JPS59224501A - 長さ又は角度測定装置 - Google Patents
長さ又は角度測定装置Info
- Publication number
- JPS59224501A JPS59224501A JP59083043A JP8304384A JPS59224501A JP S59224501 A JPS59224501 A JP S59224501A JP 59083043 A JP59083043 A JP 59083043A JP 8304384 A JP8304384 A JP 8304384A JP S59224501 A JPS59224501 A JP S59224501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring
- length
- vibration generator
- measuring device
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0016—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲第1項の前提概念による長さ又
は角度測定装置に関する。
は角度測定装置に関する。
西独国特許明細書第2712421号から長さ測定装置
が公知であシ、その場合測定帯板は測定尺支持体中の溝
状凹部に挿入されかつ端側で固定されている。
が公知であシ、その場合測定帯板は測定尺支持体中の溝
状凹部に挿入されかつ端側で固定されている。
このような解決は問題がある、そのわけは一方では要求
される測定精度のために溝及び測定帯板の寸法差公差が
狭くされるべきであシ、他方では寸法差公差は製造上の
理由からできる限シ大きくされるべ、きであるからであ
る。
される測定精度のために溝及び測定帯板の寸法差公差が
狭くされるべきであシ、他方では寸法差公差は製造上の
理由からできる限シ大きくされるべ、きであるからであ
る。
しかし狭い寸法差公差が優先されるので一測定装置のよ
り高い精度−測定帯板が測定尺支持体の溝に挿入され、
後の測定運転中に温度偏差に基いて測定尺と測定尺支持
体が相違した伸びを生ずる場合摩擦の問題が生ずる。
り高い精度−測定帯板が測定尺支持体の溝に挿入され、
後の測定運転中に温度偏差に基いて測定尺と測定尺支持
体が相違した伸びを生ずる場合摩擦の問題が生ずる。
測定帯板と測定尺支持体との間には測定技術上の理由か
ら事情によっては測定誤差に通じるような摩擦はできる
限り生ずるべきではない。
ら事情によっては測定誤差に通じるような摩擦はできる
限り生ずるべきではない。
測定帯板の固有重量によってのみr4成部分の相対運動
の際摩擦による測定誤差が生じつる。
の際摩擦による測定誤差が生じつる。
本発明は公知の測定装置の欠点を除去しかつ関連構成部
分の寸法的に狭い差にも拘らず実際上支障ある摩擦作用
が消去されるような測定装置を創造することを課題の基
礎とする。
分の寸法的に狭い差にも拘らず実際上支障ある摩擦作用
が消去されるような測定装置を創造することを課題の基
礎とする。
この課題は特許請求の範囲第1項の特徴によって解決さ
れる。
れる。
本発明の特別の利点は振動する抱成部分によって狭い寸
法差公差にも拘らず構成部分の縦移動可能性が可能にさ
れることに6る。測定誤差の原因となる測定尺の応力に
通じうる障害的摩有利な方法で本発明は実施態様項に記
載された措置によって形成される。
法差公差にも拘らず構成部分の縦移動可能性が可能にさ
れることに6る。測定誤差の原因となる測定尺の応力に
通じうる障害的摩有利な方法で本発明は実施態様項に記
載された措置によって形成される。
図面に基いて本発明を説明する。
第1図において測定装置が示されておシ、この装置は縦
方向に向いた溝Nを備えた測定尺支持体Mを有する。こ
の溝NK可撓帯板の形でその上面に目盛を備えた測定尺
Tが挿入されている。一端T1には帯板TはねじSによ
りて測定尺支持体Mに固定されている。勿論、ピン止め
。
方向に向いた溝Nを備えた測定尺支持体Mを有する。こ
の溝NK可撓帯板の形でその上面に目盛を備えた測定尺
Tが挿入されている。一端T1には帯板TはねじSによ
りて測定尺支持体Mに固定されている。勿論、ピン止め
。
溶接、接着等による固定も行われることができる。支持
体に沿う他の個所にも−例えばその中火にも一固定され
ることができる。
体に沿う他の個所にも−例えばその中火にも一固定され
ることができる。
本実施例においては測定尺Tはその自由端T2を振動発
生器OK達しており、振動発生器は小さい振巾で高周波
振動を発生する。寸法的には測定帯板Tと一致している
溝N中において溝Nと測定帯板Tとの間の摩擦は測定帯
板Tが振動発生器OKよって励起される振動に基いて著
しく減少される。その際振動の振巾は測定帯板Tの走査
が図示しない走査ヘッドによって阻止されない程小さい
。
生器OK達しており、振動発生器は小さい振巾で高周波
振動を発生する。寸法的には測定帯板Tと一致している
溝N中において溝Nと測定帯板Tとの間の摩擦は測定帯
板Tが振動発生器OKよって励起される振動に基いて著
しく減少される。その際振動の振巾は測定帯板Tの走査
が図示しない走査ヘッドによって阻止されない程小さい
。
振動する測定尺Tによって測定帯板Tと溝Nとの間の摩
擦が、例えば温度偏差のような理由から測定帯板Tが測
定尺支持体Mに対して移動する場合には測定尺T内の応
力は生じないように減少する。測定精度及び測定の繰返
し精度はそれによって著しく向上する。
擦が、例えば温度偏差のような理由から測定帯板Tが測
定尺支持体Mに対して移動する場合には測定尺T内の応
力は生じないように減少する。測定精度及び測定の繰返
し精度はそれによって著しく向上する。
振動発生器0が磁気ひずみ、圧電子、磁気音響として形
成されるか又は類似の振動子0として形成されるかは使
用目的による。
成されるか又は類似の振動子0として形成されるかは使
用目的による。
測定尺支持体Mが振動子0によって振動されることも本
発明の範囲でおる。特に測定装置の組立ではこの解決は
非常に有利である。その際測定尺支持体Mは振動子Oが
取付けられている図示しない組立装置に係止されている
。狭い加工公差にも拘らず、測定帯板Tは容易に溝N中
に進入する。そのわけは測定尺支持体Mは高周波である
が、非常に振巾が小さいからである。
発明の範囲でおる。特に測定装置の組立ではこの解決は
非常に有利である。その際測定尺支持体Mは振動子Oが
取付けられている図示しない組立装置に係止されている
。狭い加工公差にも拘らず、測定帯板Tは容易に溝N中
に進入する。そのわけは測定尺支持体Mは高周波である
が、非常に振巾が小さいからである。
測定尺支持体Mの溝N中への測定帯板Tの挿入の際に摩
擦は生ぜず、その結果組立は簡単化され、かつ測定時間
は短くなる。
擦は生ぜず、その結果組立は簡単化され、かつ測定時間
は短くなる。
可撓測定帯材Tの代シに自動的に撓みのない測定尺Tも
設けられることができる。本発明の実現の際に振動によ
って測定尺Tの走査が損われないことの6み注意される
べきである。
設けられることができる。本発明の実現の際に振動によ
って測定尺Tの走査が損われないことの6み注意される
べきである。
本発明では他の有利な面は振動傾励起させる測定尺Tが
実際上殆んど汚染されることができず、このことは特に
光電的走査原理の使用の際好適に作用する。
実際上殆んど汚染されることができず、このことは特に
光電的走査原理の使用の際好適に作用する。
第1図社長さ測定装置の正面図、そして第2図は第1図
のI −II線に沿う測定装置の拡大断面図を示す。 図中符号 M・・・測定尺支持体 0・・・振動発生器 T・・・測定尺 代理人江崎光好 代理人江崎光史
のI −II線に沿う測定装置の拡大断面図を示す。 図中符号 M・・・測定尺支持体 0・・・振動発生器 T・・・測定尺 代理人江崎光好 代理人江崎光史
Claims (4)
- (1)測定尺支持体と、測定支持体と結合した、僅かに
移動可能な測定尺とを備えた長さ又杜角度測定装置にお
いて、少なくとも−りの振動発生器(0)が設けられて
おり、振動発生器は振動する前記構成部分による測定尺
(T)と測定尺支持体(M)との間の障害的摩擦が実質
上排除されるように測定尺(T)及び又は測定尺支持体
(M)と結合されていることを特徴とする長さ又は角度
測定装置。 - (2)測定尺支持体(M)が中空形材であり、中空形材
は溝(N)中を長手方向に結合され、溝中には帯状に形
成された測定尺(T)が弛く装入されており、かつ一端
(T1)で固定されており、そして測定尺(T)の第二
端(T2)に振動発生器(りが握持されている、特許請
求の範囲第1項記載の長さ又は角度測定装置。 - (3)振動発生器(0)は小さい振巾の高周波振動を特
徴する特許請求の範囲第2項記載の長さ又社角度測定装
置。 - (4) 振動発生器(0)が磁気ひずみ、圧電気、磁
力、音響又は類似の作動をするオシレータにより形成さ
れている特許請求の範囲第1項から第5項までのいずれ
か−りに記載の長さ又は角度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833315214 DE3315214A1 (de) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
DE33152144 | 1983-04-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59224501A true JPS59224501A (ja) | 1984-12-17 |
JPH0522161B2 JPH0522161B2 (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=6197466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59083043A Granted JPS59224501A (ja) | 1983-04-27 | 1984-04-26 | 長さ又は角度測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4570346A (ja) |
EP (1) | EP0123894B1 (ja) |
JP (1) | JPS59224501A (ja) |
AT (1) | ATE27358T1 (ja) |
DE (2) | DE3315214A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06185950A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-07-08 | Mitsutoyo Corp | 変位測定装置 |
EP1637844A2 (en) | 2004-07-20 | 2006-03-22 | Mitutoyo Corporation | Linear scale attachement device and attachment method |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3134590B2 (ja) * | 1993-05-13 | 2001-02-13 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | スケール装置 |
DE19526517C2 (de) * | 1995-07-20 | 2000-08-24 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Befestigung einer Längenmeßeinrichtung |
EP0836078B1 (de) * | 1996-10-11 | 2002-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs |
DE19711271C2 (de) * | 1997-03-18 | 1999-04-29 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Längenmeßsystem |
JP4174096B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2008-10-29 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置 |
DE19914311A1 (de) | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabes |
DE19918654B4 (de) | 1999-04-16 | 2004-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung |
JP4223823B2 (ja) * | 2003-02-10 | 2009-02-12 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | スケール装置 |
DE102004043055B4 (de) * | 2004-09-06 | 2009-04-02 | Siemens Ag | Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelementes einer Maschine |
DE202005011814U1 (de) * | 2005-07-25 | 2006-08-31 | Hoechstmass Balzer Gmbh | Elektronisches Maßband und dieses umfassende Längenmesseinrichtung |
GB0811076D0 (en) | 2008-06-17 | 2008-07-23 | Renishaw Plc | Scale track |
US20100162582A1 (en) * | 2008-12-30 | 2010-07-01 | Chih-Mao Shiao | Positioning Device of a Magnetic Ruler |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2700222A (en) * | 1952-01-26 | 1955-01-25 | Swenson Oscar Joseph | Level responsive apparatus |
US2779045A (en) * | 1954-06-24 | 1957-01-29 | Hughie B Harvey | Gauge line wiper and plumb bob case |
CH342001A (de) * | 1955-02-26 | 1959-10-31 | Erich Hoffmann Praezisionsmech | Verfahren zur Herstellung von Teilungen oder zur Messung von Strecken mittels stehender Schallwellen, und Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens |
US2854752A (en) * | 1956-11-29 | 1958-10-07 | Link Belt Co | Bin level indicator |
DE1046180B (de) * | 1957-02-04 | 1958-12-11 | Licentia Gmbh | Anordnung zur Kompensation der Zaehlwerksreibung bei integrierenden Messgeraeten |
GB855475A (en) * | 1957-12-26 | 1960-11-30 | Shand And Jurs Co | Improved liquid level gauging apparatus |
US2952155A (en) * | 1958-08-20 | 1960-09-13 | Shand And Jurs Co | Liquid level gauging apparatus |
DE1176382B (de) * | 1959-09-30 | 1964-08-20 | Wenczler & Heidenhain Patentve | Teilungstraeger fuer Praezisionsteilungen |
FR1480310A (fr) * | 1966-03-29 | 1967-05-12 | Sfena | Dispositif de sensibilisation et d'amortissement |
DE2016253A1 (de) * | 1970-04-04 | 1971-10-14 | Heidenhain Johannes Dr Fa | Meßteilung |
US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
DE2712421C2 (de) * | 1977-03-22 | 1982-06-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Längenmeßeinrichtung |
DE2735154C2 (de) * | 1977-08-04 | 1984-04-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßsystem |
-
1983
- 1983-04-27 DE DE19833315214 patent/DE3315214A1/de not_active Ceased
-
1984
- 1984-03-27 DE DE8484103335T patent/DE3463845D1/de not_active Expired
- 1984-03-27 AT AT84103335T patent/ATE27358T1/de not_active IP Right Cessation
- 1984-03-27 EP EP84103335A patent/EP0123894B1/de not_active Expired
- 1984-04-19 US US06/601,864 patent/US4570346A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-04-26 JP JP59083043A patent/JPS59224501A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06185950A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-07-08 | Mitsutoyo Corp | 変位測定装置 |
EP1637844A2 (en) | 2004-07-20 | 2006-03-22 | Mitutoyo Corporation | Linear scale attachement device and attachment method |
US7225555B2 (en) | 2004-07-20 | 2007-06-05 | Mitutoyo Corporation | Linear scale attachment device and attachment method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0123894B1 (de) | 1987-05-20 |
US4570346A (en) | 1986-02-18 |
JPH0522161B2 (ja) | 1993-03-26 |
DE3463845D1 (en) | 1987-06-25 |
ATE27358T1 (de) | 1987-06-15 |
EP0123894A1 (de) | 1984-11-07 |
DE3315214A1 (de) | 1984-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59224501A (ja) | 長さ又は角度測定装置 | |
JPS63134935A (ja) | 円方向振動形粘度検出装置 | |
KR930020617A (ko) | 와이어 본딩장치 | |
US20020152851A1 (en) | Elliptical vibration cutting method and elliptical vibration cutting apparatus | |
US5913244A (en) | Vibrator | |
JPH1151959A (ja) | 圧電振動子 | |
GB2263773A (en) | Vibratile sensing instrument | |
JP2005312208A (ja) | 無反動型変位拡大位置決め装置 | |
GB2026284A (en) | Seismic transducer | |
JP2004333350A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の走査機構 | |
JPH0740792B2 (ja) | 円筒型圧電振動子の支持構造 | |
JPS6312440B2 (ja) | ||
ATE320863T1 (de) | Ultraschallsonde | |
JPS602082A (ja) | 超音波振動を利用した直進駆動装置 | |
RU94015796A (ru) | Устройство для измерения виброперемещений | |
JPH09145379A (ja) | 振動子の支持構造 | |
NO20022517L (no) | Forbedringer i eller i forbindelse med måleanordninger av seismiske bölger | |
SU1161816A1 (ru) | Способ измерени координат деталей | |
SU1516749A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
JPH1138021A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡とその接近機構 | |
EP3306285A1 (en) | Device for measuring vibration and/or acoustic emission of small objects | |
JPH02134559A (ja) | 材料の加振装置 | |
JP2006084018A (ja) | 超音波ガイドユニット | |
SU1221593A1 (ru) | Устройство определени координат преобразовател дефектоскопа | |
JP2001102280A5 (ja) |