JPS59195890A - レ−ザ光軸調整器 - Google Patents
レ−ザ光軸調整器Info
- Publication number
- JPS59195890A JPS59195890A JP58069533A JP6953383A JPS59195890A JP S59195890 A JPS59195890 A JP S59195890A JP 58069533 A JP58069533 A JP 58069533A JP 6953383 A JP6953383 A JP 6953383A JP S59195890 A JPS59195890 A JP S59195890A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- laser
- difference
- annular body
- laser beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、赤外線レーザ装置などのレーザビームの伝
送路におけるレーザ光軸調整器に関するものである′。
送路におけるレーザ光軸調整器に関するものである′。
従来この種のレーザ装置としては、第１図に示すものが
あった。第１図は従来のガスレーザ装置を示す概略構成
図である。図において、１はＣ０２（炭酸ガス）レーザ
発振器、２は発生されたレーザビームであり、とのレー
ザビーム２は波長が約１．０．６ｐｍの赤外線で、その
ビーム径は約１０藺である。３はレーザ設定光軸で、こ
のレーザ設定光軸３はペンタミラー４とレンズ５の中心
に設定される。６は加工対象物である。
あった。第１図は従来のガスレーザ装置を示す概略構成
図である。図において、１はＣ０２（炭酸ガス）レーザ
発振器、２は発生されたレーザビームであり、とのレー
ザビーム２は波長が約１．０．６ｐｍの赤外線で、その
ビーム径は約１０藺である。３はレーザ設定光軸で、こ
のレーザ設定光軸３はペンタミラー４とレンズ５の中心
に設定される。６は加工対象物である。
次に上記第１図の動作について説明する。ＣＯ２レーザ
発振器１から出射されたレーザビーム２は、ペンダミラ
ー４によって折曲され、レンズ５を通して加工対象物６
に照射される。加工対象物６に対して良好なレーザ加工
を実施するには、レーザビーム２がレンズ５の中心、す
なわちレーザ設定光軸３に一致する必要がある。ところ
が、レーザビーム２は赤外線の様な可視光線では無いの
で、レンズ５の中心にレーザビーム２が入射している状
況を確認することは一般的に難しい。
発振器１から出射されたレーザビーム２は、ペンダミラ
ー４によって折曲され、レンズ５を通して加工対象物６
に照射される。加工対象物６に対して良好なレーザ加工
を実施するには、レーザビーム２がレンズ５の中心、す
なわちレーザ設定光軸３に一致する必要がある。ところ
が、レーザビーム２は赤外線の様な可視光線では無いの
で、レンズ５の中心にレーザビーム２が入射している状
況を確認することは一般的に難しい。
従来のガスレーザ装置は以上の様に構成されているので
、発生されたレーザビーム２の中心とあらかじめ定めら
れたレーザ設定光軸３とを一致させることは、非常に困
難であるという欠点があった。
、発生されたレーザビーム２の中心とあらかじめ定めら
れたレーザ設定光軸３とを一致させることは、非常に困
難であるという欠点があった。
この発明は上記の様な従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、発生されたレーザの伝送路において
、あらかじめ定められたレーザ設定光軸と同軸に配置さ
れた環体の周辺温度上昇の差異を検知する手段と、前記
環体の周辺温度上昇の差異を最小にする手段とを具備し
て成る構成を有し、レーザビームとレーザ設定光軸のず
れを熱的に感知して、両者を一致させることができる様
にしたレーザ元軸調整器を提供することを目的としてい
る。
になされたもので、発生されたレーザの伝送路において
、あらかじめ定められたレーザ設定光軸と同軸に配置さ
れた環体の周辺温度上昇の差異を検知する手段と、前記
環体の周辺温度上昇の差異を最小にする手段とを具備し
て成る構成を有し、レーザビームとレーザ設定光軸のず
れを熱的に感知して、両者を一致させることができる様
にしたレーザ元軸調整器を提供することを目的としてい
る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図はこの発明の一実施例であ名ガスレーザ装置を示す概
略構成図である。図において、１はＣＯ□レーザ発撮器
、２は発生されたレーザビーム、３はレーザ設定元軸、
４はペンダミラー５はレンズ、６は加工対象物であり、
これらの構成は、上記第１図に示す従来の装置のものと
ほぼ同様の構成を成している。７はモニタ環体、８はモ
ニタ環体７内に設けられた熱電対である。θＸ、θｙは
ペンダミラー４のレーザ設定光軸３に対する角度である
。
図はこの発明の一実施例であ名ガスレーザ装置を示す概
略構成図である。図において、１はＣＯ□レーザ発撮器
、２は発生されたレーザビーム、３はレーザ設定元軸、
４はペンダミラー５はレンズ、６は加工対象物であり、
これらの構成は、上記第１図に示す従来の装置のものと
ほぼ同様の構成を成している。７はモニタ環体、８はモ
ニタ環体７内に設けられた熱電対である。θＸ、θｙは
ペンダミラー４のレーザ設定光軸３に対する角度である
。
第３図体）及び（Ｂｌは、第２図のガスレーザ装置に適
用されるモニタ環体を示す正面図及びその中央断面図で
ある。図において、モニタ環体７には、その中心に円形
の開口部７ａが設けられている。
用されるモニタ環体を示す正面図及びその中央断面図で
ある。図において、モニタ環体７には、その中心に円形
の開口部７ａが設けられている。
また、モニタ環体７には、開口部７ａの外周に直径方向
に対称的に延出する４箇所の溝部７ｂが形成さ扛、各溝
部７ｂ内には熱電対８が設けられている。９はモニタ環
体７の温度上昇を防ぐべく冷却するための、このモニタ
環体７内の通路７Ｃを流通する冷却水で、第３図に矢印
で示されている。
に対称的に延出する４箇所の溝部７ｂが形成さ扛、各溝
部７ｂ内には熱電対８が設けられている。９はモニタ環
体７の温度上昇を防ぐべく冷却するための、このモニタ
環体７内の通路７Ｃを流通する冷却水で、第３図に矢印
で示されている。
また、ＶＡｖＢＶｏＶＤは各熱電対８のそれぞれの熱起
電力である。
電力である。
次に上記した構成を有するこの発明のガスレーザ装置の
動作について説明する。今、第２図に示すあらかじめ定
められたレーザ設定光軸３とレーザビーム２との中心が
一致してい無い場合は、モニタ環体７の周辺の一部分が
加熱さｉｌこのため、対称的に配置された各熱電対８の
相互間の熱起電力に差異が生じることになる。そこで、
ペンダミラー４の角度を適宜に変化させ、各熱電対８の
熱起電力の差の絶対値を検知してこれを測定すると、第
４図（ト）及び（Ｂ）に示すような特性の測定結果が得
られた。それゆえ、第４図（４）及び（Ｂ）の特性図よ
り明らかな様に、各熱電対８の熱起電力の差の絶対値が
最小になる角度θｘＱ、θｙｏにおいて、レーザ設定光
軸３とレーザビーム２との中心を一致させることができ
る。しかして、上記した調整は、例えばペンダミラー４
の角度調整をステッピングモータ（図示しない）などで
電気的に行い、各熱電対８の熱起電力の差の絶対値を検
知し、この値が最小になる様に自動的に適宜調整を行う
ことも可能である。
動作について説明する。今、第２図に示すあらかじめ定
められたレーザ設定光軸３とレーザビーム２との中心が
一致してい無い場合は、モニタ環体７の周辺の一部分が
加熱さｉｌこのため、対称的に配置された各熱電対８の
相互間の熱起電力に差異が生じることになる。そこで、
ペンダミラー４の角度を適宜に変化させ、各熱電対８の
熱起電力の差の絶対値を検知してこれを測定すると、第
４図（ト）及び（Ｂ）に示すような特性の測定結果が得
られた。それゆえ、第４図（４）及び（Ｂ）の特性図よ
り明らかな様に、各熱電対８の熱起電力の差の絶対値が
最小になる角度θｘＱ、θｙｏにおいて、レーザ設定光
軸３とレーザビーム２との中心を一致させることができ
る。しかして、上記した調整は、例えばペンダミラー４
の角度調整をステッピングモータ（図示しない）などで
電気的に行い、各熱電対８の熱起電力の差の絶対値を検
知し、この値が最小になる様に自動的に適宜調整を行う
ことも可能である。
なお、上記実施例では、モニタ環体７をレンズ５の近傍
の前面に設置した場合について説明したが、発生された
レーザの伝送路上であればいずれの場所に設置しても良
く、上記実施例と同様の効果を奏する。
の前面に設置した場合について説明したが、発生された
レーザの伝送路上であればいずれの場所に設置しても良
く、上記実施例と同様の効果を奏する。
以上のように、この発明に係るレーザ光軸調整器によれ
ば、レーザビームとレーザ設定光軸とのずれを、とのレ
ーザ設定元軸と同軸に設けられた環体の周辺温度上昇の
差異で検知する様に構成したので、レーザビームの調整
（アライメント）を簡単、容易に、かつ極めて正確に行
うことができるという優れた効果を奏するものである。
ば、レーザビームとレーザ設定光軸とのずれを、とのレ
ーザ設定元軸と同軸に設けられた環体の周辺温度上昇の
差異で検知する様に構成したので、レーザビームの調整
（アライメント）を簡単、容易に、かつ極めて正確に行
うことができるという優れた効果を奏するものである。
第１図は従来のガスレーザ装置を示す概略構成図、第２
図はこの発明の一実施例であるガスレーザ装置を示す概
略構成図、第３図（至）及び（Ｂ）は、第２図のガスレ
ーザ装置に適用されるモニタ環体を示す正面図及びその
中央断面図、第４図（４）及び（Ｂ）は、第２図のガス
レーザ装置におけるベンダミラ−角度と熱起電力の絶対
値との関係を示すそれぞれ特性図である。 図において、１・・・ＣＯ２レーザ発振器、２・・・レ
ーザビーム、３・・・レーザ設定光軸、４・・・ペンダ
ミラー、５・・・レンズ、６・・−加工対象物、７・・
・モニタ環体、７ａ・・・開口部、７ｂ・・・溝部、７
Ｃ・・・通路、８・・・熱電対、９・・・冷却水である
。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄
図はこの発明の一実施例であるガスレーザ装置を示す概
略構成図、第３図（至）及び（Ｂ）は、第２図のガスレ
ーザ装置に適用されるモニタ環体を示す正面図及びその
中央断面図、第４図（４）及び（Ｂ）は、第２図のガス
レーザ装置におけるベンダミラ−角度と熱起電力の絶対
値との関係を示すそれぞれ特性図である。 図において、１・・・ＣＯ２レーザ発振器、２・・・レ
ーザビーム、３・・・レーザ設定光軸、４・・・ペンダ
ミラー、５・・・レンズ、６・・−加工対象物、７・・
・モニタ環体、７ａ・・・開口部、７ｂ・・・溝部、７
Ｃ・・・通路、８・・・熱電対、９・・・冷却水である
。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （υ 発生されたレーザの伝送路において、あらかじめ
定められたレーザ設定光軸と同軸に配置された環体の周
辺温度上昇の差異を検知する手段と、前記環体の周辺温
度上昇の差異を最小にする手段とを具備して成ることを
特徴とするレーザ光軸調整器。 （２） 前記環体は、冷却されることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のレーザ光軸調整器。 （３） 前記環体は、その周辺に少なくとも２つ以上
の熱電対を具備することを特徴とする特許請求の範囲第
１項又は第２項記載のレーザ光軸調整器。 （４）前記熱電対け、その熱起醒力の差の絶対値を検知
することを特徴とする特許請求の範囲第３項記載のレー
ザ光軸調整器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58069533A JPS59195890A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | レ−ザ光軸調整器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58069533A JPS59195890A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | レ−ザ光軸調整器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195890A true JPS59195890A (ja) | 1984-11-07 |
Family
ID=13405454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58069533A Pending JPS59195890A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | レ−ザ光軸調整器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195890A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227990A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-13 | Amada Co Ltd | レ−ザ加工機の芯出装置 |
| JPS6170776A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
| JPS61135179A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-23 | Nippon Steel Corp | レ−ザビ−ム光軸ずれ検出装置 |
| JPS61200684U (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-16 | ||
| JPS63181351A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-26 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
| FR2640775A1 (fr) * | 1988-11-30 | 1990-06-22 | Diehl Gmbh & Co | Dispositif pour la detection d'un faisceau laser |
| CN109238251A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-18 | 东方宏海新能源科技发展有限公司 | 可自校准的远距离激光校准轴及其校准方法 |
| CN111076679A (zh) * | 2019-12-28 | 2020-04-28 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种激光与视频实时同轴矫正系统及方法 |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP58069533A patent/JPS59195890A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227990A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-13 | Amada Co Ltd | レ−ザ加工機の芯出装置 |
| JPS6170776A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
| JPH0249543B2 (ja) * | 1984-09-13 | 1990-10-30 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPS61135179A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-23 | Nippon Steel Corp | レ−ザビ−ム光軸ずれ検出装置 |
| JPH0311112B2 (ja) * | 1984-12-06 | 1991-02-15 | Shinnippon Seitetsu Kk | |
| JPS61200684U (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-16 | ||
| JPH0321827Y2 (ja) * | 1985-05-31 | 1991-05-13 | ||
| JPS63181351A (ja) * | 1987-01-22 | 1988-07-26 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
| FR2640775A1 (fr) * | 1988-11-30 | 1990-06-22 | Diehl Gmbh & Co | Dispositif pour la detection d'un faisceau laser |
| CN109238251A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-18 | 东方宏海新能源科技发展有限公司 | 可自校准的远距离激光校准轴及其校准方法 |
| CN111076679A (zh) * | 2019-12-28 | 2020-04-28 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种激光与视频实时同轴矫正系统及方法 |
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