JPH0358444B2 - - Google Patents

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JPH0358444B2
JPH0358444B2 JP9327583A JP9327583A JPH0358444B2 JP H0358444 B2 JPH0358444 B2 JP H0358444B2 JP 9327583 A JP9327583 A JP 9327583A JP 9327583 A JP9327583 A JP 9327583A JP H0358444 B2 JPH0358444 B2 JP H0358444B2
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、角度検出のためにホール素子を用い
た測量機に関するものである。
(従来技術) ホール素子とは、磁気を電気に変換する素子で
あつて、バイアス電流を流すと印加磁界に比例す
る出力を発生するものである。その構造を第1図
に示す。すなわち半導体薄板Pに外部より電流lH
を流し、これと直角方向に磁界(磁束密度B)を
かけたとき、ローレンツ力によりlHとBの双方に
直角に電位差VHが発生する。このVHは、ホール
電圧と呼ばれ、半導体の厚さd、幅wおよび長さ
lが一様であれば次式で与えられ、lHとBのそれ
ぞれに直線的に比例する。
VH=RH/dlHB …(1) なおRH:ホール定数である。
上の構造において、磁界(B)の方向がホール素子
面に対して直角とならないときは、その磁界のホ
ール素子面に対しての直角成分のみが、ホール電
圧VHに寄与することとなる。従つて、該ホール
電圧VHは、ホール素子面の法線nと磁界とがな
す角度をθとしたとき、次式で示される。
VH=RH/dlHBcosθ …(2) 従つて、例えば、磁界の方向を固定しておき、
該磁界内に配置されたホール素子Pを回転させた
とき、この回転角は上記ホール電圧の大きさとし
て得ることができ、この現象を利用してホール素
子を用いて角度検出を行なうことができる。
ところが、上記したような方法で角度検出を行
なう場合には、cosθの関係から角度分解能が角度
値によつて変化するため、精密な角度検出を行な
うことが困難であつた。特に、磁界の方向がホー
ル素子面の法線からわずかに偏移している場合に
は、cosθの変化率は極めて小さく、このため精密
な電圧計やA/D変換器等が必要となり、検出装
置が高価なものとなつてしまうという欠点があつ
た。また、ホール素子の上記ホール電圧VHは、
上記磁界の磁束密度の経年変化および各ホール素
子の温度特性に敏感に反応するため、複雑な補償
処理を行なう必要がある。
一方、特開昭54−18768号には、互いに直交し
て配されたホール素子である複数個の磁気センサ
ーを磁界内に配置して、磁界に対する磁気センサ
ーの角度を検出する角度センサーが提案されてい
る。この角度センサーは、複数の磁気センサーに
よつて、磁界を各方向成分に分解して検出し、そ
の各方向成分の商をとることによつて、角度を
tanθとして検出するものである。この角度センサ
ーによれば、上記したように磁界の各方向成分の
商をとることによつて角度検出を行なつているの
で、磁界の磁束密度の経年変化や各ホール素子の
温度特性に影響されずに角度の検出を行なうこと
ができるが、角度をtanθとして検出するため、角
度をcosθとして検出する場合と同様、分解能が角
度値によつて変化してしまい、精密な測定が行な
えないという欠点がある。
(発明の目的) そこで本発明は、使用する磁界の磁束密度の経
年変化や各ホール素子の温度特性に影響されず、
かつ分解能が角度値によつて変化させられずに角
度を検出することのできるホール素子を用いた測
量機を提供することを目的とするものである。
(発明の構成および作用) 本発明は、目標物を視準するための視準系と、
該視準系の光軸と直交して設けられ上記視準系を
鉛直面内で回動させるための水平軸線と、該水平
軸線に直交して設けられ上記視準系を水平面内で
回動させるための鉛直軸線とを有する基盤部とを
備え、上記視準系の水平軸線回りの回転角度から
鉛直面内角度を求め、上記視準系の鉛直軸線回り
の回転角度から水平角度を求める測量機におい
て、上記水平軸と直交する方向に静磁界を形成
し、該静磁界が上記視準系に伴い上記第1、第2
ホール素子に対して回動する静磁界形成部と、該
静磁界中に互いに直交して配置される第1ホール
素子と第2ホール素子と、上記第1ホール素子へ
上記静磁界と上記第1及び第2ホール素子との回
動軸方向に第1周期波電流を供給する第1電流供
給部と、上記第2ホール素子へ上記静磁界と上記
第1及び第2ホール素子との回動軸方向に該第1
周期波電流とπ/2位相ずれした第2周期波電流
を供給する第2電流供給部と、上記第1ホール素
子に流れる第1周期波電流と直交した方向の第1
ホール電圧と上記第2ホール素子に流れる第2周
期波電流と直交した方向の第2ホール電圧とを加
算又は減算し合成信号を形成する信号形成部と、
上記第1周期波電流又は第2周期波電流と上記信
号合成部による合成信号との位相差を求める位相
差検出部とを有し、位相差検出部で求めた位相差
から鉛直面内の回動量を求めることを特徴とする
ホール素子を用いた測量機である。
以上説明したような構成を有する本発明の測量
機においては、上記のように配置された第1およ
び第2ホール素子が出力する第1および第2ホー
ル電圧信号を加算または減算して合成信号を得、
この合成信号と交番信号との間の位相差を検出
し、この位相差によつてホール素子と磁界の間の
角度を検出するようにしているので、角度検出に
おいて磁界の磁束密度の経年変化や各ホール素子
の温度特性が影響することがなく、また角度によ
つて分解能が変化することがなく、全体として精
密な角度検出を行なうことができる。
(本発明の角度検出装置の原理) 以下、添付図面を参照して本発明の原理の説明
を行なう。
第2図は、本発明の角度検出装置の原理を示す
図であつて、第1ホール素子3および第2ホール
素子5は、互いに直角関係を保ちつつ、共通の回
動軸である軸Oを中心に回動可能に、磁束密度B
の静磁界中に配置されている。従つて、上記静磁
界の方向と第1ホール素子3の素子面の法線nと
のなす角θ、および該静磁界の方向と第2ホール
素子5の素子面の法線とのなく角との和は、90゜
すなわちπ/2となつている。第1ホール素子3
の2つの入力端子7,7′は、上記軸O上に配さ
れており、一方の入力端子7には正弦波電流発生
器11が接続されており、他方の入力端子7′は
接地されている。従つて、第1ホール素子3に
は、上記正弦電流発生器11からlOsinωtの制御
電流が供給されている。第2ホール素子5の2つ
の入力端子9,9′も上記軸O上に配されており、
一方の入力端子9はπ/2移相器13を介して上
記正弦波電流発生器11に接続されており、他方
の入力端子9′は接地されている。従つて、第2
ホール素子5には、上記π/2移相器13からlO
cosωtの制御電流が供給されている。第1ホール
素子3の出力端子15,15′と第2ホール素子
5の出力端子17,17′とは、それぞれ発生す
るホール電圧が加算されるように直列接続され、
このホール電圧は増幅器19によつて増幅される
ようになつている。上記の条件のもとで、第1ホ
ール素子3が発生するホール電圧VH (1)は、 VH (1)=CH・lOsinωt・Bcosθ …(3) と、第2ホール素子5が発生するホール電圧VH
(2)は VH (2)=CH・lOcosωt・Bcos(θ−π/2) =CHlOcosωtBsinθ …(4) とそれぞれ示すことができる。
こゝで、CHは、ホール素子固有の定数でホー
ル係数RHとホール素子の厚みdとの商RH/dで
示され、以下、ホール定数と呼び第1ホール素子
および第2ホール素子の定数は同じものとして取
扱う。
このようにして得られた第1ホール素子3のホ
ール電圧VH (1)と第2ホール素子5のホール電圧
VH (2)とを加算し合成を行うと、 VH +=VH (1)+VH (2) =CH・lOsinωtBcosθ +CHlOcosωt.Bsinθ =CH・lO・Bsin(ωt+θ) …(5) が得られる。
この式(5)から明らかなように、合成されたホー
ル電圧VH +の中では、磁界の直角方向と第1ホー
ル素子とがなす角θが、第1ホール素子に流した
正弦波電流(lOsinωt)に対する位相差となつて
現われる。
従つてこの位相差を正確に測定することによつ
て磁界Bの方向に対するホール素子の回転角θを
得ることができる。
また第1ホール電圧VH (1)と第2ホール電圧VH
(2)の差をとつたときは、 VH -=VH (1)−VH (2) =CH・lOsinωt・Bcosθ −CH・lOcosωt・Bsinθ =CH・lO・B・sin(ωt−θ) …(6) として和をとつたときと同様に位相差として、回
転角θが現われる。
(実施例) 以下、本発明をトランシツトに適用した実施例
を添付図面を参照しつつ説明する。
(第1の実施例) <全体構成> トランシツトは、第3図に示すように、望遠鏡
21をその水平軸21a,21bを中心として回
動自在に支持する支柱23a,23bを有する托
架部23を鉛直軸まわりに回動自在に支持する基
盤25とから構成されている。望遠鏡21の回動
軸21a,21bは、図示しないベアリングによ
つて支柱23a,23bに回動自在に支持されて
いる。
トランシツトの測角を可能とする構成は、高低
角度測定用の磁界形成部30、高低角度の信号検
出部40、水平角度測定用の磁界形成部50、水
平角度の信号検出部60、電流供給部70、信号
処理部80及び表示部90から構成されている。
<高低角度測定用磁界形成部30> 高低角度測定用の磁界形成部30は、デイスク
32を備えており、このデイスク32は、その中
心を回動軸21aと同軸に取付けられ、望遠鏡2
1と共に回動するようになつている。このデイス
ク32の外縁には環状部材32aが設けられてお
り、この環状部材32aの内面には、デイスク中
心を挾んで磁石34と磁石36とが、その対向面
の極性が異なるように、かつ、望遠鏡の視準軸お
よび回動軸21aと直角方向の磁界を形成するよ
うに配置されている。
<高低角度の信号検出部40> 高低角度の信号検出部40は、第1ホール素子
3と第2ホール素子5によつて第4図のように構
成され、支柱23aに取付けられている。第1ホ
ール素子3は望遠鏡21aの回動軸中心21a′上
でかつ水平に、第2ホール素子5はその回動軸中
心21a′上で垂直に取付けられている。なお、
こゝで水平、垂直というのはトランシツトが正し
く取付けられている状態でのことである。(以下
同じ)。第1ホール素子3と第2ホール素子5と
は、原理の説明の項での説明と同様に配置され、
かつ電気的に接続されている。従つて、それらに
ついてここで繰り返さない。
<水平角度測定用磁界形成部50> 水平角度測定用の磁界形成部50は、デイスク
52を備えており、このデイスク52は、托架部
23にその回動軸23cと同軸な状態で取付けら
れ、托架部23と共に回動できるようになつてい
る。このデイスク52の外縁には環状部材52a
が設けられており、この環状部材52aの内面に
は、デイスク中心を挾んで磁石54と磁石56と
がその対向面の極性が異なるように配置されてい
る。この磁界形成部50は望遠鏡21の視準軸2
1cと平行な静磁界を形成している。
<水平角度の信号検出部60> 水平角度の信号検出部60は高度角度信号検出
部40と同様に2つのホール素子によつて構成さ
れている。これら2つのホール素子は、トランシ
ツトを適正に据え付け、望遠鏡21の視準軸21
cが南北を又は東西を視準しているときに、磁界
形成部50が形成する磁界方向に、一方は平行と
なり、他方は直交するように配置されている。こ
れによつて基準位置が設定可能となる。
<電流供給部70の概要> 電流供給部70は、後に詳細に説明するように
高低角度の信号検出部40および水平角度の信号
検出部60のそれぞれのホール素子へπ/2位相
差を有する電流を供給するもので、支柱23bに
組み込まれている。
<信号処理部80の概要> 信号処理部80は、後に詳細に説明するように
信号検出部40によつて検出した信号と、電流供
給部70が信号検出部40へ供給する電流とを受
け、それらの位相差を検出して高低角度を演算
し、また信号検出部60によつて検出した信号
と、電流供給部70が信号検出部60へ供給する
電流とを受け、それらの位相差を検出して水平角
度を演算している。
<表示部90> 表示部90は、上記信号処理部80で演算した
高低角度及び水平角度の表示を行うものである。
<電流供給部70および信号処理部80の詳細> 次に第5A図ないし第7図を参照して、上記電
流供給部70および信号処理部80の詳細につい
て説明する。
なお、本実施例では、高低角度の検出と水平角
度の検出とは略々同一の構成によつて行われるた
め、以下高低角度の検出についてのみ説明を行い
水平角度の検出についての説明は省略する。
<電流供給部70> 電流供給部70は、第5A図に示されているよ
うな電源回路100によつて構成されており、こ
の電源回路100は、互いにπ/2位相がずれた
第1および第2電圧V1、V2を形成し、第1電圧
をオペアンプOP1104を介して第1ホール素子
3に、第2電圧をオペアンプOP2106を介して
第2ホール素子5にそれぞれ印加することによつ
て、第1および第2ホール素子3,5に互いに
π/2位相がずれた第1および第2電流lOsinωt、
lOcosωtをそれぞれ流すものである。
電源回路100は正弦波電圧発生器102、1
つのコイルL、1つのコンデンサC、2つの可変
抵抗器VR1、VR2、抵抗R3ないしR9及び2つの
OPアンプ104,106から構成されている。
コイルL、可変抵抗VR1、VR2、コンデンサC及
び正弦波電圧発生器102とで直列回路を構成し
ている。第1ホール素子3へ供給する第1電圧
V1はコイルLと可変VR1によつて形成され、第
2ホール素子5へ供給する第2電圧V2はコンデ
ンサCと可変抵抗VR2とによつて形成される。こ
こで式(5)を成立させるためにV1とV2の関係は完
全に90゜位相差をもたせる必要がある。コンデン
サCが完全に容量リアクタンスXC成分しかもた
ないのであれば、抵抗成分と直交したインピーダ
ンスが得られるのであるが、実際には第5B図示
すように僅かながらの抵抗分RCが含まれている
ため合成インピーダンスZCは抵抗成分軸と直角と
はならなくなる。そこで、Z2とV2との直交関係
を確保するため可変抵抗Rvと直列に微かなリア
クタンス量のコイルLを接続している。コイルL
のリアクタンス分XL、可変抵抗VR1、VR2並び
にコンデンサCのリアクタンスXC及び抵抗分RC
の関係は第5B図に示している。
電圧V1と電圧V2との振幅を一致させ、かつ
π/2位相関係に調整するには可変抵抗VR1及び
VR2を適当に変化させることによつて行う。
第5B図から明らかなように、可変抵抗VR1
変化では、コイルLと可変抵抗VR1との合成イン
ピーダンスZ1の大きさの変化が顕著であり、かつ
傾きθ1の変化が僅かであるのに対し、可変抵抗
VR2の変化ではコンデンサCと可変抵抗VR2との
合成インピーダンスZ2の大きさの変化が僅かであ
り、かつ傾きθ2の変化が顕著となる。
そこで第1電圧V1と第2電圧V2との振幅調整
は主に可変抵抗VR1によつて又位相差調整は主に
可変抵抗VR2によつて行われる。
コンデンサCと可変抵抗VR1とで形成された第
1電圧V1は抵抗R3ないしR6及びオペアンプOP1
によつて差動増幅された後端子Aから出力され
る。
コイルLと可変抵抗VR2とで形成された第2電
圧V2は、抵抗R7ないしR9及びオペアンプOP2
よつて差動増幅された後、端子Bから出力され
る。
上記の構成によつて出力端子Aに生ずる電圧を E1sinωt …(7) とすれば、出力端子Bに生ずる電圧は E2sin(ωt−π/2)=E2cosωt …(8) と表わされるようにπ/2位相差を有する信号と
なる。ここで抵抗R3ないしR9は、出力端子A,
Bから共に振幅が共通でかつ十分な電圧が得られ
るように電圧V1及び電圧V2に対応して選択され
ている。従つて式(7)のE1と式(8)のE2とが一致す
ることとなる。これを以下E1とする。
電源回路100の出力端子Aは、第1ホール素
子3の入力端子7,7′及び可変抵抗VR10を介し
て接地されて第1ホール素子3の第1入力電流路
を、又出力端子Bは、第2ホール素子5の入力端
子9,9′及び可変抵抗VR10′を介して接地され
て第2ホール素子5の第2入力電流路を構成す
る。
上記のように第1ホール素子3及び第2ホール
素子5の入力端子7,7′,9,9′に電圧が印加
されているので第1及び第2ホール素子3,5に
は入力電流が流れ、磁界中に置かれることを条件
として、それぞれの出力端子にホール電圧が発生
する。
<信号処理部80> 次に、第6図および第7図を参照して、上記信
号処理部80を詳細に説明する。この信号処理部
80は、大きく分けて第6図に示すホール電圧検
出回路200、および第7図に示す角度値演算部
300から構成されている。
<ホール電圧検出回路200> ホール電圧検出回路200は、第1および第2
ホール素子3,5の不平衡電圧、入力電流値偏差
およびホール定数値偏差を除去した純粋な合成ホ
ール電圧の抽出を行なうものであり、第6図に示
されているように、抵抗R11〜R26、R11′〜R21′お
よび7つのオペアンプOP3〜OP6およびOP3′〜
OP5′から構成このオペアンプOP3は増幅を目的と
しておらず前段と後段とのバツフアを目的として
おり、従つて抵抗R11ないしR14の値は、例えば
10KΩのように高抵抗で統一されている。オペア
ンプOP3の出力端子は抵抗R15を介してオペアン
プOP4の入力端子へ入力されている。
第1ホール素子3の第1入力電流路に挿入され
た可変抵抗VR10は、第1ホール素子3の出力端
子15,15′の不整合等を原因として生ずる不
平衡電圧を補償する第1補償電圧VCを発生する
ためのものである。従つて可変抵抗VR10の抵抗
値は例えば10Ω位の低い抵抗値のものが用いられ
第1ホール素子の不平衡電圧に対応して適当に調
整される。この補償電圧VCは、抵抗R16ないし
R18及びオペアンプOP5で構成されたバツフアア
ンプと抵抗R19とを介してオペアンプOP4の入
力端子へ入力されている。オペアンプOP5はバツ
フアを目的としているので抵抗R16〜R18の抵抗
値は、例えば10KΩ高抵抗値で統一されている。
抵抗R15とR19ないしR21及びオペアンプOP4は、
差動アンプを構成し、これは第1ホール素子3の
第1ホール電圧VH (1)′と第1補償電圧VC1との差動
増幅を行い第1ホール電圧VH (1)′から不平衡電圧
を除去した純粋な第1ホール電圧VH (1)を抽出す
るためのものである。オペアンプOP3の一方の入
力端子には、抵抗R11を介して第1ホール素子3
の一方の出力端子15が、オペアンプOP3の他方
の入力端子には、抵抗R12を介して第1ホール素
子3の他方の出力端子15′が、それぞれ接続さ
れている。このオペアンプOP3は、その出力端子
が、抵抗R13を介して入力端子に接続されてお
り、入力端子は、抵抗R14を介して接地されて
いる。
第2ホール素子5に関して上記と同様の回路構
成となつているので同じ付号にダツシユを付け、
その説明は省略する。尚オペアンプOP4′に取り
付けられた抵抗R20′に直列に可変抵抗VR22が接
続されているが、この抵抗R22は第1ホール素子
3と第2ホール素子5のホール定数の差等によつ
て生ずるホール電圧VH (1),VH (2)の振幅値の不一
値を調整するためのものであり、適当な調整のも
とに、オペアンプOP4とOP4′の出力の振幅値を一
致させる。
オペアンプOP4の出力端子は抵抗R23を介して、
オペアンプOP4′の出力端子は抵抗R24を介して、
オペアンプOP6の入力端子に接続されている。
オペアンプOP6の出力は、出力端子Cから角度値
演算部300へ送られるとともに、抵抗R25を介
してその入力端子にも送られるようになつてい
る。オペアンプOP6の入力端子は抵抗R26を介
してアース端子へ接続されている。
上記のように構成することによつてオペアンプ
OP4によつて不平衡電圧成分が除去された純粋な
第1ホール電圧VH (1)とオペアンプOP4′によつて
不平衡電圧成分が除去された純粋な第2ホール電
圧VH (2)とを加え合せた電圧が、オペアンプOP6
出力として得られる。
<角度値演算部300> 次に、第7図を参照して角度値演算部300の
構成の詳細について説明する。この角度値演算部
300は、増幅器310、矩形波変換部320、
位相差検出部330、クロツクパルス発生器34
0、パルスカウンタ350および演算器360か
ら構成されている。
電源回路100の出力端子Aからの出力信号
は、第8図1に示す正弦波で、式(7)により
E1sinωtで表わされる。この出力信号は、増幅部
310の第1アンプ312によつて適当なレベル
に増幅された後、矩形波変換部320の第1矩形
波変換器322によつて矩形波変換される。この
矩形波変換された信号は第8図3に示されている
ような形状であり、これは位相差検出部330の
第1AND回路332および遅進弁別回路334へ
入力されている。
ホール電圧検出回路200で検出した第1ホー
ル電圧VH (1)と第2ホール電圧VH (2)の和の信号で
ある合成ホール電圧信号は出力端子Cから得ら
れ、この合成ホール電圧信号は第8図2に示され
ているように、ホール素子の回動角θを位相差に
もつ信号であり、上記式(5)CH・lO・Bsin(ωt+θ)
で表わされる。この信号は、増幅器310の第2
アンプ314によつて適当なレベルに増幅され、
矩形波変換部320の第2矩形波変換器324に
よつて第8図4に示されているような矩形波に変
換される。この矩形波変換された信号は、遅進弁
別回路334へ入力されるとともに、NOT回路
336によつて第8図5に示されているような反
転信号とされた後第1AND回路332へ入力され
る。第1AND回路332は第8図3の信号と5の
信号の論理積をとり、第8図6に示すような、第
8図1の信号と2の信号との位相差に対応したパ
ルスを有する信号を第2AND回路338へ出力す
る。クロツクパルス発生器340は第8図7に示
すようなクロツクパルスを、第2AND回路338
へ出力する。第2AND回路338は第8図6の信
号と7の信号との論理積をとり、第8図8に示す
ように第8図1の信号と2の信号との位相差に対
応したクロツクパルス列を形成し、パルスカウン
タ350へ出力する。パルスカウンタ350は第
2AND回路338の出力パルスのカウントを行
い、その結果を演算器360へ出力する。
一方、遅進弁別回路334は、第1矩形波変換
器322の出力と第2矩形波変換器324の出力
から第8図1の電源回路100の出力端子Aから
の信号に対し第8図2の合成ホール電圧信号が進
み状態か遅れ状態かを判別する。
この遅進弁別回路334の構成は、インクリメ
ンタル式ロータリーエンコーダーでよく用いられ
る方向弁別回路の構成と同じであるので詳細な説
明は省略する。遅進判別回路334の判別出力
は、演算器360に出力され演算器360はパル
スカウンタ350の計数結果と、遅進判別回路3
34の判別結果に基づいて磁界方向に対するホー
ル素子の回動角θを演算し表示部90へ演算結果
を出力する。表示部90は演算器360の演算結
果を表示する。
なお、角度値演算部300のA端子に入力する
基準信号は第1ホール素子の入力電圧で説明した
が、第2ホール素子の入力電圧であつても差支え
なく、この場合には、位相差は(θ−π/2)で
得られる。基準信号として第1ホール素子の入力
電圧とするか第2ホール素子の入力電圧とするか
は、例えばトランシツトのような天頂角をゼロ度
とするか水平角をゼロにするかと云つた角度原点
の取り方によつて変えればよい。
<第1実施例のトランシツトの構造の変形> 上記実施例においては、高低角度を検出するた
めに磁界形成部30を托架部23に、又信号検出
部40を望遠鏡21の回動軸上に取付け、一方水
平角度を検出するために磁界形成部50と基盤2
5に、信号検出部60を托架部23の回動軸上に
取り付け、これに基づいて説明を行つた。しかし
本発明はこの構成に限られるものではなく磁界形
成部が形成する磁束と、信号検出部のホール素子
とが相対移動を行えば、この移動量を検出できる
もので、第9図に示すように高低角度検出のため
に信号検出部40を托架部23に、又磁界形成部
30を望遠鏡21の回動軸上に取付け一方、水平
角度検出のために信号検出部60を基盤23に
又、磁界形成部50を托架部23の回動軸上に取
り付けても、何等さしつかえなく角度検出が行え
るものである。第9図においては、主な構成部材
を第3図に示した実施例と同じ参照番号で示して
いる。
以上説明した第1の実施例では2つのホール素
子の入力電圧をそれぞれπ/2関係の位相差で交
番させて2つのホール電圧を合成した信号 VH=CH・lO・Bsin(ωt+θ) …(5) を形成していたが、2つのホール素子に加える磁
界を、それぞれ、π/2位相差で交番させ、この
2つのホール素子には直流電圧を印加することに
よつて上記合成ホール電圧VHを得ることもでき
る。
(第2の実施例) 以下、その例を第2実施例として第10図を参
照しつつ説明する。
第1磁界形成部400は、リング状の磁路にそ
の中心に向けて突出部400a,bが設けられて
おり、この突出部400a,bにはコイル402
a,bが巻かれており、突出部間に磁界が形成さ
れるようになつている。第2磁界形成部410も
第1磁界形成部400と同様の構成となつてい
る。尚、2つの磁界形成部の形成した磁界方向は
直交している。
電圧供給部420は、互いにπ/2位相差を有
する第1および第2交流電圧を発生し、この第
1、第2交流電圧を第1磁界形成部400と第2
磁界形成部410とへそれぞれ供給する。これに
よつて第1磁界形成部400はBsinωtの第1交
番磁界を、又第2磁界形成部410はBsin(ωt−
π/2)の第2交番磁界を形成する。電圧供給部
420は、また一定の直流電圧Eを形成し、信号
検出部430の第1、第2ホール素子432,4
34へ供給する。
信号検出部430は、上記第1および第2ホー
ル素子432,434を備えており、これら第1
および第2ホール素子432,434は、共に回
動軸440に取り付けられ、これを共に回動でき
るようになつている。第1ホール素子432は、
第1磁界形成部400が形成する交番磁界中に配
され、回動軸440の回動中心上に入力端子43
2a,432bが設けられている。また、第2ホ
ール素子434は、第2磁界形成部410が形成
する交番磁界中に配され、上記回動軸440の回
動中心上に入力端子434a,434bが設けら
れている。第1ホール素子432および第2ホー
ル素子434は、互いに平行に、あるいは同一平
面内に配置されている。
第1ホール素子432及び第2ホール素子43
4には、電圧供給部420が形成した直流電圧E
がスリツプリング436を介して図示はしない
が、それぞれの入力端子へ供給されている。
第1ホール素子432と第2ホール素子434
の出力端子は、図示はしないが直列に接続され、
これによつてスリツプリング438を介して第1
ホール素子432と、第2ホール素子434の合
成ホール電圧VH (1)+VH (2)が取り出せるようにな
つている。
以上の構成において、第1ホール素子432が
発生するホール電圧VH (1)はホール素子の入力電
流をl、第1ホール素子の法線n1と、第1磁界形
成部の成形する磁束Bsinωtとのなす角をθとす
ると、次式で求めることができる。
VH (1)=CHBsinωt・l・cosθ …(9) 一方、第2ホール素子434が発生するホール
電圧VH (2)はホール素子の入力電流をl、第2ホ
ール素子434の法線n2と第2磁界形成部の形成
する磁束Bsin(ωt−π/2)とのなす角はπ/2
−θであるので次式で求めることができる。
VH (2)=CH・Bsin(ωt−π/2)・l・cos(π/2
−θ)CH・Bcosωt・l・sinθ…(10) 尚、ここでは、第1ホール素子432と第2ホ
ール素子434に流れる電流値は同一とし、また
形成される磁界の振幅は等しいものとする。第1
ホール素子432の発生するホール電圧VH (1)と、
第2ホール素子434の発生するホール電圧VH
(2)とを加え合せた合成ホール電圧VH=VH (1)+VH
(2)は以下に示すように式(5)と一致する。
VH=VH (1)+VH (2)=CH・Bsinωt・l・cosθ+CH・Bc
osωt・l・sinθ=CHBlsin(ωt+θ)…(11) 従つてこの合成ホール電圧と、電圧供給部42
0が磁界形成部へ供給する電圧を基準信号とし
て、これとの位相差を検出することによつて形成
された磁束と、ホール素子とが、なす角が測定可
能となる点は既述した実施例と同様であるので信
号処理部等の説明は省略する。
<実施例の変形例> 尚、上記変形例では、2つのホール素子を平行
とし、第1、第2の交番磁界方向を直交させて説
明したが、この構成に限定されるものではなく、
第1ホール素子の法線n1が第1交番磁界方向とな
す角と第2ホール素子の法線n2が、第2交番磁界
方向となす角との和がπ/2であれば合成ホール
電圧は(11)式で現われ測角機能を十分に果たすもの
である。例えば第1ホール素子と第2ホール素子
とがの角度をなしていれば、第1交番磁界の方
向と、第2交番磁界の方向とがなす角をπ/2+
とすることによつて、本発明の適用が可能とな
る。また、ホール電圧VH (1)およびVH (2)の合成を、
加算によつて行なつたが、この合成は、減算によ
つて行なつてもよいことはもちろんである。
尚、実施例の説明においてホール素子を回動軸
上に配置しているが、これは磁界Bに分布むらが
ある場合にその影響を少なくするものであつて、
分布むらの少ない静磁界が得られるならば、ホー
ル素子は軸上でなく軸とともに回動する位置に取
り付ければ足りる。
第1実施例においてホール素子へ供給する交流
電流及び第2実施例において交番磁界を形成する
ための供給電圧は正弦波電圧としてきたが、これ
は正弦波に限られるものではなくπ/2位相差を
持つ2つの矩形波電圧であつても構わない。ただ
し、この時には合成されたステツプ状の出力信号
をフイルターリングすることによつて位相差を抽
出することとなる。
(本発明の効果) 本発明の角度検出装置によれば上記したように
磁界とホール素子とのなす角がホール素子の合成
出力電圧と基準信号との位相差として現れる。従
つて角度分解能は、基準信号の周波数と位相差を
検出するためのクロツクパルスの周波数との比に
依存することとなる。基準信号はホール素子に印
加する交流電圧又は交番磁界を形成する交流電圧
であるので、要求される角度分解能に応じて基準
信号及びクロツクパルスの周波数を選択すること
により、高分解能の角度検出も容易に行える。又
本発明の角度検出装置は磁界とホール素子とのな
す角をホール素子の出力振幅値変化を検出し得る
ものでなく、ホール素子の合成出力電圧と基準信
号との位相差検出により得るものであるから、従
来の検出手段と比較して環境変化に対して強く信
頼性が高いものといえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、ホール素子の構造を示す斜視図、第
2図は、本発明の角度検出装置の原理を示す斜視
図、第3図は、第1の実施例によるトランシツト
の全体構成を示す斜視図、第4図は、高低角度の
信号検出部の構成を示す斜視図、第5A図および
第5B図は、電流供給部の構成を示す電気回路図
およびそのベクトル図、第6図は、ホール電圧検
出回路の電気回路図、第7図は、角度値演算部の
電気回路図、第8図は、各回路の出力信号等を示
すタイムチヤート、第9図は、第3図に示した第
1の実施例の各部材の配置を変更した変形例を示
す斜視図、第10図は、第2の実施例によるトラ
ンシツトの主要部を示す概略斜視図である。 3…第1ホール素子、5…第2ホール素子、1
1…正弦波電流発生器、13…π/2移相器、2
1a,21b…回動軸、30…高低角度測定用の
磁界形成部、40…高低角度の信号形成部、50
…水平角度測定用の磁界形成部、60…水平角度
の信号検出部、70…電流供給部、80…信号処
理部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 目標物を視準するための視準系と、該視準系
    の光軸と直交して設けられ上記視準系を鉛直面内
    で回動させるための水平軸線と、該水平軸線に直
    交して設けられ上記視準系を水平面内で回動させ
    るための鉛直軸線とを有する基盤部とを備え、上
    記視準系の水平軸線回りの回転角度から鉛直面内
    角度を求め、上記視準系の鉛直軸線回りの回転角
    度から水平角度を求める測量機において、 上記水平軸と直交する方向に静磁界を形成し、
    該静磁界が上記視準系に伴い上記第1、第2ホー
    ル素子に対して回動する静磁界形成部と、 該静磁界中に互いに直交して配置される第1ホ
    ール素子と第2ホール素子と、 上記第1ホール素子へ上記静磁界と上記第1及
    び第2ホール素子との回動軸方向に第1周期波電
    流を供給する第1電流供給部と、 上記第2ホール素子へ上記静磁界と上記第1及
    び第2ホール素子との回動軸方向に該第1周期波
    電流とπ/2位相ずれした第2周期波電流を供給
    する第2電流供給部と、 上記第1ホール素子に流れる第1周期波電流と
    直交した方向の第1ホール電圧と上記第2ホール
    素子に流れる第2周期波電流と直交した方向の第
    2ホール電圧とを加算又は減算し合成信号を形成
    する信号形成部と、 上記第1周期波電流又は第2周期波電流と上記
    信号合成部による合成信号との位相差を求める位
    相差検出部とを有し、 位相差検出部で求めた位相差から鉛直面内の回
    動量を求めることを特徴とするホール素子を用い
    た測量機。
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