JPS59214734A - 多元素検出用光学系 - Google Patents
多元素検出用光学系Info
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- JPS59214734A JPS59214734A JP8759683A JP8759683A JPS59214734A JP S59214734 A JPS59214734 A JP S59214734A JP 8759683 A JP8759683 A JP 8759683A JP 8759683 A JP8759683 A JP 8759683A JP S59214734 A JPS59214734 A JP S59214734A
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Links
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発ＵＡは、そｎぞれ波長の異なる光を放射する複数
個の光源を用いて複数個の元素を同時に検出する多元素
検出用光学系にａ′Ｊするものである。
個の光源を用いて複数個の元素を同時に検出する多元素
検出用光学系にａ′Ｊするものである。
従来、それぞれ波長の異なる光を放射する複Ｃ’ｚ個の
光源を用いて複数個の元素を同時検出する場合には第１
２．２図に示すように半ご鏡／、２を用いて元類Ａ、Ｉ
’ｌ、Ｏから放出された光を同一光路上に重ね合わぜ、
元素検出器３へ導くように（′１・″＞成している。す
なわち、第７図のβ′すでは光ｆｆ１Ａから放出された
元素への検出波長（λＡ）の光Ｃの半分は半透鏡／を通
過し、一方光源０かも放出された元素Ｂの検出波長（λ
Ｂ）の９゛（−爪の半分は半バ・）鏡／で反射され、両
光源Ａ、Ｉ３からの少いユ１トノー光路に重ンよって元
素検出部３に入射する。し〃）シ、光源人からの光の半
分（よ半透鏡／で反射さｎ１光源Ｂからの光の半分は半
透鏡／？迫過するため、二つの光源Ａ、Ｂから元素検出
部Ｊへ入射する光量は半減され、実質的な光の１Ｊ１失
となっている。捷だ第一図に示す例では３個の光臨Ａ、
Ｂ、０荀用いた従来の光学系を示し、仁の場合には二つ
の半悠鏡／２．２奮用いる必要があり、光学系が複雑と
なると同時に半透鏡の数の増加にともなって光の損失も
増加することになる。
光源を用いて複数個の元素を同時検出する場合には第１
２．２図に示すように半ご鏡／、２を用いて元類Ａ、Ｉ
’ｌ、Ｏから放出された光を同一光路上に重ね合わぜ、
元素検出器３へ導くように（′１・″＞成している。す
なわち、第７図のβ′すでは光ｆｆ１Ａから放出された
元素への検出波長（λＡ）の光Ｃの半分は半透鏡／を通
過し、一方光源０かも放出された元素Ｂの検出波長（λ
Ｂ）の９゛（−爪の半分は半バ・）鏡／で反射され、両
光源Ａ、Ｉ３からの少いユ１トノー光路に重ンよって元
素検出部３に入射する。し〃）シ、光源人からの光の半
分（よ半透鏡／で反射さｎ１光源Ｂからの光の半分は半
透鏡／？迫過するため、二つの光源Ａ、Ｂから元素検出
部Ｊへ入射する光量は半減され、実質的な光の１Ｊ１失
となっている。捷だ第一図に示す例では３個の光臨Ａ、
Ｂ、０荀用いた従来の光学系を示し、仁の場合には二つ
の半悠鏡／２．２奮用いる必要があり、光学系が複雑と
なると同時に半透鏡の数の増加にともなって光の損失も
増加することになる。
ゝ一方、半透鏡全利用した従来の多元素拍出メ月９１′
：学系を真空蒸着装置やスノぞツタリング装置に装着す
る場合、これら装置は真空チャンバーの取イ讐」けボー
トに対して決められた位置に取付けられるため取付はポ
ートに阿接して相当な取付は空間が必要とされる。そヴ
）ため既存の装置や設置されている装置においでは、数
句は空間を確保できなヵ）ったフ狭すぎたシして丈際問
題としてこの種の光学系の取付けが極めて困難となった
り不可能となる場合が生じイ（する。
：学系を真空蒸着装置やスノぞツタリング装置に装着す
る場合、これら装置は真空チャンバーの取イ讐」けボー
トに対して決められた位置に取付けられるため取付はポ
ートに阿接して相当な取付は空間が必要とされる。そヴ
）ため既存の装置や設置されている装置においでは、数
句は空間を確保できなヵ）ったフ狭すぎたシして丈際問
題としてこの種の光学系の取付けが極めて困難となった
り不可能となる場合が生じイ（する。
このような観点から、この発ＥＩＩ］は、多元素検出用
光学系（Ｃおいて従来用いられてきた半Ｇ ｔｌΣの代
りに光ファイバーケ利用することによって措造が簡単で
光１刃欠が少なくしかも既存の装置にも容易に敗付ける
ことのてきる多元素検出用光学／ｌ′！を提供すること
を目的とし、この目的を達成するため、この光学系はｄ
’Ａ数個の光源から波長の異なる光を重ね合わせて元赤
検出部へ導く光ファイバを有し、上記俊数個の光源刀）
らの光を光ファイバの受光唱面に光ファイバの固有の立
体角内で入射するように惜成したこと焚１−！１′徴と
している。
光学系（Ｃおいて従来用いられてきた半Ｇ ｔｌΣの代
りに光ファイバーケ利用することによって措造が簡単で
光１刃欠が少なくしかも既存の装置にも容易に敗付ける
ことのてきる多元素検出用光学／ｌ′！を提供すること
を目的とし、この目的を達成するため、この光学系はｄ
’Ａ数個の光源から波長の異なる光を重ね合わせて元赤
検出部へ導く光ファイバを有し、上記俊数個の光源刀）
らの光を光ファイバの受光唱面に光ファイバの固有の立
体角内で入射するように惜成したこと焚１−！１′徴と
している。
以下添附図面全参照してこの発明の実施例について説明
する。
する。
第８図にはこの発明による一元素検出用光学系を概略的
に示し、４Ａ、’７Ｂは二つの光υス、、５−Ａ、。
に示し、４Ａ、’７Ｂは二つの光υス、、５−Ａ、。
ｊＢはそれぞれ上記光源４’Ａ、４’Ｂに組合さった集
光レンズ、ｌは光ファイバ、７ｔよレンズ、ざは元来検
出部である。各光源４Ａ、ダＢおよび集光レンズｊＡ、
ｊＢは図示した↓うに光ファイバ乙の受光端面に立体角
Ωυ範囲内で光を入射″ｔ′きるように配置される。二
つの光源１１ｈ、＜ｔＢ−ＩＰら光ファイバｔの受光端
面に入射した光は光ンフ′イパを内で重ね会せられ、そ
してレンズ７孕介して元素検出部ざへ導かれる・ 第り図にはこの発明による３元素検出用光学系を示し、
この場合第８の光源ｙａ分よひ集光レンズｊｏｉ付加し
た点を除いて第３図の光学系と同様に宿成される。三つ
の光源りＡ、グＢ 、 ｌＩＣ訃工び集光レンズｊＡ、
ｊＢ、ｊＯからの光は当然光ファイバ乙の受光端ｔｎに
立体角Ωて入射するようにされている。
光レンズ、ｌは光ファイバ、７ｔよレンズ、ざは元来検
出部である。各光源４Ａ、ダＢおよび集光レンズｊＡ、
ｊＢは図示した↓うに光ファイバ乙の受光端面に立体角
Ωυ範囲内で光を入射″ｔ′きるように配置される。二
つの光源１１ｈ、＜ｔＢ−ＩＰら光ファイバｔの受光端
面に入射した光は光ンフ′イパを内で重ね会せられ、そ
してレンズ７孕介して元素検出部ざへ導かれる・ 第り図にはこの発明による３元素検出用光学系を示し、
この場合第８の光源ｙａ分よひ集光レンズｊｏｉ付加し
た点を除いて第３図の光学系と同様に宿成される。三つ
の光源りＡ、グＢ 、 ｌＩＣ訃工び集光レンズｊＡ、
ｊＢ、ｊＯからの光は当然光ファイバ乙の受光端ｔｎに
立体角Ωて入射するようにされている。
下表にはこの発明による光ンアイパを利用した光学系と
従来の牛迂鏡２用いた光学系とにおりる光伝達損失の比
較例を示す。
従来の牛迂鏡２用いた光学系とにおりる光伝達損失の比
較例を示す。
この表から明らかなように、この発明による光学系は半
透鏡全使用した従来の光学系に比べ′Ｃ十分に少ない光
損失で光源から元来検出部へ光を伝達する仁とができ、
また検出すべき元素の数」仝工び従って光源の数が多く
なるほどすぐれていることが認めらｔｌ、る。
透鏡全使用した従来の光学系に比べ′Ｃ十分に少ない光
損失で光源から元来検出部へ光を伝達する仁とができ、
また検出すべき元素の数」仝工び従って光源の数が多く
なるほどすぐれていることが認めらｔｌ、る。
また哨３．り図に示す光学系において使用する光ファイ
バぶは曲げて使用することができしかもその長さ全適当
に選定することができるので、光源（！Ａ、グＢ）、（
４’Ａ、ｌＩＤ、！Ｏ）および集光レンズ（ｊＡ、３Ｂ
）、（、！ｉＡ、！ｉＢ、、！ｉ０）を従来の場合のよ
うに元素検出部ｇに対して決捷る特定位置に必ずしも配
賦する必要かなく、このことは実際の装置きの取付けｔ
しやす＜Ｌ、Ｌｌ＼も取付はボートに１ＩＩｌｔ接して
光学系をＩＩ−する１こめの十分なスペースｔ″確保で
＠ない場名ても十多」・Ｌ′ｃ適用できることを意味し
ている０ 次に第８図全参照してコ元素検出用光学系？、用いた２
元素検出装置の一例を示すＯ 第Ｓ図においてブロック？はブＣ源装置で、届用のホロ
ーカソード２ンプ１０Ａと帛光レンズ／／におよびＣｕ
用のホローカソード２ンプ１０Ｂと！光レンズ／／
、Ｂから成っている。′ＴＪＯ，た光Ｖメ装飲７は電源
／、２によって付勢される。光ｊ’＋を装置？からの光
を受ける光ンアイノ々／８は石莫フプ”イパから成シ、
その受光端面の受光立ｆト角ΩはＯ，Ｓステラジアンで
らフ得る。図示装置は真壁容器ｌｔ内に設置した二つの
加熱蒸発諒（ｈ、ｅ用、 Ｃｕ用）／！；、／１から蒸
発してくるアルミニ嘗ンムおよび畑の原子蒸気による吸
収を検出するよりにさ扛ている。従って二つのホローカ
ソード２ンプ１０Ａ 、１０Ｂはそれぞれアルミニウム
および銅の吸収波長光全放出し、こＩ］らのホローカソ
ードランプＩＯＡ、／ζ）Ｂからの光はそれぞれ集光レ
ンメ／／Ａ、／／Ｉｌｉ介して光ファイノ々／３内に入
シ、この光ファイツマ／３を通９、レンズ／７を介して
真空υ器／／、′、の真空窓／ｇに入る。そしてこれら
の光はそれ−そ゛れ真空容器／グ内のアルミニウムおよ
び句の原子蒸気によって吸収を受けた後、Δ空心／９全
通ってミ２−λＯＱてよりニつの方向に分けられてそれ
ぞれ分ブＩ’；ｇｉニー２ ／ 、 ２．２に入る。
バぶは曲げて使用することができしかもその長さ全適当
に選定することができるので、光源（！Ａ、グＢ）、（
４’Ａ、ｌＩＤ、！Ｏ）および集光レンズ（ｊＡ、３Ｂ
）、（、！ｉＡ、！ｉＢ、、！ｉ０）を従来の場合のよ
うに元素検出部ｇに対して決捷る特定位置に必ずしも配
賦する必要かなく、このことは実際の装置きの取付けｔ
しやす＜Ｌ、Ｌｌ＼も取付はボートに１ＩＩｌｔ接して
光学系をＩＩ−する１こめの十分なスペースｔ″確保で
＠ない場名ても十多」・Ｌ′ｃ適用できることを意味し
ている０ 次に第８図全参照してコ元素検出用光学系？、用いた２
元素検出装置の一例を示すＯ 第Ｓ図においてブロック？はブＣ源装置で、届用のホロ
ーカソード２ンプ１０Ａと帛光レンズ／／におよびＣｕ
用のホローカソード２ンプ１０Ｂと！光レンズ／／
、Ｂから成っている。′ＴＪＯ，た光Ｖメ装飲７は電源
／、２によって付勢される。光ｊ’＋を装置？からの光
を受ける光ンアイノ々／８は石莫フプ”イパから成シ、
その受光端面の受光立ｆト角ΩはＯ，Ｓステラジアンで
らフ得る。図示装置は真壁容器ｌｔ内に設置した二つの
加熱蒸発諒（ｈ、ｅ用、 Ｃｕ用）／！；、／１から蒸
発してくるアルミニ嘗ンムおよび畑の原子蒸気による吸
収を検出するよりにさ扛ている。従って二つのホローカ
ソード２ンプ１０Ａ 、１０Ｂはそれぞれアルミニウム
および銅の吸収波長光全放出し、こＩ］らのホローカソ
ードランプＩＯＡ、／ζ）Ｂからの光はそれぞれ集光レ
ンメ／／Ａ、／／Ｉｌｉ介して光ファイノ々／３内に入
シ、この光ファイツマ／３を通９、レンズ／７を介して
真空υ器／／、′、の真空窓／ｇに入る。そしてこれら
の光はそれ−そ゛れ真空容器／グ内のアルミニウムおよ
び句の原子蒸気によって吸収を受けた後、Δ空心／９全
通ってミ２−λＯＱてよりニつの方向に分けられてそれ
ぞれ分ブＩ’；ｇｉニー２ ／ 、 ２．２に入る。
各分ブＣ： ｅ’ｒｉに二１：、−いてそ７Ｌぞれアル
ミニウムの吸収光および銅の吸収光が選別され、それら
の光強度の変化Ｃユそれぞれ光７ｑ：、 ｐＨ，換器２
３．λヶで電気信号に変換さｔｌｌ、ぞして後段の処理
装置、２Ｓに供給される。
ミニウムの吸収光および銅の吸収光が選別され、それら
の光強度の変化Ｃユそれぞれ光７ｑ：、 ｐＨ，換器２
３．λヶで電気信号に変換さｔｌｌ、ぞして後段の処理
装置、２Ｓに供給される。
第２図に（（１、−それぞれアルミニウムおよび銅の吸
収波長の強度賛二ｆヒをアルミニウムおよび銅の蒸発中
にｉ”ｔｌｌ定し′ｆ′ｃ結果が示されている。第２図
では最初用のみを燕ジ；３させて、銅蒸気が一定になっ
た状態でアルミニウム？蒸発させる。アルミニウムおよ
び銅の共存しているにもかかわらず、お互いの干渉なく
アルミニウムお工び〈Ｆｄの吸収が検出されていること
が認められる。
収波長の強度賛二ｆヒをアルミニウムおよび銅の蒸発中
にｉ”ｔｌｌ定し′ｆ′ｃ結果が示されている。第２図
では最初用のみを燕ジ；３させて、銅蒸気が一定になっ
た状態でアルミニウム？蒸発させる。アルミニウムおよ
び銅の共存しているにもかかわらず、お互いの干渉なく
アルミニウムお工び〈Ｆｄの吸収が検出されていること
が認められる。
以上説明し２てきｌζようにこのざし明によれ（・」５
．光ファイバを利用することによって複数個の光源を、
光損失荀少なくして容易に京ね合わせることのできる構
造の簡単な光学系？ｌＩ−宿成することができ、そして
この光学系は光ファイバによって適当の方向せ１こは位
置から適用装置のボートに敗＋ｊりることかでき、種々
の型式の装置に容易に使用することができる。
．光ファイバを利用することによって複数個の光源を、
光損失荀少なくして容易に京ね合わせることのできる構
造の簡単な光学系？ｌＩ−宿成することができ、そして
この光学系は光ファイバによって適当の方向せ１こは位
置から適用装置のボートに敗＋ｊりることかでき、種々
の型式の装置に容易に使用することができる。
第１２．２図は半透鏡音用いた従来型の多元素検出用光
学系を示す概略ブロックか４図、＃１４３図はこの発明
による認元素検出用光学系を示す概略ブロック線図、８
１５ダ図はこの発明による３元素イずｌ出用光学系？示
す４なＬ略ブロック線図、第５図はこの発明を実１ｊＮ
しているコ元累検出装置のブロック線図、第に図は第Ｓ
図による装置での両足結果を示すグラフである。 図中、１１．Ａ、／／、Ｂ：光源、乙：光ファイノ々、
！？：元紫検出部。 第１図 第２図 第３図 Ａ
学系を示す概略ブロックか４図、＃１４３図はこの発明
による認元素検出用光学系を示す概略ブロック線図、８
１５ダ図はこの発明による３元素イずｌ出用光学系？示
す４なＬ略ブロック線図、第５図はこの発明を実１ｊＮ
しているコ元累検出装置のブロック線図、第に図は第Ｓ
図による装置での両足結果を示すグラフである。 図中、１１．Ａ、／／、Ｂ：光源、乙：光ファイノ々、
！？：元紫検出部。 第１図 第２図 第３図 Ａ
Claims (1)
- それぞれ波長の異なる光を放射する複数個の光源を用い
て複数個の元素ｋｌｌＪＪ時に検出する多元素検出用光
学系において、複数個の光源からの波長の鼓なる光を重
ね合わせて元素検出部へ導く光ファイバを設け、上記複
数個の光源からの光音光ファイバの受光端面に固有の立
体角内で入射する工９にｈｉ成したこと（！−特徴とす
る多元素検出用光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8759683A JPS59214734A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 多元素検出用光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8759683A JPS59214734A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 多元素検出用光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59214734A true JPS59214734A (ja) | 1984-12-04 |
Family
ID=13919373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8759683A Pending JPS59214734A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 多元素検出用光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59214734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003085457A1 (fr) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Tete d'exposition, dispositif d'exposition et utilisation |
| JP2006032812A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Yokogawa Electric Corp | 光源装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57101999A (en) * | 1980-10-21 | 1982-06-24 | Asea Ab | Optical fiber measuring apparatus |
| JPS57196165A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Iwatsu Electric Co Ltd | Light intensity modulation measuring device |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP8759683A patent/JPS59214734A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57101999A (en) * | 1980-10-21 | 1982-06-24 | Asea Ab | Optical fiber measuring apparatus |
| JPS57196165A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Iwatsu Electric Co Ltd | Light intensity modulation measuring device |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003085457A1 (fr) * | 2002-04-10 | 2003-10-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Tete d'exposition, dispositif d'exposition et utilisation |
| US6894712B2 (en) | 2002-04-10 | 2005-05-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7015488B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-03-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7048528B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-05-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7079169B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-07-18 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| US7077972B2 (en) | 2002-04-10 | 2006-07-18 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Exposure head, exposure apparatus, and application thereof |
| JP2006032812A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Yokogawa Electric Corp | 光源装置 |
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