JPS59230132A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPS59230132A JPS59230132A JP10514783A JP10514783A JPS59230132A JP S59230132 A JPS59230132 A JP S59230132A JP 10514783 A JP10514783 A JP 10514783A JP 10514783 A JP10514783 A JP 10514783A JP S59230132 A JPS59230132 A JP S59230132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- displacement
- temperature
- bimetal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
４＝発明はダイアフラムを用いた圧力検出器の温度！ｉ
、１件の改善に関するものである。
、１件の改善に関するものである。
′ｆｊ（ｉ来例の構成とその問題点
第１図によ−）て従来例の構成を説明する。溝部１を有
するダイアフラム２の上下にそれぞれ、第１の密閉状ケ
ーシング３、第２の密閉状ケーシング４が設けられてお
り、それぞれ第１の圧力導入口５、第２の圧力導入口６
をＩＪＨえている。７は第１の密閉状ケーシング３の上
面中心部に設けられたガイド／リンダでその外周部には
１次コイルと２次コイルよ勺なる検出固定部としての差
動コイル８、その内部には変位伝達ロッド９を備えた検
出可動部としてのコア１０がありいわゆる差動トランス
を構成している。１１，１２ｉｄダイアフラム２を補強
するだめの第１のセンタプレート、第２のセンタプレー
トでありそれぞれ、第１の安定化ばね１３、第２の安定
化はね１４のばね座ともなっている。次に基本動作を説
明する。Ｍｌの圧力導入口５と第２の圧力導入口６より
加えられた流体圧力差に応じてダイアフラム２の中心部
が上下に移動し、その動きが裏付伝達ｏノド９を通じて
コア１０に伝えられて差動コイル８で検出される。すな
わちダイアフラム２の両面にかかる流体の差圧に応じて
差動コイル８に出力を発生するものである。
するダイアフラム２の上下にそれぞれ、第１の密閉状ケ
ーシング３、第２の密閉状ケーシング４が設けられてお
り、それぞれ第１の圧力導入口５、第２の圧力導入口６
をＩＪＨえている。７は第１の密閉状ケーシング３の上
面中心部に設けられたガイド／リンダでその外周部には
１次コイルと２次コイルよ勺なる検出固定部としての差
動コイル８、その内部には変位伝達ロッド９を備えた検
出可動部としてのコア１０がありいわゆる差動トランス
を構成している。１１，１２ｉｄダイアフラム２を補強
するだめの第１のセンタプレート、第２のセンタプレー
トでありそれぞれ、第１の安定化ばね１３、第２の安定
化はね１４のばね座ともなっている。次に基本動作を説
明する。Ｍｌの圧力導入口５と第２の圧力導入口６より
加えられた流体圧力差に応じてダイアフラム２の中心部
が上下に移動し、その動きが裏付伝達ｏノド９を通じて
コア１０に伝えられて差動コイル８で検出される。すな
わちダイアフラム２の両面にかかる流体の差圧に応じて
差動コイル８に出力を発生するものである。
このような従来の圧力検出器の問題点を説明する。圧力
検出器に加えられる差圧が一定であっても（！ｉｉ’＋
度か変化すれば出力が変化する、すなわち差圧−出力特
性に温度依存性があるということである。
検出器に加えられる差圧が一定であっても（！ｉｉ’＋
度か変化すれば出力が変化する、すなわち差圧−出力特
性に温度依存性があるということである。
第１図と第１図の圧力検出器の温度特性を示す第６図に
よって具体的に説明する。第６図は横軸Ｋ ｉＩＭ度、
縦軸に差圧０時の出力をとったもので、第１図に示すよ
うな従来の圧力検出器は第６図に示すような特性であっ
た。すなわち差圧が０であるにもかかわらず温度の変化
によって出力が変化する。このことは温度が変化すれば
正確な圧力６１１ｊ定ができないことを示している。こ
の理由を説明する。第１図において例えば２０℃のとき
ダイアンラム２の溝部１の形状がＡ１ であったとする
とτ７１１’１度が低１；シてダイアフラム２が大きく
収縮して全体的に平板状になろうとし溝部１の形状がＡ
１かＬっＣ１に変形１〜でダイアフラム２の中心部が第
１図に１′−・いて上方に移動し、コア１ｏはＡ２から
Ｃ２まで上昇する。その結果圧力検出器の出力は０から
ずれる。すなわち差圧がＯであるにもかかわらず温度が
低下するだけで圧力検出器の出力が変化するのである。
よって具体的に説明する。第６図は横軸Ｋ ｉＩＭ度、
縦軸に差圧０時の出力をとったもので、第１図に示すよ
うな従来の圧力検出器は第６図に示すような特性であっ
た。すなわち差圧が０であるにもかかわらず温度の変化
によって出力が変化する。このことは温度が変化すれば
正確な圧力６１１ｊ定ができないことを示している。こ
の理由を説明する。第１図において例えば２０℃のとき
ダイアンラム２の溝部１の形状がＡ１ であったとする
とτ７１１’１度が低１；シてダイアフラム２が大きく
収縮して全体的に平板状になろうとし溝部１の形状がＡ
１かＬっＣ１に変形１〜でダイアフラム２の中心部が第
１図に１′−・いて上方に移動し、コア１ｏはＡ２から
Ｃ２まで上昇する。その結果圧力検出器の出力は０から
ずれる。すなわち差圧がＯであるにもかかわらず温度が
低下するだけで圧力検出器の出力が変化するのである。
温度が上昇した場合にはダイアフラム２が膨張して溝部
１の形状が公、からＢ１へと変形し、ダイアフラム２の
中心部が第１図において下方に移動し、コア１０ばＡ２
からＢ２まで下降する。その結果圧力検出器の出力は、
前述の温度低下の場合とは逆方向に向ってＯからずれる
。すなわち差圧が○であるにもかかわらず温度が上昇す
るだけで圧力検出器の出力が変化するのである。以上の
動作はダイアフラム２の熱膨張係数が第１．第２の密閉
状ケーシング３，４よシも大きい場合であるが、ダイア
フラム２の熱膨張係数が第１．第２の密閉状ケーシング
３，４よりも小さい場合にも、差圧が０であっても温度
変化に々もない前記と逆極性の出力が現れることは明白
である。これらの様子は第６図に示しである。
１の形状が公、からＢ１へと変形し、ダイアフラム２の
中心部が第１図において下方に移動し、コア１０ばＡ２
からＢ２まで下降する。その結果圧力検出器の出力は、
前述の温度低下の場合とは逆方向に向ってＯからずれる
。すなわち差圧が○であるにもかかわらず温度が上昇す
るだけで圧力検出器の出力が変化するのである。以上の
動作はダイアフラム２の熱膨張係数が第１．第２の密閉
状ケーシング３，４よシも大きい場合であるが、ダイア
フラム２の熱膨張係数が第１．第２の密閉状ケーシング
３，４よりも小さい場合にも、差圧が０であっても温度
変化に々もない前記と逆極性の出力が現れることは明白
である。これらの様子は第６図に示しである。
発明の目的
本発明は上述の問題点を解決するもので、その目的とす
るところは、ダイアフラムに作用する圧力のみによって
出力が決り、温度変化によって出力か変化しない圧力検
出器を得ることである。
るところは、ダイアフラムに作用する圧力のみによって
出力が決り、温度変化によって出力か変化しない圧力検
出器を得ることである。
発明の構成
上記の目的を達成する／杜めに以下の構成としている。
圧力を受けるダイアフラムの両面側にそれぞれ密閉状の
ケーシングを設けて圧力を測定すべき流体を導くととも
に、ダイアフラムにかかる圧力に応じて動くダイアフラ
ムの変位を伝える変位伝達ロッドと、その変位を受ける
検出可動部と、ダイアフラムの動きから隔離された検出
固定部より（１ｑ成される、変位−電気変換部を有し、
前記の検出可動部とダイアフラムの間にバイメタルを介
在させ、温度変化によっておこるバイメタルの変形によ
って前記変位−眠気変換部の検出可動部と検出１＾１定
部のダイアフラム移動方向における相対位置をＡ整する
ようにしている。すなわち温度変化によっておこるダイ
アプラムの変形がひきおこ−１−変１１シ、−屯気変換
部の検出可動部と検出固定部のダイアンラム移動方向の
ずれを、検出可動部とダイアフラムの間に設けたバイメ
タルの温度変化に基く変形によって自動補正するもので
ある。
ケーシングを設けて圧力を測定すべき流体を導くととも
に、ダイアフラムにかかる圧力に応じて動くダイアフラ
ムの変位を伝える変位伝達ロッドと、その変位を受ける
検出可動部と、ダイアフラムの動きから隔離された検出
固定部より（１ｑ成される、変位−電気変換部を有し、
前記の検出可動部とダイアフラムの間にバイメタルを介
在させ、温度変化によっておこるバイメタルの変形によ
って前記変位−眠気変換部の検出可動部と検出１＾１定
部のダイアフラム移動方向における相対位置をＡ整する
ようにしている。すなわち温度変化によっておこるダイ
アプラムの変形がひきおこ−１−変１１シ、−屯気変換
部の検出可動部と検出固定部のダイアンラム移動方向の
ずれを、検出可動部とダイアフラムの間に設けたバイメ
タルの温度変化に基く変形によって自動補正するもので
ある。
実施例の説明
第２図、第３図、第４図、第５図、第７図によって本発
明に基〈実施例の説明を行う。先ず第２図によって構成
を説明する。第１図の従来例と同一部品は同一記号を伺
し、説明を省略する。２゜は第１のスペーサでバイメタ
ル支持板２１、第２のスペーサ２２．バイメタル２３が
取セ付けられでいる。２４は第１のスペーサ２２固定用
の第１のビス、２６は第２のスペーサ２２固定用の第２
のビスである。次に動作を説明する。第２図において例
えば２０’Ｃのときダイアフラム２の溝部１の形状がＡ
１ であったとすると温度が低下してダイアフラム２が
収縮して全体的に平板状になろうとして溝部１がＡ か
ら０１に変形してダイアンラム２の中心部が第２図にお
いて上方に移動し、コア１ｏも上方に移動しようとする
がバイメタル２３の温度変化に基く変形によって打ち消
されコア１Ｑは実質的に差動コイル８に対して動かず、
圧力検出器のＢコカ変化はない。温度が上昇した場合に
はダイアフラムが膨張して溝部１の形状がＡ から８１
へと変形し、ダイアフラム２の中心部が第２図におい
て下方に移動し、コア１ｏも下刃に移動しようとするが
バイメタル２３の温度変化にノー（り変形によって月ぢ
消されコア１０は実質的に差動コイル８に対して動かず
、圧力検出器の出力変化はない。バイメタル２３の作用
をいますこし詳く説明する。第２図中２３で示すバイメ
タルは・・ノチングを施した高熱膨張係数を有する金斌
板と、低熱膨張係数を有する金属板を合せたもので、温
度が低下すると第２のビス２５を基点と１、て下方にわ
ん曲し、逆に温度が上昇すると上方にわん曲するもので
あるから、温度が低下してダイアフラム２の中心部が上
方に移動するときバイメタル２３が下方にわん曲してコ
ア１ｏを下方に移動１２よつとするためこれらの上下移
動が打ち消し合って、圧力検出器としての出力を温度が
変化［−７て・も一定に保つものである。第７図はこの
第２図の圧力検出器の特性を示したもので、横軸に温度
、縦軸は差圧０の場合の圧力検出器の出力を示したもの
であり、温度によって圧力検出器の出力が変化すること
がないことを示ｊ〜でいる。
明に基〈実施例の説明を行う。先ず第２図によって構成
を説明する。第１図の従来例と同一部品は同一記号を伺
し、説明を省略する。２゜は第１のスペーサでバイメタ
ル支持板２１、第２のスペーサ２２．バイメタル２３が
取セ付けられでいる。２４は第１のスペーサ２２固定用
の第１のビス、２６は第２のスペーサ２２固定用の第２
のビスである。次に動作を説明する。第２図において例
えば２０’Ｃのときダイアフラム２の溝部１の形状がＡ
１ であったとすると温度が低下してダイアフラム２が
収縮して全体的に平板状になろうとして溝部１がＡ か
ら０１に変形してダイアンラム２の中心部が第２図にお
いて上方に移動し、コア１ｏも上方に移動しようとする
がバイメタル２３の温度変化に基く変形によって打ち消
されコア１Ｑは実質的に差動コイル８に対して動かず、
圧力検出器のＢコカ変化はない。温度が上昇した場合に
はダイアフラムが膨張して溝部１の形状がＡ から８１
へと変形し、ダイアフラム２の中心部が第２図におい
て下方に移動し、コア１ｏも下刃に移動しようとするが
バイメタル２３の温度変化にノー（り変形によって月ぢ
消されコア１０は実質的に差動コイル８に対して動かず
、圧力検出器の出力変化はない。バイメタル２３の作用
をいますこし詳く説明する。第２図中２３で示すバイメ
タルは・・ノチングを施した高熱膨張係数を有する金斌
板と、低熱膨張係数を有する金属板を合せたもので、温
度が低下すると第２のビス２５を基点と１、て下方にわ
ん曲し、逆に温度が上昇すると上方にわん曲するもので
あるから、温度が低下してダイアフラム２の中心部が上
方に移動するときバイメタル２３が下方にわん曲してコ
ア１ｏを下方に移動１２よつとするためこれらの上下移
動が打ち消し合って、圧力検出器としての出力を温度が
変化［−７て・も一定に保つものである。第７図はこの
第２図の圧力検出器の特性を示したもので、横軸に温度
、縦軸は差圧０の場合の圧力検出器の出力を示したもの
であり、温度によって圧力検出器の出力が変化すること
がないことを示ｊ〜でいる。
以上の説明はダイアフラム２の熱膨張係数が第１の密閉
り一−シング３、第２の笛閉ケーンング４よシも大きい
場合であるが逆にダイアフラム２の熱膨張係数が第１の
密閉状ケーシング３、第２の密閉状ケーシング４よりも
小ざい場合には温度変化に伴うダイアフラム２の上下動
が逆になるからバイメタル２３の高熱膨張Ｏ１Ｉ＋と低
熱膨張１１Ｉｌｌを逆にして用いればよい。第３図〜第
６図はバイメタル２３の形状および取り付は構成に関す
る他の実施例である。第３図はバイメタル２３ＡをＵ字
形にしたものであり、第４図はバイメタル２３Ｂを第３
図と同じくＵ字形として変位伝達ロッド９に取り付けた
ものであり、第５図は同じくＵ字形のバイメタル２３Ｃ
をコア１０に取り付けたものでありいずれも本発明の主
旨にそうものである。
り一−シング３、第２の笛閉ケーンング４よシも大きい
場合であるが逆にダイアフラム２の熱膨張係数が第１の
密閉状ケーシング３、第２の密閉状ケーシング４よりも
小ざい場合には温度変化に伴うダイアフラム２の上下動
が逆になるからバイメタル２３の高熱膨張Ｏ１Ｉ＋と低
熱膨張１１Ｉｌｌを逆にして用いればよい。第３図〜第
６図はバイメタル２３の形状および取り付は構成に関す
る他の実施例である。第３図はバイメタル２３ＡをＵ字
形にしたものであり、第４図はバイメタル２３Ｂを第３
図と同じくＵ字形として変位伝達ロッド９に取り付けた
ものであり、第５図は同じくＵ字形のバイメタル２３Ｃ
をコア１０に取り付けたものでありいずれも本発明の主
旨にそうものである。
発明の効果
以上のように本発明は圧力を受けるダイアフラムとその
ダイアフラムの動きに応じて動く検出可動部（実施例で
はコア１０）、ダイアフラムの動きから隔殖された検出
固定部（実施例では差動コイル８）を備えた変位−電気
変換部を有し、前記ｌＪＴ勤倹勤倹表部イアフラムの間
にバイメタルを介在させ、温度変化によって発生するダ
イアフラムのｉｌｌ＋方向変位全、バイメタルの温度変
化による変形によって打ち消し、最終的に温度変化によ
って、変位−電気変換部の、検出可動部と検出固定部の
ダイアフラム変位方向における位置ずれが発生し在いよ
うにｊ〜だものである。
ダイアフラムの動きに応じて動く検出可動部（実施例で
はコア１０）、ダイアフラムの動きから隔殖された検出
固定部（実施例では差動コイル８）を備えた変位−電気
変換部を有し、前記ｌＪＴ勤倹勤倹表部イアフラムの間
にバイメタルを介在させ、温度変化によって発生するダ
イアフラムのｉｌｌ＋方向変位全、バイメタルの温度変
化による変形によって打ち消し、最終的に温度変化によ
って、変位−電気変換部の、検出可動部と検出固定部の
ダイアフラム変位方向における位置ずれが発生し在いよ
うにｊ〜だものである。
本発明による温度補正のための素子、すなわちバイメタ
ルはダイアフラムが納められているケー／ノグの中にあ
りしかもダイアフラムと常に接触伏態にあるため、外部
の急倣な、あるいは変則的な１７ｕ’＋度変化に対して
もダイアフラムと同一の温度変化となる／こめ補正ずれ
の発生が皆無であるという特有の効果を有するものであ
る。
ルはダイアフラムが納められているケー／ノグの中にあ
りしかもダイアフラムと常に接触伏態にあるため、外部
の急倣な、あるいは変則的な１７ｕ’＋度変化に対して
もダイアフラムと同一の温度変化となる／こめ補正ずれ
の発生が皆無であるという特有の効果を有するものであ
る。
第１図は従来の圧力検出器の構成図、第２図は本発明の
一実施例である圧力検出器の構成図、第３図〜第６図は
本発明の他の実施例要部構成図、第６図は従来の圧力検
出器の特性図、第７図は本発明による圧力検出器の特性
図である。 ２・・・・・・ダイアフラム、３・・・・・・第１の密
閉状ケーシング、４・・・・・・第２の密閉状ケーシン
グ、８・・・・・・差動コイル（検出固定部）、１ｏ・
・・・・コア（検出可動部）、２３，２３Ａ、２３Ｂ、
２３Ｃ・・・・・バイメタル。
一実施例である圧力検出器の構成図、第３図〜第６図は
本発明の他の実施例要部構成図、第６図は従来の圧力検
出器の特性図、第７図は本発明による圧力検出器の特性
図である。 ２・・・・・・ダイアフラム、３・・・・・・第１の密
閉状ケーシング、４・・・・・・第２の密閉状ケーシン
グ、８・・・・・・差動コイル（検出固定部）、１ｏ・
・・・・コア（検出可動部）、２３，２３Ａ、２３Ｂ、
２３Ｃ・・・・・バイメタル。
Claims (1)
- ダイアフラムの両面側にそれぞれ密閉状のケーシングを
設けて圧力を測定すべき流体を導くとともに、前記ダイ
アフラムの動きに応じて動く検出ｉ＋ｆ動部と、前記ダ
イアフラムの動きから隔離された検出固定部より構成さ
れる変位−電気変換部を有し、「）汀記検出町動部とダ
イアフラムの間にバイメタルを介在させ、湯度変化に基
くバイメタルの変形によって、前記変位−電気変換部の
検出可動部と検出固定部の前記ダイアフラム移動方向に
おける相対位１１を補正してなる圧カイ芙出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10514783A JPS59230132A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10514783A JPS59230132A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230132A true JPS59230132A (ja) | 1984-12-24 |
Family
ID=14399610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10514783A Pending JPS59230132A (ja) | 1983-06-13 | 1983-06-13 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230132A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5018541U (ja) * | 1973-06-14 | 1975-03-01 | ||
| JPS50121782A (ja) * | 1974-02-15 | 1975-09-23 | ||
| JPS5347985U (ja) * | 1976-09-27 | 1978-04-22 |
-
1983
- 1983-06-13 JP JP10514783A patent/JPS59230132A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5018541U (ja) * | 1973-06-14 | 1975-03-01 | ||
| JPS50121782A (ja) * | 1974-02-15 | 1975-09-23 | ||
| JPS5347985U (ja) * | 1976-09-27 | 1978-04-22 |
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