JPS5923152U - 分析装置用多重イオン源 - Google Patents

分析装置用多重イオン源

Info

Publication number
JPS5923152U
JPS5923152U JP11842082U JP11842082U JPS5923152U JP S5923152 U JPS5923152 U JP S5923152U JP 11842082 U JP11842082 U JP 11842082U JP 11842082 U JP11842082 U JP 11842082U JP S5923152 U JPS5923152 U JP S5923152U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
ion
optical system
analysis chamber
analyzers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11842082U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6011549Y2 (ja
Inventor
良治 高沢
昌宏 山本
孝 皆藤
寺垣　卓郎
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーインスツルメンツ株式会社 filed Critical セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority to JP11842082U priority Critical patent/JPS6011549Y2/ja
Publication of JPS5923152U publication Critical patent/JPS5923152U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6011549Y2 publication Critical patent/JPS6011549Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案による分析装置用多重イオン源を示すた
めの断面図である。 １は分析室、２は試料台、３は取付孔、４はイオン光学
系、５は第１駆動手段、６はモータ、７はギヤ部、８は
固定部、９はイオン源ケース、　　　　“１１は第２駆
動手段、１２は回転部材、１３はモ。 −タ、１４はアーム、１５はガスイオン源、１６は金属
イオン源、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン源ケース内に回転自在に設けられた回転部材と、
    この回転部材の両端に設けられた互いに異なる種類のイ
    オン源と、前記イオン源ケースを支持するための分析室
    と、この分析室内に設けられたサンプルと、この分析室
    内の一端にその軸方・　　向に移動自在に設けられたイ
    オン光学系き、このイオン光学系を移動させるための駆
    動手段とを備え、前記回転部材を回転させてイオン源の
    選択をすると共に、前記イオン光学系を移動させて選択
    されたイオン源にその特性を合わせるように構成したこ
    とを特徴とする分析装置用多重イオン源。
JP11842082U 1982-08-04 1982-08-04 分析装置用多重イオン源 Expired JPS6011549Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11842082U JPS6011549Y2 (ja) 1982-08-04 1982-08-04 分析装置用多重イオン源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11842082U JPS6011549Y2 (ja) 1982-08-04 1982-08-04 分析装置用多重イオン源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5923152U true JPS5923152U (ja) 1984-02-13
JPS6011549Y2 JPS6011549Y2 (ja) 1985-04-17

Family

ID=30272191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11842082U Expired JPS6011549Y2 (ja) 1982-08-04 1982-08-04 分析装置用多重イオン源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6011549Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0276424U (ja) * 1988-11-29 1990-06-12

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0276424U (ja) * 1988-11-29 1990-06-12

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6011549Y2 (ja) 1985-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU549067B2 (en) Swing-arm device for optical scanning unit
JPS5923152U (ja) 分析装置用多重イオン源
JPS5923151U (ja) 分析装置用多重イオン源
JPS59100253U (ja) フレ−ム原子吸光分析用原子化装置
JPS5949935U (ja) 光電色度計の自動標準校正装置
JPS61151333U (ja)
JPS5849254U (ja) カラムエ−ジング装置
JPS5864062U (ja) 電子線等を用いる分析装置の試料装置
JPS5849215U (ja) 計測器のペン駆動部
JPS6028716U (ja) 回折格子の微調整機構
JPS60117010U (ja) チヤツキング装置
JPS6080516U (ja) 光学ピツクアツプ装置の対物レンズ駆動装置
JPS6024058U (ja) 試料移動装置
JPS60169567U (ja) 液体クロマトグラフ質量分析計
JPS6046059U (ja) 元素分析用治具
JPS60114958U (ja) ガスクロマトグラフ質量分析装置
JPS59170255U (ja) 炭素炉原子化装置
JPS6059350U (ja) 試料移動装置
JPS58110739U (ja) 吸排気ダンパ−機構
JPS5977052U (ja) 螢光ｘ線分析用試料ホルダ−
JPS63188554U (ja)
JPS60158654U (ja) イオン源装置
JPS59131051U (ja) 分析装置の検出器固定装置
JPS58101459U (ja) 質量分析計用イオン源
JPS63122263U (ja)