JPS59195140A - 容器の気密度測定方法及びその装置 - Google Patents

容器の気密度測定方法及びその装置

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JPS59195140A
JPS59195140A JP6976783A JP6976783A JPS59195140A JP S59195140 A JPS59195140 A JP S59195140A JP 6976783 A JP6976783 A JP 6976783A JP 6976783 A JP6976783 A JP 6976783A JP S59195140 A JPS59195140 A JP S59195140A
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    • G01M3/40Investigating fluid-tightness of structures by using electric means, e.g. by observing electric discharges

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、開口又は雀封した容器の気電度を測定する方
法及びその装置に関するものである。例えば医薬品や食
品等の保存容器においては保存中における外部からの汚
染や内容物の流出を防止するため、ピンホール等の欠陥
を検査することがその製造過程において重要な工程とな
っている。殊に医薬用のバイアル壜やアンプル等におい
ては、□大気と共に細菌等の侵入を防止するため、直径
数百ミリミクロン若しくはそれ以下の極微小のピンホー
ルまでをも検査することが必要とされている。
従来、容器の気密度を測定するものとしては、容器内の
初期の圧力と一定時間経過後の圧力とを比較する差圧式
と呼ばれるもの、及び木発叩者が先に開発した被検査容
器から流出する流体のリーク量をマイクロシリンダーの
体積変位量として計測する積算流量式(特開昭56−5
3437号公報)と呼ばれるもの等がある。しかしなが
ら、例えばこの積算流量式と呼ばれるものでは、マイク
ロシリンダーの構造上その体積変位量を10〜10m1
にまで計測することは不可能で、10〜lom1程度が
限界であって、−ヒ記2つの方法ではいずれも微小の漏
れに対しては長時間測定しなければ計測可能な大きさの
変化量を得ることができないため、前記の如き極微小の
ピンホール等の欠陥を検知することは事実上不可能であ
ったのである。そのため、このような極微小のピンホー
ルをも検知可能な方法と°して、超高電圧をかけた電極
間にガラス容器を配置し、欠陥のある位置で閃絡火花を
生じさせ、この閃絡電流を検出することによりピンホー
ル等の欠陥を検知する方法が提案されている(特開昭4
8−45250号公報)。しかしながら、この方法では
閃絡電流の発生が極めて不安定なため正確な検査を行う
ことができないばかりか、超高電圧の放電火花に伴うエ
ネルギーが異常に大きいことにより容器が破損したり内
容物が変化したりする等という欠点があったのである。
本発明は、係る従来の諸支障を極めて合理的に解決した
もので、容器や内容物を変化させることなく、直径数百
ミリミクロン若しくはそれ以下の極微小のピンホール等
の欠陥をも正確に検知し得る容器の気密度測定方法及び
その装置を提供することを目的とする。
即ち本発明は、被検査容器を電界中に位置させてピンホ
ール等の欠陥部にイオンの流れつまり導電現象を生じさ
せることにより、容器のピンホール等の欠陥を検知して
気密度を測定し得るようにしたもので、絶縁性の被検査
容器を電圧が印加された電極間に位置させ、該両電極間
に流れる電流を検出し、該検出電流値と欠陥のない容器
を電極間に位置させたときの電流値とを比較して容器の
気密度を測定するものである。そして、このようにして
測定するため本発明に係る装置では、一方の電極と電源
部との間に積算電流機構を設け、検出電流値と欠陥のな
い容器を電極間に位置させたときとの差を積算して計測
するよう構成されている。又前記電極の少なくともいず
れか一方の内側に誘電率の高い流体を供給する流体接触
子を設けて、測定の精度がより高くなるように構成され
ている。
以下、本発明を図示実施例に基づいて説明すると次の通
りである。
先ずアンプル等の絶縁性電封容器の気密度を測定する場
合について説明する。第1図は、密封容器を検査する装
置の概略を示した説明図で、電極1.1′は被検査容器
3を電極間に位置させるよう所定の間隔を保って設けら
れており、該両電極1、l゛には電源部2より交流電圧
が印加されている。そして、一方の電極lと電源部2と
の間の回路には両電極l、1′間に流れる電流を計測す
る積算電流機構4が設けられている。該積算電流機構4
は第2図に示されるように、前記両電極l、1′間に流
れる電流を電流交換器41により捉え、この捉えた電流
を整流器42により整流し、電流−電圧変換回路43に
より電圧に変換、増幅してサンプルアンドホールド回路
44に送り、該サンプルアンドホールド回路44により
基準電流値(完全に気密で欠陥のない容器を電極間に位
置させた場合の電流値)に基づく電圧とピンホール等の
欠陥により生じた電流に基づく電圧とを弁別して後者の
みを積分回路45に送り、積算して電流計46に表示す
るよう構成されている。
上記の如く構成される装置により密封容器の気密度を測
定する方法について、先ずピンホール等の欠陥を検知す
る原理から、゛以下詳細に説明する。
一般に相対向した2枚の電極1.1″間に電圧を印加す
ると、第3図(a)に示されるように両電極1.1”に
は夫々正、負の電荷が生じる。そして該両電極1.1″
間に、例えば水等の誘電体(イオンに電離しているか又
は電界中に置かれたときにイオンを生じるような物質)
を入れた被検査容器3を挿入すると、該被検査容器3は
静電場に置かれたために内部に電荷の移動を生じ、第3
図(b)に示されるようにその表面に電荷が表われ、両
電極1.1″に生じる電荷は被検査容器3表面の電荷に
感応して増加することになる。つまり、両電極1.1’
間の静電容量が被検査容器を挿入することにより増加す
るのである。ここで、被検査容器にピンホール等の欠陥
がない場合には上記の如く静電容量が増加するだけであ
るが、第3図(C)(こ示されるように水等の誘電体を
封入した被−査容器3にピンホール等の欠陥3aがある
と、容器内に生じていたイオンが該欠陥部を通じて反対
の電荷を帯びた電極側へ移動すると共←こ、電極間の容
器外でイオン化された空気又は空気中の水分等も欠陥部
を通じて同様に移動し、導電現象つまり電流を生じるこ
とになる。
籾て、本発明に係る装置の電極1.1″間番こ第4図(
a)に示すように絶縁性の被検査容器3を挿入した場合
につ?)て考えると、該電極l、1″間を一種のコンデ
ンサと見ることかできる。ここで−・般に理想的なコン
デ°ンサでlt、印加される電圧Eと電流I。どの位相
差Lf 90度であって、損失電流は全く流れないので
ある力よ、電極間に誘電体を挿入した場合には、分極(
こ時間の遅れがあるため電流に位相の遅れを生じること
になる。従って、例えば第4図(a)の如く電極1、l
゛間に被検査容器3を挿入した場合には、被検査容器3
にピンポール等の欠陥がない場合でも、第4図(b)に
示すような損失電流Irを生ずることにより電極間に流
れる電流工1はIoよりδノだけ位相の遅れを生じ、電
流りは電流IOと損失電流Irとの和として表わされる
。つまり、第4図(a)に示す如く被検査容器3を電極
l、1″間に挿入した場合は、該電極間を第4図(C)
に示すようなコンデンサCと抵抗Rとを並列につないだ
並列等価回路に置き換えることができるのである。
次に、電極1、l゛間に第5図(a)に示すようにピン
ホール等の欠陥のある被検査容器3を挿入した場合につ
いて考えると、この場合にはピンホール等の欠陥部に前
記第3図(c)の説明で述べた導電現象による漏洩電流
が生じるから、このときの損失電流Ir’は第5図(b
)に示されるように欠陥のない場合の前記損失電流Ir
にピンホール等の欠陥によって生じる前記漏洩電流In
を加えた値となる。そして、電極1.1″間に流れる電
流I2は前記δIより漏洩電流IR分だけ大きい位相の
遅れδ2を生し、該電流工2は電流IOと前記損失電流
Ir  ’との和として表わされる。つまりピンホール
等の欠陥のある容器を挿入した電極1.1”間は、第5
図(C)に示されるようなコンデンサC″と抵抗R’(
R”<R)とを並列につないだ並列等価回路に置き換え
ることができる。
従って、被検査容器3を電極1、l゛間に位置させたと
きの電極l、1″間に流れる電流を計測すれば、電極間
に挟まれた誘電体の中の誘電体損失の多寡、すなわち、
εs  tanδ(εSは誘電体の比誘電率)の大小を
検知することができるので、ピンホール等の欠陥のない
容器を電極間に挿入した場合の基準電流値Isと被検査
容器を挿入した場合の電流値工とを比較することにより
、ピンホール等の欠陥を検知して容器の気密度を測定す
ることができるのである。
本発明は以上のような原理に基づいて容器の気密度を測
定するものであり、以下本発明に係る装置により電封容
器を検査する場合の作用について説明する。
先ず、被検査容器3を第1図に示すように交流電圧が印
加された電極l、1′間に位置させると、電極1.1’
間には電流工が流れる。該電流工は積算電流機構4の電
流交換器41により電流iとしで検出され、次いで整流
器42により整流されて電流−電圧変換回路43により
電圧eに変換、増幅される。この増幅された電圧eは次
のサンプルアンドホールド回路44で基準電流値I’s
 (完全に気密で欠陥のない容器を電極間に位2置させ
た場合の電極間に流れる電流値)による電圧esと比較
され、ピンホール等の欠陥により生ずるその差Δe倍信
号みが次の積分回路45に送られる。つまり、このサン
プルアンドホールド回路44では被検査容器の測定に基
づく電圧eが、容器に欠陥のない場合に検出される電圧
esとピンホール等の欠陥によって生じる電圧Δeとに
弁別されて、該Δe信号のみが次の積分回路に送られる
のである。
そして、積分回路45に送られた前記Δe信号で代表さ
れる出力として電流計46上に積算される。従って、該
電流計46上に計測される値を読みとることにより、被
検査容器の気密度を測定することができるのである。
つまり、本発明では被検査容器3を電極1.1′間に位
置させたときに生じる電流値と基準電流値とを比較し、
この差を積算計測して容器の気密度を測定するものであ
るから、被検査容器の欠陥の有無を判別することはもち
ろんのこと、被検査容器全体の総和としての欠陥の大き
さく究極的にはピンホール1個の径の大きさ)をも測定
することができるのである。尚被検査容器全体を均一に
検査するには、容器を電極間で回転させながら測定する
方がよい。
本発明は以上のように電界中に被検査容器を置くことに
より、容器のピンホール等の欠陥部にイオンの流れつま
り導電現象を生じさせ、この現象により欠陥を検知する
ものであるから、密封容器の中にイオンに電離している
か又は電界によってイオンを生じるような物質、例えば
水等の液体又は空気等の気体が含まれていれば、容器内
の間隙が真空であっても又は内容物が固体であっても測
定可能である。しかも、容器内の物質をそのままの分子
の状態ではなく、より径の小さいイオンにして欠陥部を
通−過させるのであるから、イオンが通過可能な大きさ
の欠陥であればすべて対象となって、検知可能な欠陥の
大きさをより小さくすることができ、細菌等の侵入防止
のため検査が必要とされる前記の如き大きさのピンホー
ル等の欠陥は瞬時にかつ正確に検知することができるで
ある。
又第6図は本発明に係る他の実施例装置によって、電封
したバイアル壜5を検査した場合を示したもので、該装
置ではバイアル壜5の相対する外側面の一方に平板上の
電極6゛を、他方にバイアル壜5の外側形状に沿ったパ
イプ状の電極6を設けている。該パイプ状の電極6は、
例えば銅パイプ等の導電性の材質で形成されており、そ
の内側には第6図(b)に示すように小孔6aが適当な
間隔をおいて穿設され、更に合成樹脂又は導電性の金属
等から成るブラシ6bが多数植毛されている。そして、
該電極6のパイプ内には水又は水蒸気等の誘電率の高い
流体(イオンに電離しているか又は電界中に置かれたと
きにイオンを生じやすい気体又は液体)7aが供給され
ており、該流体7aが電極6の小孔6aから少量ずつ流
出してブラシ6bにより適当に保持されることによって
、電極6とバイアル壜5との間に誘電率の高い流体7a
の層を形成するよう構成されている。つまりこの実施例
では誘電率の高い流体7aを供給する流体接触子7と電
極6とが一体的に形成されているのである。
該実施例では、バイアル壜5を回転させるか又は両電極
6.6′をバイアル壜5の周囲で回転させて容器全体を
検査するのである。
上記の如く構成される装置によれば、電極と容器との間
に誘電率の高い流体7aの層を介在させることによって
、電極間の誘電率が高くなると共に、電界によって生じ
る容器外のイオンの増加に伴なってピンホール等の欠陥
部に生じる導電現象も増大することとなるので、欠陥部
を検知する精度をより高めることができるのである。電
極6.6′間に電圧を印加する電源部2、及び電流を検
出、計測する積算電流機構4については前記実施例と全
く同様であるのでその説明を省略する。尚図示実施例で
は、一方の電極側にのみ流体接触子7を設けているが、
両電極側に流体接触子を設けてもよい。
以上、密封容器の実施例装置ではいずれも電源部2に交
流電源を用い両電極間に交流電圧を印加しているが、本
発明は直流電圧であっても何ら差し支えなく測定するこ
とができるものである。
次に、絶縁性の開口容器を検査する場合について説明す
る。第7図は開口容器を検査する装置の概略を示した説
明図で、一方の電極8は被検査容器9の開口部9aから
容器内に設けられ、他方の電極8“は被検査容器9の外
側に設けられている。該電極8.8′には電源部2゛番
こより直流電圧が印加され、−力の電極8′と電源部2
゛との間の回路には、該両電極8.8”間に流れる電流
を積算して計測する前記密封容器の装置と同様な積算電
流機構4′が設けられている。
この装置により開口したガラス等の絶縁性容器例えば開
口したバイアル壜を検査する場合には、先ずバイアル壜
10を゛ビーカー11内番こ入れ、バイアル壜10の内
部と外部を第8図に示すように例えば水等の導電性の流
体12で満たす。そして、該バイアル壜10の内側に設
けられた電極8と、バイアル壜10の外側であってビー
カー11の内側に設けられた電極8゛との間に電源部2
゛により直流電圧を印加する。該電極8.8′間に直流
電圧が印加されると、/くイアル壜10の内外の流体1
2には第9図に示すような電荷が生じる。このとき、/
くイアル壜10にピンホール等の欠陥10aがあると、
/ヘイアル壜10内外に前記の如く帯電していたイオン
かピンホール等の欠陥部を通じて移動し、導電現象つま
り電流を生じる。
従って、積算電流機構4′によって、電極88”間に流
れる電流を検出し、ピンホール等の欠陥の′ない場合の
基準電流値と比較してその差を積算計測することにより
、容器の気密度を測定することができるのである。つま
り、ピンホール等の欠陥によって生じる電流を積算計測
するのであるから、容器の欠陥の有無を判別することは
もちろんのこと、容器全体の総和としての欠如の大きさ
く究極的にはピンホール1個の径の大きさ)を測定する
ことができるものである。
I−記の如くこの装置は、被検査容器内外のイオンの移
動によりピンホール等の欠陥を検知するものであるから
、前記密封容器の場合と同様にイオンが通過可能な大き
さの欠陥であればすべて検知することができ、細菌等の
侵入防止のため検査が必要とされる前記の如き大きさの
ピンホール等の欠陥は瞬時にかつ正確に検知することが
できる。しかも、被検査容器全体が帯電された流体内に
浸っているため、容器全体を瞬時に検査することができ
るのである。このように開口容器を測定するには直流電
源の方が適しているので、この実施例では電源部2′番
こ直流電源を用いているが、交流電源を用いても何ら差
し支えなく前記密封容器の場合と同様な原理に基づいて
容器の気密度を測定することかできる。
又開口容器を検査する場合、上記実施例の如く容器内外
に電極を設けるのではなく、その開口部を適当な方法に
より電柱して容器を電封した状態にし、前記密封容器に
係る装置を用し1で密封容器の場合と同様にして測定す
ることも当然に可能である。このようにした場合には、
被検査容器を上記実施例の如く導電性の流体に浸すこと
がないので、例えば乾燥等とl、Xつだ測定後の容器に
かかる処理が必要でなくなり、至便である。
尚本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、電
極の形状、積算電流機構の回路等は任意に設定してもよ
い。
以上のように本発明によれば、密封又は開口容器を電極
間に挿入することにより、従来検知することができなか
った直径数百ミリミクロン若しくはそれ以下、の極微小
・のピンホール等の欠陥はもちろんのこと、イオンが通
過可能な大きさであればすべて検知することができ、容
器の気密度を極めて高精度にかつ瞬時に測定することが
できるのである。しかも、本発明によれば、被検査容器
やその内容物を変化させるおそれが全くなく、密封及び
開口した容器を検査することができる。又本発明は、絶
縁性容器であればガラス、プラスチック、その他どんな
材質のものでも測定することができると共に、密封容器
にあっては容器内にイオンに電離しているか又は電界に
よってイオンを生じるような物質が含まれていればその
内容物が液体、固体等であっても、容器内の間隙が真空
又は空気等が封入されていても何ら差し支えなく検査す
ることができるのである。
依って、本発明により、製品検査工程における容器の気
密度の測定検査はますます充実して、不良品の発生が極
めて減少され、各業界にもたらす実益は多大である。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は密封容器
を検査する装置の概略説明図、第2図は積算電流機構の
ブロック図、第3図(a)、(b)、(C)は、電極間
の帯電説明図、第4図(a)、(b)、(C)、第5図
(a)、(b)、(C)は、密封容器を検査する装置の
原理説明図、第6図(a)は密封容器を検査する装置の
他の実施例を示す説明図、第6図(b)は流体接触子を
設けた側の電極の説明図、第7図は、開口容器を検査す
る装置の概略説明図、第8図は該装置の実施例を示す説
明図、第9図はその原理説明図である。 1、l“、6.6′、8.81・・電極、2.2′・φ
電源部、3・、9・・被検査容器、3a、10aφ・ピ
ンホール等の欠陥、4.4“・中積算電流機構、5.1
0・拳バイアル壜、7・・流体接触子、7a・・誘電率
の高い流体、11・eビーカー、12・・導電性の流体
特許出願人   稲 益 康 夫

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 電圧を印加した電極間に絶縁性の被検査容器を位置
    させ、該電極間に流れる電流を検出し、該検出電流値と
    欠陥のない容器を電極間に位置させたときの電流値とを
    比較して、容器の欠陥を検知することを特徴とする容器
    の気密度測定方法。 2 絶縁性の被検査容器を電極間に位置させるよう所定
    の間隔を保って一対の電極を設け、該両電極に電圧を印
    加する電源部を接続し、該両電極間に流れる電流を検出
    して欠陥のない容器を電極間に位置させたときとの差を
    積算し−C計測する積算電流機構を前記一方の電極と電
    源部との間の回路に設けたことを特徴とする容器の気密
    度測定装置。 3 絶縁性の被検査容器を電極間に位置させるよう所定
    の間隔を保って一対の電極を設けると共に、該電極の少
    なくともいずれか一方の内側に誘電率の高い流体を供給
    する流体接触子を設け、前記両電極に電圧を印加する電
    源部を接続し、両電極間に流れる電流を検出して欠陥の
    ない容器を電極間に位置させたときとの差を積算して計
    測する積算電流機構を前記一方の電極と電源部との間の
    回路に設けたことを特徴とする容器の気密度測定装置。 4 前記流体接触子を設けた側の電極かパイプ状に形成
    され、その内側には小孔が穿設されていると共に多数の
    ブラシが植毛されているところの特許請求の範囲第3項
    記載の容器の気密度測定装置。 5 前記誘電率の高い流体が水又は水蒸気であるところ
    の特許請求の範囲第3項又は第4項記載の容器の気密度
    測定装置。
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