JPS5920841A - 「けい」光ｘ線分析方法 - Google Patents
「けい」光ｘ線分析方法Info
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- JPS5920841A JPS5920841A JP13240082A JP13240082A JPS5920841A JP S5920841 A JPS5920841 A JP S5920841A JP 13240082 A JP13240082 A JP 13240082A JP 13240082 A JP13240082 A JP 13240082A JP S5920841 A JPS5920841 A JP S5920841A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
木発りｊは、ガラスビード法による鉄分定量のための蛍
光Ｘ線分析方法に関するものである。
光Ｘ線分析方法に関するものである。
近時、鉄鋼業界においては鉄鉱石、焼結鉱の分析法とし
てガラスビード法が用いられている。この方法は、鉄磁
石などの酸化物をＮａ２Ｂ４０７（無水はう酸ナトリウ
ム）又はＬ １２Ｂ４０ｙ （無水はう酸リチウム）な
どと共に融解してガラスビーＦ′（１１−作成し、その
ビードを蛍光Ｘ線分析装＠により分析する方法である。
てガラスビード法が用いられている。この方法は、鉄磁
石などの酸化物をＮａ２Ｂ４０７（無水はう酸ナトリウ
ム）又はＬ １２Ｂ４０ｙ （無水はう酸リチウム）な
どと共に融解してガラスビーＦ′（１１−作成し、その
ビードを蛍光Ｘ線分析装＠により分析する方法である。
このガラスビード法は、０［Ｊ述のようにして作成され
るガラスビードにＸ線全照射してガラスビードから発生
する名元素の蛍光Ｘ線強度を測定し、その強度と含有率
の関係を標１（ｋ、試別よシ求め、以下に述べるような
補正を行って特定元素、つまり鉄分を定量するものであ
る。試着ｉ中に鉄以外の共存不純物ｊが含まれている場
合の補正子］△ 値Ｗ１ま、従来ｆｌ１式によって算出されていた。
るガラスビードにＸ線全照射してガラスビードから発生
する名元素の蛍光Ｘ線強度を測定し、その強度と含有率
の関係を標１（ｋ、試別よシ求め、以下に述べるような
補正を行って特定元素、つまり鉄分を定量するものであ
る。試着ｉ中に鉄以外の共存不純物ｊが含まれている場
合の補正子］△ 値Ｗ１ま、従来ｆｌ１式によって算出されていた。
Ｗ＝Ｘ（１＋す”ｄｊＷｊ） ・・ｔ＋＋
但し Ｘ：読収定紙値 ｄｊ：共存不純物ｊの補正係数 Ｗｊ：共存不純物ｊの含有率 りころで上記ｆｌＪ式で補正されるｆｒｌ ）よ、鉄鉱
石に含まれている不純物のうち蛍光Ｘ線で測定が＋＋Ｊ
能なＡｌ２Ｏ３，Ｃａｂ、 ５ｉｎ２及びＰなどであり
、酸化鉄などのように鉄と結合している酸素及び鉄鉱石
中の化合水については通常の蛍光Ｘ線分析では測定する
ことが出来ない。従って、従来よ＃）使用されている上
記（１）式での補正定量値は、その正確さにおいて問題
があった。
但し Ｘ：読収定紙値 ｄｊ：共存不純物ｊの補正係数 Ｗｊ：共存不純物ｊの含有率 りころで上記ｆｌＪ式で補正されるｆｒｌ ）よ、鉄鉱
石に含まれている不純物のうち蛍光Ｘ線で測定が＋＋Ｊ
能なＡｌ２Ｏ３，Ｃａｂ、 ５ｉｎ２及びＰなどであり
、酸化鉄などのように鉄と結合している酸素及び鉄鉱石
中の化合水については通常の蛍光Ｘ線分析では測定する
ことが出来ない。従って、従来よ＃）使用されている上
記（１）式での補正定量値は、その正確さにおいて問題
があった。
本発明は、鉄と結合している酸素及び鉄鉱石中の化合水
が蛍光Ｘ線強度に及ぼす影響を、ガラスビード作成前後
の重量差と前述した（＋）式とを用いることで補正出来
ることを知見した。
が蛍光Ｘ線強度に及ぼす影響を、ガラスビード作成前後
の重量差と前述した（＋）式とを用いることで補正出来
ることを知見した。
本発明は斯かる知見に基いてなさｈたものであってその
目的とするところは、鉄と結合している酸素及び鉄鉱石
中の化合水の影響を考慮して、より正確なｆｌに、分定
量を可能とする蛍光Ｘ線分析方法を提供するにある。
目的とするところは、鉄と結合している酸素及び鉄鉱石
中の化合水の影響を考慮して、より正確なｆｌに、分定
量を可能とする蛍光Ｘ線分析方法を提供するにある。
本発明に係る蛍光Ｘ線分析方法Ｐｉ、ガラスビード法に
より鉄酸化物試料中の鉄分を定量する蛍光Ｘ線分析方法
において、ガラスビード砥石原料とカラスピード試別と
を秤量しし、それらの秤量値と、ガラスビード試料作成
に伴うガラスビード試料原料中の化合水の逸失及び酸素
のｊＱｔ加に起因するＸ線吸収琶の変化に基いて定めた
補正係数とに基き定量値の補正を行うことを特徴とする
。
より鉄酸化物試料中の鉄分を定量する蛍光Ｘ線分析方法
において、ガラスビード砥石原料とカラスピード試別と
を秤量しし、それらの秤量値と、ガラスビード試料作成
に伴うガラスビード試料原料中の化合水の逸失及び酸素
のｊＱｔ加に起因するＸ線吸収琶の変化に基いて定めた
補正係数とに基き定量値の補正を行うことを特徴とする
。
先ず木発す」の原理について説明する。ガラスビード法
においては、蛍光Ｘ線分析のｉｌｌ、１１定対象物とな
るガラスビードの作成時の加熱温度が１．０００〜１１
００℃となるために、鉄鉱石中の化合水が逸失すると共
に鉄鉱石中の酸化鉄がさらに酸化さり１、Ｆｅ３０１が
Ｆｅ２Ｏ３に変化することによって酸素が増加すること
になる。これら化合水の逸失及び酸素の増加が鉄の蛍光
Ｘ線強度測定値Ｉ ＫＶＯ及１πす影Ｆｅ α ここで、（２）式中のＱＦｃＫＰ）に、波長λの照射Ｘ
線による鉄のＸ線の励起効率であって下記（３）式で表
わされる。
においては、蛍光Ｘ線分析のｉｌｌ、１１定対象物とな
るガラスビードの作成時の加熱温度が１．０００〜１１
００℃となるために、鉄鉱石中の化合水が逸失すると共
に鉄鉱石中の酸化鉄がさらに酸化さり１、Ｆｅ３０１が
Ｆｅ２Ｏ３に変化することによって酸素が増加すること
になる。これら化合水の逸失及び酸素の増加が鉄の蛍光
Ｘ線強度測定値Ｉ ＫＶＯ及１πす影Ｆｅ α ここで、（２）式中のＱＦｃＫＰ）に、波長λの照射Ｘ
線による鉄のＸ線の励起効率であって下記（３）式で表
わされる。
似し、φ、ψ：照射Ｘ線及び蛍光Ｘ線が試ＰＩ表ＩＩＩ
Ｖとなす角 λｍ＝照射Ｘ線の最短波長 λ貰ｅ：Ｆｅのに１汲収端波長 汐ネ波長人に対するガラスビードの質 ρ 量吸収係数 吸収係数 ＷＦ：Ｆｅの含有率 ωＦ：Ｆｅの蛍光収率 ＲＦｅｒＣｏ：１（系列での強度比 Ｉ（Ｆ：Ｆｅの吸収端における吸収ジャンプの割合 そしてＦｅ−０系試料の検量線を基ｉト検量線として、
前述した（２）式より化合水が逸失した場合及び酸素が
増加した場合の夫々についての補正係＆ｄｃｗ、ｄ。
Ｖとなす角 λｍ＝照射Ｘ線の最短波長 λ貰ｅ：Ｆｅのに１汲収端波長 汐ネ波長人に対するガラスビードの質 ρ 量吸収係数 吸収係数 ＷＦ：Ｆｅの含有率 ωＦ：Ｆｅの蛍光収率 ＲＦｅｒＣｏ：１（系列での強度比 Ｉ（Ｆ：Ｆｅの吸収端における吸収ジャンプの割合 そしてＦｅ−０系試料の検量線を基ｉト検量線として、
前述した（２）式より化合水が逸失した場合及び酸素が
増加した場合の夫々についての補正係＆ｄｃｗ、ｄ。
を（２）式のＩ の変ロシＪ量よυ算出する。こｈら
補ＦｅＫヶ 正係数ｄｃｗ、ｄｏの絶対値は後述するような理由によ
り略等しいものであるから、ｎｉＪ 記ｉ１）式中の共
存不純物ｊについての補正係数項う”ｄｊＷｊのうち、
化合水の逸失及び酸素の増加に対する補正量をガラスビ
ード作成前後の重量差から算出することができ、従って
鉄分の定量が可能となる。
補ＦｅＫヶ 正係数ｄｃｗ、ｄｏの絶対値は後述するような理由によ
り略等しいものであるから、ｎｉＪ 記ｉ１）式中の共
存不純物ｊについての補正係数項う”ｄｊＷｊのうち、
化合水の逸失及び酸素の増加に対する補正量をガラスビ
ード作成前後の重量差から算出することができ、従って
鉄分の定量が可能となる。
さて、化合水（１１，０）が逸失したときはその１４２
０分に相当するＸ線の吸収が失われ、また酸素が増加し
たときはその」９１加分の酸素に相当するＸ線の吸収が
加わることになる。この場合、■Ｉ２０によるＸ線の吸
収量と０によるＸ線の吸収量については、１１．０中の
■１□による吸収量が０による吸収量に比較してほとん
ど無視出来る程度に微量であるために、両者のＸ線の吸
収量、け略等しくなり、前記（２）式から算出される補
正係￥’ｆ、 ｄｃｗ、ｄｏの絶対値は略等しくなる。
０分に相当するＸ線の吸収が失われ、また酸素が増加し
たときはその」９１加分の酸素に相当するＸ線の吸収が
加わることになる。この場合、■Ｉ２０によるＸ線の吸
収量と０によるＸ線の吸収量については、１１．０中の
■１□による吸収量が０による吸収量に比較してほとん
ど無視出来る程度に微量であるために、両者のＸ線の吸
収量、け略等しくなり、前記（２）式から算出される補
正係￥’ｆ、 ｄｃｗ、ｄｏの絶対値は略等しくなる。
即ち、化合水の逸失量を−Ｗｃｗ、酸素の増加量を＋Ｗ
ｏで表わせば、前記ｆｌ１式の補正係数項のうち化合水
の逸失及び酸素の増加についての補正係数項は ｄｃｗ ＊ ＸＶｃｖｔ ＋ ｄｏ ＊ Ｗｏ≠ｄｃｗ
（Ｗｏ −Ｗｃｖｖ ） −（４）となり、カ
ラスビーＦ作成前後の重量差を秤量することで化合水の
逸失及び酸素の増加に対する補正量を算出できることに
なる。
ｏで表わせば、前記ｆｌ１式の補正係数項のうち化合水
の逸失及び酸素の増加についての補正係数項は ｄｃｗ ＊ ＸＶｃｖｔ ＋ ｄｏ ＊ Ｗｏ≠ｄｃｗ
（Ｗｏ −Ｗｃｖｖ ） −（４）となり、カ
ラスビーＦ作成前後の重量差を秤量することで化合水の
逸失及び酸素の増加に対する補正量を算出できることに
なる。
以上詳述したことをその実験結果に基きり」らかにする
。試料としては化合水の含有率： ０．０６〜８．２０
係（重量俤、以下同じ）、酸化鉄の含有率二０．２３〜
２３．５俤、全鉄分：５８．２０〜６７．３１チである
鉄鉱石を使用した。この鉄鉱石０．５ｇと融剤となるＮ
ａ２Ｂ４Ｏ７５ｇとを９５チ白金−５％金のルンボに装
入し、これを電気炉の中で加熱温度１０５０℃の下で２
５分子ｆ、ｊ＋加熱してガラスビードを作成する。そし
て、該ガラスビードの蛍光Ｘ線を、多元素同時型の分析
袋＠を用いて測定した。測定条件は励起源のＸ線僧球と
してはＲｈ（ロジウム）ヲ用い、励起条件としての管電
圧−管電流ｒＪ：、 ４５ｋｖ −６０ｍＡとし測定時
間は４（）秒として、その強度をＡｒ （アルゴン）刺
入型比例計数管の検出器で測定した。
。試料としては化合水の含有率： ０．０６〜８．２０
係（重量俤、以下同じ）、酸化鉄の含有率二０．２３〜
２３．５俤、全鉄分：５８．２０〜６７．３１チである
鉄鉱石を使用した。この鉄鉱石０．５ｇと融剤となるＮ
ａ２Ｂ４Ｏ７５ｇとを９５チ白金−５％金のルンボに装
入し、これを電気炉の中で加熱温度１０５０℃の下で２
５分子ｆ、ｊ＋加熱してガラスビードを作成する。そし
て、該ガラスビードの蛍光Ｘ線を、多元素同時型の分析
袋＠を用いて測定した。測定条件は励起源のＸ線僧球と
してはＲｈ（ロジウム）ヲ用い、励起条件としての管電
圧−管電流ｒＪ：、 ４５ｋｖ −６０ｍＡとし測定時
間は４（）秒として、その強度をＡｒ （アルゴン）刺
入型比例計数管の検出器で測定した。
第１．２図は化合水が逸失した場合及び酸素が増加した
場合のＩ の］ｆｊｌＪ爪と晶１１へ検屯線となるＦ
ｅＦｅＫヶ 一〇先の夫々について、縦軸にＦｅＫヶの相対強度、横
ＩＰＩＩＩに試料中のＦｅの含有率をとって示したもの
である。第１図より、測定で得られたＦｅＫ、相対強度
が０．７１３の場合、化分水逸失系についてのＦｅ含有
率は６２．９俤であり、このときの店口許（炙ｎ１左♀
でのＦｅ含有率は６３．４％になることが分かる。これ
らのＦｅ含有率、即ち６２．９％及び６３．４チは前述
した［＋）式の△ Ｗ及びＸに４１」当するものであり、このときの補正係
数ｄ（ｗは−０，０？９々なった。同様にして第２図か
ら、酸素が増加した場合の補正係数ｄｏ＋Ｊ、＋０．０
７８となった。これより面補正係数ｄｃｗ、ｄｏの絶対
値けｌｄｃｗ Ｉ’Ｅ １ｄｏｌ＝ ０．ｏ７１３どな
るので、（４）式ｔｒｙ、’ ｄ ｃｗ ＠Ｗｃｗ 十
ｄｏ ＠Ｗｏ ’ｑ ０．０７８（Ｗｏ−Ｗｃｗ）とな
り、ガラスビーＦ作成前後の重量差金秤量することで化
合水の逸失及び酸素の増加に対する補正量を嫂−出でき
ることになる。従ってｔ＋）式において、補正定量値Ｗ
をＷ ＝ Ｘ （１＋寸’ｄｊｖｙｊ＋ ０．０７８
Ｗ’ ） ・・・（５）似し、）Ｖ′
ニガラスビード作成前後の重量増加量とすることで、化
合水の逸失及び酸素の増加の影響ヲ考唸した補正定量値
Ｗを算出することができる。第３図は本発明方法の実施
状＠を示す模式図である。
場合のＩ の］ｆｊｌＪ爪と晶１１へ検屯線となるＦ
ｅＦｅＫヶ 一〇先の夫々について、縦軸にＦｅＫヶの相対強度、横
ＩＰＩＩＩに試料中のＦｅの含有率をとって示したもの
である。第１図より、測定で得られたＦｅＫ、相対強度
が０．７１３の場合、化分水逸失系についてのＦｅ含有
率は６２．９俤であり、このときの店口許（炙ｎ１左♀
でのＦｅ含有率は６３．４％になることが分かる。これ
らのＦｅ含有率、即ち６２．９％及び６３．４チは前述
した［＋）式の△ Ｗ及びＸに４１」当するものであり、このときの補正係
数ｄ（ｗは−０，０？９々なった。同様にして第２図か
ら、酸素が増加した場合の補正係数ｄｏ＋Ｊ、＋０．０
７８となった。これより面補正係数ｄｃｗ、ｄｏの絶対
値けｌｄｃｗ Ｉ’Ｅ １ｄｏｌ＝ ０．ｏ７１３どな
るので、（４）式ｔｒｙ、’ ｄ ｃｗ ＠Ｗｃｗ 十
ｄｏ ＠Ｗｏ ’ｑ ０．０７８（Ｗｏ−Ｗｃｗ）とな
り、ガラスビーＦ作成前後の重量差金秤量することで化
合水の逸失及び酸素の増加に対する補正量を嫂−出でき
ることになる。従ってｔ＋）式において、補正定量値Ｗ
をＷ ＝ Ｘ （１＋寸’ｄｊｖｙｊ＋ ０．０７８
Ｗ’ ） ・・・（５）似し、）Ｖ′
ニガラスビード作成前後の重量増加量とすることで、化
合水の逸失及び酸素の増加の影響ヲ考唸した補正定量値
Ｗを算出することができる。第３図は本発明方法の実施
状＠を示す模式図である。
図において１０は電気炉、高周波炉等からなるガラスビ
ード融解炉であり、その融解炉１０の近傍には秤量器１
１ａ、ｆｌｂが配置されている。秤量器１１ａ−Ｉ：、
例静置した融解容器１２因に融剤及び鉄鉱石試料を装入
しそその重量Ｗ１を秤量し１、次に融解ＰＬＯ内に融剤
及び鉄鉱石試料を装入して適当な加熱手段で所定時間加
熱し、冷却後の重量Ｗ、を秤量器１１ｂで秤量して、こ
れらＷ、及びＷ、を演算器１４へ入力する。次に、融解
炉１０で作成されたガラスビードの鉄の蛍光Ｘ線強度全
公知の蛍光Ｘ線分析装置１３にて測定し、その測定値Ｘ
を演算器１４に入力する。演算器１４には、共存不純物
ｊについての補正係数ｄｊとそり、の含有率Ｗｊとの関
係、並びに前述した（５）式の個用式が予め入力さね、
ている。従って演算器１４嬬秤昂器１１ａ、ｌｌｂから
読込んだｗ、 、 ｗ。
ード融解炉であり、その融解炉１０の近傍には秤量器１
１ａ、ｆｌｂが配置されている。秤量器１１ａ−Ｉ：、
例静置した融解容器１２因に融剤及び鉄鉱石試料を装入
しそその重量Ｗ１を秤量し１、次に融解ＰＬＯ内に融剤
及び鉄鉱石試料を装入して適当な加熱手段で所定時間加
熱し、冷却後の重量Ｗ、を秤量器１１ｂで秤量して、こ
れらＷ、及びＷ、を演算器１４へ入力する。次に、融解
炉１０で作成されたガラスビードの鉄の蛍光Ｘ線強度全
公知の蛍光Ｘ線分析装置１３にて測定し、その測定値Ｘ
を演算器１４に入力する。演算器１４には、共存不純物
ｊについての補正係数ｄｊとそり、の含有率Ｗｊとの関
係、並びに前述した（５）式の個用式が予め入力さね、
ている。従って演算器１４嬬秤昂器１１ａ、ｌｌｂから
読込んだｗ、 、 ｗ。
の重量差、つ寸り（５）式のＷ′と予め入力されている
データに基いて演算を実行し、演算結果を表示器１５に
表示させる。
データに基いて演算を実行し、演算結果を表示器１５に
表示させる。
次に本発明の効果を、下記（６）式で定義されるσｄ（
ｆＤ）を用いて明らかにする。
ｆＤ）を用いて明らかにする。
似し、 Ｘ：定量値
Ｃ：化学分析値
ｎ：試料数
第１表はその結果を示している。
第１表
に
この表の最左梱の未補正は、不純物について何ら補正を
行っていないものである。補正を行った項目のうちで、
不純物：０．２８ｆ−Ｊ、従来より使用されているｆｌ
１式での補正を施し、たσｄ、不純物士化合本二０．２
１については化合水についてのみ補正を行った場合のσ
ｄを、また不純物＋化合水＋酸素： ０．１８Ｆ？ｃつ
いては化合水及び酸素の両方の補正を（６）式に基づい
て行った場合のσｄを夫々示している。この第１表より
、従来の（１）式で補正した場合に比較して本発す］に
係る（５）式で補正した場合の方が正？Ｍｌｉであるこ
とが分かる。
行っていないものである。補正を行った項目のうちで、
不純物：０．２８ｆ−Ｊ、従来より使用されているｆｌ
１式での補正を施し、たσｄ、不純物士化合本二０．２
１については化合水についてのみ補正を行った場合のσ
ｄを、また不純物＋化合水＋酸素： ０．１８Ｆ？ｃつ
いては化合水及び酸素の両方の補正を（６）式に基づい
て行った場合のσｄを夫々示している。この第１表より
、従来の（１）式で補正した場合に比較して本発す］に
係る（５）式で補正した場合の方が正？Ｍｌｉであるこ
とが分かる。
以上詳述した如く本発明による場合は、鉄鉱石または焼
結鉱などのガラスビーＦ法による鉄分定量精度を、化合
水の逸失及び酸素の増加についても考慮することによっ
て格段に向上させることができる。
結鉱などのガラスビーＦ法による鉄分定量精度を、化合
水の逸失及び酸素の増加についても考慮することによっ
て格段に向上させることができる。
第１，２図は鉄鉱石中の化合水が逸失した場合、酸素が
増加した場合及びＦｅ−０系の夫々についてのＦと相対
強度とＦｅ含有率についてのグラフであり、第３図は本
発明方法の実施状ｔｒｂを示す模式図である。 ｌＯ・・・融解炉 １１ａ、ｌｌｂ・・・秤量器 １３
・・・蛍光Ｘ線分析装置 １４・・・演算器 特 Ｗ「出 願 人 住友金属工業株式会社代理人
弁理士 河 野 登 夫 ６２ ６３ ６４Ｆｅ（６／
、） 第 １ 口 給 ２ 口 第３図
増加した場合及びＦｅ−０系の夫々についてのＦと相対
強度とＦｅ含有率についてのグラフであり、第３図は本
発明方法の実施状ｔｒｂを示す模式図である。 ｌＯ・・・融解炉 １１ａ、ｌｌｂ・・・秤量器 １３
・・・蛍光Ｘ線分析装置 １４・・・演算器 特 Ｗ「出 願 人 住友金属工業株式会社代理人
弁理士 河 野 登 夫 ６２ ６３ ６４Ｆｅ（６／
、） 第 １ 口 給 ２ 口 第３図
Claims (1)
- １、ガラスビード法により欽酸化物試別中の鉄分を定量
する蛍光Ｘ線分析方法において、ガラスビード試粕原刺
とカラスビードル（料とを秤量し、それらのイΦ量値と
、カラスピード試料作成に伴うガラスビード試別原刺中
の化合水の逸失及び酸素の増加に起因するＸ線ＩＦｔ収
に１の変化に基いて定めた補正係数とに基き定量値の補
正を行うことを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13240082A JPS5920841A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 「けい」光ｘ線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13240082A JPS5920841A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 「けい」光ｘ線分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5920841A true JPS5920841A (ja) | 1984-02-02 |
Family
ID=15080503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13240082A Pending JPS5920841A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 「けい」光ｘ線分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5920841A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05322810A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Rigaku Denki Kogyo Kk | ガラスビード法を用いた蛍光ｘ線分析方法 |
| KR100489293B1 (ko) * | 2002-08-22 | 2005-05-17 | 주식회사 포스코 | 방사광 엑스선을 이용한 소결광 환원분화의 실시간 해석방법 |
| JP2011089952A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Rigaku Corp | 蛍光ｘ線分析装置 |
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