JPS59224501A - 長さ又は角度測定装置 - Google Patents

長さ又は角度測定装置

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JPS59224501A
JPS59224501A JP59083043A JP8304384A JPS59224501A JP S59224501 A JPS59224501 A JP S59224501A JP 59083043 A JP59083043 A JP 59083043A JP 8304384 A JP8304384 A JP 8304384A JP S59224501 A JPS59224501 A JP S59224501A
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JP
Japan
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measuring
length
vibration generator
measuring device
support
Prior art date
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JP59083043A
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English (en)
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JPH0522161B2 (ja
Inventor
ホルスト・ブルクハルト
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS59224501A publication Critical patent/JPS59224501A/ja
Publication of JPH0522161B2 publication Critical patent/JPH0522161B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0016Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第1項の前提概念による長さ又
は角度測定装置に関する。
西独国特許明細書第2712421号から長さ測定装置
が公知であシ、その場合測定帯板は測定尺支持体中の溝
状凹部に挿入されかつ端側で固定されている。
このような解決は問題がある、そのわけは一方では要求
される測定精度のために溝及び測定帯板の寸法差公差が
狭くされるべきであシ、他方では寸法差公差は製造上の
理由からできる限シ大きくされるべ、きであるからであ
る。
しかし狭い寸法差公差が優先されるので一測定装置のよ
り高い精度−測定帯板が測定尺支持体の溝に挿入され、
後の測定運転中に温度偏差に基いて測定尺と測定尺支持
体が相違した伸びを生ずる場合摩擦の問題が生ずる。
測定帯板と測定尺支持体との間には測定技術上の理由か
ら事情によっては測定誤差に通じるような摩擦はできる
限り生ずるべきではない。
測定帯板の固有重量によってのみr4成部分の相対運動
の際摩擦による測定誤差が生じつる。
本発明は公知の測定装置の欠点を除去しかつ関連構成部
分の寸法的に狭い差にも拘らず実際上支障ある摩擦作用
が消去されるような測定装置を創造することを課題の基
礎とする。
この課題は特許請求の範囲第1項の特徴によって解決さ
れる。
本発明の特別の利点は振動する抱成部分によって狭い寸
法差公差にも拘らず構成部分の縦移動可能性が可能にさ
れることに6る。測定誤差の原因となる測定尺の応力に
通じうる障害的摩有利な方法で本発明は実施態様項に記
載された措置によって形成される。
図面に基いて本発明を説明する。
第1図において測定装置が示されておシ、この装置は縦
方向に向いた溝Nを備えた測定尺支持体Mを有する。こ
の溝NK可撓帯板の形でその上面に目盛を備えた測定尺
Tが挿入されている。一端T1には帯板TはねじSによ
りて測定尺支持体Mに固定されている。勿論、ピン止め
溶接、接着等による固定も行われることができる。支持
体に沿う他の個所にも−例えばその中火にも一固定され
ることができる。
本実施例においては測定尺Tはその自由端T2を振動発
生器OK達しており、振動発生器は小さい振巾で高周波
振動を発生する。寸法的には測定帯板Tと一致している
溝N中において溝Nと測定帯板Tとの間の摩擦は測定帯
板Tが振動発生器OKよって励起される振動に基いて著
しく減少される。その際振動の振巾は測定帯板Tの走査
が図示しない走査ヘッドによって阻止されない程小さい
振動する測定尺Tによって測定帯板Tと溝Nとの間の摩
擦が、例えば温度偏差のような理由から測定帯板Tが測
定尺支持体Mに対して移動する場合には測定尺T内の応
力は生じないように減少する。測定精度及び測定の繰返
し精度はそれによって著しく向上する。
振動発生器0が磁気ひずみ、圧電子、磁気音響として形
成されるか又は類似の振動子0として形成されるかは使
用目的による。
測定尺支持体Mが振動子0によって振動されることも本
発明の範囲でおる。特に測定装置の組立ではこの解決は
非常に有利である。その際測定尺支持体Mは振動子Oが
取付けられている図示しない組立装置に係止されている
。狭い加工公差にも拘らず、測定帯板Tは容易に溝N中
に進入する。そのわけは測定尺支持体Mは高周波である
が、非常に振巾が小さいからである。
測定尺支持体Mの溝N中への測定帯板Tの挿入の際に摩
擦は生ぜず、その結果組立は簡単化され、かつ測定時間
は短くなる。
可撓測定帯材Tの代シに自動的に撓みのない測定尺Tも
設けられることができる。本発明の実現の際に振動によ
って測定尺Tの走査が損われないことの6み注意される
べきである。
本発明では他の有利な面は振動傾励起させる測定尺Tが
実際上殆んど汚染されることができず、このことは特に
光電的走査原理の使用の際好適に作用する。
【図面の簡単な説明】
第1図社長さ測定装置の正面図、そして第2図は第1図
のI −II線に沿う測定装置の拡大断面図を示す。 図中符号 M・・・測定尺支持体 0・・・振動発生器 T・・・測定尺 代理人江崎光好 代理人江崎光史

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定尺支持体と、測定支持体と結合した、僅かに
    移動可能な測定尺とを備えた長さ又杜角度測定装置にお
    いて、少なくとも−りの振動発生器(0)が設けられて
    おり、振動発生器は振動する前記構成部分による測定尺
    (T)と測定尺支持体(M)との間の障害的摩擦が実質
    上排除されるように測定尺(T)及び又は測定尺支持体
    (M)と結合されていることを特徴とする長さ又は角度
    測定装置。
  2. (2)測定尺支持体(M)が中空形材であり、中空形材
    は溝(N)中を長手方向に結合され、溝中には帯状に形
    成された測定尺(T)が弛く装入されており、かつ一端
    (T1)で固定されており、そして測定尺(T)の第二
    端(T2)に振動発生器(りが握持されている、特許請
    求の範囲第1項記載の長さ又は角度測定装置。
  3. (3)振動発生器(0)は小さい振巾の高周波振動を特
    徴する特許請求の範囲第2項記載の長さ又社角度測定装
    置。
  4. (4)  振動発生器(0)が磁気ひずみ、圧電気、磁
    力、音響又は類似の作動をするオシレータにより形成さ
    れている特許請求の範囲第1項から第5項までのいずれ
    か−りに記載の長さ又は角度測定装置。
JP59083043A 1983-04-27 1984-04-26 長さ又は角度測定装置 Granted JPS59224501A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833315214 DE3315214A1 (de) 1983-04-27 1983-04-27 Laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE33152144 1983-04-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59224501A true JPS59224501A (ja) 1984-12-17
JPH0522161B2 JPH0522161B2 (ja) 1993-03-26

Family

ID=6197466

Family Applications (1)

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JP59083043A Granted JPS59224501A (ja) 1983-04-27 1984-04-26 長さ又は角度測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4570346A (ja)
EP (1) EP0123894B1 (ja)
JP (1) JPS59224501A (ja)
AT (1) ATE27358T1 (ja)
DE (2) DE3315214A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06185950A (ja) * 1992-11-18 1994-07-08 Mitsutoyo Corp 変位測定装置
EP1637844A2 (en) 2004-07-20 2006-03-22 Mitutoyo Corporation Linear scale attachement device and attachment method

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3134590B2 (ja) * 1993-05-13 2001-02-13 ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 スケール装置
DE19526517C2 (de) * 1995-07-20 2000-08-24 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Befestigung einer Längenmeßeinrichtung
EP0836078B1 (de) * 1996-10-11 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs
DE19711271C2 (de) * 1997-03-18 1999-04-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Längenmeßsystem
JP4174096B2 (ja) * 1998-03-31 2008-10-29 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 位置検出装置
DE19914311A1 (de) 1999-03-29 2000-10-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabes
DE19918654B4 (de) 1999-04-16 2004-07-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung
JP4223823B2 (ja) * 2003-02-10 2009-02-12 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 スケール装置
DE102004043055B4 (de) * 2004-09-06 2009-04-02 Siemens Ag Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelementes einer Maschine
DE202005011814U1 (de) * 2005-07-25 2006-08-31 Hoechstmass Balzer Gmbh Elektronisches Maßband und dieses umfassende Längenmesseinrichtung
GB0811076D0 (en) 2008-06-17 2008-07-23 Renishaw Plc Scale track
US20100162582A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 Chih-Mao Shiao Positioning Device of a Magnetic Ruler

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2700222A (en) * 1952-01-26 1955-01-25 Swenson Oscar Joseph Level responsive apparatus
US2779045A (en) * 1954-06-24 1957-01-29 Hughie B Harvey Gauge line wiper and plumb bob case
CH342001A (de) * 1955-02-26 1959-10-31 Erich Hoffmann Praezisionsmech Verfahren zur Herstellung von Teilungen oder zur Messung von Strecken mittels stehender Schallwellen, und Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens
US2854752A (en) * 1956-11-29 1958-10-07 Link Belt Co Bin level indicator
DE1046180B (de) * 1957-02-04 1958-12-11 Licentia Gmbh Anordnung zur Kompensation der Zaehlwerksreibung bei integrierenden Messgeraeten
GB855475A (en) * 1957-12-26 1960-11-30 Shand And Jurs Co Improved liquid level gauging apparatus
US2952155A (en) * 1958-08-20 1960-09-13 Shand And Jurs Co Liquid level gauging apparatus
DE1176382B (de) * 1959-09-30 1964-08-20 Wenczler & Heidenhain Patentve Teilungstraeger fuer Praezisionsteilungen
FR1480310A (fr) * 1966-03-29 1967-05-12 Sfena Dispositif de sensibilisation et d'amortissement
DE2016253A1 (de) * 1970-04-04 1971-10-14 Heidenhain Johannes Dr Fa Meßteilung
US3833303A (en) * 1972-10-06 1974-09-03 Bausch & Lomb Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement
DE2712421C2 (de) * 1977-03-22 1982-06-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Gekapselte Längenmeßeinrichtung
DE2735154C2 (de) * 1977-08-04 1984-04-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßsystem

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06185950A (ja) * 1992-11-18 1994-07-08 Mitsutoyo Corp 変位測定装置
EP1637844A2 (en) 2004-07-20 2006-03-22 Mitutoyo Corporation Linear scale attachement device and attachment method
US7225555B2 (en) 2004-07-20 2007-06-05 Mitutoyo Corporation Linear scale attachment device and attachment method

Also Published As

Publication number Publication date
EP0123894B1 (de) 1987-05-20
US4570346A (en) 1986-02-18
JPH0522161B2 (ja) 1993-03-26
DE3463845D1 (en) 1987-06-25
ATE27358T1 (de) 1987-06-15
EP0123894A1 (de) 1984-11-07
DE3315214A1 (de) 1984-10-31

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