JPS59228601A - Optical switch - Google Patents

Optical switch

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JPS59228601A
JPS59228601A JP10354683A JP10354683A JPS59228601A JP S59228601 A JPS59228601 A JP S59228601A JP 10354683 A JP10354683 A JP 10354683A JP 10354683 A JP10354683 A JP 10354683A JP S59228601 A JPS59228601 A JP S59228601A
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JP
Japan
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bubble
liquid layer
transparent
transparent block
optical switch
Prior art date
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Pending
Application number
JP10354683A
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Japanese (ja)
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Hiroshi Terui
博 照井
Morio Kobayashi
盛男 小林
Masao Kawachi
河内 正夫
Akira Himeno
明 姫野
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To reduce the size and cost of an optical switch by providing a transparent liquid layer to a specific interval at which smooth surfaces of two transparent body blocks face each other, and providing an optical system which makes light incident to a driving mechanism for an air bubble in the liquid layer at a specific angle and detects either of reflected light and transmitted light. CONSTITUTION:A transparent body block 6 which has a smooth plane is provide in prallel to and at the interval (l) from the smooth plane of a transparent body block 5, and the transparent air bubble 8 is put in the transparent liquid layer 7 between the planes. When an incident light beam 9 is incident to the liquid layer 7 at an angle theta1, part of it is reflected at the angle theta1 as a reflected light beam 10, and the remainder entering the liquid layer 7 is refracted at an angle theta3 and then refracted partially by the boundary surface between the liquid layer 7 and transparrent body block 6 at an angle theta2 as a transmitted light beam 11. When the air bubble 8 is moved by the air bubble driving mechanism to where the light is reflected and transmitted, the reflection, transmission, and loss vary in extent because the refractive index of the air bubble 8 is considered to be 1.0, so that optical switch operation is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、光通信および光情報処理の分野で用いられる
光スィッチに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to an optical switch used in the fields of optical communication and optical information processing.

(背景技術) 従来のこの種の装置の1例として3×3スイツチを第1
図に示す。第1図(a)は3×3光スイツチの上面図、
(b)は一点鎖線AKおけろ断面図であるOこのスイッ
チは、入力側光フアイバレンズ系1、fiJJU光ファ
イバレンズ系2および2j、9個の5角プリズム3、お
よび9個のプリズム駆動用電磁石4から成る。入力側光
フアイバレンズ系1より出射した光ビームは、オフ状態
では、出力側光フアイバレンズ系2′に入射しており、
プリズム駆動用電磁石4に通電することにより所望の光
路位置の5角プリズムを第1図(b)のように光路中に
挿入すること、出力側光フアイバレンズ系2に出力が得
られるようになっている。
(Background Art) A 3×3 switch is an example of a conventional device of this type.
As shown in the figure. Figure 1(a) is a top view of a 3x3 optical switch.
(b) is a cross-sectional view taken along the dashed-dotted line AK.OThis switch includes the input optical fiber lens system 1, fiJJU optical fiber lens systems 2 and 2j, nine pentagonal prisms 3, and nine prism drives. It consists of an electromagnet 4. The light beam emitted from the input optical fiber lens system 1 is incident on the output optical fiber lens system 2' in the off state,
By energizing the prism driving electromagnet 4, the pentagonal prism at the desired optical path position can be inserted into the optical path as shown in FIG. ing.

かような光スィッチでは次のような問題点があった。ま
ず第1にプリズムを光路に挿入するだめの高精度なしゆ
う動部を要することである。第2には、プリズム駆動用
電磁石およびしゆ5動部に大容積を要し、小を化が極め
て困難なことである。
Such optical switches have the following problems. First of all, it requires a highly precise moving part to insert the prism into the optical path. Second, the electromagnet for driving the prism and the sliding part require a large volume, making it extremely difficult to downsize the prism.

さらに上記した従来例に示すように、マトリクススイッ
チを組む場合を考えろと、゛第3に、作製に高度の熟練
を要する特殊形状の5角プリズムを多数個要し、第4に
は、組み立て時に、多数個のプリズム夫々に独立に高い
位置決め精度を要し、さらに第5には、部品点数が非常
に多くなることである。従って従来形スイッチは、量産
に不適で、極めて高価なものであった。
Furthermore, as shown in the conventional example above, if we consider the case of assembling a matrix switch, ``Thirdly, it requires a large number of specially shaped pentagonal prisms that require a high degree of skill to manufacture, and fourthly, during assembly. , a high degree of positioning accuracy is required for each of the large number of prisms, and fifthly, the number of parts is extremely large. Therefore, conventional switches are not suitable for mass production and are extremely expensive.

(発明の目的) 本発明は、これらの問題点を除去するため、従来用いら
れて℃・た可動プリズムの替りの作用をなすものとして
、可動気泡を用いたことを特徴とし、その目的は低価格
で且つ小形な光スイッチを実現することにあり、以下図
面に従って詳述する。
(Object of the Invention) In order to eliminate these problems, the present invention is characterized by using movable bubbles as a substitute for the conventionally used movable prism. The objective is to realize an inexpensive and compact optical switch, and will be described in detail below with reference to the drawings.

(発明の構成及び作用) 本発明の光スィッチの基本構造を第2図に示¥。(Structure and operation of the invention) The basic structure of the optical switch of the present invention is shown in Figure 2.

平滑な平面を有する第1の透明体ブロック5の平面に平
行に間隔lを保って、平滑な平面を有する塚2の透明体
ブロック6が配置されてお(つ、平面間には透明な液体
層7が満たされている。さらに液体層7中には、透明な
気泡8が挿入されている。
The transparent blocks 6 of the mound 2 having smooth planes are arranged parallel to the plane of the first transparent block 5 having a smooth plane, with an interval 1 between them. The layer 7 is filled. Furthermore, transparent air bubbles 8 are inserted into the liquid layer 7.

かような構造において、液体層7に、第1の透明体ブロ
ンクS中より、入射光ビーム9か角度01で入射した場
合を考える。ここで以下の説明の便宜上、X軸を液体層
7に平行に、yz軸を入射光ビーム90入射面内に、Z
軸を液体層7に垂直であるようにとる。入射光ビーム9
は、その一部が角度θ、で反射して反射光ビーム10と
なり、また液体層7中へ入射したものは、角度θ3で屈
折し、そQつ屈折光の一部が液体層7と第2の透明体ブ
ロック6の界面で角度θ2で屈折して透過光ビーム11
となる。
In such a structure, consider the case where an incident light beam 9 is incident on the liquid layer 7 from the inside of the first transparent body bronc S at an angle of 01. Here, for convenience of the following explanation, the X axis is parallel to the liquid layer 7, the yz axis is within the incident plane of the incident light beam 90, and the Z
The axis is taken to be perpendicular to the liquid layer 7. Incident light beam 9
A part of the light is reflected at an angle θ and becomes a reflected light beam 10, and the light incident on the liquid layer 7 is refracted at an angle θ3. The transmitted light beam 11 is refracted at an angle θ2 at the interface between the transparent blocks 6 and 2.
becomes.

反射光ビーム10、および透過光ビーム110強度は、
入射光ビームをその電気ベクトルが入射面に平行なP波
と、垂直なS波に分解して考える必要がある。ここで以
下においては、媒質は全て非磁性であり、透磁率は1.
0であるとする。第1の透明体ブロック5の屈折率をn
l、第2の透明体ブロック6の屈折率を02、液体層7
の屈折7率を113とすると、反射光ビーム10のP波
成分の反射率R−工、であり、またS波成分R8は となる。透過光ビーム11の透過率は、P波成分子、は
であり、またS波成分子8については、となる。角度θ
0.へ、θ3および屈折率n1 s R2t 113の
間には、スネルの法則 nI CO3θ1−113CO5θ3−n2CO8θ2
    ・・・・・・(5)が成立しており、入射角θ
lに対して、(5)式より屈折角θ2.θ3が得られ、
これらを式(1)〜(4)に代入して、反射率および透
過率が求まる。R8とT8.あるいはR9とT8を加算
しても1.0にはならず、P波およびS波に対する損失
分り、、R5は り、−1,0−R,−T、      凹・・(6)L
  =1゜O−R−T             ・川
・・(力S              S     
Sであり、これらは液体層7と第2の透明体ブロック6
の界面で生ずる反射分である。
The reflected light beam 10 and transmitted light beam 110 intensities are:
It is necessary to consider the incident light beam by decomposing it into P waves whose electric vectors are parallel to the plane of incidence and S waves whose electric vectors are perpendicular to the plane of incidence. Here, in the following, all the media are non-magnetic, and the magnetic permeability is 1.
Suppose it is 0. The refractive index of the first transparent block 5 is n
l, the refractive index of the second transparent block 6 is 02, and the liquid layer 7
When the refractive index 7 of is 113, the reflectance of the P-wave component of the reflected light beam 10 is R-, and the S-wave component R8 is. The transmittance of the transmitted light beam 11 is, for the P-wave component, and for the S-wave component 8. Angle θ
0. between θ3 and refractive index n1 s R2t 113, Snell's law nI CO3θ1-113CO5θ3-n2CO8θ2
...(5) holds true, and the incident angle θ
1, the refraction angle θ2. θ3 is obtained,
By substituting these into equations (1) to (4), the reflectance and transmittance are determined. R8 and T8. Or, even if R9 and T8 are added, it does not become 1.0, and the loss for P wave and S wave is, R5 beam, -1,0-R, -T, concave... (6) L
=1゜O-R-T ・River...(Power S S
S, and these are the liquid layer 7 and the second transparent body block 6
This is the reflection that occurs at the interface.

さて、かような反射および透過を生じている部位に、気
泡8を適切なネ泡駆動機構によって移動させた場合、気
泡8の屈折率は1.0とみなせるので、(1)〜(力式
において、液体層7の屈折率n3が1.0となり、反射
、透過および損失分の強度が変化することになり、光ス
イツチ動作が得られる。但し、そのためには、気泡8の
占める領域が反射、屈折、および透過の部位を含む必要
があり、そのため、気泡80半径Rと、入射光ビーム半
径rとの間になる関係が成立する必要があることは明ら
かである。
Now, if the bubble 8 is moved to the area where such reflection and transmission occur using an appropriate bubble drive mechanism, the refractive index of the bubble 8 can be regarded as 1.0, so (1) ~ (force formula In this case, the refractive index n3 of the liquid layer 7 becomes 1.0, and the intensity of reflection, transmission, and loss changes, and an optical switch operation is obtained.However, for this purpose, the area occupied by the bubble 8 must be , refraction, and transmission, and therefore it is clear that a relationship between the bubble 80 radius R and the incident light beam radius r needs to be established.

次に、上記関係の特殊な状態として、第1の透明体ブロ
ック5の屈折率01、第2の透明体ブロック6の屈折率
n2、および液体層7の屈折率n3が等しく、nである
場合を考える。液体層7への入射部位に気泡8が存在し
ない場合、式(1)〜(7)より損失ゼロの完全透過と
なり、一方、入射部位に気泡8か存在するとき、入射角
θ、を θ、 (cos −” (1/+1 )       
   ・・・山(9)を満たすように選べば、式(1)
〜(刀より、R,、−R5=1.0T、−T3=oおよ
びLp−R5−oとなり、全反射が実現し、気泡8の運
動によって全反射型の完全スイッチング動作が得られる
。以後の説明では、かようなスイッチ動作の場合につい
てのみ扱う。
Next, as a special state of the above relationship, when the refractive index 01 of the first transparent body block 5, the refractive index n2 of the second transparent body block 6, and the refractive index n3 of the liquid layer 7 are equal and n think of. When there is no bubble 8 at the incident site to the liquid layer 7, complete transmission with zero loss is obtained from equations (1) to (7).On the other hand, when there is a bubble 8 at the incident site, the incident angle θ is set to θ, (cos −” (1/+1)
...If selected to satisfy mountain (9), formula (1)
~(From the sword, R,, -R5=1.0T, -T3=o and Lp-R5-o, total reflection is realized, and total reflection type complete switching operation is obtained by the movement of the bubble 8. Hereafter The explanation deals only with the case of such switch operation.

次に気泡駆動機構について述べる。まず気泡を液体層7
中に安定に静止させるには、第3図のようにすればよい
。すなわち第3図(a)、および(b)に示すように、
第1の透明体ブロック5および第2の透明体ブロック6
にそれらの平面に平行な底面を有する2個のくぼみを形
成し、その間をくびれで接続して、第1の気泡室12お
よび第2の気泡室12Iを設ける。気泡室12および1
24’!、(びれに対して対称な形にしておく。そして
、片側の気泡室にのみ気泡8を挿入しておく。かように
すれば、気泡8は、第1および第2の気泡室のいずれか
に安定に静止している。この気泡8に外力を適切な機構
で作用させれば、第3図(c)に示すように、気泡8は
くびれを通って、もう1つの気泡室に移動し、そこで安
定に静止する。
Next, the bubble drive mechanism will be described. First, the bubbles are added to the liquid layer 7.
To make it stand still stably inside, do as shown in Figure 3. That is, as shown in FIGS. 3(a) and (b),
First transparent block 5 and second transparent block 6
Two depressions having bottom surfaces parallel to the planes thereof are formed in the cavity, and a constriction connects the two depressions to form a first bubble chamber 12 and a second bubble chamber 12I. Bubble chambers 12 and 1
24'! (The shape is symmetrical with respect to the fin.Then, the bubble 8 is inserted only into the bubble chamber on one side.In this way, the bubble 8 can be inserted into either the first or second bubble chamber.) If an external force is applied to this bubble 8 by an appropriate mechanism, the bubble 8 will pass through the constriction and move to another bubble chamber, as shown in Fig. 3(c). , it comes to rest stably there.

第4図および第5図は、気泡8を静電力で駆動する気泡
駆動機構を示す図である。第4図(a)に示すように、
第1の透明体ブロック5および第2の透明体ブロック6
0間に形成された気泡室12、および12’のくびれに
遠い部分の少なくとも半分以上の領域および気泡室のく
ぼみの周囲部に第4図(b)および(C)の断面図に示
すように電極13、および13′を設置する。ここで第
4図(b)は(21図における一点鎖線Bでの断面図、
また(C)は(a)図における一点鎖Cで・の断面図で
あり、第5図は、第4図(a)における一点鎖線Aでの
断面図である。さらに電極13および13′上には、電
極に電圧が印加された場合に液体層7が電気分解するの
を防止するため、透明体ブロックおよび液体層7と同じ
屈折率を有する絶縁層15が積層されている。かような
構成において、第5図(a)に示すように、第1の気泡
室12が気泡8で満たされている場合、第1の気泡室1
2の電極13が設置されていないくびれに近い領域に入
射しだ入射光ビーム9は、絶縁層15と気泡8の界面で
全反射し、反射光ビーム10となる。次に第1の透明体
ブロック側の1セ、極];つと第2の透明体ブロック側
の電極13′との間に電圧を印加すると、電極間に存在
する気泡と液体の界面には、図のy軸方向に単位面積当
り、F−一ε。(ε1−ε、) R2・・・・・・(1
0)なる静電力Fか働く。ここで、ε0は真空中の誘電
率、ε ε は液体および気泡の比誘電率、Eは電1″
2 界強度である。そのため、気泡と液体の界面は図のy軸
方向に移動し、従って気泡8は第5図(blに示すよう
にくびれを通って第2の気泡室の方へ移動する。電極1
3および13’&’!、、第1の気泡室の全面に付着さ
れていなくても、半分以上の領域に設置されていればよ
い。その理由は、気泡80半分以上がくびれを通って第
2の気泡室12′に入り込めば、あとは、気泡8に力を
加えなくとも、気泡自身の表面張力で第2の気泡室12
′に入り込むからである。
FIGS. 4 and 5 are diagrams showing a bubble drive mechanism that drives the bubbles 8 using electrostatic force. As shown in Figure 4(a),
First transparent block 5 and second transparent block 6
As shown in the cross-sectional views of FIGS. 4(b) and 4(c), at least half of the area of the bubble chamber 12 formed between 0 and 12' far from the constriction and the periphery of the concavity of the bubble chamber Electrodes 13 and 13' are installed. Here, FIG. 4(b) is a cross-sectional view taken along the dashed line B in FIG.
Further, (C) is a sectional view taken along the dashed-dotted line C in FIG. 4(a), and FIG. 5 is a sectional view taken along the dashed-dotted line A in FIG. 4(a). Furthermore, an insulating layer 15 having the same refractive index as the transparent block and the liquid layer 7 is laminated on the electrodes 13 and 13' in order to prevent the liquid layer 7 from being electrolyzed when a voltage is applied to the electrodes. has been done. In such a configuration, as shown in FIG. 5(a), when the first bubble chamber 12 is filled with bubbles 8, the first bubble chamber 1
The incident light beam 9 that enters a region close to the constriction where the electrode 13 of No. 2 is not installed is totally reflected at the interface between the insulating layer 15 and the bubble 8, and becomes a reflected light beam 10. Next, when a voltage is applied between the electrode 13' on the side of the first transparent block and the electrode 13' on the side of the second transparent block, the interface between the bubble and the liquid existing between the electrodes will be F-1ε per unit area in the y-axis direction of the figure. (ε1−ε,) R2・・・・・・(1
0) acts as an electrostatic force F. Here, ε0 is the permittivity in vacuum, ε ε is the relative permittivity of liquids and bubbles, and E is the electric permittivity of 1″
2 field strength. Therefore, the bubble-liquid interface moves in the y-axis direction of the figure, and the bubble 8 therefore moves through the constriction towards the second bubble chamber as shown in Figure 5 (bl).Electrode 1
3 and 13'&'! ,, even if it is not attached to the entire surface of the first bubble chamber, it is sufficient if it is attached to half or more of the area. The reason for this is that once more than half of the bubbles 80 pass through the constriction and enter the second bubble chamber 12', the surface tension of the bubbles themselves will cause the bubbles to move into the second bubble chamber 12' without applying any force to the bubbles 8.
’.

かように気泡8の移動が終了すると、第5図(C)に示
すように、入射光ビーム9は、透過光ビーム11となっ
て、第2の透明体ブロック6の側へ出射する。尚、気泡
室12.12’のためのくぼみは、第1および第2の透
明体ブロック5.6のいずれか一方だけに形成しても良
い。
When the bubble 8 has finished moving in this manner, the incident light beam 9 becomes a transmitted light beam 11 and exits toward the second transparent block 6, as shown in FIG. 5(C). Note that the recess for the bubble chamber 12.12' may be formed only in either one of the first and second transparent blocks 5.6.

次にもう1つの気泡駆動機構について第6図、第7図に
従って述べる。第6図に示すように、第1の透明体ブロ
ック5の平面上に図のような円状のヒータ16および1
6’を設置し、その上に液体が高温の金属ヒータに接触
して分解するのを防ぐため、透明体ブロック5.6およ
び液体層7とPI −ノ屈折率をもつ絶縁層15を積層
する(第7図)。一方第2の透明体ブロック6の平面上
で上記の2個のヒータ12.12′に対応する部位にく
ぼみを形成し、間にくびれを設けて第1の気泡室12お
よび第2の気泡室12′とする。気泡8は第1の気泡室
12に挿入されている。すると、第7図(alに示すよ
うに、入射光ビーム9は、全反射して、反射光ビーム1
0となる。この状態で第6図(b)に示すように、第2
の気泡室12′のヒータ16′に通電する。すると、第
2の気泡室中の液体が熱せられて密度が低下する。その
ため気泡8は第6図(blに示すように、低密度液体の
方へ浮力を受けるため、くびれを通りぬけて第2の気泡
室12′の方へ移動する。通電を止めても気泡8は第2
の気泡室中に安定にとどまり、第7図(b)に示すよう
に、入射光ビーム9は透過光11となる。
Next, another bubble driving mechanism will be described with reference to FIGS. 6 and 7. As shown in FIG. 6, circular heaters 16 and 1 are provided on the plane of the first transparent block 5.
A transparent block 5.6, a liquid layer 7, and an insulating layer 15 having a refractive index of PI - are laminated thereon in order to prevent the liquid from coming into contact with a high-temperature metal heater and decomposing. (Figure 7). On the other hand, depressions are formed on the plane of the second transparent block 6 at portions corresponding to the two heaters 12 and 12', and a constriction is provided between the first bubble chamber 12 and the second bubble chamber. 12'. The bubble 8 is inserted into the first bubble chamber 12 . Then, as shown in FIG. 7 (al), the incident light beam 9 is totally reflected and becomes the reflected light beam 1.
It becomes 0. In this state, as shown in Fig. 6(b), the second
The heater 16' of the bubble chamber 12' is energized. Then, the liquid in the second bubble chamber is heated and its density decreases. Therefore, as shown in FIG. 6 (bl), the bubbles 8 receive buoyancy toward the low-density liquid, so they pass through the constriction and move toward the second bubble chamber 12'.Even if the electricity is turned off, the bubbles 8 is the second
The incident light beam 9 remains stably in the bubble chamber, and the incident light beam 9 becomes transmitted light 11, as shown in FIG. 7(b).

次に、以上述べた光スィッチの原理の適用形態について
述べる。第8図は、本発明の光スィッチの基本ユニット
を示す図である。第1の透明体ブロック5を2等辺3角
柱とし、その等辺間の角度φを φ(2cos  (1/n)            
−−(It)を満足するようにとる。但し、nは、第1
、第2の透明体ブロック、液体層7、および絶縁層15
の屈折率である。尚、第8図以降では、絶縁層15およ
び気泡駆動機構は省略しである。かような3角柱の角度
φの対辺を含む柱面と、第2の透明体ブロック6の平面
間に、スペーサ17により、気泡8および気泡駆動機構
を備えた液体層7が設置されている。かような構成にお
いて、入力側光フアイバレンズ系1より、2等辺の一辺
に垂直に入射した入射光ビーム9は、その液体層7への
入射角θ1がφ/2となる。するとθ1は(1])式よ
り(9)式の全反射条件を満たすこととなり、気泡8の
運動で全反射型のスイッチ動作が得られることとなる。
Next, an application form of the optical switch principle described above will be described. FIG. 8 is a diagram showing the basic unit of the optical switch of the present invention. The first transparent block 5 is an isosceles triangular prism, and the angle φ between the equilateral sides is φ(2cos (1/n)
--(It) is taken to satisfy. However, n is the first
, a second transparent block, a liquid layer 7, and an insulating layer 15
is the refractive index of Note that the insulating layer 15 and the bubble driving mechanism are omitted from FIG. 8 onwards. A liquid layer 7 including bubbles 8 and a bubble drive mechanism is provided by a spacer 17 between the column surface including the opposite side of the angle φ of such a triangular column and the plane of the second transparent block 6. In such a configuration, the incident light beam 9 that is perpendicularly incident on one side of the isosceles from the input side optical fiber lens system 1 has an incident angle θ1 on the liquid layer 7 of φ/2. Then, θ1 satisfies the total reflection condition of equation (9) from equation (1), and a total reflection type switch operation is obtained by the movement of the bubble 8.

この基本ユニットを組みあわせれば以下のような多入力
多出力の光スィッチが得られる。但し以下では、全てφ
を90’としている。この角度は、後述するように、現
実に可能な値である。
By combining these basic units, the following multi-input, multi-output optical switch can be obtained. However, in the following, all φ
is set to 90'. This angle is a realistically possible value, as will be described later.

第9図は、同じ大きさの基本ユニットを2個組みあわせ
た2人力2出力光スインチの例である。
FIG. 9 is an example of a two-man power two-output optical spinch that combines two basic units of the same size.

(81図は、光路中て気泡8が存在せず、入射光ビーム
は直進しており、また(b)図は光路中に気泡8が挿入
され、入射光ビームは全反射している状態を示している
(Figure 81 shows that there is no bubble 8 in the optical path and the incident light beam is traveling straight, and figure (b) shows that the bubble 8 is inserted in the optical path and the incident light beam is totally reflected. It shows.

第10図は、1×14スイツチの例である。第8図に示
す基本ユニットを13個組み合わせた断面が台形状の透
明体ブロック5′と、断面が基本ユニットのそれに相似
で49倍の面積をもつ2等辺3角柱透明体ブロンクロ′
と、36倍の面積をもつ2等辺3角柱透明体ブロック6
“とから成り、ブロック5′と6′の間には7個、ブロ
ック5′と6“の間には6個の気泡が、挿入されている
FIG. 10 is an example of a 1×14 switch. A transparent block 5' with a trapezoidal cross section is a combination of 13 basic units shown in FIG.
and an isosceles triangular prism transparent block 6 with an area 36 times as large.
Seven bubbles are inserted between blocks 5' and 6', and six bubbles are inserted between blocks 5' and 6''.

第11図は、3×3スインチの例である。第8図に示す
基本ユニット2個、基本ユニットの3倍の台形状の断面
積の透明体ブロックが2個、および基本ユニットの5倍
の台形状の断面、債をもつ透明体ブロック2個より成る
。気泡8は、各光路と液体層の交点に合計9個挿入され
ている。
FIG. 11 is an example of a 3×3 sinch. From the two basic units shown in Figure 8, two transparent blocks with a trapezoidal cross-sectional area three times that of the basic unit, and two transparent blocks with a trapezoidal cross-section and bond five times that of the basic unit. Become. A total of nine bubbles 8 are inserted at the intersections of each optical path and the liquid layer.

第13図は、もう1つの構成法にょる3×3スイツチの
例である。まずi12図から説明する。これは3×3光
スイツチの基本単位であり、断面が台形状の透明体ブロ
ックを第1の透明体ブロック5とする。また基本ユニッ
トに相似で9倍の断面積の2等辺3角柱を第2の透明体
ブロック6とし、それらの間に図のようにスペーサ17
を挟み液体層17を形成する。かような構造において、
第1の透明体ブロック5の液体層7とV2の角度をなす
面に、入力側光フアイバレンズ系1〜1“を3個並らべ
る。かようなスイッチを第13図(a)、および(b)
に示すように、2個向き合わせ、図の右側のスイッチを
反時計方向に90°回転させ、且つ左右の各基本単位の
出力光路が一致するようにしてはり合わせ、右側基本単
位の光フアイバレンズ系を出力側光7アイバレンズ系2
〜2”とすれば、3×3光スイツチが構成される。第1
3図(a)、(b)は入力側光フアイバレンズ系1と出
力側光フアイバレンズ系2の接続状態を示している。以
上のカスインチの動作において、入力側光フアイバレン
ズ系を出力側として、出力側光フアイバレンズ系を入力
側として用いても、その動作は全く同様であることは、
光線逆進の原理から明らかである。
FIG. 13 is an example of a 3×3 switch according to another construction method. First, explanation will be given from Figure i12. This is the basic unit of a 3×3 optical switch, and the first transparent block 5 is a transparent block with a trapezoidal cross section. In addition, an isosceles triangular prism similar to the basic unit and having a cross-sectional area nine times larger is used as the second transparent block 6, and a spacer 17 is placed between them as shown in the figure.
A liquid layer 17 is formed by sandwiching the two layers. In such a structure,
Three input-side optical fiber lens systems 1 to 1'' are arranged on a surface forming an angle V2 with the liquid layer 7 of the first transparent block 5.Such a switch is shown in FIG. 13(a). and (b)
As shown in the figure, align the two units, rotate the switch on the right side of the figure 90° counterclockwise, and attach them so that the output optical paths of the left and right basic units match, and connect the optical fiber lens of the right basic unit. Output side light 7 Aiba lens system 2
~2”, a 3×3 optical switch is constructed.The first
3(a) and 3(b) show the connection state of the input side optical fiber lens system 1 and the output side optical fiber lens system 2. In the above-mentioned operation of the Casinch, the operation is exactly the same even if the input side optical fiber lens system is used as the output side and the output side optical fiber lens system is used as the input side.
This is clear from the principle of retrograde rays.

次に実施例について述べる。第1透明体ブロック5およ
び第2の透明体ブロック6として、溶融石英(屈折率n
 = 1.46)を用いろ。この場合、(9)式より、
光ビーム90入射角θ1は46B0以下となる。
Next, examples will be described. The first transparent block 5 and the second transparent block 6 are made of fused silica (with a refractive index n
= 1.46). In this case, from equation (9),
The incident angle θ1 of the light beam 90 is 46B0 or less.

そこで01を45°とすると、本光スィッチの基本構造
の1部をなす2等辺3角柱の等辺間のなす角度φは丁度
直角となり、研磨成形上、極めて都合のよい角度となる
。研磨成形した3角柱の直角の対辺を含む平面上に、ホ
トリソグラフインクな工程で、第4図および第5図に示
すような気泡室12および12′として深さ数声でX軸
方向で1mm、3’軸方向で5mm程度の真中にくびれ
のある穴を形成する。
Therefore, if 01 is set to 45 degrees, the angle φ between the equal sides of the isosceles triangular prism that forms part of the basic structure of this optical switch becomes exactly a right angle, which is an extremely convenient angle for polishing and forming. Bubble chambers 12 and 12' as shown in FIGS. 4 and 5 are formed on a plane including right-angled opposite sides of a polished triangular prism by a photolithography process to a depth of several mm in the X-axis direction. , a hole with a constriction in the center of about 5 mm in the 3' axis direction is formed.

この上に石英等、酸化物ガラスとの付着性に優れた金属
であるクロムを数千へ蒸着し、ホトリソグラフィックな
工程で第4図のようにパターン化し、電極13および1
4とする。さらにその上に、溶融石英を高周波スパッタ
リング法により数千へ積層して、絶縁層15とする。か
ようなものを2個作製し、厚さ数μmのプラスチックシ
ートをスペーサ17として、第9図に示すように貼り合
わせ、固定する。
On top of this, thousands of chromium, which is a metal with excellent adhesion to oxide glass such as quartz, is vapor-deposited and patterned using a photolithographic process as shown in Figure 4.
Set it to 4. Furthermore, several thousand layers of fused silica are laminated thereon by high frequency sputtering to form an insulating layer 15. Two pieces of this type are made, and using a plastic sheet several μm thick as a spacer 17, they are pasted together and fixed as shown in FIG.

次に毛管現象を利用して、液体を端面間に挿入する。す
ると、気泡室12および12′の内と外では、気泡室外
の方が間隔が小さいため、表面張力に起因次に第4図に
おいて、第1の気泡室12および第2の気泡室12′両
方の電極に電圧を引加する。すると第4図(a)におい
て、電極13および140部分には、式00)による力
によって液体が入りこむため、余分な気泡は電極13お
よび14の存在しないくびれの部分より気泡室外へ排出
され、不安定な気泡となる。
Liquid is then inserted between the end faces using capillary action. Then, because the distance between the inside and outside of the bubble chambers 12 and 12' is smaller, the gap between the outside of the bubble chamber is smaller due to surface tension. Apply voltage to the electrodes. Then, in FIG. 4(a), the liquid enters the electrodes 13 and 140 part due to the force according to formula 00), so excess bubbles are discharged outside the bubble chamber from the constricted part where the electrodes 13 and 14 are not present, and no bubbles are formed. It becomes a stable bubble.

この不安定な気泡は、液体層7に温度勾配を付けること
により生ずる密度勾配により、所望の方向の液体層7の
端部にまで移動させ、消失すればよい。しかる後、気泡
室内に残された気泡は、印加電圧を断つと第1、第2い
ずれかの気泡室の方へ移動する。液体としては、α0)
に明らかなように、誘電率の高い方が望ましい。高誘電
率で透明であり、且つ光化学的に安定な液体として炭酸
プロピレン(比誘電率ε−69、屈折率n = 1.4
2)、および炭酸エチレン(比誘電率ε−89,6、屈
折率n = 1.42)があるが、屈折率が溶融石英と
合致しない。そこで、上記2者と溶は合い、且つ屈折率
が溶融石英よりも大きく、化学的に安定な液体との混合
液体を用いれば良い。そのような液体としてはモノクロ
ルベンゼン(比誘電率ε=56、屈折率1.52)が適
当である。これらの混合比で屈折率を溶融石英のそれに
合わせれば良い。第6図、第7図に示す加熱による密度
変化を用いる方法では、材料および液体挿入工程までは
、上記と同様で良く、第1の気泡室12、および第2の
気泡室12′の気泡の内、いずれか一方を消去するには
、次のようにすれば良い。まず両方の電極16.16’
に同時に通電し、両方の気泡室を熱する。すると気泡は
膨張し、気泡室外へはみ出す。この状態で超音波を加振
すると、はみ出した分の気泡はちぎれて分離する。しか
る後に液体層7に温度勾配をつけると、ちぎれた気泡は
高温側へ移動し、消去できる。
These unstable bubbles can be moved to the end of the liquid layer 7 in a desired direction by the density gradient generated by applying a temperature gradient to the liquid layer 7, and then disappear. Thereafter, the bubbles remaining in the bubble chamber move toward either the first or second bubble chamber when the applied voltage is cut off. As a liquid, α0)
As is clear from the above, a higher dielectric constant is desirable. Propylene carbonate (relative dielectric constant ε-69, refractive index n = 1.4) is a transparent, photochemically stable liquid with a high dielectric constant.
2) and ethylene carbonate (relative dielectric constant ε-89.6, refractive index n = 1.42), but the refractive index does not match that of fused silica. Therefore, it is sufficient to use a mixed liquid that is compatible with the above two, has a refractive index higher than that of fused silica, and is chemically stable. Monochlorobenzene (relative dielectric constant ε=56, refractive index 1.52) is suitable as such a liquid. The refractive index may be adjusted to that of fused silica using these mixing ratios. In the method using density change due to heating shown in FIGS. 6 and 7, the steps up to the material and liquid insertion steps may be the same as those described above, and the bubbles in the first bubble chamber 12 and the second bubble chamber 12' may be To delete either one of them, do the following. First both electrodes 16.16'
energize at the same time to heat both bubble chambers. The bubble then expands and spills out of the bubble chamber. When ultrasonic waves are applied in this state, the protruding air bubbles are torn off and separated. When a temperature gradient is then applied to the liquid layer 7, the torn air bubbles move to the high temperature side and can be eliminated.

(発明の効果) 以上説明したような本発明の光スィッチでは、前記した
従来光スィッチに比較して以下のような利点がある。す
なわち、第1に、大容積を要する高精度な電磁石付しゆ
う動部を何ら要せず小型化が可能であり、第2には、気
泡駆動部は通常の薄膜付着工程およびホトリソグラフィ
ック工程で作製し得るものであり、特殊技能を要せず、
量産向きであることである。さらに、マトリクス化しよ
うとする場合を考えると、第3には、従来スイッチのよ
うに特殊形状のプリズムを多数個装することはな(、は
るかに少ない透明体ブロックで済み、第4に、多数個の
プリズム個々に位置決め精度が要求されるようなことは
なく、透明体ブロックの平行度および角度が保障されて
いれば良い。従って本発明のスイッチは従来型に比較し
て構造、製造方法、および容積において飛躍的に改善さ
れており、格段に安価なスイッチを供給し得ることは明
らかである。
(Effects of the Invention) The optical switch of the present invention as described above has the following advantages over the conventional optical switch described above. That is, firstly, it is possible to downsize without any need for a high-precision electromagnet-equipped moving part that requires a large volume, and secondly, the bubble driving part can be made in a conventional thin film deposition process and photolithography process. It can be made with no special skills and
It is suitable for mass production. Furthermore, when considering the case of trying to create a matrix, thirdly, it is not necessary to individually package a large number of specially shaped prisms as in conventional switches (it requires far fewer transparent blocks, and fourthly, a large number of specially shaped prisms are required. Positioning accuracy is not required for each individual prism, and it is sufficient to ensure the parallelism and angle of the transparent block.Therefore, the switch of the present invention has a structure, manufacturing method, and It is clear that a much cheaper switch can be provided with significant improvements in volume and volume.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来の光スィッチの図、第2図は、本発明の
光スィッチの原理図、第3図は気泡室の図、第4図は気
泡駆動機構の図、第5図は気泡駆動機構の動作の図、第
6図は気泡駆動機構の図、第7図は気泡駆動機構の動作
の図、第8図は本発明の光スィッチの基本ユニットの図
、第9図は2人力2出力元スイッチの図、第10図は1
×14光スイツチの図、第11図は3×3光スインチの
図、第12図は3×3光スイッチ基本単位の図、第13
図は3×3光スイツチの図である。 1.1′、1“・・・入力側光フアイバレンズ系、2.
2−2”・・・出力側光フアイバレンズ系、3・・・5
角プリズム、4・・・プリズム駆動電磁石、5・・・第
1の透明体ブロック、6.6′、6“・・・第2の透明
体ブロック、7・・・液体層、8・・・気泡、9・・・
入射光ビーム、10・・・反射光ビーム、11・・・透
過光ビーム、12・・・第1の気泡室、12′・・・第
2の気泡室、13・・・電極、14・・・電極、15・
・・絶縁層、16・・・ヒータ、17・・・スペーサ。 特許出願人 日本電信電話公社 特許出願代理人   弁理士  山 本 恵 一番1図 (0) (bノ ネ2図 ! 汎5 図 (θ) (b) (C) 7− 纂乙図 (Q) (b) (C) 東7凹 (Q) 泰ε図 zq図 (α) 竿、70図 / 本l1図 簗>/2[2] 朱13凹 ミニ /7 (b) ! l//?
Figure 1 is a diagram of a conventional optical switch, Figure 2 is a diagram of the principle of the optical switch of the present invention, Figure 3 is a diagram of a bubble chamber, Figure 4 is a diagram of a bubble drive mechanism, and Figure 5 is a diagram of a bubble drive mechanism. A diagram of the operation of the drive mechanism, Figure 6 is a diagram of the bubble drive mechanism, Figure 7 is a diagram of the operation of the bubble drive mechanism, Figure 8 is a diagram of the basic unit of the optical switch of the present invention, and Figure 9 is a diagram of the two-man power switch. Diagram of 2 output source switch, Figure 10 is 1
A diagram of a ×14 optical switch, Figure 11 is a diagram of a 3 × 3 optical switch, Figure 12 is a diagram of the basic unit of a 3 × 3 optical switch, and Figure 13 is a diagram of a 3 × 3 optical switch.
The figure is a diagram of a 3x3 optical switch. 1.1', 1"...input side optical fiber lens system, 2.
2-2"...Output side optical fiber lens system, 3...5
Square prism, 4... Prism driving electromagnet, 5... First transparent block, 6,6', 6''... Second transparent block, 7... Liquid layer, 8... Bubbles, 9...
Incident light beam, 10... Reflected light beam, 11... Transmitted light beam, 12... First bubble chamber, 12'... Second bubble chamber, 13... Electrode, 14...・Electrode, 15・
...Insulating layer, 16...Heater, 17...Spacer. Patent Applicant Nippon Telegraph and Telephone Public Corporation Patent Application Agent Patent Attorney Megumi Yamamoto Figure 1 (0) (b none 2! Figure 5 (θ) (b) (C) 7- Figure 2 (Q) ( b) (C) East 7 concave (Q) Tai ε diagram zq diagram (α) Rod, 70 diagram / book l1 diagram kan>/2 [2] Vermilion 13 concave mini/7 (b) ! l//?

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (IJ  平滑な平面を有する第1の透明体ブロックと
第2の透明体ブロックの平滑な平面を対向させ所定の間
隔を保って保持し、該間隔に満された透明な液体層と、
該液体層中に挿入された透明気泡と、該気泡を液体中の
所望の位置に移動させる気泡駆動機構と、該気泡駆動機
構に前記第1の透明体ブロックを介して所定の角度で光
を入射させる光学系と、入射した光が前記気泡駆動機構
で反射した光あるいは前記気泡駆動機構を透過した光の
うち少なくとも一方を検出する光学系とを有することを
特徴とする光スィッチ。 (2)第1の透明体ブロック、第2の透明体ブロック及
び液体層の屈折率が同一であり、且つこれらの屈折率を
11とし、第1の透明体ブロック中を液体層へ入射する
入射光と液体層とのなす角をθとした場合に、θ(co
s−” (l/+りが満されていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の光スィッチ。 (3)気泡1駆動機構が周囲より厚みの厚い液体層から
なり、かつくびれで分割された複数の気泡室を有するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光スィッ
チ。 (4)気泡駆動機構が、複数の気泡室と、各気泡室およ
びその近傍の第1の透明体ブロックと第2の透明体ブロ
ック上に設けられた、外部からの電圧印加により気泡と
液体の界面に静電気力を与える電極からなることを特徴
とする特許請求の範囲第1項又は第3項に記載の光スィ
ッチ。 (5)気泡駆動機構が、複数の気泡室と、各気泡室およ
びその近傍の第1の透明体ブロックと第2の透明体ブロ
ン゛り上に設げられた、外部からの電圧印加により気泡
室内およびその周辺の液体を加熱する電極からなること
を特徴とする特許請求の範囲第1項又は第3項に記載の
光スィッチ。
[Claims] (IJ) The smooth planes of a first transparent block and a second transparent block having smooth planes are held facing each other with a predetermined interval maintained, and the transparent blocks filled in the interval are a liquid layer;
A transparent bubble inserted into the liquid layer, a bubble drive mechanism that moves the bubble to a desired position in the liquid, and a bubble drive mechanism that is irradiated with light at a predetermined angle through the first transparent block. An optical switch comprising: an optical system that allows the incident light to enter the bubble; and an optical system that detects at least one of the incident light reflected by the bubble drive mechanism or the light that is transmitted through the bubble drive mechanism. (2) The first transparent block, the second transparent block, and the liquid layer have the same refractive index, and the refractive index of these is 11, and the incident light enters the liquid layer through the first transparent block. If the angle between the light and the liquid layer is θ, then θ(co
The optical switch according to claim 1, characterized in that the bubble 1 drive mechanism is made of a liquid layer thicker than the surroundings, and The optical switch according to claim 1, characterized in that it has a plurality of bubble chambers divided by a constriction. Claim 1, characterized in that the device comprises electrodes provided on the first transparent block and the second transparent block, which apply an electrostatic force to the interface between the bubble and the liquid by applying a voltage from the outside. or the optical switch according to item 3. (5) The bubble drive mechanism is provided on the plurality of bubble chambers, each bubble chamber and the first transparent block and second transparent block in the vicinity thereof. 4. The optical switch according to claim 1, further comprising an electrode that heats the liquid in and around the bubble chamber by applying a voltage from the outside.
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