JPS5919291B2 - 分光器自動波長校正装置 - Google Patents
分光器自動波長校正装置Info
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- JPS5919291B2 JPS5919291B2 JP86876A JP86876A JPS5919291B2 JP S5919291 B2 JPS5919291 B2 JP S5919291B2 JP 86876 A JP86876 A JP 86876A JP 86876 A JP86876 A JP 86876A JP S5919291 B2 JPS5919291 B2 JP S5919291B2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分散形分光器に関し、特に波長走査に際して
一定波長において波長読み取り装置を自動的に校正する
分光器自動波長校正装置に関する。
一定波長において波長読み取り装置を自動的に校正する
分光器自動波長校正装置に関する。
従来、分光器の同調波長の表示は、回折格子やプリズム
などの光分散素子を回転する波長駆動装置と機械的に連
動した目盛円板や機械的計数表示器によることは、よく
知られている。しかし、上記の方法では、同調波長の表
示はできるが、波長信号として取り出し利用することは
できない欠点があつた。上記欠点を解消するため従来か
ら、同調波長を電気信号として取り出すため、波長駆動
装置と連動した波長信号発生器を設けるか、または波長
駆動装置から一定波長間隔毎に発生するパルスを計数す
る波長計数器を設けるなどの方法で設けられた波長読み
取り装置によつて同調波長信号を取り出し、これを例え
ばスペクトルを記録するための記録計の波長軸信号を使
用するか、または同調波長を表示する装置の入力信号と
することが行なわれている。従来、この種の波長読み取
り装置としては、第１図および第２図に示すようなもの
が知られている。第１図において、モータ１、モータ１
の駆動回路１０、ギヤ系１１、送りネジ１２、レバー１
４から構成されるサインバー方式と呼ばれる波長、駆動
装置によつて、回折格子１６は回転軸１５を軸として回
転され、分光器の同調波長が走査される。一方回折格子
１６の駆動系と連動するため、ギヤ系１１に連結された
波長信号発生画１Ｔを設け、上記の波長信号発生器１７
を、例えばポテンシメータなどギヤ系１１の回転角に比
例した電圧を発生する装置とする。分光器の同調波長は
、送りネジ１２の回転角に比例するので、波長信号発生
画１Ｔから、分光器の同調波長に比例した電圧を得るこ
とができ、この出力電圧により電気的波長表示器１９に
よつて同調波長を表示するほか、波長信号として取り出
し利用することができる。光分散素子として、回折格子
の代りに・ プリズム（図示せず）を用いた場合には、
第１図に示した送りネジによるサインバー方式の代りに
、非直線カム（図示せず）などが一般に用いられ、同様
の目的を達成することができる。また、第２図において
は、第１図と同様サインバー方式による波長駆動装置に
より回折格子１６を回転させ分光器同調波長が走査され
る。ギヤ系１１を駆動するモータ１’＆よ、パルスモー
タとし、モータ駆動回路１０″の駆動パルス４０は、一
定波長間隔毎に発生し、モータ『を駆動するとともに波
長計数器６０に送られる。波長計数器６０は、同じくモ
ータ駆動回路１０からの正逆信号４１により、モータｖ
の正転、逆転に従つて駆動パルス４０を加算または減算
することにより、常に分光器の同調波長に比例した計数
値を保持することができ、電気的波長表示器１９によつ
て同調波長に表示するほか、波長信号として取り出し利
用することができる。しかしながら、上記した従来の装
置においては、後述するとおり、波長の校正が極めて面
倒であるという重大な欠点があつた。
などの光分散素子を回転する波長駆動装置と機械的に連
動した目盛円板や機械的計数表示器によることは、よく
知られている。しかし、上記の方法では、同調波長の表
示はできるが、波長信号として取り出し利用することは
できない欠点があつた。上記欠点を解消するため従来か
ら、同調波長を電気信号として取り出すため、波長駆動
装置と連動した波長信号発生器を設けるか、または波長
駆動装置から一定波長間隔毎に発生するパルスを計数す
る波長計数器を設けるなどの方法で設けられた波長読み
取り装置によつて同調波長信号を取り出し、これを例え
ばスペクトルを記録するための記録計の波長軸信号を使
用するか、または同調波長を表示する装置の入力信号と
することが行なわれている。従来、この種の波長読み取
り装置としては、第１図および第２図に示すようなもの
が知られている。第１図において、モータ１、モータ１
の駆動回路１０、ギヤ系１１、送りネジ１２、レバー１
４から構成されるサインバー方式と呼ばれる波長、駆動
装置によつて、回折格子１６は回転軸１５を軸として回
転され、分光器の同調波長が走査される。一方回折格子
１６の駆動系と連動するため、ギヤ系１１に連結された
波長信号発生画１Ｔを設け、上記の波長信号発生器１７
を、例えばポテンシメータなどギヤ系１１の回転角に比
例した電圧を発生する装置とする。分光器の同調波長は
、送りネジ１２の回転角に比例するので、波長信号発生
画１Ｔから、分光器の同調波長に比例した電圧を得るこ
とができ、この出力電圧により電気的波長表示器１９に
よつて同調波長を表示するほか、波長信号として取り出
し利用することができる。光分散素子として、回折格子
の代りに・ プリズム（図示せず）を用いた場合には、
第１図に示した送りネジによるサインバー方式の代りに
、非直線カム（図示せず）などが一般に用いられ、同様
の目的を達成することができる。また、第２図において
は、第１図と同様サインバー方式による波長駆動装置に
より回折格子１６を回転させ分光器同調波長が走査され
る。ギヤ系１１を駆動するモータ１’＆よ、パルスモー
タとし、モータ駆動回路１０″の駆動パルス４０は、一
定波長間隔毎に発生し、モータ『を駆動するとともに波
長計数器６０に送られる。波長計数器６０は、同じくモ
ータ駆動回路１０からの正逆信号４１により、モータｖ
の正転、逆転に従つて駆動パルス４０を加算または減算
することにより、常に分光器の同調波長に比例した計数
値を保持することができ、電気的波長表示器１９によつ
て同調波長に表示するほか、波長信号として取り出し利
用することができる。しかしながら、上記した従来の装
置においては、後述するとおり、波長の校正が極めて面
倒であるという重大な欠点があつた。
例えば、第１図において、分光器の同調波長と、波長信
号発生器１７による波長信号出力との間に何らかの原因
により狂いが生じた場合には、回折格子１６の取り付角
度を調整するか、あるいは波長信号発生器１７とギヤ系
１１との連結を調整するなどにより調整しなければなら
ず、極めて校正が難しいばかりでなく、さらにこれを自
動化することは困難であり、また波長駆動装置と機械的
に連動する目盛円板や機械的計数表示器の場合にも同様
な欠点を持つている。一方、第２図に示した装置におい
ては、パルスモータ１′が駆動回路１Ｖの駆動パルスに
応答して動作しない場合、または電源しや断中に手動で
波長を走査したなどの場合は、分光器の同調波長と波長
計数器６０の計数値は容易に狂うこととなり、第１図に
示したものと比べてはるかに頻繁に波長校正を行なう必
要がある。しかし、この場合には、例えば、波長計数器
６０をプリセツト可能な計数器にしておくことで、比較
的容易に波長校正を行なうことができる。また例えば、
スライダ１３が一定位置に来たときに、スイツチ（図示
せず）を動作させて波長校正パルスを発生し、波長計数
器６０を自動的に一定値にプリセツトするなどの方法に
より、波長自動校正も可能であるが、この方法では回折
格子１６とレバー１４の取り付け角度の狂い、または温
度変化などの要因による光学的条件の狂いなどに起因す
る波長の狂いに関しては全く無能である。特に高分解能
の分光器では、このような光学的条件の変化による波長
の狂いは重大な問題であり、さらに例えば、広い波長領
域をカバーするため波長領域によつて回折格子の切替え
て使用する分光器でをζ回折格子の切替え時に回折格子
の取り付け角度が狂うなどにより波長の狂いを生じ易い
という欠点がある。上記のような光学的条件の変化に起
因する波長の狂いをも含めて波長校正を行なうには、既
知波長の線スベクトルを観測することによつて、波長計
数器６０を校正することにより達成できるが、極めて面
倒であるばかりでなく、これを自動的に行なうには、既
知波長の線スペクトルを発生する光源などを準備し、か
つ一定周期で既知波長スペクトルの観測に切替えて波長
の狂いをチエツクするなど、非常に繁雑な方法を取らね
ばならない欠点があつた。本発明の目的は、上記の従来
技術の欠点を解消し、光学的条件の狂いも含めた分光器
の波長校正を簡単に自動的に行いうる装置を提供するこ
とである。
号発生器１７による波長信号出力との間に何らかの原因
により狂いが生じた場合には、回折格子１６の取り付角
度を調整するか、あるいは波長信号発生器１７とギヤ系
１１との連結を調整するなどにより調整しなければなら
ず、極めて校正が難しいばかりでなく、さらにこれを自
動化することは困難であり、また波長駆動装置と機械的
に連動する目盛円板や機械的計数表示器の場合にも同様
な欠点を持つている。一方、第２図に示した装置におい
ては、パルスモータ１′が駆動回路１Ｖの駆動パルスに
応答して動作しない場合、または電源しや断中に手動で
波長を走査したなどの場合は、分光器の同調波長と波長
計数器６０の計数値は容易に狂うこととなり、第１図に
示したものと比べてはるかに頻繁に波長校正を行なう必
要がある。しかし、この場合には、例えば、波長計数器
６０をプリセツト可能な計数器にしておくことで、比較
的容易に波長校正を行なうことができる。また例えば、
スライダ１３が一定位置に来たときに、スイツチ（図示
せず）を動作させて波長校正パルスを発生し、波長計数
器６０を自動的に一定値にプリセツトするなどの方法に
より、波長自動校正も可能であるが、この方法では回折
格子１６とレバー１４の取り付け角度の狂い、または温
度変化などの要因による光学的条件の狂いなどに起因す
る波長の狂いに関しては全く無能である。特に高分解能
の分光器では、このような光学的条件の変化による波長
の狂いは重大な問題であり、さらに例えば、広い波長領
域をカバーするため波長領域によつて回折格子の切替え
て使用する分光器でをζ回折格子の切替え時に回折格子
の取り付け角度が狂うなどにより波長の狂いを生じ易い
という欠点がある。上記のような光学的条件の変化に起
因する波長の狂いをも含めて波長校正を行なうには、既
知波長の線スベクトルを観測することによつて、波長計
数器６０を校正することにより達成できるが、極めて面
倒であるばかりでなく、これを自動的に行なうには、既
知波長の線スペクトルを発生する光源などを準備し、か
つ一定周期で既知波長スペクトルの観測に切替えて波長
の狂いをチエツクするなど、非常に繁雑な方法を取らね
ばならない欠点があつた。本発明の目的は、上記の従来
技術の欠点を解消し、光学的条件の狂いも含めた分光器
の波長校正を簡単に自動的に行いうる装置を提供するこ
とである。
本発明の分光器自動波長校正装置の実施例を説明するに
先だち、回折格子により光が回折される原理につき、第
３図を参照して説明すれば、回折格子１６の法線２８に
対して角度αで入射光２５が入射したとき、波長λｃの
一次回折光２７は、回折格子法線３８に対し角度βの方
向に回折される。
先だち、回折格子により光が回折される原理につき、第
３図を参照して説明すれば、回折格子１６の法線２８に
対して角度αで入射光２５が入射したとき、波長λｃの
一次回折光２７は、回折格子法線３８に対し角度βの方
向に回折される。
このとき、法線２８に対する入射光２５の入射角αと同
じ角度αで対称的に反射する反射光２６、すなわち零次
回折光が現われる。従つて分光器の同調波長があらかじ
め決めた波長λｃとなり、この波長λｃの光が出射スリ
ツトより出射するときに、上記零次回折光を検知する位
置に検知器を配置すれば、分光器の同調波長が、上記あ
ら力・じめ決めた波長λｃになる度に、上記検知器は零
次回折光を検知することになり、この関係は波長駆動装
置や、入射スリツトから回折格子に到る光学系に起因す
る同調波長の狂いに対しては、全く影響を受けないこと
は明らかである。また一般に零次回折光の強度は、分散
されたスペクトル強度に比べてはるかに大きいので、そ
の検知は極めて容易であるため、微妙な同調波長の変化
に対応して零次回折光の検知を行なうことが可能である
。本発明の分光器自体波長校正装置は、光を波長により
分散する光分散素子を設けた分光器において、分光器の
同調波長を読み取り同調波長信号を発生する波長読み取
り装置と、前記光分散素子への入射光の入射角と同じ角
度で対称的に反射する反射光を検知する検知器とを備え
、この検知器は分光器の同調波長があらかじめ決めた波
長（λｃ）になつたとき前記光分散素子の反射光が前記
検知器に入射する位置に配置し、前記検知器の出力によ
つて該波長読み取り装置の計数値を前記波長（λｃ）に
対応した値にりセツトする手段を設けたものである。本
発明の分光器自動波長校正装置の一実施例を、第４図に
もとづいて説明すれば、光源３１からの白色光は、入射
スリツト３２、反射鏡３３，３４、回折格子１６および
出射スリツト３５から構成される発光器により、上記白
色光の一部は単色光となつて出射光２１として出射スリ
ツト３５から取り出される。
じ角度αで対称的に反射する反射光２６、すなわち零次
回折光が現われる。従つて分光器の同調波長があらかじ
め決めた波長λｃとなり、この波長λｃの光が出射スリ
ツトより出射するときに、上記零次回折光を検知する位
置に検知器を配置すれば、分光器の同調波長が、上記あ
ら力・じめ決めた波長λｃになる度に、上記検知器は零
次回折光を検知することになり、この関係は波長駆動装
置や、入射スリツトから回折格子に到る光学系に起因す
る同調波長の狂いに対しては、全く影響を受けないこと
は明らかである。また一般に零次回折光の強度は、分散
されたスペクトル強度に比べてはるかに大きいので、そ
の検知は極めて容易であるため、微妙な同調波長の変化
に対応して零次回折光の検知を行なうことが可能である
。本発明の分光器自体波長校正装置は、光を波長により
分散する光分散素子を設けた分光器において、分光器の
同調波長を読み取り同調波長信号を発生する波長読み取
り装置と、前記光分散素子への入射光の入射角と同じ角
度で対称的に反射する反射光を検知する検知器とを備え
、この検知器は分光器の同調波長があらかじめ決めた波
長（λｃ）になつたとき前記光分散素子の反射光が前記
検知器に入射する位置に配置し、前記検知器の出力によ
つて該波長読み取り装置の計数値を前記波長（λｃ）に
対応した値にりセツトする手段を設けたものである。本
発明の分光器自動波長校正装置の一実施例を、第４図に
もとづいて説明すれば、光源３１からの白色光は、入射
スリツト３２、反射鏡３３，３４、回折格子１６および
出射スリツト３５から構成される発光器により、上記白
色光の一部は単色光となつて出射光２１として出射スリ
ツト３５から取り出される。
上記出射光２１の波長λは、分光器の同調波長である。
分光器の同調波長は、例えばパルスモータとサインパ一
方式駆動系から構成される波長駆動装置２０によつて回
折格子１６を回転させることにより変化される。上記波
長駆動装置２０から一定波長間隔毎に発生するパルスは
、正逆信号４１に従つて波長計数器６０により加算また
は減算計数され、波長計数器６０の直数値は常に分光器
の同調波長に対応した計数値を保持する。検知器３９は
、回折格子１６の反射光をレンズ３８およびスリツト３
６を通じて受光する位置に位置させ、その位置を調整し
て分光器の同調波長があらかじめ決めた波長λｃになつ
たときだけ、レンズ３８およびスリツト３６を通じて零
次回折光を検知し、その出力信号は比較器６１を通じて
波長校正パルス５０としてパルス波長計数器６０に入力
し、パルス波長計数器６０の計数値をλｃにりセツトす
る。上記比較器６１は迷光などによる誤動作を防ぎ、分
光器の円調波長が正確にあらかじめ決めた波長λｃにな
つたときだけ、波長校正パルス信号５０を発生する役目
をする。上記比較器６１の詳細は、よく知られている比
較器であるから省略する。上記説明で明かなとおり、波
長計数器６０の計数値は、分光器の同調波長が上記λｃ
になる度に自動的に校正され、常に正確な分光器の同調
波長を保持することができる。上記波長計数器６０の波
長信号出力１８を波長表示器に供給して波長表示を行な
うとともに、波長信号として取り出し利用することがで
きる。第４図に示した本発明の分光器自動波長校正装置
の実施例においては、光分散素子として回折格子を用い
たが、光分散素子としてプリズムを用いた場合について
、第５図を参照して考えてみる。
分光器の同調波長は、例えばパルスモータとサインパ一
方式駆動系から構成される波長駆動装置２０によつて回
折格子１６を回転させることにより変化される。上記波
長駆動装置２０から一定波長間隔毎に発生するパルスは
、正逆信号４１に従つて波長計数器６０により加算また
は減算計数され、波長計数器６０の直数値は常に分光器
の同調波長に対応した計数値を保持する。検知器３９は
、回折格子１６の反射光をレンズ３８およびスリツト３
６を通じて受光する位置に位置させ、その位置を調整し
て分光器の同調波長があらかじめ決めた波長λｃになつ
たときだけ、レンズ３８およびスリツト３６を通じて零
次回折光を検知し、その出力信号は比較器６１を通じて
波長校正パルス５０としてパルス波長計数器６０に入力
し、パルス波長計数器６０の計数値をλｃにりセツトす
る。上記比較器６１は迷光などによる誤動作を防ぎ、分
光器の円調波長が正確にあらかじめ決めた波長λｃにな
つたときだけ、波長校正パルス信号５０を発生する役目
をする。上記比較器６１の詳細は、よく知られている比
較器であるから省略する。上記説明で明かなとおり、波
長計数器６０の計数値は、分光器の同調波長が上記λｃ
になる度に自動的に校正され、常に正確な分光器の同調
波長を保持することができる。上記波長計数器６０の波
長信号出力１８を波長表示器に供給して波長表示を行な
うとともに、波長信号として取り出し利用することがで
きる。第４図に示した本発明の分光器自動波長校正装置
の実施例においては、光分散素子として回折格子を用い
たが、光分散素子としてプリズムを用いた場合について
、第５図を参照して考えてみる。
第５図は頂角δのリトロ形プリズムにおける光の入射、
出射の様子を説明する原理説明図である。入射角αで上
記プリズムに入射した入射光２５のうち、波長λｃの光
はコーテイングされているプリズムの裏面で反射された
あと、入射光と偏角θをなす方向２２に出射光として戻
つて行く。このとき、入射光２５の一部は、プリズム入
射面によつて表面反射され、入射面の法線に対して入射
光と対称な方向２３に向かうことは明かである。従つて
、上記表面反射光を検知すれば、回折格子における零次
回折光を検知する場合と全く同様に、分光器の波長校正
に利用できることが明かである。以上本発明によれば、
周囲条件の変化などによる分光器の光学配置に起因する
波長の狂いを含めた校正が可能となる。
出射の様子を説明する原理説明図である。入射角αで上
記プリズムに入射した入射光２５のうち、波長λｃの光
はコーテイングされているプリズムの裏面で反射された
あと、入射光と偏角θをなす方向２２に出射光として戻
つて行く。このとき、入射光２５の一部は、プリズム入
射面によつて表面反射され、入射面の法線に対して入射
光と対称な方向２３に向かうことは明かである。従つて
、上記表面反射光を検知すれば、回折格子における零次
回折光を検知する場合と全く同様に、分光器の波長校正
に利用できることが明かである。以上本発明によれば、
周囲条件の変化などによる分光器の光学配置に起因する
波長の狂いを含めた校正が可能となる。
第１図は従来の分光器波長読み取り装置の一例を示す機
能説明図、第２図は従来の分光器波長読み取り装置の他
の例を示す機能説明図、第３図は回折格子による光の回
折の様子を示す原理特明図、第４図は本発明になる分光
器自動波長校正装置の一実施例を示す機能説明図、第５
図はプリズムによる光の反射および屈折の様子を示す原
理説明図である。 １６・・・・・・回折格子、１９・・・・・・電気的波
長表示器、２０・・・・・・波長駆動装置、２１・・・
・・・分光器出射光、２５・・・・・・入射光、２６・
・・・・・零次回折光、２７・・・・・・一次回折光、
２８・・・・・・回折格子法線、３１・・・・・・光源
、３２，３５，３６・・・・・・スリツト、３３，３４
・・・・・・反射鏡、３８・・・・・・レンズ、３９・
・・・・・検知器、４０・・・・・・駆動パルス、４１
・・・・・・正逆信号、５０・−・・・・波長校正パル
ス信号、６０・・・・・・波長計数器、６１・・・・・
・比較器。
能説明図、第２図は従来の分光器波長読み取り装置の他
の例を示す機能説明図、第３図は回折格子による光の回
折の様子を示す原理特明図、第４図は本発明になる分光
器自動波長校正装置の一実施例を示す機能説明図、第５
図はプリズムによる光の反射および屈折の様子を示す原
理説明図である。 １６・・・・・・回折格子、１９・・・・・・電気的波
長表示器、２０・・・・・・波長駆動装置、２１・・・
・・・分光器出射光、２５・・・・・・入射光、２６・
・・・・・零次回折光、２７・・・・・・一次回折光、
２８・・・・・・回折格子法線、３１・・・・・・光源
、３２，３５，３６・・・・・・スリツト、３３，３４
・・・・・・反射鏡、３８・・・・・・レンズ、３９・
・・・・・検知器、４０・・・・・・駆動パルス、４１
・・・・・・正逆信号、５０・−・・・・波長校正パル
ス信号、６０・・・・・・波長計数器、６１・・・・・
・比較器。
Claims (1)
- １ 光を波長により分散する光分散素子を設けた分光器
において、分光器の同調波長を読み取り、同調波長信号
を発生する波長読み取り装置と、前記光分散素子への入
射光の入射角と同じ角度で対称的に反射する反射光を検
知する検知器とを備え、この検知器は分光器の同調波長
があらかじめ決めた波長になつたとき前記光分散素子の
反射光が前記検知器に入射する位置に配置し、前記検知
器に出力によつて前記波長読み取り装置の計数値を前記
波長にに対応した値にリセットする手段を設けたことを
特徴とする分光器自動波長校正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86876A JPS5919291B2 (ja) | 1976-01-07 | 1976-01-07 | 分光器自動波長校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP86876A JPS5919291B2 (ja) | 1976-01-07 | 1976-01-07 | 分光器自動波長校正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5284755A JPS5284755A (en) | 1977-07-14 |
| JPS5919291B2 true JPS5919291B2 (ja) | 1984-05-04 |
Family
ID=11485640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP86876A Expired JPS5919291B2 (ja) | 1976-01-07 | 1976-01-07 | 分光器自動波長校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919291B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5770415A (en) * | 1980-10-22 | 1982-04-30 | Hitachi Ltd | Initial setting device for wavelength of spectrophotometer |
| SE8107809L (sv) * | 1981-12-28 | 1983-06-29 | Lkb Biochrom Ltd | Fotometer |
| JPS59164924A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-18 | コルモーゲン コーポレイション | 較正波長の自動補正システム |
| CA1221557A (en) * | 1983-11-01 | 1987-05-12 | Michael A. Cross | Optical beam analyzer |
-
1976
- 1976-01-07 JP JP86876A patent/JPS5919291B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5284755A (en) | 1977-07-14 |
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