JPS5922023A - ビ−ムスプリツタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は光を分割するし−１１スプリツターに関する
。

従来、ビームスプリッターどして偏光を２つに分離する
ものや、光強度を単純に２分するもの、光を３種の色要
素に分解するもの等かあった５、そのうち偏光した光を
分離するビーｌ、スプリッターには、結晶の複屈折を利
用したものや誘電体多層膜を用いたものがあるが、いず
れの場合も、５γ割された２本の光ビー１１は平行では
なく、ある角度を有し７ている。また）１６強度を２分
するビー１１スプリツターとしては、双眼顕微鏡等に使
用される第１図のようなプ１ｊス１１１０かあるか、こ
の場合出射光の進行方向は互いに；ψて、同一り向には
１本の光ビー１１／／Ｉしか′４！ｔられない、また光
を色要素に分解するブリス１１り、イブのビー１１スプ
リツターにおいては、光は平行に出ｌ・１シない。

以」−のように従来のビー１１スプリツターには、・ｌ
”Ｉ−ｉな出射ソ１′、を（１゛り出す機能なｒＴ　し
たちのか０白Ｓし・なかった４、いくつかの光学部品ム
絹み合わせて、一つめ光をいくつかの・ｌ”ｆｉヒビー
に５＞割することは１１目止であるが、・臀閘か大型と
なりまた製造費か高、／　−７）　＜、さ１゛Ｊにう１
割：′！４１．た）■し−ｌ、の形状及び（１１〃のＩ
Ｉ′−行度の？＋’ｉ度を−１−げることｈ・１Ｌｌｆ
イ（Ｃ１宥）るなどσ）欠点かぁ−、た９二の清明は、
従来のビームスプリノターにない豹１し、い（幾能を（
ｒすと）ビーｌ、スプリッターをＬＩＧｌｌ（すること
に目的どして才？す、ｉ、Ｙｌ　１　＜は１．−大電体
多層１１５′＋を（・１設し、た透ソロ４１薄板ダ晶着
した）九ン６（’ｌ　Ｊｌ（１：４１ｐ　ｌご、な＋＋
、＋’＋：を記透尤千′１店（４］＼の人１，１ソＣを
・しなくども２本以りの同・方向に進行すン：）・１ε
（ｉ尤に分割する機能を（１”才ろヒ一〕、スブリノタ
−タにｊ！：　（１（するものでｄろる１゜以１・この
岱明σ）・実施例を図面にＪ、Ｉ；ついて１１１ａ明オ
ろ、第２１Ｙ１乃牟第ご（ｌ’ｓ＋は、人ル１九／Ｉを
５本の」＋ｚ行な出射光、５〜？に分割す８；）場合を
示したものて、／は、硝種かＨ８Ｃ−７ｒ（株）１呆谷
硝ｒイ１１品名〕である光学カラス製の透）Ｖ、（’ｌ
−１ル］↓て、ｔｉ＋す、」と３は透）１６性Ｊ、１ζ
（４／上の平行／ｊシＩＺ滑而面ある１、この平滑面ρ
、３両面には誘電体８層１漠が施してＩｉ）る、平滑面
ρ上の入射ＶＬダの入射点、２／には、弗化マグネシラ
Ａ　（Ｎ４　ｇＦ２　）ど６窒（（ニジ゛ＪレコニウＡ
ｘ　（Ｚ　ｒ　（＋２　）のＬ！ｊ曽か１′、１戊る反
射防ＩＬ１模／／を塗布しである３、１．へ音度射点フ
、２〜２２．５の１−７直にはＺ酸ｆヒチタン（１”１
０２）と二酸化ケイＭ（Ｓ　ｉ　０２１とを交ｔ７に２
１層重ねたや反射１漠／、、２を施しである０両行とも
誘電体多層１漠からなる。透光性基材／の平滑面３」、
には、透光１）１に優れたカラス１１９゛仮３／〜３６
か透明なｆイ機樹脂接６剤で貼イ・１さ才１ている９こ
の有機樹脂接ｌｒｔ剤どしては、例えはエポキシ系！妾
若剤か１中用できる３、また分割された５木の光ビーｔ
ｚ　ｉ　ｌ、ｌの強度かｌｌ、いに等しくなるよう、に
記ガラス薄ＩＪｉＪ　／〜３．５の外面には次表に示し
た透過宰を４１′する、誘電体多層膜か１）なる゛ＩＬ
透過１漠、／３を１ｊｉｊｉ　してある２、オな才）ち
ガラス薄板３ｉ′−Ｊ　Ｊ　（７）各出射点ではＩ’　
ｉ　Ｃ，＋　２と５ｉ０２を交１ｊに数層ずつ巾ねて、
所定の透過申が得ら１１；：・）＝　’ｌにしである一
ｆＮｊ’；接？’ｆ刑層と透）１乙干’Ｉ：　：’＋’
）　＋ｉ／、ヒのＷ面におけろ反射は、ＩＢ　、’６　
Ｔｉ１ｌの屈ｌハ串がＣＩりすしくは１．・′１５〜１
．５ン３の間にあ、ｌｌは殆んど無視てきる。

と−１ １Ｉ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１出Ｉ
）ｆ　）１１′、の平？１Ｐ１に関する１青度け、ソ【
を学研磨さ旧たＪ　９．：、　＋’ｌ　」、ｔ　ｌ：Ｊ
　／　ノ′トｌｒｔ　１７＋ｉ　、、２　トＪ　トｔｈ
　串ｔ−ｉ度及び１在ｎノ１１１層の１勺−・ｌ’ｌに
上りｌ′太まるもσＪて、１妾ン′を剤層が均一になる
上−゛）配置、、ｊｉす、Ｉｔは研磨のイ１−１−かり
精度に応して高い精ルＮＭ・る二とかてきろ５また平滑
面、２及びＪ′１４の反ヰ・ｌ　ｌｉｈ＋ｌｔ　Ｉｆ＾
／／へ）や反引１１ジ／２．またノｊうスメ１９扱３／
〜３３上の１へ透過ｎｕ　ｉ　Ｊどして九吸１１Ｍの殆
んどない誘電体材す）４用いているので、金光鼠を有効
に１１１川する二とかでさる　誘電体（，４利としては
、−１−記のＭ　ｇ１’７．ＳｉＯ２，ン−ｒ　０２　
、　Ｔ　ｉ　０２　ｄ）池に、弗化セリウ１１．酸化ア
ルミニウ１１、酸化イソ１−リウ１１、酸化タンタル、
酸ｆヒハフニウ１１、酸ｆＬセリウ１２等を用いること
ができる。

誘電体多層膜は、通常の光ツ智Ｗ膜製造用の前二と１装
置Ｐ７を用いて容易に得ることができる。

二の発１１月に、ｔ？けるカラス薄（反３７〜３．５の
１模Ｉｆｔは、作窄・１′１．を考慮して望ましくけ０
．＋＝＝２゜０　ｍｍの」・ｉｉ囲内にあれば良い。ま
たカラスｌＷ板３７〜３．．５の形状幅は分割されたｙ
６ビーム／ダの間隔ど透しくなるようにする。

分割さｊ（た光ビーＡ　／りの間隔は、透光性基材／・
＼の光の人躬角及び透ｙ６竹４ｊ；　４．４　／の厚さ
を変えることによって調節することかできる５５表−１
では、分割された５本の）にビー１％　／　’％のＷ１
強度が等【くなるようにした場合を示したか、平滑面−
？に貼ｆ；［シたガラス置板Ｊ／〜３．５に施す１１Ｌ
透過膜／３の構成を調整することにより、光強度か任意
の割合となるように分割する二ともてきる、。

更に、誘電体Ｎ膜からなる゛１−透過暎をｍｉ　したガ
ラス薄板の持つ透過特性を接着前に評価し、所定の丸字
特性をもつ薄板の・７トを用いる二とによって、高い歩
留で良好な特性をもっビーｌ、スプリッターが得られる
。なお本発明で使用する透光４１１基材／ど透光性薄板
とに要求される特性については、屈折率が著しく異らな
けれは適宜選４Ｊ１！することがてきる。

イ（発明のビー１１スプリツターは、少なくとも一ネ［
１の平行な面を有する光学研磨さ、Ｉｔたカラス４に１
オ、光透過性の高い透明プラス千ツタ等を用いて製造さ
れなけれはならないか、第２図乃：ｒ４５第：３図に例
示した池に、第７１図に、賀すように反射防止１鴎伺の
ガラス・薄板ダ／と、全反射膜イ１ガラスＭ板ダ、）と
を接着したビーフ、スプリッターも作成できる。また第
５図に例示した応用も可能である。

すなわち第２図及び第４図の四ては、人ｎマ１ソ１１９
′と出射光ｊ−７は互いに回し向きである。こ１しにχ
・１し第５図では、小羽）ＩＱ　、５へ９は入射光ダと
反対の向きになっている。勿論第２図〜第５図のいずれ
の場合にも、小羽尤は必要に応して幾本にでも分割する
ことかできる。

以上のよ２）にこの発明のビー１１スプリツターは、１
つの入射光りを任意の数の高精度な平行ビー１１に全割
できるので、光を応用した各種の１１１１１定機や制御
器機等の小型１ピにｆＴ用で、かつ１１；１記装置の製
造コス１−を低くすることにも役ＮＺつものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の双眼顕微鏡等に（・１１川されている
ビームスプリッタ−の例をボす慨銘図、第２図乃１５第
５図は本発明のビーフ１スプリンタ−の実施例を示す概
略図である。 ／１１．透光性４ル材　　、２．Ｊ、、、平滑面ダ１１
．入射光　　　　　６〜９００．出射光／／、、、Ｉｊ
旧防１１・膵　　／、ｕ、、、’ｉ′：反ルＬ膜／Ｊ、
、、’ｌ’透過１１ψ　　　／′ダ　、　、　’＋’＋
’；ヒーｌ５、ビー　１　、　、　、　）Ｉ６の入射点
　　３、・′〜−？６．カラノ、薄ｔｌｊダ；　、　、
　、　Ｍ　！］ｌ　ＩＩ／ｊ　＋Ｌ、　ＩＩＡ勺カラフ
薄（反ｚ　、７．　　全ｊＵ　１４１１’Ｊ　Ｒ：ｌｆ
　’／　ス、’＋Ｖ　（Ｉｔ池　１　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、透光性乱１，４を用いた）−′、ビー１３スプリツ
   ターにおいて、入射光を２本以上の）℃ピー１１に分割
   し、ぞの分割さ、ｌｔた光ビー１１ヲ同一方向に、かつ
   ｒ７いに乎櫂ｊにｉｊ！Ｉ　ｔｉするよ）、反射面およ
   び／または透過面を例与したことをｔ−’＋けｔどする
   し一１１スブリソシー〇 ２、透尤［１−Ｍ・１オか、丸字カラスか＋：、　ｆＪ
   ：る特ａ″１請主の範囲第１項記載のビー１１スプリツ
   ター。 ３、透九性摺材が、表面に誘電体多層膜を設けた透光性
   薄板を貼着して、反射面および／または透過面を何１ニ
   ア、　したことを特徴とする特お請求の範囲第１項また
   は第２項記載のし一１１スプリッター。 ４、誘電体多層膜か、膜構成を変えることにより、所定
   の透過宇を得られるように１．たこと在特徴とするＩ、
   ′？ｉｉ’ｌ’請求の範囲第３　ｑＮ記、１ｉｌｉノヒ
   −ｔ、スプリッター。