JPS59219142A - 平面研磨方法 - Google Patents
平面研磨方法Info
- Publication number
- JPS59219142A JPS59219142A JP58093164A JP9316483A JPS59219142A JP S59219142 A JPS59219142 A JP S59219142A JP 58093164 A JP58093164 A JP 58093164A JP 9316483 A JP9316483 A JP 9316483A JP S59219142 A JPS59219142 A JP S59219142A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- workpiece
- working
- work
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平面研削方法に関するものである。
例、（ケ、ラッピングマシンやポリッシングマシン等の
平面研削体置け、回転自在の上下の定盤間にキャリヤに
俣持させたワークを配設し、該ワークに加工圧力を作用
させた状態で上記定盤を回転させることによってその加
工を行うようにしているが、加工の終了暗にウェハーの
＄＋１れやチッピングを生じ易いという問題があった。
平面研削体置け、回転自在の上下の定盤間にキャリヤに
俣持させたワークを配設し、該ワークに加工圧力を作用
させた状態で上記定盤を回転させることによってその加
工を行うようにしているが、加工の終了暗にウェハーの
＄＋１れやチッピングを生じ易いという問題があった。
即ち、従来では、加工の終了時に、定寸装置まだはタイ
マによって定盤の回転速度と加工圧力とを同時１で減少
させるように、していたため、それらの角、耐な減少に
よってｒ間約に去凍状卵即ち何角荷と同根の状態が発生
し、それまでキャリヤにかける俣拮穴の一側だけに押し
付けられていたワークが−Ｍ加工圧力から解Ｊ々されて
自由度を憎し、バランスを失って前後、左右に不叩目１
１に惰利しでキャリヤとの衝突を繰り数十ため、その割
れやチッピングが発生する。
マによって定盤の回転速度と加工圧力とを同時１で減少
させるように、していたため、それらの角、耐な減少に
よってｒ間約に去凍状卵即ち何角荷と同根の状態が発生
し、それまでキャリヤにかける俣拮穴の一側だけに押し
付けられていたワークが−Ｍ加工圧力から解Ｊ々されて
自由度を憎し、バランスを失って前後、左右に不叩目１
１に惰利しでキャリヤとの衝突を繰り数十ため、その割
れやチッピングが発生する。
木登叩け、」：記従来の欠屯を解消し、ワークの１ｕｌ
ｌ しやチッピングを牛じることのない平面研削方法の
＃ｉ！供を目的さするもので、加工が終了する直前に定
盤の回峡静を減少させて鱈凍加工を−宇時間行い、次に
、減速状態のままワークに対する加工圧力を減少させる
ことにより減圧加工を行い、そのｆＫｍ Ｋ中盤をイ帛
１トさせてワークを取出すことを特徴としている。
ｌ しやチッピングを牛じることのない平面研削方法の
＃ｉ！供を目的さするもので、加工が終了する直前に定
盤の回峡静を減少させて鱈凍加工を−宇時間行い、次に
、減速状態のままワークに対する加工圧力を減少させる
ことにより減圧加工を行い、そのｆＫｍ Ｋ中盤をイ帛
１トさせてワークを取出すことを特徴としている。
而して、本発明により、ば、減速加工を一宇時間行った
後で加工圧力を低下させて減圧加工を行うようにしたの
で、回転速度と加工圧力とを同時に減少させる場合のよ
うな無負荷状態を生じるこ七がなく、従って、ワークを
最後まで確実に保持することが可峠となって、ワークの
自由移動に伴うギヤリヤ七〇術突によって生じる割れや
チッピングを綿実に防止することができる。
後で加工圧力を低下させて減圧加工を行うようにしたの
で、回転速度と加工圧力とを同時に減少させる場合のよ
うな無負荷状態を生じるこ七がなく、従って、ワークを
最後まで確実に保持することが可峠となって、ワークの
自由移動に伴うギヤリヤ七〇術突によって生じる割れや
チッピングを綿実に防止することができる。
Ｉゾ下、本発明の平面研削方法を図面を参照ビながらデ
に詳細に＝ｙ明する。
に詳細に＝ｙ明する。
第１図は、本発明の方法の実施に使用される装置を概略
的に示すもので、１は下定盤、２は上定盤、３は大喝歯
車、４は内歯歯車、５は両歯車３゜４に噛合させたキャ
リヤ、６は該キャリヤ５に保持させたワークを示してい
る。
的に示すもので、１は下定盤、２は上定盤、３は大喝歯
車、４は内歯歯車、５は両歯車３゜４に噛合させたキャ
リヤ、６は該キャリヤ５に保持させたワークを示してい
る。
上記下定盤１け、ギヤ７を介してモータ８により駆動回
転可能に配設され、また、下定盤２け、吊板９を介して
シリンダ１０のロッド１１に昇降自在且つ回転自在に吊
設され、その下降時に駆重１夏川（１２上のドライバ］
３と係合して該ｍｍ１ｉｌｉｌｌ １２を介して上記モ
ータ８により駆動回転されるように構成されており、さ
らに、太＠歯市３及び内歯歯車４も適宜の伝動梼構を介
して上記モータ８または他の駆動源に連結され、上下の
定盤と同期的に駆動回転されるように棺ｊ成されている
。
転可能に配設され、また、下定盤２け、吊板９を介して
シリンダ１０のロッド１１に昇降自在且つ回転自在に吊
設され、その下降時に駆重１夏川（１２上のドライバ］
３と係合して該ｍｍ１ｉｌｉｌｌ １２を介して上記モ
ータ８により駆動回転されるように構成されており、さ
らに、太＠歯市３及び内歯歯車４も適宜の伝動梼構を介
して上記モータ８または他の駆動源に連結され、上下の
定盤と同期的に駆動回転されるように棺ｊ成されている
。
そして、上記モータ８及びシリンダ１０には、それぞれ
回転速度制ｆｆ１ｌ聰着及び加工圧力制御体筒が接続さ
れている。回転速度制御装置け、モータ８の回転速度を
！段階に股つするための低速用速度設定器ｊ４ａと高速
用速度設定器１．４ ｂとを備え、これらの速度設定器
１４α、１４ｂをリレー筒を備えた切換装置１５によっ
て切換可能となしており、一方、加工圧力ｆｔｉ制御装
置は、出力圧を任意に設定可能なレギュレータ１６ａ、
、 ’Ｊ（：＋ｂ 、 ｉ６ｃ、！：ソレノイトハル
ブ１７（Ｚ 、 １．７ｂ 、 １７ｃとからなる低圧
回路１８ａ、、高圧回路１８ｂ及び逆圧回路１８ｃを備
え、シリンダ１゜のヘッド室１０αと流体源Ｊ９との間
に上記低圧回路１８α七高圧回路１ｆｌｂを並列に接続
すると共に、ロッド室Ｊｏｂ七流体源１ｑとの間に逆圧
回路１．８ ｃを接続したもので、上記各ソレノイドバ
ルブ１７α、１７ｂ。
回転速度制ｆｆ１ｌ聰着及び加工圧力制御体筒が接続さ
れている。回転速度制御装置け、モータ８の回転速度を
！段階に股つするための低速用速度設定器ｊ４ａと高速
用速度設定器１．４ ｂとを備え、これらの速度設定器
１４α、１４ｂをリレー筒を備えた切換装置１５によっ
て切換可能となしており、一方、加工圧力ｆｔｉ制御装
置は、出力圧を任意に設定可能なレギュレータ１６ａ、
、 ’Ｊ（：＋ｂ 、 ｉ６ｃ、！：ソレノイトハル
ブ１７（Ｚ 、 １．７ｂ 、 １７ｃとからなる低圧
回路１８ａ、、高圧回路１８ｂ及び逆圧回路１８ｃを備
え、シリンダ１゜のヘッド室１０αと流体源Ｊ９との間
に上記低圧回路１８α七高圧回路１ｆｌｂを並列に接続
すると共に、ロッド室Ｊｏｂ七流体源１ｑとの間に逆圧
回路１．８ ｃを接続したもので、上記各ソレノイドバ
ルブ１７α、１７ｂ。
１７ ｃ及び回転速げｙ ｆｉｌｌ徊１鉾置における切
換装置１５には、それらをコントロールする制８１装置
２ｏが接続されている。
換装置１５には、それらをコントロールする制８１装置
２ｏが接続されている。
上述した平面研削方法によってワーク６の研削加工を行
う場合には、まず、制御装置２０によってソレノイドバ
ルブ１７αと１７ｃとがオンせしめられ、シリンダ１０
のヘッド室１０αとロッド室１０６とに低圧回路１８α
及び逆圧回路１８ｃにおけるレギュレータ１６α及び１
６ｃで設・定された流体圧力がそれぞれ供給され、これ
らの圧力差と上定盤２の荷重とによって決まる低圧の加
工圧力Ｐ、 （第２図）が両定盤１，２間に挾まれたワ
ーク６に作用せしめられる。続いて、モータ８の起動に
よる上下の定盤１゜２及び両歯車３，４の駆動回転によ
ってワーク６の加工が開始され、Ｔ１時間後にモータ８
の回転速度が高速用速度設定器１４ｂの膜中速度Ｖ２に
倖すると一ンレノイドバルブ１７６がオンになると共に
ソレノイドバルブ１７ ａがオフとなって高圧回１７．
３１８ｂが連通するため、ヘッド室１０ａの流体圧力が
上宿。
う場合には、まず、制御装置２０によってソレノイドバ
ルブ１７αと１７ｃとがオンせしめられ、シリンダ１０
のヘッド室１０αとロッド室１０６とに低圧回路１８α
及び逆圧回路１８ｃにおけるレギュレータ１６α及び１
６ｃで設・定された流体圧力がそれぞれ供給され、これ
らの圧力差と上定盤２の荷重とによって決まる低圧の加
工圧力Ｐ、 （第２図）が両定盤１，２間に挾まれたワ
ーク６に作用せしめられる。続いて、モータ８の起動に
よる上下の定盤１゜２及び両歯車３，４の駆動回転によ
ってワーク６の加工が開始され、Ｔ１時間後にモータ８
の回転速度が高速用速度設定器１４ｂの膜中速度Ｖ２に
倖すると一ンレノイドバルブ１７６がオンになると共に
ソレノイドバルブ１７ ａがオフとなって高圧回１７．
３１８ｂが連通するため、ヘッド室１０ａの流体圧力が
上宿。
してワーク６に作用する加工圧力がＰ２に増大する。
との諸態で７２時間加工が行われ、その加工が約７する
と、まず、制御体＠２０からの指令によって切換装置１
５を介して低速用速度設定器１４σ、がオンせしめられ
、モータ８が設定速度Ｖ、まで減速される。そして、減
速状態のまま加工圧力Ｐ２による減速加工が１３時間行
われる。この７３時間が経過すると、モータ８の停止指
令が出されると同時にソレノイドバルブ１７ａと１７
ｂとのオン、オフが切掩えられて加工圧力が低圧（Ｐｌ
）に切換わり、そのまま減圧加工が７４時間行われてモ
ータ８は停止する。
と、まず、制御体＠２０からの指令によって切換装置１
５を介して低速用速度設定器１４σ、がオンせしめられ
、モータ８が設定速度Ｖ、まで減速される。そして、減
速状態のまま加工圧力Ｐ２による減速加工が１３時間行
われる。この７３時間が経過すると、モータ８の停止指
令が出されると同時にソレノイドバルブ１７ａと１７
ｂとのオン、オフが切掩えられて加工圧力が低圧（Ｐｌ
）に切換わり、そのまま減圧加工が７４時間行われてモ
ータ８は停止する。
モータ８が４１．ｃ市すると、上宝＃２がシリンダ１０
により持ち上げられ、加工の敵ったワーク６が取出され
る。
により持ち上げられ、加工の敵ったワーク６が取出され
る。
上記回転速度及び加工圧力の切換え時間は、全てタイマ
１でよって股宇することができるが、定寸装置を用いる
」、５合Ｋ Ｉｄ−１減速及び減速のタイミングを実際
の加工寸法に其づいて膜中することができる。閤ち、ワ
ーク６が定寸直前の特定寸法になったときに定寸装置か
ら減速指令が出力され、ワーク６がさらに研削されて定
寸になったときに減圧指令が出力されるようにすればよ
い。
１でよって股宇することができるが、定寸装置を用いる
」、５合Ｋ Ｉｄ−１減速及び減速のタイミングを実際
の加工寸法に其づいて膜中することができる。閤ち、ワ
ーク６が定寸直前の特定寸法になったときに定寸装置か
ら減速指令が出力され、ワーク６がさらに研削されて定
寸になったときに減圧指令が出力されるようにすればよ
い。
なお、上冒己回転凍度及び加工圧力は、図示したよりな
制御１綽置に限らず、その他の適宜手段で制御してもよ
いことはいうまでもない。
制御１綽置に限らず、その他の適宜手段で制御してもよ
いことはいうまでもない。
第１図は本発明の方法の実施に使用して好適な装置の構
成図、第２図はその動作−説明図である。 １．２−・・定盤、 ６・・脅ワーク。 特許出願人 スピードファム株式会社 篇 １ 回 回転速度制御装置
成図、第２図はその動作−説明図である。 １．２−・・定盤、 ６・・脅ワーク。 特許出願人 スピードファム株式会社 篇 １ 回 回転速度制御装置
Claims (1)
- １、 回転自在の上下の定崎間にワークを配設し、該ワ
ークに加工圧力を作用させた状態で上記定盤を回転させ
ることｙよりワークの研削加工を行う方法において、加
工が約１する直前に中盤の回転数を減少させてガル１凍
加工を一定時間行い、次に、減凍秋能のす寸ワークＶて
７↑する加工圧力を減少させることにより減Ｗ加工を行
い、その後に定盤を停止させてワークを吻出すことを特
徴とする平面研削方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58093164A JPS59219142A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 平面研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58093164A JPS59219142A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 平面研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59219142A true JPS59219142A (ja) | 1984-12-10 |
| JPH0545381B2 JPH0545381B2 (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=14074925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58093164A Granted JPS59219142A (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 平面研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59219142A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05177533A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウェーハの研磨方法と装置 |
| JP2011041996A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Daishinku Corp | 研磨装置 |
| WO2014002624A1 (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-03 | コマツＮｔｃ株式会社 | 研削加工装置およびその制御方法 |
-
1983
- 1983-05-26 JP JP58093164A patent/JPS59219142A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05177533A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-20 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウェーハの研磨方法と装置 |
| JP2011041996A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Daishinku Corp | 研磨装置 |
| WO2014002624A1 (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-03 | コマツＮｔｃ株式会社 | 研削加工装置およびその制御方法 |
| JP2014004672A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Komatsu Ntc Ltd | 研削加工装置およびその制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0545381B2 (ja) | 1993-07-09 |
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