JPS59210306A - 膜厚測定方法 - Google Patents
膜厚測定方法Info
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- JPS59210306A JPS59210306A JP8411883A JP8411883A JPS59210306A JP S59210306 A JPS59210306 A JP S59210306A JP 8411883 A JP8411883 A JP 8411883A JP 8411883 A JP8411883 A JP 8411883A JP S59210306 A JPS59210306 A JP S59210306A
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- Japan
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- mirror
- film thickness
- sample
- prism
- infrared
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物体（例えば紙、金属、布、革等）の表面に塗
布された透明薄膜材（例えばニス。
布された透明薄膜材（例えばニス。
ペイント、ワニス、ラッカー等）の膜厚を測定する膜厚
測定方法に関する。
測定方法に関する。
一般に透明薄膜材例えば水性ニスを印刷用紙に固形物換
算で５μｍ以下に薄く塗布した場合、塗布された水性ニ
スの膜厚を測定する方法としては、以下の方法がある。
算で５μｍ以下に薄く塗布した場合、塗布された水性ニ
スの膜厚を測定する方法としては、以下の方法がある。
（■）：水性ニスの使用量からニス膜厚を測駕する方法
。
。
ω）二重量法で求める方法。
（ｍニドレーザ法で求める方法。
□□□：ガスクロマトグラフ法で求める方法。
（Ｖ）；透過式赤外分光光度計法で求める方法。
（１）の場合には、ニスの使用量と塗布面積から求める
にはニス膜厚が薄膜であるため大痺の用紙を必要とし不
経済であυ誤差も大きい。（Ｉｆ）はニス塗布前後の用
紙の重量全測定しその重量差から膜厚を求める方法であ
るが薄膜であるので重量差は小さく、用紙の坪量変動、
用紙の吸湿度笠により誤差が生じ易く、また測定精度を
向上させる為には測定回数を増大させる必要がありその
結果測定に長時間を要してしまう。（ＩＩＩ）は例えば
水性ニスに赤色染料等を添加し、塗布後赤色染料を抽出
しその赤色濃度から求める方法であるが、操作が煩雑で
分析に長時間全装する。
にはニス膜厚が薄膜であるため大痺の用紙を必要とし不
経済であυ誤差も大きい。（Ｉｆ）はニス塗布前後の用
紙の重量全測定しその重量差から膜厚を求める方法であ
るが薄膜であるので重量差は小さく、用紙の坪量変動、
用紙の吸湿度笠により誤差が生じ易く、また測定精度を
向上させる為には測定回数を増大させる必要がありその
結果測定に長時間を要してしまう。（ＩＩＩ）は例えば
水性ニスに赤色染料等を添加し、塗布後赤色染料を抽出
しその赤色濃度から求める方法であるが、操作が煩雑で
分析に長時間全装する。
ＱＶＩの場合には水性ニス成分と用紙成分の検出ピーク
が合致するものが多く、ニスが微量である為誤差が生じ
易い。さらに（■ば、水性ニスを塗布したザンプルから
ニスを抽出し測定する方法であるが、用紙から抽出され
たものとニスからの検出ピークが合致したシ抽出が不完
全であることがらシ、誤差を生じ易い。
が合致するものが多く、ニスが微量である為誤差が生じ
易い。さらに（■ば、水性ニスを塗布したザンプルから
ニスを抽出し測定する方法であるが、用紙から抽出され
たものとニスからの検出ピークが合致したシ抽出が不完
全であることがらシ、誤差を生じ易い。
このように水性ニスの膜厚を測定する方法としては最適
なものがないのが現状である。−万枚葉印刷機において
インラインで印刷後水性ニスを塗布することは、裏移り
の防止、板取ｐ不要、艶出し効果等の点で例えば厚紙印
刷物用に実用化されつつあシ、その際アクリル樹脂のエ
マルジョンを主成分とする水性ニスは高価であることか
らできる限り薄く途布して性能を満足させなければなら
ず、その為には簡単な方法で精度よくニス膜厚を測定す
る必要があり取扱いが容易で短時間の内に精度よくニス
鏑膜厚を測定する方法が要求されている。
なものがないのが現状である。−万枚葉印刷機において
インラインで印刷後水性ニスを塗布することは、裏移り
の防止、板取ｐ不要、艶出し効果等の点で例えば厚紙印
刷物用に実用化されつつあシ、その際アクリル樹脂のエ
マルジョンを主成分とする水性ニスは高価であることか
らできる限り薄く途布して性能を満足させなければなら
ず、その為には簡単な方法で精度よくニス膜厚を測定す
る必要があり取扱いが容易で短時間の内に精度よくニス
鏑膜厚を測定する方法が要求されている。
本発明は以上の点にもとづいてなされたものでその目的
とするところは、取扱いが容易で短時間の内に精度よく
ニス塗布膜厚を測定するととが可能な膜厚測定方法を提
供することにめる。
とするところは、取扱いが容易で短時間の内に精度よく
ニス塗布膜厚を測定するととが可能な膜厚測定方法を提
供することにめる。
すなわち本発明による膜厚測定方法は、物体の表面に塗
布された透明薄膜材の厚さを測定する膜厚測定方法にお
いて、光学的に対置せられた赤外線発光体と回折格子と
の間に物体を置き、この物体の表面にプリズムを密着さ
せて赤外線を多重全反射させ、その反射光を上記回折格
子に導入して薄膜材の厚さを求める構成である。
布された透明薄膜材の厚さを測定する膜厚測定方法にお
いて、光学的に対置せられた赤外線発光体と回折格子と
の間に物体を置き、この物体の表面にプリズムを密着さ
せて赤外線を多重全反射させ、その反射光を上記回折格
子に導入して薄膜材の厚さを求める構成である。
し７こがって赤外線発光体からの赤外線をプリズムによ
り多重反射させているので赤外線強度変化を大きくする
ことができ水性ニスの骨が微量である場合にも精度よく
その膜厚を測定することができ、また操作も簡単で測定
に要する時間も大巾に短縮される。
り多重反射させているので赤外線強度変化を大きくする
ことができ水性ニスの骨が微量である場合にも精度よく
その膜厚を測定することができ、また操作も簡単で測定
に要する時間も大巾に短縮される。
以下第１図ないし第３図を参照して本発明の一実施例を
説明する。第１図は赤外分光光度計の光学計の一例を示
−す図である。すなわち光源ＳＯよシの赤外線が平面鏡
Ｍ１−１ ＋ Ｍｌ−２の２方回に同って進み、一方の
光は凹面鏡Ｍ２−１ ＋標準セルＲ２平面鏡開３−１１
Ｍ４−１回面鏡Ｍ５ 、平面鏡Ｍ６ｔ−介してモノク
ロメータの入口スリットＳ１に像を結ぶ。
説明する。第１図は赤外分光光度計の光学計の一例を示
−す図である。すなわち光源ＳＯよシの赤外線が平面鏡
Ｍ１−１ ＋ Ｍｌ−２の２方回に同って進み、一方の
光は凹面鏡Ｍ２−１ ＋標準セルＲ２平面鏡開３−１１
Ｍ４−１回面鏡Ｍ５ 、平面鏡Ｍ６ｔ−介してモノク
ロメータの入口スリットＳ１に像を結ぶ。
これが補償光路側である。他方の元は凹面鏡Ｍ２−２
、試料Ｓ、平面鏡Ｍ３−２ 、セクター鏡Ｎｔ４−２゜
凹面鏡Ｍ５ 、平面鏡Ｍ６を介して入ロスリッ）８４に
入る。これが試料光路側である。これら２光線はセクタ
ー鏡Ｍ４−２の回転（１，３Ｈｚ）によって交互にモノ
クロメータに入シ、放物面鏡Ｍ７ 、回折格子Ｇ、放物
面＠Ｍ７．平面鏡Ｍ８を介して単色赤外線となシ、出口
スリットＳ２に像全結ぶ。そして干渉フィルタＦによっ
て一次光のみを取出し、平面鏡Ｍ９を通って楕円平面鏡
ＭＩＱで集光されて検出器Ｔ、Ｃに収束する。このよう
にして交互に検出器Ｔ、Ｃにあたった２光線の間に強度
の差があるときは検出器Ｔ、Ｃに電気的変化が交流的に
生じ、この信号が増巾式れてペンドライブモータを動か
すようになっている。上記ペンドライブモータは一方で
減光器Ｗと連動して補償光路側の光量ヲ変化きせ試料光
路側の光と同じ強度まで加減し検出器Ｔ、Ｃの電気的変
化をなくすと同時に、一方は記録用ペンと連動してつシ
合うまでに動かした減光器Ｗの絞りすなわち吸収率を透
過率目盛として記録する。このような作動を波長を連続
的に変化させながら行なう工夫もされており、レコーダ
上において波数目盛もしくは波長目盛で直線的になるよ
うにしている。また光源の赤外線強度は、波長によシ相
当の差があるので、常に一定した強度の光線全送り込む
目的でスリット巾が波長葦たは波数に対して適当に調節
されるようになっている。
、試料Ｓ、平面鏡Ｍ３−２ 、セクター鏡Ｎｔ４−２゜
凹面鏡Ｍ５ 、平面鏡Ｍ６を介して入ロスリッ）８４に
入る。これが試料光路側である。これら２光線はセクタ
ー鏡Ｍ４−２の回転（１，３Ｈｚ）によって交互にモノ
クロメータに入シ、放物面鏡Ｍ７ 、回折格子Ｇ、放物
面＠Ｍ７．平面鏡Ｍ８を介して単色赤外線となシ、出口
スリットＳ２に像全結ぶ。そして干渉フィルタＦによっ
て一次光のみを取出し、平面鏡Ｍ９を通って楕円平面鏡
ＭＩＱで集光されて検出器Ｔ、Ｃに収束する。このよう
にして交互に検出器Ｔ、Ｃにあたった２光線の間に強度
の差があるときは検出器Ｔ、Ｃに電気的変化が交流的に
生じ、この信号が増巾式れてペンドライブモータを動か
すようになっている。上記ペンドライブモータは一方で
減光器Ｗと連動して補償光路側の光量ヲ変化きせ試料光
路側の光と同じ強度まで加減し検出器Ｔ、Ｃの電気的変
化をなくすと同時に、一方は記録用ペンと連動してつシ
合うまでに動かした減光器Ｗの絞りすなわち吸収率を透
過率目盛として記録する。このような作動を波長を連続
的に変化させながら行なう工夫もされており、レコーダ
上において波数目盛もしくは波長目盛で直線的になるよ
うにしている。また光源の赤外線強度は、波長によシ相
当の差があるので、常に一定した強度の光線全送り込む
目的でスリット巾が波長葦たは波数に対して適当に調節
されるようになっている。
次に第２図を参照して多重型赤外全反射吸収スペクトル
装置の光学系の１例を示す。この装置は前述した赤外分
光光度計の試料部分（第１図中符号Ｓで示す部分）に設
置される。図中符号Ｍ１１〜Ｍ１４ ｔＩｉ鏡でめｉ）
Ｐはプリズムを示す。このプリズムＰの下面側には第３
図に示すように試料ｌが密着して設置される。この全反
射吸収スペクトル装態により多重（例えば９回）全反射
を行なわせる構成である。これは塗布される水性ニスは
薄膜であり微量しか存在しない為に１回の反射では赤外
線強度に微少変化しかりらわれず測定不能または誤差が
大きくなってしまう０そこで前述した全反射スペクトル
装置によシ多重反射させて強度変化を大きくし測定精囲
の向上を図る構成である。
装置の光学系の１例を示す。この装置は前述した赤外分
光光度計の試料部分（第１図中符号Ｓで示す部分）に設
置される。図中符号Ｍ１１〜Ｍ１４ ｔＩｉ鏡でめｉ）
Ｐはプリズムを示す。このプリズムＰの下面側には第３
図に示すように試料ｌが密着して設置される。この全反
射吸収スペクトル装態により多重（例えば９回）全反射
を行なわせる構成である。これは塗布される水性ニスは
薄膜であり微量しか存在しない為に１回の反射では赤外
線強度に微少変化しかりらわれず測定不能または誤差が
大きくなってしまう０そこで前述した全反射スペクトル
装置によシ多重反射させて強度変化を大きくし測定精囲
の向上を図る構成である。
次に試料ｌのプリズムＰへの密着方法について第４図全
参照して説明する。図中符号２人。
参照して説明する。図中符号２人。
２Ｂはそれぞれ上部ホルダ板および下部ホルダ板を示す
。この上部ホルダ板２Ａおよび下部ホルダ板２Ｂ間には
上部バッキング３Ａおまひ下部／？ッ１キング３Ｂを介
して下面側に試料１”ｚ密着したプリズムＰが介挿され
ておシ固定用ねじ４および５により固定されている。ｉ
４ッキング３ Ａ 、 、９ Ｂを介挿させたのはプリ
ズムＰを保護する為である。またバッキング３に、３Ｂ
は約ｆｅｎの厚紙をアルミホイルで包んだ構成となって
おシ、アルミホイルで包んだのは赤外線の吸収を抑制す
る為である。なお図中符号６は倒れ補正用ねじを示す。
。この上部ホルダ板２Ａおよび下部ホルダ板２Ｂ間には
上部バッキング３Ａおまひ下部／？ッ１キング３Ｂを介
して下面側に試料１”ｚ密着したプリズムＰが介挿され
ておシ固定用ねじ４および５により固定されている。ｉ
４ッキング３ Ａ 、 、９ Ｂを介挿させたのはプリ
ズムＰを保護する為である。またバッキング３に、３Ｂ
は約ｆｅｎの厚紙をアルミホイルで包んだ構成となって
おシ、アルミホイルで包んだのは赤外線の吸収を抑制す
る為である。なお図中符号６は倒れ補正用ねじを示す。
以上の宿成金もとに作用を説明する。まずコート紙の吸
収スペクトル測定例（測定例−１）を示す。赤外分光光
度計としては日本分光工業株式会社製Ａ２０２型全使用
し、赤外全反射吸収スペクトル装置としては日本分光工
業株式会だ。赤外分光光度計の操作条件としては（１）
ＷＡＶＥＮＵＭＢＥＲＥＸＰＡＮＤＥＲＸ １（２
） ５ＣＡＬＥ ＥＸＰＡＮＩ）ＥＲＸ
２（３） ５ＣＡＮＮＩＮＧ ＴＩＭＥ
１２分（４） ＧＡＩＮ
２．８（５） ＢＡＬＡＮＣＥ
４である。
収スペクトル測定例（測定例−１）を示す。赤外分光光
度計としては日本分光工業株式会社製Ａ２０２型全使用
し、赤外全反射吸収スペクトル装置としては日本分光工
業株式会だ。赤外分光光度計の操作条件としては（１）
ＷＡＶＥＮＵＭＢＥＲＥＸＰＡＮＤＥＲＸ １（２
） ５ＣＡＬＥ ＥＸＰＡＮＩ）ＥＲＸ
２（３） ５ＣＡＮＮＩＮＧ ＴＩＭＥ
１２分（４） ＧＡＩＮ
２．８（５） ＢＡＬＡＮＣＥ
４である。
赤外全反射吸収スペクトル装置の操作条件としては
（１）プリズムの入射角度 ４５゜（２）７υ
リズム材質 ＫＲ８−５なお測定試料ｌのセ
ット方法は前記第４図に示す通シである。以上の各条件
のもとに測定した結果を第５図に示す〇 次にコート紙に水性ニスを膜厚全種々変えて塗布した場
合の赤外線吸収スペクトル測定例（測定例−２）を示す
。使用した赤外分光光度計、赤外全反射吸収スペクトル
装置およびコート紙はいずれも前記測定例−１の場合と
同様であシ、また赤外分光光度計および赤外全反射吸収
スペクトル装置の４ψ作条件も測定例−１の場合と同じ
である。以上の条件のもとに測定した結果の１例を第６
図に示す。
リズム材質 ＫＲ８−５なお測定試料ｌのセ
ット方法は前記第４図に示す通シである。以上の各条件
のもとに測定した結果を第５図に示す〇 次にコート紙に水性ニスを膜厚全種々変えて塗布した場
合の赤外線吸収スペクトル測定例（測定例−２）を示す
。使用した赤外分光光度計、赤外全反射吸収スペクトル
装置およびコート紙はいずれも前記測定例−１の場合と
同様であシ、また赤外分光光度計および赤外全反射吸収
スペクトル装置の４ψ作条件も測定例−１の場合と同じ
である。以上の条件のもとに測定した結果の１例を第６
図に示す。
次に第６図に示す測定結果をもとに水性ニス塗布膜厚と
吸光度の関係全考察する。塗布膜厚の異なるサンプルの
吸収スペクトルを測定し、最も吸収の大きい波数１７２
５ｃｒｎ’における吸光度を次式により求めた。
吸光度の関係全考察する。塗布膜厚の異なるサンプルの
吸収スペクトルを測定し、最も吸収の大きい波数１７２
５ｃｒｎ’における吸光度を次式により求めた。
Ｏ
吸光度＝Ｌｏｇ−（ロ）
才ず前記第５図から波数１７２５ ｃｍ−’における吸
光度を求めると Ｉｏ １４４ 吸光度＝ Ｌｏｇ−＝ ｔａｇ −＝ ０．０１９Ｉ
１３８ となシこの値はニス膜厚がＯ（μｍ）の吸光度といりこ
とになる。次にニスを塗布した場合例えば第６図の場合
について波数１７２５ｚ−’における吸光度を求めると となる。以下同様に各膜厚における吸光度を求めて表−
１に示すような結果を得ることができた。
光度を求めると Ｉｏ １４４ 吸光度＝ Ｌｏｇ−＝ ｔａｇ −＝ ０．０１９Ｉ
１３８ となシこの値はニス膜厚がＯ（μｍ）の吸光度といりこ
とになる。次にニスを塗布した場合例えば第６図の場合
について波数１７２５ｚ−’における吸光度を求めると となる。以下同様に各膜厚における吸光度を求めて表−
１に示すような結果を得ることができた。
表−１
表−１においてニス膜厚はニス塗布前後の重量差全測定
した後計算によシ算出した。次に水性ニスを塗布してい
ないコート紙の吸光度を補正したものとニス膜厚との関
係の検量線（Ｙ＝０、２８４ Ｘ ） ’ｅ算出しそれ
を第７図に示す◎したがって以後吸光度を算出すること
によシ・第７図に示す検量線からニス膜厚を求めること
ができる。そして１つの試料につき試料の切断調整から
測定、膜厚計算に至るまで約５分程度の時間で行なうこ
とができ、短時間の内に精度よく微量の水性ニス塗布膜
厚を求めることが可能となる。
した後計算によシ算出した。次に水性ニスを塗布してい
ないコート紙の吸光度を補正したものとニス膜厚との関
係の検量線（Ｙ＝０、２８４ Ｘ ） ’ｅ算出しそれ
を第７図に示す◎したがって以後吸光度を算出すること
によシ・第７図に示す検量線からニス膜厚を求めること
ができる。そして１つの試料につき試料の切断調整から
測定、膜厚計算に至るまで約５分程度の時間で行なうこ
とができ、短時間の内に精度よく微量の水性ニス塗布膜
厚を求めることが可能となる。
以上本実施例による膜厚測定方法によると、赤外全反射
吸収スペクトル装置によシ多重（本実施例では９回）全
反射を行なわせて赤外線強度化を大きくしているので微
量の水性ニス塗布の場合でもその塗布膜厚を精度よく算
出することができる。そして操作も簡単であり、また塗
布試料の切断調整、試料のセット、測定および膜厚計算
に到る迄に要する時間は試料１箇に付き約５分以内です
み、測定時間を大巾に短縮することができる。
吸収スペクトル装置によシ多重（本実施例では９回）全
反射を行なわせて赤外線強度化を大きくしているので微
量の水性ニス塗布の場合でもその塗布膜厚を精度よく算
出することができる。そして操作も簡単であり、また塗
布試料の切断調整、試料のセット、測定および膜厚計算
に到る迄に要する時間は試料１箇に付き約５分以内です
み、測定時間を大巾に短縮することができる。
以上詳述したように本発明にょる膜厚測定方法は、物体
の表面に塗布された透明薄膜材の厚さ全測定する膜厚測
定方法において、光学的に対置せられた赤外線発光体り
回折格子との間に物体を置き、この物体の表面にプリズ
ムを密着させて赤外線を多重全反射させ、その反射光を
上記回折格子に導入して薄膜材の厚さを求めるイ１ｑ成
である。
の表面に塗布された透明薄膜材の厚さ全測定する膜厚測
定方法において、光学的に対置せられた赤外線発光体り
回折格子との間に物体を置き、この物体の表面にプリズ
ムを密着させて赤外線を多重全反射させ、その反射光を
上記回折格子に導入して薄膜材の厚さを求めるイ１ｑ成
である。
したがって赤外線発光体からの赤外腺ヲプリズムにより
多重反射させているので赤外線強度変化を大きくするこ
とができ水性ニスの量が微量である場合にも精度よくそ
の膜厚を測定することができ、また操作も簡単で測定に
髪する時間も大巾に短縮される等その効果は犬である。
多重反射させているので赤外線強度変化を大きくするこ
とができ水性ニスの量が微量である場合にも精度よくそ
の膜厚を測定することができ、また操作も簡単で測定に
髪する時間も大巾に短縮される等その効果は犬である。
第１図ないし第７図は本発明の一実施例を示す図で、第
１図は赤外線強度化の光学系の構成を示す図、第２図は
多重型赤外全反射スペクトル装置の光学系の構成を示す
図、第３図はプリズムにおける多重反射全示す図、第４
図はプリズムおよび試料の固定方法を示す図、輿５図は
水性ニスを塗布しないコート紙の吸収スペクトル測定結
果を示す図、第６図は水性ニス全塗布したコート紙の吸
収スペクトル測定結果を示す図、第７図はニス膜厚と吸
光度との関係金示す図である。 ＳＯ・・・光源（赤外線発光体）、Ｇ・・・回折格子、
Ｐ・・・プリズム、ノ・・・測定試料（物体）。 出願人代理人 弁理士 釣 江 武 彦第１図 Ｍ５ 第２図 第３図
１図は赤外線強度化の光学系の構成を示す図、第２図は
多重型赤外全反射スペクトル装置の光学系の構成を示す
図、第３図はプリズムにおける多重反射全示す図、第４
図はプリズムおよび試料の固定方法を示す図、輿５図は
水性ニスを塗布しないコート紙の吸収スペクトル測定結
果を示す図、第６図は水性ニス全塗布したコート紙の吸
収スペクトル測定結果を示す図、第７図はニス膜厚と吸
光度との関係金示す図である。 ＳＯ・・・光源（赤外線発光体）、Ｇ・・・回折格子、
Ｐ・・・プリズム、ノ・・・測定試料（物体）。 出願人代理人 弁理士 釣 江 武 彦第１図 Ｍ５ 第２図 第３図
Claims (1)
- 物体の表面に塗布された透明薄膜材の厚さを測定する膜
厚測定方法において、光学的に対置させられた赤外線発
光体と回折格子との間に物体を置き、この物体の表面に
プリズムを密着させて赤外線ケ多重全反射させ、その反
射光を上記回折格子に導入して薄膜材の厚さを求めるこ
とを特徴とする膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8411883A JPS59210306A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8411883A JPS59210306A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59210306A true JPS59210306A (ja) | 1984-11-29 |
Family
ID=13821599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8411883A Pending JPS59210306A (ja) | 1983-05-16 | 1983-05-16 | 膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59210306A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712523A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-17 | Res Dev Corp Of Japan | 膜厚・屈折率の高感度色差観察法 |
-
1983
- 1983-05-16 JP JP8411883A patent/JPS59210306A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712523A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-17 | Res Dev Corp Of Japan | 膜厚・屈折率の高感度色差観察法 |
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