagram of a determination circuit showing an embodiment of this circuit.
第7図において、61けメモリ部である。ここでは、濃
淡値変換処理回路を紗で2値化さねた画像データに対し
て、
(1)正方向、逆方向2稗類の走査丁−−ドを実fjl
する。In FIG. 7, there are 61 memory units. Here, for the image data that has not been binarized by the gray value conversion processing circuit,
do.
(11)各走査方向にしたがって距離変換を行ったσ)
ち両者の修換結果を比較する1芹、画素の位置を一致さ
せる。(11) σ after distance conversion according to each scanning direction)
First, when comparing the two repair results, the pixel positions are made to match.
などの処理を行う。構成彰゛ヅそとしては、加沖勢カウ
ンタ601A〜601 B 、力(1竺力ウン々601
C1画像データの1ライン走査終了時に゛1パのパルス
を発4[する走査終了信号VPI)S”・ストローフ信
号とするスリップ・70ツブ(302,2ンr元配列さ
れた画像データにおいて]ライン分蓄える]−ライン・
メモリ60 、’5 A〜603 G 、 選択回路6
04A、604B等からなる。Perform processing such as. As for the configuration, the force counters 601A to 601B, the force (1 force un etc. 601)
At the end of scanning one line of C1 image data, a pulse of 1 pulse is generated 4 [Scanning end signal VPI) S'' Slip as a strophe signal 70 tubes (302, in image data arranged in 2 lines) Line ] - line・
Memory 60, '5 A to 603 G, selection circuit 6
Consists of 04A, 604B, etc.
* T、−62G;!:、旧式(6L (8)ツ’t
)1中PM’KPo>t−、?)の演算を行う演算部で
ある。を謀成要隼としては、選択回路606、比較回路
607、加範回路608等かc)′1.′rる。*T, -62G;! :, old style (6L (8)
) in 1 PM'KPo>t-,? ) is a calculation unit that performs calculations. The key to planning is the selection circuit 606, the comparison circuit 607, the addition circuit 608, etc.c)'1. 'rru.
さr)に63 i:l、nit弐〇)に示し7たように
、旧式0)と(8)とで得られた2神類の伸1像の各画
法について仙i崇fii’(の人きい方を・巽択したマ
ぞ、予め宇められた値で2値化12、太すさ判定枯即で
ある2値画像を生成するための刊2;丁部である。これ
は、選択回路6101比醇回路6 ]、 1 、612
によって構成される。As shown in 63 i:l, nit 2〇) in 7, regarding each painting method of the Shin 1 image of the two gods obtained with the old style 0) and (8), This is part 2 of creating a binary image that is easy to judge by binarizing it with a predetermined value and determining the thickness. Selection circuit 6101 ratio circuit 6], 1, 612
Consisted of.
次に詳細前作について説明する。Next, I will explain the previous work in detail.
まず、ブ“it 7 IN ):半部に示した、ラスク
走査方向に対して逆方向に走査する距離変倹にもとづく
大きさ刊デについて説明する。本回路へは、2次元イメ
ージを6つW11像データがシリアルに入力される。さ
て、人力脩号が常時lであるフリップ・70ツブ602
のスト(!−ブ信号とし”C1m1nkデータが、1ラ
イン分人力されるたひに]、のノ々ルスがたつ走査終了
信号■7゜8 が入力される。本信号が1どtCつたと
き、フリップ・フロップ602の出カ信跡(夛σ)fl
loIo、1を反転する。いま、走査終了f’t 叶V
g Q 8 によって、フリップ・フロップ602
の出力Qが1と1.ぐったどする。こ())iii力(
7〜−号は、加減算カウンタ601 A ツバL、・/
)Iに、 )す:、 if・1.、−:j :rニイ
ンバータを介して入力され、カウンタ(+ (1]Aは
、減りカウンタとして動作する。さらに、このカウンタ
値は、1ライン・メモリ603Aの番地信号となる。一
方、フリップ・フリップ602の出力信号は、1ライン
・メモリ6(13Aのライト・イネーブル端子にも入力
さお、いまOがITあることにより、本メモリ003A
は書込可f++′状mF4となる。したかつて、シリア
ルにテーラらJ]でくる入力画像データは、クロック毎
にアl’ L−7,の人へい方から順に1ライン・メモ
リ603Aに格納される。また、選択回路Q Q 4.
AのゲートイF(−!十G」、同じくフリップ・70
ツブ602の出力”r% f−(、!と接続されており
1の値を示す、:、こ+−73とき、>Q 4’F!回
路604Aは、1ライン・メモリ(’t U 3 Hの
出t−y <4号を選択し、1ライン・メモリ003へ
の出力(if号は、選択されず読出されることはス「い
。First, we will explain the size printing based on distance variation that scans in the opposite direction to the rask scanning direction, shown in the half of the block. W11 image data is input serially. Now, the flip 70 tube 602 whose human power code is always l
The scanning end signal 7°8 is input when the signal reaches 1.1 - tC. , the output trace (夛σ)fl of the flip-flop 602
Invert loIo, 1. Now scan ends f't Kano V
Flip-flop 602 by g Q 8
The output Q of is 1 and 1. I feel tired. ko())iii force(
Numbers 7 to - are addition/subtraction counters 601 A, collar L,.../
) to I, )su:, if・1. , -:j:r is input via the inverter, and the counter (+ (1)A operates as a decrementing counter.Furthermore, this counter value becomes the address signal of the 1-line memory 603A.On the other hand, the flip - The output signal of the flip 602 is also input to the write enable terminal of the 1-line memory 6 (13A).
becomes writable f++'-like mF4. The input image data that is serially received by Taylor et al. is stored in the one-line memory 603A in order from the beginning of each clock. In addition, the selection circuit Q Q4.
A's gatey F (-! 10G", also flip 70
The output of the knob 602 is connected to ``r% f-(,! and indicates a value of 1. When >Q 4'F! The output of H t-y <4 is selected and output to the 1-line memory 003 (if is not selected and is not read out).
次に、走査終了信号■お。8 が(ξずひ1と7:(’
2)、’)、フリップ・フロップOO21;1、その
出力値を17転1−2)すしたがって、加ねρ算カウン
ク601Aは、今IIJ′は加算カウンタとして動作゛
4る。一方、lライン・メモリ603Aけ書込可1止で
なくなるとともに、♂1φ択回11’:j 604にお
いて、lライン・メモリ(’I O3Aの出力信号が選
択される。このため、4訃に格穿内されたlライン・メ
モリ605AのデータII、アドレスの小さい方から順
に読出されていく。したがって、]、ライン・メモリ6
03Aから読出されたシリアル画像データは、同メモリ
入力時のシリアル画像データに対して]ライン分遅れる
とともに、画素の転送順序が反転する。さらに本画像デ
ータζ1、演α部62に送られ、後述する距離兎換演′
IJl結果とのアンドを行うアンド回路609を経て、
1ライン・メモリ603C〜603Eへ送られるどとち
に、1画素分のシフト・レジスタ605Bへ送られる。Next, the scan end signal ■o. 8 is (ξZhi1 and 7:('
2),'), the flip-flop OO21;1, and its output value is inverted by 171-2).Therefore, the addition ρ calculation counter 601A, now IIJ', operates as an addition counter. On the other hand, the l-line memory 603A is no longer writable and the output signal of the l-line memory ('IO3A) is selected in the ♂1φ selection cycle 11':j 604. The data II of the line memory 605A stored in the case is read out in order from the smallest address. Therefore,], the line memory 605A
The serial image data read from 03A is delayed by one line with respect to the serial image data input to the same memory, and the pixel transfer order is reversed. Furthermore, the main image data ζ1 is sent to the α processing section 62, and the distance conversion processing ' to be described later is carried out.
After passing through an AND circuit 609 that performs AND with the IJl result,
When the signal is sent to the one-line memories 603C to 603E, it is sent to the shift register 605B for one pixel.
いま、フリップ・フロップ602の出力信号QがOであ
ることより、前述した1ライン・メモリの中で、フリッ
プ・フリップf302の出力信号Qが、ライト・イネー
ブル!4!4−r−とカ続されている1ライン・メモリ
603Eが書込可*i<状輯となるとさらに、当メモリ
の番地信号となる加さp1γカウンタ601 Hi:、
を減で一カウンタとして作用するため転送された画像−
γ−夕は、1ライン・メモリ603Eに、クロック毎に
、アドレスの大きい方から順に書込まれることとなる。Now, since the output signal Q of the flip-flop 602 is O, the output signal Q of the flip-flop f302 in the one-line memory described above is write enable! When the 1-line memory 603E connected to 4!4-r- is write-enabled*i<state, the addition p1γ counter 601 Hi:, which becomes the address signal of this memory.
Acts as a counter by subtracting the transferred image −
γ-Y is written into the 1-line memory 603E every clock in order from the one with the largest address.
また、加算カウンタ60]Cを番地44号とする]ライ
ン・メモリ603Cは、常時書込可能状茜であるたゲ)
、アドレスの小さい方から順にil)込づ;れる。In addition, the addition counter 60C is the address number 44 and the line memory 603C is always writable.
, il) are included in order from the smallest address.
さらに、走査終了信号vv。、] がpi f@°]
−とじて入力されると、フリップ・フロップは白びその
出力値を反転し、Qの値が1となる。このとき、加減算
カウンタ601Bは加算カウンタとして作用するととも
に、選択回路604Bは、ゲート信号が7リツプ、フロ
ップ602σ)出力端子Qと接続されているため、1ラ
イン・メモリa O3+>の出力信号を選択する。した
がって、1ライン・メモリ603Eに格納された画像デ
ータ(」、アドレスの小さい方から順に読出されていく
。一方、603Cに格納された画像データi=t 、加
算カウンタ(]0]Cの値を番地信号として、アトlメ
スの小さい方から順に読出され、さらに]1画素分のシ
フト・レジスタ(+ 05 Aへ転送される。以上より
、1ラインメ千り603Eから読出されるシリアル画像
データは、1ライン・メモリ603A入力時のシリアル
画像データに対して、2ライン分遅れるとともに、画素
の転送順序は、入力時の転送順序と等しくなる。この画
像データは、う早々走査方向に対して逆方向に老香した
ときの距離楽抑演算結果として、判定部63に1F送さ
れる。また、1ライン・メモリ003Cから読出される
シリアルPrmデータは、1ライン・メモリ603 A
入力時のシリアル画像データに対して、2ライン分遅れ
るとともに、画素の転送順−序は、入力時の転送順序と
反対になる。Furthermore, a scan end signal vv. ,] is pi f@°]
-, the flip-flop inverts its output value and the value of Q becomes 1. At this time, the addition/subtraction counter 601B acts as an addition counter, and the selection circuit 604B selects the output signal of the 1-line memory aO3+> since the gate signal is 7 rip and the selection circuit 604B is connected to the output terminal Q of the flop 602σ. do. Therefore, the image data stored in the one-line memory 603E ('') are read out in order from the smallest address. On the other hand, the image data stored in the one-line memory 603C i=t, the value of the addition counter (]0]C As an address signal, the address signals are read out in order from the smallest one, and then transferred to the shift register (+05A) for one pixel. From the above, the serial image data read out from the first line 603E is as follows: There is a delay of two lines with respect to the serial image data when input to the 1-line memory 603A, and the pixel transfer order becomes the same as the transfer order when input.This image data is already transferred in the opposite direction to the scanning direction. 1F is sent to the determination unit 63 as the result of the distance/music suppression calculation when the signal is aged.In addition, the serial Prm data read from the 1-line memory 003C is sent to the 1-line memory 603A.
There is a delay of two lines with respect to the input serial image data, and the pixel transfer order is opposite to the input transfer order.
ここで、]、ライン・メモリ603Aと603Bとの関
係、及び]ライン・メモリ603Dと603Eとの関係
について説明する。まず、1ライン・メモリf103A
と603Bとの関係について述べろ。いま、フリップ・
フロップ002の出力Q 、d+1であったとすると、
これまでに述べてきたように、1ライン・メモリ603
Aで(1、アドレスの大キい方からjlt’iに人力デ
ー)lが書込すれ2)。Tieた、l→イン・メモリ0
031(では、格納デー々がアドレスの小さい方かeP
Iαに読出される。さた、フリップ・フロップ002の
出力QがOであったとスXSと、今度心11ライン・メ
モリ603Aで+;j、アト;2・スの小さい方からp
′aに読出され、1.ライン・メモリ(10313で6
1、アドレスの大−、Cい方から順に”鴫込″+:負、
る。し、ブこかつC1フリップ・〕pツブ602の出力
は、]−ライン走査終了毎に反転することから1′ノを
択回路004への出力画像7’−タは、1ライン・メモ
リC3031〜、6031−3の人力画像データに対し
て、」IJ在人力さ11.ているア゛−タの1ラインT
’l’lのデータが入力Illλ序と逆のI11シI序
で常時出力されることになる。一方、1ライン・メモリ
603 L)と603トシとの間の関係は、603Aと
603 ’FSとのli’+1o)(5・11糸と同様
であり、本メモリI\入力されているデータの1ライン
削のデータが、入力11直序と逆用1.1序で出力され
る。ここでは、各1ライン・メモリに入力されるデータ
it 、距離変換結果後の画像データであり、画素の入
力される順序は、1ライン・メモリ603A、603B
へ入力されるti!ii素の^a序とは反対である。し
たがって、う^択回路604Bから出力されるデータは
、1ライン・メモリ603A、603Bへ入力される画
像データの2ライン前のデータであり、画素の転送順序
は1.L配メモリへの入力順序と等しくなっている。Here, the relationship between ], line memories 603A and 603B, and the relationship between ] line memories 603D and 603E will be described. First, 1 line memory f103A
Describe the relationship between this and 603B. Flip now
Assuming that the output Q of flop 002 is d+1,
As mentioned above, the 1-line memory 603
At A, (1, manual data) l is written to jlt'i from the address with the largest number (2). Tie, l → in memory 0
031 (Then, the stored data is the one with the smaller address or eP
It is read out to Iα. Now, if the output Q of the flip-flop 002 is O, then the 11-line memory 603A calculates p from the smaller of +;j and at;2.
'a, 1. Line memory (6 at 10313)
1. "Shikomi" +: negative, in order from the largest address to the smallest address
Ru. However, since the output of the C1 flip/]p knob 602 is inverted every time the - line scan is completed, the output image 7'-ta to the selection circuit 004 is stored in the 1-line memory C3031~ , 6031-3, "IJ Human Power 11. 1 line T of the data
The data 'l'l is always outputted in the I11I order, which is the reverse of the input Illλ order. On the other hand, the relationship between 1 line memory 603 L) and 603 toshi is the same as 603A and 603'FS li'+1o) (5/11 thread), and this memory I The data of one line removed is output in the direct order of input 11 and inverse order of 1.1.Here, the data input to each one line memory is the image data after the distance conversion result, and the pixel The input order is 1 line memory 603A, 603B.
input to ti! This is the opposite of the ii element's ^a order. Therefore, the data output from the selection circuit 604B is data two lines before the image data input to the one-line memories 603A and 603B, and the pixel transfer order is 1. This is the same as the input order to the L-distributed memory.
さて、ラスク走査方向と逆方向に距離変換を行う演算部
62Aについて説明する。演算部への人力データ員、選
択回路604Aの出力データ、1ライン・メモリ603
Cの出力データ、及びシフト・レジスタ605A、60
5Bの出力データのi14つのデータである。すでに説
明したように、選択回路604. Aの出力データを基
準とし、そσ)画素値をf 1.+とするとfi、に対
して、シフト・レジスタ605Bの出力データは、1i
iIlli素分遅れた距離変換値(画像データの転送順
序が逆転してい(記)
ることに注意)d□+t+j を示し、1ライン・メ
モリ603Cの出力データは、1ライン前の距離変(−
AI
am a、、、 j、 を示し、さらにシフト・レジ
フカθQ5Aの出力データは、lライン前の画51″イ
τ’r(F3は、選択回路60’6、比較回路007番
、″入力さね、画素値の最も大きいものが選択され、出
力されZ・。Now, the arithmetic unit 62A that performs distance conversion in the direction opposite to the rask scanning direction will be described. Manual data input to the calculation section, output data of the selection circuit 604A, 1-line memory 603
C output data, and shift registers 605A, 60
This is 14 pieces of 5B output data. As previously explained, selection circuit 604. Using the output data of A as a reference, the pixel value is set to f1. +, then fi, the output data of the shift register 605B is 1i
The distance conversion value delayed by the iIlli element (note that the transfer order of image data is reversed) indicates d
AI am a, , j, and the output data of the shift resistor θQ5A is the image 51'' i τ'r (F3 is the selection circuit 60'6, comparison circuit No. 007, input Well, the one with the largest pixel value is selected and output as Z.
さらに、この画素データは、加1“5回路(]C0に、
I:す1が加算された筏、アンド回i& 60 Qによ
I)、前述した1iTli伸データf s 、lと論理
flIJがとられ、f j−j(2)
=1のときのみ計算された距離変F’ <fr< +’
l、 、1が出力される。本演算結果は、前述したノー
うに、−側ゼニジ7ト・レジスタ605B、1ライン・
メ壬り003Cへ送られ、新たな波計の入力・・−りと
なるとともに、]、ライン・メモリ(403+)、60
3Eへ送られ、画素の転送順序を、メモリ部01人力時
の転送順序へ戻した後、゛111宝部63へQ・送でれ
る。Furthermore, this pixel data is sent to the addition 1"5 circuit (]C0,
I: the raft to which 1 is added, and by the AND times i & 60 Q I), the aforementioned 1iTli expansion data f s , l and the logic flIJ are taken, and it is calculated only when f j-j (2) = 1. Distance change F'<fr<+'
l, , 1 are output. As mentioned above, the result of this calculation is the minus side Zenith register 605B, 1 line
The message is sent to 003C and becomes a new wavemeter input...], line memory (403+), 60
After returning the pixel transfer order to the transfer order when manually operated in the memory section 01, the data is sent to the 111 treasure section 63.
次に、第7図下半部に示したラスク走査方向にしたがっ
た距FJI変換にもとづく大きさ1コ(定について説明
する。Next, the size 1 (constant) based on the distance FJI conversion according to the rask scanning direction shown in the lower half of FIG. 7 will be explained.
ラスク走査方向にしたがった距離変換で【、1、ラスク
走査方向に対1−5で逆方向に生存する距離変換のよう
に画素の’Ijl’C送順序を反転する必要はない。In the distance transformation according to the rask scanning direction, there is no need to invert the 'Ijl'C sending order of the pixels as in the distance transformation which exists in the opposite direction in pairs 1-5 in the rask scanning direction.
しかし、判定部63においで、逆走査モードでの距離変
換結果と、等しい画素位愼て比較しな口れば′r:「ら
ないプとめ、遅れ回路を(=J加する必要がある。However, if the determination unit 63 does not compare the distance conversion result in the reverse scanning mode with the same number of pixels, it is necessary to add a delay circuit (=J).
以下に舜11作の流れを説明する。The flow of Shun's 11 works will be explained below.
ト淡掠換回路を経て21直化された画像データはまず、
1ライン・メモリ(303Fへ転送される。The image data that has been converted into 21-digit data after passing through the digital conversion circuit is first processed as follows.
1 line memory (transferred to 303F).
また、本メモリの7ドレスは加算カウンタ601Cによ
って決定される。したがって、画像データは、lライン
・メモリ603Fヘアドレスの小さい方から胆1に14
込まれる。また、本メモリからの読出しも同様にアドレ
スの小さい方から行われるため、本メモリの出力データ
は、入力時よりも、1ライン分遅れたデータとなる。さ
らにこの画像データは、演算部02Bに送られ、距離変
換結果結早とのアンドを行うアンド回路を経て、]9画
素分のシフト・レジスタ6Q5Dへ送られるとともに、
]ライン・メモリ603Gへ送られる。lライン・メモ
リ603 Gのil’i+ (’+は、1ライン・メτ
−リ603FのWl)1作と全く同様でパ;、Q、1ラ
イン・メモリ603Gから(:1、さr−、ニ15 イ
:/ /J1t’fi fl j、’7゜距離演算結果
後の1ITii像7−タが出力さλする。、−の出力デ
ータは、演算部62■3σ)人カデークの1つどなると
ともに、1画素分のシ゛7ト・レジスタ605Cへ転送
される。Further, 7 addresses of this memory are determined by the addition counter 601C. Therefore, the image data is stored in the line memory 603F from the smaller address to the 14th line memory 603F.
be included. Further, reading from the main memory is similarly performed from the address with the smallest address, so the output data of the main memory is data delayed by one line from the time of input. Furthermore, this image data is sent to the arithmetic unit 02B, passes through an AND circuit that performs AND with the distance conversion result, and is sent to the shift register 6Q5D for 9 pixels.
] is sent to line memory 603G. l line memory 603 G's il'i+ ('+ is 1 line memory τ
- Wl of 603F) Exactly the same as the 1st work Pa;, Q, From 1 line memory 603G (:1, Sa r-, D15 I: / /J1t'fi fl j, '7゜After distance calculation result The 1ITii image 7-ta outputs λ., -'s output data is transferred to the sheet register 605C for one pixel at the same time as one of the input data of the calculation unit 62 (3σ).
また、この出力データは、]、ライン・メ羊り603F
入力時のPIi像データに対して2ライン勺遅iまた距
離演全′、1結果どして、″t’11宇部63”、ト、
送される。Also, this output data is ], line menu 603F
For the PIi image data at the time of input, the 2-line delay i and distance calculation total', 1 result is ``t'11 Ube 63'',
sent.
一方、演n 部62 Bへ番j1シフト・レジスタ60
51)の出力データ、1ライン・メモリ(’: (J
3 Gの出力データ、シフト・レジスタ(i (+ 5
C,の出力データ、及び1ライン・メモリ0(13J
’の出力データが入力される。これへの入カデータは、
]−ライF32Bでの演算は演算部62Aの演算と全く
同様(1)
であり、演り村ρf’: (1,、、11、lライン・
メモリ603(1へ転送さねたわト、判冗を部(33へ
送られる。On the other hand, the number j1 shift register 60 to the performance n section 62 B
51) output data, 1 line memory (': (J
3 G output data, shift register (i (+5
C, output data, and 1 line memory 0 (13J
' output data is input. The input data to this is
]-The calculation in the line F32B is exactly the same as the calculation in the calculation unit 62A (1), and the performance village ρf': (1, , 11, l line・
If the data is not transferred to the memory 603 (1), the data is sent to the memory section (33).
欧に、判定部について説明すると、これ迄に説明し、た
爪方向、逆方向2 In (fjの走立方向にしたがっ
た距離変換結果をそれぞれ入力し、比較回路Q ]、
1 、選択回路610によって、対応する画緊毎に値の
大きい方を?シ択する。統いて選択回路6J−2におい
て、得られた画素の値が閾値t□ よりも大きいときけ
1.小さいときは0とf、(る2値データが出力される
。To explain the determination section to Europe, as described above, the distance conversion results according to the running direction of fj are inputted in the claw direction and the reverse direction 2 In (the comparator circuit Q],
1. The selection circuit 610 selects the one with the larger value for each corresponding image quality? Select. In general, in the selection circuit 6J-2, if the obtained pixel value is larger than the threshold value t□, 1. When it is small, binary data of 0 and f (() is output.
この」うにして、2値1itli 像の欠陥Fi=補の
中から距離変換によって致命度を判定し、正しい欠陥の
みを抽出することができる。In this way, it is possible to determine the criticality among the defects Fi=complementary of the binary 1itli image by distance conversion, and extract only correct defects.
発t(lの効果
以上u’N、明したように、本発明によれに、子レビジ
ョン・カメラ等により人力された朝参−物表面の欠陥候
補を抽出した濃淡画像に13いて、濃淡値変換を行うこ
とによって、欠陥の形状を変形するこ、!、: 7j
< 、ノイズ・し・ベル相当の低い領域を除去オるどと
もに、距離変換を行うことによって、致命的と見倣せな
い小さなケ陥e和1を欠陥形イ(シ・考慮して除失する
ので、虚報の少ない欠陥抽出則(φを得ることができる
。し、かも、こ1コらのII′Ll’!+!に、巣利1
1C演詐を遇て次的に行うのみで実現T゛きるので、高
辻処理が可能でi・る。As explained above, according to the present invention, the gradation value of Deform the shape of the defect by performing transformation!: 7j
In addition to removing areas with low levels equivalent to noise and noise, by performing distance transformation, small defects that cannot be considered fatal can be removed by considering the defect type. Therefore, it is possible to obtain a defect extraction rule (φ) with less false information.
Takatsuji processing is possible because T can be achieved by simply performing 1C deception and the next step.
竿]図は本発明に至るまでの前処理VS程の70ツク図
、?A2図は本発明の実施例を示ず映倫イエ1号処装装
置の全体椰略図、竿3図は本発明の宙1布例を示す欠陥
パターン検出方法の手駒説明回、汀・4図は本発明の第
風例を示す濃淡値変換卵理方法の説明図、ゲ5図は本発
明の客施例な示すヅ、きさ判定1111皿方法の説明図
、1!A:6図は本発明の実fil’+i (+’lを
示す?I4淡値変換(iTl路の横向いこ1、竿7図は
本をTi1lの実施例を示す大きさ判定回路のtI#戒
図である。
401.404:濃淡値炸4尊回路、402:大きさ判
定回路、4.Q3:加勢゛回路、405;遅延。
回路、501=シフトレジスタ、502,803゜50
8.607,611:比較回路、61:メモリ部、62
:演算部、63:判バ!部、601A。
601B、601C:カウンタ、603A〜60δ(1
:ラインメ千り、506.、’+07.ri04A。
60A li、 6C)6. 608. 610.
(312!選択回路。
特許出腔1人 株式4)礼 口でl朽作所代 リ11
人 弁理士 磯 利 雑 俊第 1 図
LK
第 2 図
02
05
第 3 図
第 4 図Rod] The figure is a 70-piece figure of pre-processing VS up to the present invention, ? Figure A2 does not show an embodiment of the present invention, but is a schematic diagram of the entire processing equipment of Yinglin Ye No. 1, Figure 3 shows an example of the fabric of the present invention, and is a detailed explanation of the defect pattern detection method. Figure 5 is an explanatory diagram of the gradation value conversion method of the present invention, which is an example of the present invention. A: Figure 6 shows the actual fil'+i (+'l) of the present invention? This is a diagram. 401.404: Grayscale value explosion 4 circuit, 402: Size judgment circuit, 4.Q3: Assist circuit, 405: Delay circuit, 501 = Shift register, 502, 803゜50
8.607, 611: Comparison circuit, 61: Memory section, 62
: Arithmetic unit, 63: Ban! Department, 601A. 601B, 601C: Counter, 603A to 60δ (1
: Reinme Senri, 506. ,'+07. ri04A. 60A li, 6C)6. 608. 610.
(312! Selection circuit. 1 patent expert, 4 shares) Thank you!
Person Patent Attorney Toshi Iso 1st Figure LK 2nd Figure 02 05 3rd Figure 4th Figure 4
Claims (1)
上の濃淡値が含まれる濃淡画像から欠陥を運択する欠陥
パターン検出方法において、第1の閾値以上の濃淡値を
内部に有する欠陥候補パターンの中で、該第1より低い
竿2の閾値以上の濃淡値を有する部分だけを欠陥パター
ンとして出力することを特徴とする欠陥パターン検出方
法。 e)欠陥候補パターンが抽1あされ、少なくとも3種類
以上の濃淡値が含まれる:a渋面画像ら欠陥を選択する
欠陥パターン検出方法において、Mlの閾値以上の濃淡
値を内部に有する欠陥候補パターンの中で、該第1より
低い坑2の閾値以上の濃淡値を有する部分だけを出力し
て2値画像を生成した後、上記欠陥イ1す補パターンの
すべての画素に対して、対象となる画素にド接する複数
個の画素の中の最大濃淡値に°゛1″を加えた値を上記
対象画素に書き込む、いわゆる距がト変換処即を一宇の
走行方向にしたがって実行し、得られた甲呼偉換画仰を
あらかじめ設定した竺3の閘6μにより2値化すること
を特徴とする欠陥パターン検出方法。 (3)前記第2の閾値以上の濃淡値を有オる欠陥候補の
中で前記第1の閾値以上の濃淡値を右する欠陥〒3め のみ抽出した画像と、距離変換した2%、f4@、によ
り2値化した画像とに対し、互いに対応する画素値を加
算した値の画像を生成し、再びt* 2の閾値以上の^
淡値をイ1゛する欠陥(m補の中で第1の閾値以上の′
t4淡値を有する欠陥のみを抽出することを特徴とする
特許請求のWl、囲第2項言己1の欠陥パターン検出方
法。 (4)前記距離変換は、水平走査方向を変λで2f;(
類行った後、2つの距M変換画像にヌf L、て、Hい
に対応する画素値の最大値を選択し、た両像不・牛或し
、該画像をあらかじめ設定した竿3の門(fiにより2
値化することを特徴とする特許請求の範UM竿2項また
は第3項F!8載の欠陥パターン検出方法。 (6)前記距離変換は、水平走査方向を変えて2f・1
類行った什、2つの距離変換画像に対して、互いに対応
する画素値を加算した値の画像を71:成し、該画像を
あらかじめ設定した第3の閾値により2値化することを
特徴とする特許請求の範囲′I42項士たは竿3 ]′
J″f記41つの欠陥パターン検出方法。 (6)前記距離変換は、一定の走査方向にしたがって行
った距離変換画像とfIt’を初の2値画像とに対して
、互いにり・1応する画皐値を加算した値の画像を生歯
、し、パ々Ti1II像をあらかじめ設定した竿3の閾
値により2値化することを特徴とする特僧催求の範門笛
2 rL:また(1へ゛)3頂紀載の欠陥パターン検出
方法。[Scope of Claims] α) In a defect pattern detection method in which a defect candidate pattern is extracted and a defect is detected from a grayscale image containing grayscale values of at least three buttons or more, a grayscale value of a first threshold value or more is internally selected. A defect pattern detection method characterized in that, among defect candidate patterns, only a portion having a gray value equal to or higher than a threshold value of the rod 2 lower than the first is outputted as a defect pattern. e) Defect candidate patterns are drawn and include at least three types of grayscale values: (a) In a defect pattern detection method that selects defects from frowning images, defective candidate patterns that have internal grayscale values that are equal to or higher than the threshold value of Ml After generating a binary image by outputting only the portion having a gray level value equal to or higher than the threshold of the hole 2 which is lower than the first, all pixels of the complementary pattern of the defect I. A value obtained by adding °゛1'' to the maximum gradation value of a plurality of pixels adjacent to a pixel is executed in the target pixel according to the direction of travel of the vehicle. A defect pattern detection method characterized by binarizing the obtained high-speed conversion image using a preset scale of 3 and 6μ. (3) Defect candidates having a gray value equal to or higher than the second threshold value. The pixel values corresponding to each other are calculated for the image in which only the third defect having a gray value equal to or higher than the first threshold is extracted and the image binarized by distance-converted 2%, f4@. Generate an image of the added value, and again exceed the threshold of t*2^
Defects that increase the light value by 1゛ ('
A defect pattern detection method according to Claim Wl, Enclosure 2, Description 1, characterized in that only defects having a t4 light value are extracted. (4) The distance conversion is performed by changing the horizontal scanning direction by 2f; (
After doing the same, select the maximum value of the pixel values corresponding to nu f L, te, and hi for the two distance M conversion images, Gate (2 by fi
Claim 2 or 3 F! 8. Defect pattern detection method. (6) The distance conversion is performed by changing the horizontal scanning direction and
The feature is that an image of a value obtained by adding mutually corresponding pixel values to two distance-transformed images is formed by 71, and the image is binarized using a third threshold set in advance. Claims 'I42 or 3]'
J″f 41 defect pattern detection methods. (6) The distance conversion is performed by making the distance conversion image performed according to a certain scanning direction and fIt′ correspond to each other by 1 with respect to the initial binary image. The image of the sum of the image values is taken as a natural tooth, and the Pappa Ti1II image is binarized using a preset threshold value of the rod 3. Go to 1) Defect pattern detection method described in Tricho.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13755382A JPS5927206A (en) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | Defective pattern detecting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13755382A JPS5927206A (en) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | Defective pattern detecting method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5927206A true JPS5927206A (en) | 1984-02-13 |
JPH0332723B2 JPH0332723B2 (en) | 1991-05-14 |
Family
ID=15201398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13755382A Granted JPS5927206A (en) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | Defective pattern detecting method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5927206A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62163953A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-20 | エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション | Method and device for inspecting product |
JPH01176722A (en) * | 1987-12-31 | 1989-07-13 | Jiro Sasaoka | Transfer device for sediment |
JP2010256053A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Visco Technologies Corp | Shape defect inspection device, shape modeling device, and shape defect inspection program |
JP2011180120A (en) * | 2010-02-03 | 2011-09-15 | Daiwa House Industry Co Ltd | Method and device for diagnosis of waterproof sheet |
-
1982
- 1982-08-06 JP JP13755382A patent/JPS5927206A/en active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62163953A (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-20 | エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション | Method and device for inspecting product |
JPH01176722A (en) * | 1987-12-31 | 1989-07-13 | Jiro Sasaoka | Transfer device for sediment |
JP2010256053A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Visco Technologies Corp | Shape defect inspection device, shape modeling device, and shape defect inspection program |
JP2011180120A (en) * | 2010-02-03 | 2011-09-15 | Daiwa House Industry Co Ltd | Method and device for diagnosis of waterproof sheet |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0332723B2 (en) | 1991-05-14 |
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