JPS59214820A - 光偏向器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光偏向器、特に光の反射方向の角度を変える
光偏向器に関するものである。

〔発明の背景〕

光の方向を変える光偏向器には、従来、ガルバノミラ−
などが用いられてきたが、これは機械系の共振周波数が
低いため、応答周波数も高く設定できなかった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、高い応答周波数をもつ光偏向器を提供
することである。

〔発明の概要〕

かかる目的を達成するために、本発明は光の反射面が円
弧状又は放物線形状に設定されている光偏向器であるこ
とを特徴とする。

〔発明の実施例〕

第１図に本発明の実施例を示す。本発明の光偏向器は、
反射面６が放物線形状をした反射鏡１を、固定部２にと
シつけられて伸縮するピエゾ素子３によって、Ｘ方向に
平行移動させるものである。

入射光４は、反射鏡１によって反射光５となシその角度
θは、反射鏡１の位置Ｘによって変化する。

その動作を第２図によって説明する。

反射鏡の断面形状を、 ｙ＝ａｘ２ とし、反射鏡の位置Ｘ、に入射した垂直入射光４と反射
光５とのなす角をθとすれば、 ここで、Ｘｏがあまり大きくなければ、θも小さいから
、 とおける。ゆえに θ−４ａ　ＸＱ となシ、反射角θは、位置Ｘ。に比例することがわかる
。

本発明では、全体がほぼ剛体と考えられるので全体の共
振周波数はきわめて高くなる。そのため応答周波数も十
分高くなる。

本実施例では、反射鏡の断面に放物線形状のものを用い
たが、近似的には円弧断面のものでも使用可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたごとく、本発明によれば、応答周波数の十分
高い、光偏向器が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の詳細な説明する図、第２図は、本発
明の詳細な説明する図である。 １・・・反射鏡、２・・・固定部、３・・・ピエゾ素子
、４・・・入射光、５・・・反射光。 第　　ｊ　　図 を 茶Ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 反射面が、円弧状もしくは、放射線形状をした反射鏡を
   、直線移動するアクチュエータにとシつけ、反射鏡を平
   行移動させて、入射光に対して反射光の方向を偏向させ
   る光偏向器。