JPS59198333A - 静電容量形圧力センサ - Google Patents
静電容量形圧力センサInfo
- Publication number
- JPS59198333A JPS59198333A JP7442283A JP7442283A JPS59198333A JP S59198333 A JPS59198333 A JP S59198333A JP 7442283 A JP7442283 A JP 7442283A JP 7442283 A JP7442283 A JP 7442283A JP S59198333 A JPS59198333 A JP S59198333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- ring
- case
- pressure sensor
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本
産業上の利用分野
本発明は圧力検出に用いることができる静電容量膨圧カ
センサに関するものである。
センサに関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、自動車においては排気ガスの浄化、運転性能の向
上の目的から空気と燃料との混合比、すなわち空燃比を
一定に制御するエンジン制御方式で、エンジン流入空気
量の検出に静電容量形圧力センサを用いるエンジン制御
方式が次第に増えつつある。
上の目的から空気と燃料との混合比、すなわち空燃比を
一定に制御するエンジン制御方式で、エンジン流入空気
量の検出に静電容量形圧力センサを用いるエンジン制御
方式が次第に増えつつある。
以下図面を参照しながら従来の静電容量形圧力センナに
ついて説明する。第１図は従来の静電容量膨圧カセンサ
の断面図であり、１ｉｄダイアフラム、２はダイアフラ
ム１と微小なギャップを経て周辺部をダイアフラム１と
固定されたサブストレート、３は０リング、４はケース
、５はダイアフラム１、サブストレート２の取付板、６
は静電容量電圧変換ユニット、７は外部リード線、８は
圧力ポート、９はケース４に被せられたカバー、１０納
部リードである。
ついて説明する。第１図は従来の静電容量膨圧カセンサ
の断面図であり、１ｉｄダイアフラム、２はダイアフラ
ム１と微小なギャップを経て周辺部をダイアフラム１と
固定されたサブストレート、３は０リング、４はケース
、５はダイアフラム１、サブストレート２の取付板、６
は静電容量電圧変換ユニット、７は外部リード線、８は
圧力ポート、９はケース４に被せられたカバー、１０納
部リードである。
以上のように構成された静電容量膨圧カセンサについて
その動作を以下に説明する。
その動作を以下に説明する。
いま圧力ポート８からある圧力が印加されればダイアフ
ラム１がサブストレート２に対して相対的に変位し、サ
ブストレート２とのギャップが変化する。ここでダイア
フラム１とサブストレート２はアルミナ、ガラスなどの
絶縁体であるが、その内側の対向面に導電性の金属薄膜
を形成しであるため、圧力によって両金属薄膜間の静電
容量が変化し、この変化を内部リード１０を経て変換ユ
ニット６に伝え、この変換ユニット６で例えば圧力に比
例する電圧に変換して外部リード７より出力を取り出す
。
ラム１がサブストレート２に対して相対的に変位し、サ
ブストレート２とのギャップが変化する。ここでダイア
フラム１とサブストレート２はアルミナ、ガラスなどの
絶縁体であるが、その内側の対向面に導電性の金属薄膜
を形成しであるため、圧力によって両金属薄膜間の静電
容量が変化し、この変化を内部リード１０を経て変換ユ
ニット６に伝え、この変換ユニット６で例えば圧力に比
例する電圧に変換して外部リード７より出力を取り出す
。
しかしながら、上記のような構成においてはダイアフラ
ム１のケース４への固定Ｋ１−１必ずＯリング３を介さ
なければならず、このゴム製のＱ ＋、１ング３の劣化
によって圧力ポート８より浸入した水分、油などの不純
物がＯリング３を浸透して変換ユニット６へ達し、微小
な浮遊容量の変動や抵抗の変化を引き起し、圧力センサ
の出力に変化を発生させるという問題点を有していた。
ム１のケース４への固定Ｋ１−１必ずＯリング３を介さ
なければならず、このゴム製のＱ ＋、１ング３の劣化
によって圧力ポート８より浸入した水分、油などの不純
物がＯリング３を浸透して変換ユニット６へ達し、微小
な浮遊容量の変動や抵抗の変化を引き起し、圧力センサ
の出力に変化を発生させるという問題点を有していた。
発明の目的
本発明の目的は外部よりの不純物の浸入を防ぎ信頼性を
向上させる静電容量膨圧力センサを提供することで、あ
る。
向上させる静電容量膨圧力センサを提供することで、あ
る。
発明の構成
本発明の静電容量膨圧カセンサはＱ ＩＪソングケース
と６間に樹脂を注入硬化させるように構成したものであ
り、これにより、外部よりの不純物の浸入を防ぐもので
ある。
と６間に樹脂を注入硬化させるように構成したものであ
り、これにより、外部よりの不純物の浸入を防ぐもので
ある。
実施例の説明
以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。
する。
第２図は本発明の一実施例における静電容量膨圧力セン
サの断面図を示すものである。
サの断面図を示すものである。
第２図において、１１は上面開放で底面中央に圧力ポー
ト１２を有するケースであり、このケース１１内にはＯ
リング１３を介してアルミナ、ガラスなどの絶縁体の薄
板よりな９、上面中央に電極としての導電性の金属薄膜
を形成したダイアフラム１４が配置され、このダイアフ
ラム１４上には小さなギャップを保つようにスペーサ１
５を介してアルミナ・ガラスなどの絶縁体の原板よりな
シ、下面中央に電極としての導電性の金属薄膜を形成し
たサブストレート１６が配置され、このサブストレート
１６およびダイアフラム１４はケース１１の段部に周縁
部を支持される取付板１７に取付けられている。この取
付板１６［は内部り一ド１８ｂが貫通してお９、この内
部リード１８ａ。
ト１２を有するケースであり、このケース１１内にはＯ
リング１３を介してアルミナ、ガラスなどの絶縁体の薄
板よりな９、上面中央に電極としての導電性の金属薄膜
を形成したダイアフラム１４が配置され、このダイアフ
ラム１４上には小さなギャップを保つようにスペーサ１
５を介してアルミナ・ガラスなどの絶縁体の原板よりな
シ、下面中央に電極としての導電性の金属薄膜を形成し
たサブストレート１６が配置され、このサブストレート
１６およびダイアフラム１４はケース１１の段部に周縁
部を支持される取付板１７に取付けられている。この取
付板１６［は内部り一ド１８ｂが貫通してお９、この内
部リード１８ａ。
１８ｂには上記ダイアフラム１１の金属薄膜、サブスト
レート１６の金属薄膜が接続されている。
レート１６の金属薄膜が接続されている。
また、Ｏリング１３、ダイアフラム１４、サブストレー
ト１６の外周面とケース１１の内面との間にはシリコン
ゴムなどの弾性を有し、かつ、密封性の優れた樹脂層１
９が注入硬化により形成されている。この樹脂層１９に
弾性を必要とするのは、ケース１１と、ダイアフラム１
４、サブストレート１６の熱膨張係数が異っており、温
度変化時にその膨張を吸収するためである。
ト１６の外周面とケース１１の内面との間にはシリコン
ゴムなどの弾性を有し、かつ、密封性の優れた樹脂層１
９が注入硬化により形成されている。この樹脂層１９に
弾性を必要とするのは、ケース１１と、ダイアフラム１
４、サブストレート１６の熱膨張係数が異っており、温
度変化時にその膨張を吸収するためである。
さらに、上記内部１Ｂ＆、１８ｂの上端には、静電容量
電圧変換素子２０を組込んだプリント基板２１よりなる
静電容量電圧変換ユニット２２が結合され、この静電容
量電圧変換素子ソ）２２には外部リード線２３が接続さ
れ、ケース１１より外部に引出されている。
電圧変換素子２０を組込んだプリント基板２１よりなる
静電容量電圧変換ユニット２２が結合され、この静電容
量電圧変換素子ソ）２２には外部リード線２３が接続さ
れ、ケース１１より外部に引出されている。
このケース１１の上面にはカバー２４が被せられている
。
。
以上のように構成された本実施例の静電容量膨圧カセン
サの動作については第１図の従来例とまったく同様であ
るが、圧力ポート１２より浸入した水分、油その他不純
物はたとえＯリング１３を透過しても樹脂層１９によっ
てそれ以上の浸入は阻止される。
サの動作については第１図の従来例とまったく同様であ
るが、圧力ポート１２より浸入した水分、油その他不純
物はたとえＯリング１３を透過しても樹脂層１９によっ
てそれ以上の浸入は阻止される。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明はダイアフラム
に密着した０リングの外周とケースとの間に樹脂を注入
硬化させているために外部より浸入する不純物がＯリン
グと樹脂層とにより二重に遮断され静電容量電圧変換ユ
ニットへの悪影響を防ぐことができ、センサとしての信
頼性が大幅に向上する。
に密着した０リングの外周とケースとの間に樹脂を注入
硬化させているために外部より浸入する不純物がＯリン
グと樹脂層とにより二重に遮断され静電容量電圧変換ユ
ニットへの悪影響を防ぐことができ、センサとしての信
頼性が大幅に向上する。
第１図は従来の静電容量膨圧カセンサの断面図、第２図
は本発明の一実施例における静電容量膨圧カセンサの断
面図である。 １１・・・・・ケース、１２・・圧力ボート、１３・・
・・・０リング、１４・・・・・ダイアフラム、１５・
・・・・スペーサ、１６・・・・・サブストレート、１
７・・・・・・取付板、１８ａ、１８ｂ ・・・内部
リード、１９・・・・・・樹脂、２２・・・・・・静電
容量電圧変換ユニット、２３・・・・外部リード線、２
４・・・・・カバー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
は本発明の一実施例における静電容量膨圧カセンサの断
面図である。 １１・・・・・ケース、１２・・圧力ボート、１３・・
・・・０リング、１４・・・・・ダイアフラム、１５・
・・・・スペーサ、１６・・・・・サブストレート、１
７・・・・・・取付板、１８ａ、１８ｂ ・・・内部
リード、１９・・・・・・樹脂、２２・・・・・・静電
容量電圧変換ユニット、２３・・・・外部リード線、２
４・・・・・カバー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- 圧力ボートを底面ｌ；有するケース内に、Ｏリングを介
してダイアフラムを配置し、このダイアフラム上に／Ｊ
Ｓさな間隔をもってサブストレートを配置し、このダイ
アフラムとサブストレートとの対向面に電極としての金
属薄膜を設け、上記少なくともＯリングの外周とケース
の内周面間に注入固化された樹脂層を設け、上記ダイア
フラムとサブストレートの金属薄膜間で発生する静電容
量を出力として取出すように構成してなる静電容量膨圧
カセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7442283A JPS59198333A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 静電容量形圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7442283A JPS59198333A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 静電容量形圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59198333A true JPS59198333A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13546743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7442283A Pending JPS59198333A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 静電容量形圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59198333A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161730U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | ||
| JPH04309831A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-11-02 | Fujikura Ltd | プラスチックモールド圧力センサパッケージ |
| EP1126259A1 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Drucksensor |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP7442283A patent/JPS59198333A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161730U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | ||
| JPH04309831A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-11-02 | Fujikura Ltd | プラスチックモールド圧力センサパッケージ |
| EP1126259A1 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-22 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Drucksensor |
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