JPS59217107A - ホ−ル素子を用いた角度検出装置 - Google Patents

ホ−ル素子を用いた角度検出装置

Info

Publication number
JPS59217107A
JPS59217107A JP9327683A JP9327683A JPS59217107A JP S59217107 A JPS59217107 A JP S59217107A JP 9327683 A JP9327683 A JP 9327683A JP 9327683 A JP9327683 A JP 9327683A JP S59217107 A JPS59217107 A JP S59217107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hall
voltage
magnetic field
hall element
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9327683A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuo Hori
信男 堀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Optical Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Optical Co Ltd filed Critical Tokyo Optical Co Ltd
Priority to JP9327683A priority Critical patent/JPS59217107A/ja
Publication of JPS59217107A publication Critical patent/JPS59217107A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、角度検出装置に関し、更に詳細にはホール素
子を用いた角度検出装置に関するものである。
(従来技術) ホール素子とは、磁気を電気に変換する素子であって、
バイアス電流を流すと印加磁界に比例する出力を発生す
るものである。その構造を第1図に示す。すなわち半導
体薄板Pに外部より電流■8  を流し、これと直角方
向に磁界(磁束密度B)をかけたとき、ローレンツ力に
よシIHと8の双方に直角に電位差V、が発生する。と
のVHは、ホール電圧と呼ばれ、半導体の厚さd5幅W
および長さtが一様であれば次式で与えられ、IHと8
のそれぞれに直線的に比例する。
なおRH:  ホール定数である。
ココテCHハ、ホール素子固有の定数でホール係数RH
とホール素子の厚みdとの商R1,P/dで示され、以
下ホール定数と呼ぶ。
上の構造において、磁界(B)の方向がホール素子面に
対して直角とならないときは、その磁界のポール素子面
に対しての直角成分のみがホール電圧VHK寄寿するこ
ととなる。従って、該ホール電圧vHは、ホール素子面
の法線nと磁界とがなす角をθとしたとき、次式で示さ
れる。
VH=CH” IH@a、cosθ ・・曲・四囲(2
)従ッテ、例えば磁界の方向を固定しておき、該磁界内
に配置されたホール素子Pを回動させたとき1この回動
角は上記ホールm圧の大きさとして得ることができ、こ
の現象を利用してホール素子を用いて角度検出を行なう
ことができる・ところが、上記し九ような方法で角度検
出を行なう場合には、ホール素子の上記ホール電圧vH
の大きさが、上記磁界の磁束密度の経年変化および温度
の変動に大きく影響されるので、複雑な補償処理を行た
わなければならないという問題がある。この問題は、い
わば系統内蓋的な問題であるので、このような問題を解
決するには、例えば磁界内にホール素子を複数配置し、
これらのホール素子が出力するホール電圧信号全合成し
て合成信号を得、この合成信号に基づいて角度を検出す
るようにすればよいと考えられる。しかしながら、この
ようにホール素子を複数個用いることによって磁束密度
や温度の変化に関してのホール電圧の変動が補償できた
としても、各ホール素子の入力端子値の偏差及びホール
定数CHの偏差によってホール電圧のバラツキが生じ、
この点から旧確な角度検出が行なえないという問題が残
存する。
(発明の目的) 本発明は、複数のホール素子を用いた角度検出装置にお
いて、各ホール定数及び入力電流値の偏差を簡易な構成
を用いて同時に補償し、正確な角度検出を行なえるよう
にすることを目的とするものである。
(発明の構成) 本発明による角度検出装置は、磁界を形成する磁界形成
手段と、該磁界形成手段によって形成された磁界中に配
され、該磁界に対してのみ回動自在に配置された複数の
ホール素子と、該ポール素子のそれぞれの出力信号をバ
ッファアンプを介して合成して抽出する信号検出手段と
、該16号検出手段の出力信号に信号処理を施し、前記
磁界の方向に対しての前記ホール素子の回動角を検出す
るホール素子回動角検出手段とを備え、前記バッファア
ンプが、各ホール素子の入力電流直偏差およびホール定
数値偏差を同時に補償するため、その増幅度が可変とさ
れたことを特徴とするものである。
(本発明の角度検出装置の原理および効果)以下、添付
図面を参+ffl して本発明の原理とともに本発明の
詳細な説明を行なう。
第2図は、本発明の角度検出装置の原理を示す図であっ
て、第1ホール素子3および第2ホール素子5は、互い
に直角関係を保ちつつ、共通の回動軸である軸φを中心
に回動可能に、磁束密度Bの靜磁界中に配置含れている
。従って、上記靜磁界の方向と第1ホール素子3の素子
面の法#j!nとのなす角O1および該靜磁界の方向と
第2ホール素子5の素子面の法線とのなす角の和は、π
/2をなしている。第1ホール素子302つの入力端子
7.7′は、上記軸φ上に配されておシ、一方の入力端
子7には正弦波電圧発生器11が接続されておシ、他方
の入力端子7′は接地されている。
従って、第1ホール素子3には、上記正弦波電圧発生器
11からE sinωt の電圧が印加されている。こ
こで、第1ホール素子30人力インピーダンスをzl 
 とすると、この第1ホール素子3の入力電流は、次の
式(3)で示芒れる。
ε 一5lnωt=I、Sinωt 四囲・・・・ (3)
1 第2ホール素子5の2つの入力端子9.9′も上記軸φ
上に配されてお夛、一方の入力端子9にはπ/2移相器
13を介して上記正弦波電圧発生器11が接続されてお
シ、他方の入力端子9′は接地されている。従って、第
2ホール素子5には、上記π/2移相器13からE c
osωt の電圧が供給されている。ここで、第2ホー
ル素子5の入力インピーダンス’t” Z2  とする
と、この第2ホール素子5の入力電流は、次の式(4)
で示される。
−cos ωt = 12 cos ctzt  −=
−=  (412 第1ホール素子3の出力端子15.15′と第2ホール
素子5の出力端子17.17′とは、それぞれ発生する
ホール電圧が加算されるように直列接続され、このホー
ル電圧は増幅器19によって増幅されるようになってい
る。
以上の条件の下で、磁界方向の磁束密度を日、磁束方向
と第1ホール素子面の法=%6tnとのなす角度をθ、
各々のホール素子のホール定数を等しくCH1各々のホ
ール素子のインピーダンスヲ等シく考え流れる入力端子
の振幅を■。とすると、各各のホール素子からの出力電
圧v1、v2は、V2=CHIOcosωt*8cos
(θ−ff/2)=CHI。8++cosωt as 
Inθ        ゛・・・・・・・・・(6) で示される。
ゆえにこの2つのホール電圧を加算することによって得
られる合成出力電圧V は、 vt=v、+v2==cHi。es+nω1t@cos
θ+CHIo8cosω1t*slnθ=CHI。Bs
1n(ωt+θ)・四囲曲曲四四曲・・曲・ (7)と
なシ、磁界の方向と第1ホール素子のなす角θは、第1
ホール素子の人力電流の位相と、出方電圧の位相差に変
換されこの位相差を正確に測定するととKよって、回動
角0を計測することができるO しかし、通常市販されているホール素子のホール定数は
、個々にバラツキがあυ、また2つのホール素子の印加
電圧値も回路組み立て上、一致しないことも大いにあシ
得る。
この時の第1・第2ホール素子のホール定数をCHl、
c)I2  とし、これらの人力電流の振幅をI1.1
□ とすると、合成出方電圧vt  は、式(7)%式
%(8) とおくと、成田)は、 ■。
=、7’cos2θ+(1+ΔA)2s ln2θ・5
1n(ωt+φ)・・・・・・・・・・・・・・・四 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ql)Δφミφ
−θ=tan−1((1−1−ΔA)tanθ)−θ 
曲・曲・凹曲a湯となシ、合成された出力電圧の位相の
中に、磁界の方向とホール素子のなす角0のほかに、二
つのホール素子の最大振幅のズレΔAが位相誤差Δφと
して入って来てしまう。
この位相誤差Δφを消去する方法としては。
となるように、片方の入力電流を制御して、両ホール素
子の最大振幅を一致させる方法も考えられるが、本発明
においては、これとは異なる方法を用いた。通常のホー
ル素子の端子は、2本の入力端子端子に垂直な方向に出
力端子の2本が設置されているので、一方の出力端子を
基準電位点に接続することはできず、したがって人力イ
ンピーダンスの大きなバッファーアンプに人力するよう
になる。
このような2つのホール素子を互いに直交するように設
置して角度を測定する装置においては、角度誤差が出力
ホール電圧の絶対精度によらないという長所を利用し、
前記バッファーアンプに可変増幅機能を持たせることに
よシ、二つのホール素子の最大振幅のズレによる位相誤
差を消去するようにしたものである。
すなわち、2つのホール素子の出力端に接続されている
バッファーアンプの帰還抵抗のうち、いずれか一方の抵
抗を可変抵抗に置き換え増幅倍率を可変とする。
今、第2ホール素子の帰還抵抗を可変にしたとすると、
合成された出力°電圧Vt  は(8)式に変わって、 Vt=CH111as l na+1 tcos#+r
nc H212Bcosω1tNnθ−Q4となる。
したがって、[11式で表わされる振幅変化を見ながら
、振幅変動がなくなるまで可変抵抗を動かして増幅倍率
mを変えれば、 CH2’ 2 が成υ立ったところで角度に対する振幅変動が消えたこ
とになり、この時においては式(9)〜aaの中のΔ^
はゼロとなシ、 したがって、2つのホール素子の最大振幅のズレによる
位相誤差Δφは完全に除去することができる。
実施例 以下、本発明をトランシットに適用した実施例を添付図
面を参照しつつ説明する。
第1の実施例 〈全体構成〉 トランシットは、第3図に示すように、望遠鏡21f:
その水平軸21a、21bl中心として回動自在に支持
する支柱23a、23bを有する托架部23と、この托
架部23を鉛直軸まわシに回動自在に支持する基盤25
とから構成されている。
望遠鏡21の回動軸21a、211)は図示しないベア
リングによって支柱23a、23bに回動自在に支持さ
れている。
トランシットの測角を可能とする構成は、高低角度測定
用の磁界形成部30、高低角度の信号検出部40、水平
角度測定用の磁界形成部50.水平角度の信号検出部6
0、電圧供給部70、信号処理部80及び表示部90か
ら構成されている。
〈高低角度測定用磁界形成部30> 高低角度測定用の磁界形成部30は、ディスク32を備
えておシ、このディスク32Lその中心を回動軸21g
と同軸に取付けられ、望遠鏡21と共に回動するように
なっている。このディスク32の外縁には環状部材32
aが設けられておシ、この環状部材32aの内面には、
ディスク中心を挾んで磁石34と磁石36とが、その対
向面の極性が異なるように、かつ望遠鏡の規準軸および
回動軸21aと直角方向の磁界を形成するように配置さ
れている。
く高低角度の信号検出部40〉 高低角度の信号検出部40は、第1ホール素子3と第2
ホール累子5によって第4図のように構成され、支柱2
3aK4付けられている。第1ホール素子3は望遠鏡2
1aの回動軸中心21M’上でかつ水平に、第2ホール
素子5はその回動軸中心21a′上で垂直に取付けられ
ている。なお、ここで水平、垂直というのはトランシッ
トが正しく据え付けられている状態でのことである(以
下同じ)。第1ホール素子3と第2ホール素子5とは、
原理の説明の項での説明と同様に配置され、かつ電気的
に接続されている。従って、それらKついてここで繰シ
返さない。
く水平角度測定用磁界形成部5o〉 水平角度測定用の磁界形成部50は、ディスク52を備
えてお夛、このディスク52は、托架部23にその回動
軸23cと同軸な状態で取付けられ、托架部23と共に
回動できるようになっている。このディスク52の外縁
には環状部材52mが設けられておシ、この環状部材5
2aの内面には、ディスク中心を挾んで磁石54と磁石
56とがその対向面の極性が異なるように配置されてい
る。この磁界形成部5oは水平方向の静磁界を形成して
いる。
〈水平角度の信号検出部aO> 水平角度の信号検出部6oは高置角度信号検出部40と
同様に2つのホール素子によって構成されている。これ
ら2つのホール素子は、トランシットを適正に据え付け
、望遠鏡21の規準軸21cが南北を又は東西を規準し
ているときに、磁界形成部50が形成する磁界方向に、
一方性平行となシ、他方は直交するように配置されてい
る。これによって基準位滌が設定可能となる。
〈電圧供給部70の概要〉 電圧供給部70は、後に詳細に説明するように高低角度
の信号検出部40および水平角度の信号検出部60のそ
れぞれのホール素子へπ/2位相差を有する電流を供給
するもので、支柱231)に組み込まれている。
〈信号処理部80の概要〉 信号処理部80は後に詳細に説明するように信号検出部
40によって検出した信号と、電圧供給部70が信号検
出部40へ供給する電圧とt−受けそれらの位相差を検
出して高低角Kt演算し、また信号検出ff1i60に
よって検出した信号と、電圧供給部70が信号検出部6
0へ供給する電圧とを受け、それらの位相差を検出して
水平角度を演算している。
〈表示器90〉 表示器90は、止配信号処理部80で演算した高低角度
及び水平角度の表示を行なうものである。
〈電圧供給部70および信号処理部80の詳細〉次に第
5八図ないし第7図を参照して、上記電圧供給部70お
よび信号処理部80の詳細について説明する。
なお、本実施例では、高低角度の検出と水平角度の検出
とは略々同一の構成によって行われるため、以下高低角
度の検出についてのみ説明を行い水平角度の検出につい
ての説明は省略する。
〈電圧供給部70〉 電圧供給部70は、isA図に示されているような電源
回路100によって構成されてお夛、この電源回路10
0は、互いにrr / 2位相がずれた第1および第2
電圧V1 、V2を形成し、第1電圧を第1ホール素子
3に、第2電圧を第2ホール素子5にそれぞれ印加する
ことによって、第1および第2ホール素子3.5に互い
にπ/2位相がずれた第1および第2電圧をそれぞれ供
給するものである。
電源回路100は正弦波電圧発生器102.1つのコイ
ルL、1つのコンデンサC,2つの可変抵抗Ha VR
t 、 VH2−抵抗、RsfkいしRq及び2つのO
Pアンf104,106から構成されている。
コンデンサC1可変抵抗VR1、VH2、コイルL及び
正弦波電圧発生器102とで直列回路を構成している。
第1ホール素子3へ供給する第1電圧v1 はコンデン
サCと可変抵抗VR1によって形成され、第2ホール素
子5へ供給する第2電圧v2  はコイルLと可変抵抗
VR2とによって形成される。ここで式(5)全成立さ
せるためにvlとvlの関係は完全に90°位相差をも
たせる必要がある。コイルLが完全に誘導リアクタンス
XL成分しかもたないのであれば、抵抗成分と直交した
インピーダンスが得られるのであるが、実際には第5B
図示するよりに僅かながらの抵抗分RL が含まれてい
るため合成インピーダンスZLは抵抗成分軸と直角とは
ならなくなる。そこで、z2と■2との直交関係を確保
するため可変抵抗VR1と直列に微かな容量リアクタン
ス量のコンデンサCを接続している。コイルしのりアク
タンス分XL、可変抵抗VR1・VH2並びに、コンデ
ンサCのリアクタンスXc  及び抵抗分Rc  の関
係は第58図に示している。
電圧■1と電圧■2との振幅を一致させ、かつπ/2位
相関係に調整するには可変抵抗VR1及びVH2を適当
に変化させることによって行う。第5B図から明らかな
ように、可変抵抗vR1の変化では、コイルLと可変抵
抗VR1との合成インピーダンスz1  の大きさの変
化が顕著であり、かつ傾きθ1 の変化が僅かであるの
に対し、可変抵抗VR2の変化ではコンデンサCと可変
抵抗VR2との合成インピーダンスz2  の大きさの
変化が僅かであル、かつ傾きθ2の変化が顕著となる。
そこで第1電圧v1と第2′FIL圧v2との振幅調整
は主に可変抵抗VR1によって、又位相差rJA!整は
主に可変抵抗VR2によって行われる。
コンデンサCと可変抵抗VR1とで形成された第1電圧
v1は抵抗R3ないしR6及びオペアングOPI Vr
−よって差動増幅された後端子Aから出力される。
コイルLと可変抵抗VR2とで形成された第2を圧v2
は抵抗R7ないしR9及びオペアンプOP2によって差
動増幅された後、端子日から出力される。
上記の構成によって出力端子Aに生ずる電圧をE1si
nωt  ・・−・・・・・・・・・−・・・−・・・
−・・・−・−・・・・ riDとすれば、出力端千日
に生ずる電圧は E2 sin(art−g/2)=E2 Cog ωt
+++++ lxsと表わされるようにπ/2位相差を
有する1M号となる。ここで抵抗R3ないしR9Fi、
出力端子A%Bから共に振幅が一致しかつ十分な電圧が
得られるように電圧v1及び電圧v2に対応して選択さ
れている。従って大面のε1と式11のE2とが一致す
ることとなる。これを以下E1とする。
電源回路100の出力端子^は、第1ホール素子3の入
力端子7.7′及び可変抵抗vR10を介して接地され
て第1ホール素子3の第1入力端子路を、又出力端子B
は、第2ホール素子5の入力端子9.9′及び可変抵抗
VR’10  を介して接地されて第2ホール素子5の
第2入力端子路を構成する。
上記のように第1ホール素子3及び第2ホール素子50
入力端子7.7′、9.9′に電圧が印加されているの
で第1及び第2ホール素子3.5には入力電流が流れ、
磁界中に置かれることを条件としてそれぞれの出力端子
にホール電圧が発生する。
く信号処理部80〉 次に、第6図及び第7図を参照して、上記信号処理部8
0を詳細に説明する。この信号処理部80は、大きく分
けて第6図に示すホール電圧検出回路200、および第
7図に示す角度値演算部300から構成されている。
くホール電圧検出回路200〉 ホール電圧検出回路200は、第1および第2ホール素
子3.50入力電流値偏差およびホール定数値偏差を除
去した純粋な合成ホール電圧の抽出を行なうものであり
、第6図に示しているように抵抗R11〜R26、R′
11〜R′21  および7つのオヘアンfoP3〜o
P6オヨヒoP′3〜oP′5カラ構成されている。オ
ペアン7’ OF2の一方の入力端子には、抵抗R11
を介して第1ホール素子3の一方の出力端子15が、オ
ペアンfOP5の他方の入力端子には、抵抗R12を介
して第1ホール素子3の他方の出力端子15′が、それ
ぞれ接続されている。このオペアンプOP3は、その出
力端子が、抵抗R11Sを介してO入力端子に接続され
ておシ、■入力端子は、抵抗R14を介して接地されて
いる。
このオペアンf OPs t;j増幅を目的としておら
ず前段と後段とのバッファを目的としており、従って抵
抗R11ないしR14の値は1例えば10にΩのように
高抵抗で統一されている。オ(アンプOP3の出力端子
は抵抗R15を介してオペアンニア’0P4f)0入力
端子へ入力されている。
第1ホール素子3の第1人力電流路に挿入された可変抵
抗VR10は、第1ホール素子3の出力端子15.15
′の不整合等を原因として生ずる不平衡電圧を補償する
第1補償電圧vc を発生するためのものである。従っ
て可変抵抗VRjQ  の抵抗値は例えば100位の低
い抵抗値のものが用いられて第1ホール素子3の不平衡
電圧に対応して適当に調整される。この補償電圧vc 
 は、抵抗R16ないしRlB及びオペアンプOP5で
構成されたパツ7アアングと抵抗R19とを介してメベ
アングOP4の■入力端子へ入力されている。オペアン
プOP5はバッファを目的としているので抵抗16〜R
18の抵抗値は、例えば1OKΩ高抵抗値で統一されて
いる。
抵抗R15とR19ないしR21及びオペアンプOP4
は、差動アンプを構成し、これは第1ホール素子3の第
1ホール電圧vd1y  と第1補償電圧vc1との差
動増幅を行い、第1ホール電圧v′1がら不平衡電圧を
除去した純粋な第1ホール′6圧■1  を抽出するた
めのものである。
第2ホール素子5に関しても上記と同様の回路構成とな
っているので同じ符号にダッシュを付け、その脱型5は
省略する。尚オベアンゾOピ4に取り付けられた抵抗R
′20に直列に可変抵抗VR22が接続されているが、
この抵抗VR22は第1ホール素子3と第2ホール素子
5のホール定数の差等によって生ずるホール電圧v(1
1、v(2)の振幅値の不一H 致を調整するためのものであり、適当な調整のもとにメ
(アンプOP4とOP’4の出力の振幅値を一致させる
オペーrン7’ OF2の出力端子は抵抗R2Kを介し
て。
オペアン7’ OF’4の出力端子は抵抗R24を介し
て。
オペアンプOP6のO入力端子に接続されている。
オペアンプOP6の出力は、出力端子Cから角度値演算
部300へ送られるとともに、抵抗R25を介してその
θ入力端子にも送られるようになっている。オペアン7
’ OF2のe入力端子は抵抗R24を介してアース端
子へ接続されている。
上記のように構成することによって第4アンノOP4に
よって不平衡電圧成分が除去され九純粋な第1ホール電
圧v(1)とオペアンf opQによって不平衡電圧成
分が除去された純粋な第2ホール電圧■(2)とを加え
合せた電圧がオペアンfOP6の出力VHとして得られ
る。このオペアンプOP6の出力Vtti、可変抵抗V
R’I Q、VR’1o オz ヒVR22。
適当な調整の下に、式(7)で示した合成ホール電圧V
t= CHIo B sin (ωt+θ)−・−・−
・・−(7)となる。
く角度値演算部300〉 次に、第6図を参照して角度値演算部300の構成の詳
細について説明する。この角度値演算部300は、増幅
部310、矩形波変換部320位相差検出部330、ク
ロックツJ?ルス発生器340゜ノ4’ルスカウンタ3
50、および濱n器360から構成されている。
電源回路100の出力端子Aからの出力信号は。
第7図(1)に示す正弦波で、式Iによりε1slnω
tで表わされる。この出力信号は、増幅部310の第1
アンf312によって適当なレベルに増幅された後、矩
形波変換部320の第1矩形波変換器322に−よって
矩形波に変換される。この矩形波変換された信夛は第8
図(3)に示されているような形状であシ、これは位相
差検出部330の第1AND回路332および遅進弁別
回路334へ入力されている。
ホール電圧検出回路200で検出した第1ホール電圧v
(1)と第2ホール電圧v(2)の和の信号でろHH る合成ホール電圧信号は出力端子Cから得られ、この合
成ホール電圧イΔ号は第8図(2)に示されているよう
にホール素子の回転角θを位相差にもつ信号であり、上
記式(7)CH・Io・8s4n(ωt+θ)で表わさ
れる。この信号は、増幅部310の第2アング314に
よって適当なレベルに増幅され、矩形波変換部320の
第2矩形波変換器324によって第8図(4)に示され
ているような矩形波に変換される。この矩形波変換され
た信号は、遅進71”別回路334へ人力されるととも
に、NOT回路336によって第8図(5)に示されて
いるよりな反転信・号とされた後第1 AND回路33
2へ入力される。
第1八NO回路332は第8図(3)の信号と(5)の
信号の論理積をと9、第8図(6)に示すような、第8
図(1)の信号と(2)の信号との位相差に対応したパ
ルスを有する信号t−第2AND回路338へ出力する
。クロックパルi発生器340は第8図(7)に示すよ
うなりロック/4ルスを第2AND回路338へ出力す
る。第2AND回路338は第8図(6)の信号と(7
)の信号との論理積をとシ、第8図(8)に示すように
第8図(1)の信号と(2)の信号との位相差に対応し
たクロツク/9ルス列を形成し、パルスカウンタ350
へ出力する。パルスカウンタ350は第2AND回路3
38の出カッfルスのカウントを行いその結果を演算器
360へ出力する。
一方、遅進弁別回路334は第1矩形波変換器322の
出力と、第2矩形波変換器324の出力から第8図(1
)の電源回路100の出力端千人からの信号に対し、第
8図(2)の合成ホール電圧信号が進み状態か遅れ状態
かを判別する。
この遅進弁別回路334の構成は、インクリメンタル式
ロータリーエンコーダーでよく用いられる方向弁別回路
の構成と同じであるので詳細な説明は省略する。遅進弁
別回路334の判別出力は、演算器3−160に出力さ
れ演算器36C)は・fルスカウンタ350の61数結
果と、遅進判別回路3340判別結果に基づいて磁界方
向に対するホール素子の回転角0を演算し表示器90へ
演算結果を出力する。表示器90は演算器360の演算
結果を表示する。
なお、角度値演算部300のA端子に人力する基$信号
は第1ホール素子の入力端子で説明したが2第2ホール
素子の入力電圧であっても差支えなく、この場合には1
位相差は(θ−π/2)で得られる。基準信号として第
1ホール素子の入力電圧とするか第2ホール素子の入力
電圧とするかは。
例えばトランシットのような天頂角をゼロ度とするか水
平角をゼロにするかと云った角度原点の取υ方によって
変えればよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、ホール素子の構造を示す斜睨図、第2図は、
本発明の角度検出装置の原理を示す斜m囚、 第5図は、第1の実施例によるトランシットの全体構成
を示す科睨図。 第4図は、尚低角度の信号検出部の構成を示す斜m図、 第5A図およびisB図は、電圧供給部の構成を示す気
電回路図およびそのベクトル図、第6図は、ホール電圧
検出回路の電気回路図、第7図は、角度値演算部の嘔気
回路M。 第8図は、各回路の出力1@号等を示すタイムチャート
である。 3・・・第1ホール素子、5・・・第2ホール素子、1
1・・・正弦波電圧発生器、13・・・微分回路、19
・・・オペアンプ、21a、21b・・・回転軸、30
・・・高低角度測定用の磁界形成部、40・・・高低角
度の信号形成部、50・・・水平角度測定用の磁界形成
部、60・・・水平角度の信号検出部、70・・・1[
圧供給部、80・・・信号処理部。 第1図 第2図 q 第6図 第8図 (8)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 磁界を形成する磁界形成手段と、該磁界形成手段によっ
    て形成された磁界中に配され、該磁界に対して回転自在
    に配置された複数のホール素子と、該ホール素子のそれ
    ぞれの出力信号をバッファアンプを介して合成して抽出
    する信号検出手段と、該信号検出手段の出力(8号に信
    号処理を施し、前記磁界の方向に対しての前記ホール素
    子の回動角を検出するホール素子回動角検出手段とを備
    え、前記バッファアンプが、各ホール素子の入力電流値
    偏差およびホール定数値偏差を補償するため、その増幅
    度が可変となった角度検出装置。
JP9327683A 1983-05-26 1983-05-26 ホ−ル素子を用いた角度検出装置 Pending JPS59217107A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9327683A JPS59217107A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホ−ル素子を用いた角度検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9327683A JPS59217107A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホ−ル素子を用いた角度検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59217107A true JPS59217107A (ja) 1984-12-07

Family

ID=14077911

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9327683A Pending JPS59217107A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホ−ル素子を用いた角度検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59217107A (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5339416A (en) * 1976-09-24 1978-04-11 Victor Co Of Japan Ltd Magnetic detector

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5339416A (en) * 1976-09-24 1978-04-11 Victor Co Of Japan Ltd Magnetic detector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4725776A (en) Magnetic position detector using a thin film magnetoresistor element inclined relative to a moving object
US20100156397A1 (en) Methods and apparatus for an angle sensor for a through shaft
US20090174395A1 (en) Methods and apparatus for angular position sensing using multiple quadrature signals from frequency independent sinusoids
JPH02502571A (ja) 回転可能な部材の角度位置を感知するためのホール効果変換器
JPH09508214A (ja) 回転可能部材の無接触形回転角検出装置
JP2000314638A (ja) エンコーダ
US11946985B2 (en) Electronic circuit for measuring an angle and an intensity of an external magnetic field
CN207601108U (zh) 集成mems加速度传感器
US6550150B1 (en) Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
JPS59217107A (ja) ホ−ル素子を用いた角度検出装置
JPH11194160A (ja) 磁気抵抗素子用増幅回路
JPH0358444B2 (ja)
Schott et al. Novel analog magnetic angle sensor with linear output
Schott et al. CMOS three axis Hall sensor and joystick application
US4866384A (en) Relative phase magnetic field direction indicating devices useful as compasses
JPS60105968A (ja) 磁化された物体の運動速度を磁気誘導検出するコイル系
RU2044274C1 (ru) Стенд для контроля прецизионного гироскопического датчика угловой скорости
JP3629242B2 (ja) 磁気式エンコーダおよびその高調波誤差削減方法
GB2137755A (en) Position Encoder System having Quadrature Outputs
JPS61167811A (ja) 差動トルク発生装置用サーボ制御装置
US6384592B1 (en) Apparatus for minimizing angular rotor position errors in an air core gauge
JPH01110210A (ja) 傾斜角度センサ
RU2115129C1 (ru) Стенд для контроля измерителя угловых скоростей
JPS61275601A (ja) 渦電流式非接触変位検出装置
Sakuma et al. Magnetic Absolute Encoder with Magnet of Different Magnetic Flux Densities and AMR Sensors