JPS59191134A - 磁気記憶体とその製造方法 - Google Patents
磁気記憶体とその製造方法Info
- Publication number
- JPS59191134A JPS59191134A JP6584283A JP6584283A JPS59191134A JP S59191134 A JPS59191134 A JP S59191134A JP 6584283 A JP6584283 A JP 6584283A JP 6584283 A JP6584283 A JP 6584283A JP S59191134 A JPS59191134 A JP S59191134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- magnetic storage
- medium
- storage medium
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記憶装置に用いられる磁気ディスク等の磁
気記憶体とその製造方法にかかる。現在主に用いられて
いる長手記録方式においては、最近高密度記憶媒体とし
て、記憶媒体が、めっさ法又はスパッタ法により、製作
された連続磁性研膜型のめっき磁気ディスク、フエライ
トスバ、り磁気ディスクが用いられ始めた。これらの連
糺碌性′Ｎｆ膜を記ｊ黛媒体とする磁気ディスクを用い
た高性能磁気ディスク装置が１９８１年に開発され、線
Ｗ′度１４０００ＢＰＩ、トラック育成１１（ＩＯＴＰ
ＩＯ都記録密度が外爪されている。
気記憶体とその製造方法にかかる。現在主に用いられて
いる長手記録方式においては、最近高密度記憶媒体とし
て、記憶媒体が、めっさ法又はスパッタ法により、製作
された連続磁性研膜型のめっき磁気ディスク、フエライ
トスバ、り磁気ディスクが用いられ始めた。これらの連
糺碌性′Ｎｆ膜を記ｊ黛媒体とする磁気ディスクを用い
た高性能磁気ディスク装置が１９８１年に開発され、線
Ｗ′度１４０００ＢＰＩ、トラック育成１１（ＩＯＴＰ
ＩＯ都記録密度が外爪されている。
今後更に冒臂度化が進む状況にあり、紳密度及びトラッ
ク密度の向上の為の研究開発力付＾発に行なわれている
。
ク密度の向上の為の研究開発力付＾発に行なわれている
。
トラック密度に関しては、従来からサーボディスクを用
いたサーボ面サーボ方式が採用されているが、この方式
ではサーボディスクとデータディスク間の物理的距離及
び構造等に帰因する温度差による熱膨張の違いが生じて
トラック密度の増大の大きな障害になっている。この欠
点を除去する方法としてデータ面サーボ方式が提案され
ているが、この方式ではデータ領域をサーボ領域にさか
なけれはならないため、記録密度を大巾に塘加すること
は難しい。
いたサーボ面サーボ方式が採用されているが、この方式
ではサーボディスクとデータディスク間の物理的距離及
び構造等に帰因する温度差による熱膨張の違いが生じて
トラック密度の増大の大きな障害になっている。この欠
点を除去する方法としてデータ面サーボ方式が提案され
ているが、この方式ではデータ領域をサーボ領域にさか
なけれはならないため、記録密度を大巾に塘加すること
は難しい。
本発明の目的はデータ領域をせばめることなく高線密度
反ひ筒トラック荀′度が可ｔｊハなサーボ方式を実現す
る為に、斜め蒸着装置により基体上に市内単一方向（半
径又は円周方向）の磁化容易軸を有するサーボ情報用媒
体を被覆し、該媒体の上にさらに蒸着方向を変えた斜め
蒸着装置により該媒体と直角方向に面内単一方向（円周
又は半径方向）の磁化容易軸を有するデータ情報用媒体
が被覆してなる磁気記憶体とその製造方法を提供するこ
とにある。
反ひ筒トラック荀′度が可ｔｊハなサーボ方式を実現す
る為に、斜め蒸着装置により基体上に市内単一方向（半
径又は円周方向）の磁化容易軸を有するサーボ情報用媒
体を被覆し、該媒体の上にさらに蒸着方向を変えた斜め
蒸着装置により該媒体と直角方向に面内単一方向（円周
又は半径方向）の磁化容易軸を有するデータ情報用媒体
が被覆してなる磁気記憶体とその製造方法を提供するこ
とにある。
本発明による磁気記憶体及びその製造方法は非磁性基体
と該非磁性基体を被覆する非磁性層とこの非磁性層の上
に斜め蒸着法により面内単一方向に磁化容易軸を有する
サーボ情報用磁気記録媒体を被覆し、該媒体上に、再び
斜め蒸着装置により該媒体と直角方向に面内単一方向に
磁化容易軸を有するデータ情報用磁気記録媒体を被覆し
該媒体上に保護膜を被覆して、上記多層ｔＡ造を有する
磁気記憶体を製造する。
と該非磁性基体を被覆する非磁性層とこの非磁性層の上
に斜め蒸着法により面内単一方向に磁化容易軸を有する
サーボ情報用磁気記録媒体を被覆し、該媒体上に、再び
斜め蒸着装置により該媒体と直角方向に面内単一方向に
磁化容易軸を有するデータ情報用磁気記録媒体を被覆し
該媒体上に保護膜を被覆して、上記多層ｔＡ造を有する
磁気記憶体を製造する。
次に図面を参１（Ｉ Ｌ、て本発明の詳細な説明する。
第１および２図は本発明の製造方法により作製した磁気
記憶体の実施例の部分断面図である。
記憶体の実施例の部分断面図である。
第３図は単一方向に磁化容易軸を有するコバルト又はコ
バルト合金層を形成する方法の概念図てあ−ボ情報用及
びデータ情報用磁気記憶媒体のヒステリシス特性である
。第１．２図において非磁性基体ｌとしてアルミ合金、
チタン合金等が用いられる。該非磁性基体１の上に被覆
される非磁性層２は硬質のニッケルーリン合金層又はア
ルミナ、ＳｉＯ，、ＳｉＣ等のセラミックスが用いられ
、該非磁性層２の表面は研磨により表面粗さの小さな鏡
面に仕上げられる。
バルト合金層を形成する方法の概念図てあ−ボ情報用及
びデータ情報用磁気記憶媒体のヒステリシス特性である
。第１．２図において非磁性基体ｌとしてアルミ合金、
チタン合金等が用いられる。該非磁性基体１の上に被覆
される非磁性層２は硬質のニッケルーリン合金層又はア
ルミナ、ＳｉＯ，、ＳｉＣ等のセラミックスが用いられ
、該非磁性層２の表面は研磨により表面粗さの小さな鏡
面に仕上げられる。
但し記録密度が低く、／Ｊ）さな表面粗さを必要としな
いフレキシブルディスクにおいては非磁性層２は必要で
なく、非磁性基体１として安価なポリエステル、ポリア
ミドイミ ド、ポリイミド、ポリメチルメタクリレート
などが用いられる。し非磁性層２の上に被覆される面内
単一方向に磁化容易軸を有するサーボ情報用磁気記録媒
体３は第２図３に示す株にディスクの半径方向の面内単
一方向に磁化容易軸を存している。該媒体３としては鉄
′、コバルト、ニッケル等の磁性金属又はコハルトーニ
ッケノペコバルトータングステンなどの合金が用いられ
る。この様な金属又は合金の）！ｉ！続薄ｊ漢を面内単
一方向に磁化容易軸を持たせる方法として斜め蒸着法が
あげられる。
いフレキシブルディスクにおいては非磁性層２は必要で
なく、非磁性基体１として安価なポリエステル、ポリア
ミドイミ ド、ポリイミド、ポリメチルメタクリレート
などが用いられる。し非磁性層２の上に被覆される面内
単一方向に磁化容易軸を有するサーボ情報用磁気記録媒
体３は第２図３に示す株にディスクの半径方向の面内単
一方向に磁化容易軸を存している。該媒体３としては鉄
′、コバルト、ニッケル等の磁性金属又はコハルトーニ
ッケノペコバルトータングステンなどの合金が用いられ
る。この様な金属又は合金の）！ｉ！続薄ｊ漢を面内単
一方向に磁化容易軸を持たせる方法として斜め蒸着法が
あげられる。
第３図（し）はサーボ情報用磁気記録媒体３を形成する
だめの斜め蒸着方法に用いられる装置の正面概略図であ
る。蒸着源６より発生した金属蒸気８をスリット７によ
り蒸気流を狭い角度に絞りディスク９上に角度θにて蒸
着する。
だめの斜め蒸着方法に用いられる装置の正面概略図であ
る。蒸着源６より発生した金属蒸気８をスリット７によ
り蒸気流を狭い角度に絞りディスク９上に角度θにて蒸
着する。
第３図（ａ）゛ に示されるように入射方向１′ｏよ
りディスクの半径方向に入射角θにて（θ１ｊｌＯ〜６
０度）入射した蒸気流はディスク９の斜線の部分１３に
スリット７により絞られて細潰する。この時磁化容易軸
は入射方向に平行にそろうため、ディスクの半径方向に
磁化容易軸がそろうことＶこなる。ディスク９は回転１
１１．ているのでディスク全体に半径方向に磁化浴易軸
がそろう。
りディスクの半径方向に入射角θにて（θ１ｊｌＯ〜６
０度）入射した蒸気流はディスク９の斜線の部分１３に
スリット７により絞られて細潰する。この時磁化容易軸
は入射方向に平行にそろうため、ディスクの半径方向に
磁化容易軸がそろうことＶこなる。ディスク９は回転１
１１．ているのでディスク全体に半径方向に磁化浴易軸
がそろう。
に示す様にサーボ情報用磁気記録媒体３とは面内直角方
向に磁化容易軸を有しており、ディスク面に対し円周方
向に磁化容易軸Ｊを有している。該媒体４も材料はサー
ボ情報用磁気記１；は媒体３と同じものを使用すること
が出来る。
向に磁化容易軸を有しており、ディスク面に対し円周方
向に磁化容易軸Ｊを有している。該媒体４も材料はサー
ボ情報用磁気記１；は媒体３と同じものを使用すること
が出来る。
但し該媒体４の製造方法は第３図（、ｔ）の様に斜め蒸
着法における蒸気の入射方向をディスクの円周方向に変
化させたためにディスク９の回転軸をずらす。すなわち
前述と同様に媒体３を蒸着させだのと同一の蒸着源６よ
り発生した金属蒸気８をシャッター７′により蒸気流を
狭い角度に絞り、ディスク９上に角度θ（θは１０〜６
０度まで変えることが出来る）Ｋて蒸着する。イυし付
着させる部分は第３図（Ｃｙ に見る様に入射方向ｌ
Ｏより入射した蒸気流はディスク９の斜線の部分１４に
シャッターにより絞られて細潰する。この１皓磁化容易
軸は入射方向に平行にそろうためディスクの円周方向に
磁化容易軸がそろうことになる。ディスク９は回転１１
しているのでディスク全体に円周方向に磁化容易軸がそ
ろう。
着法における蒸気の入射方向をディスクの円周方向に変
化させたためにディスク９の回転軸をずらす。すなわち
前述と同様に媒体３を蒸着させだのと同一の蒸着源６よ
り発生した金属蒸気８をシャッター７′により蒸気流を
狭い角度に絞り、ディスク９上に角度θ（θは１０〜６
０度まで変えることが出来る）Ｋて蒸着する。イυし付
着させる部分は第３図（Ｃｙ に見る様に入射方向ｌ
Ｏより入射した蒸気流はディスク９の斜線の部分１４に
シャッターにより絞られて細潰する。この１皓磁化容易
軸は入射方向に平行にそろうためディスクの円周方向に
磁化容易軸がそろうことになる。ディスク９は回転１１
しているのでディスク全体に円周方向に磁化容易軸がそ
ろう。
第４図は第３図とは別の、磁気比１魚体の製造法に用い
る装置の概念図である。
る装置の概念図である。
第４図における製造装置は第１反０・２図におけるサー
ボ情報用磁気記憶媒体３とデータ情報用磁気記憶媒体４
を付着させる斜め蒸着用蒸着源６゜６′をそれぞれ個々
に有している。第４図（功は本製造装置の正面概略図で
ある。蒸発源６より発生した金属蒸気８をスリット７に
より蒸気流と狭い角度に絞り回転するディスク９上に角
度θにて方向１０から蒸着し、ディスクの半径方向に磁
化容易軸を存するサーボ情報用磁気記憶媒体が被覆され
る。この操作の間、もう１つの蒸着源６′からの蒸気８
′はシャッター１２′によりさえぎられている。
ボ情報用磁気記憶媒体３とデータ情報用磁気記憶媒体４
を付着させる斜め蒸着用蒸着源６゜６′をそれぞれ個々
に有している。第４図（功は本製造装置の正面概略図で
ある。蒸発源６より発生した金属蒸気８をスリット７に
より蒸気流と狭い角度に絞り回転するディスク９上に角
度θにて方向１０から蒸着し、ディスクの半径方向に磁
化容易軸を存するサーボ情報用磁気記憶媒体が被覆され
る。この操作の間、もう１つの蒸着源６′からの蒸気８
′はシャッター１２′によりさえぎられている。
次に蒸発源６からの蒸気流８はシャッター１２によりさ
えぎられる一方シャッター１２’を開けて蒸発源６′か
らの蒸気流８′を方向１０’から回転１１するディスク
９面に蒸着させ、ディスク９の円周方向に磁化容易軸を
有するデータ情報用磁気記憶媒体が被覆される。
えぎられる一方シャッター１２’を開けて蒸発源６′か
らの蒸気流８′を方向１０’から回転１１するディスク
９面に蒸着させ、ディスク９の円周方向に磁化容易軸を
有するデータ情報用磁気記憶媒体が被覆される。
第３図又ｉ−１：第４図の装置により製造されたディス
ク上に保護映５として５ｉｎ２． Ｓｉ、Ｎ、 、 Ｓ
ｉＣ。
ク上に保護映５として５ｉｎ２． Ｓｉ、Ｎ、 、 Ｓ
ｉＣ。
Ｅ、Ｃ，クイアモンド、 ＡＡ２０３ 、 Ｗ 、 Ｉ
ｒ 又はケイ酸重合物（ポリ珪酸）等を蒸着、スパッ
タ、イオンブレーティング又は塗布により被覆する。
ｒ 又はケイ酸重合物（ポリ珪酸）等を蒸着、スパッ
タ、イオンブレーティング又は塗布により被覆する。
サーボ情報用磁気記録媒体３とデータ情報用磁気記録媒
体４からの各情報の読み書きは各々ヘッドギャップの方
向が互いに９０°ずれたデータ情報用磁気ヘッドとサー
ボ情報用磁気ヘッドの２種類使用しても良いし、１つの
へラドコア内にデータ及びサーボ両情報用のヘッドを組
みこむこともできる。まだサーボ情報用磁気・＼ラドと
して磁気抵抗効果を利用した読出し専用へ、ドを用いる
ことも出来る。第５図（ａ）はサーボ情報用磁気記録媒
体３のＢ−、Ｈ特性であり、ディスクの半径方向（磁化
容易軸方向）はＥｌ）の様に残留磁束當［Ｂ ｒ は大
きいが円周方向（２）（磁化容易軸と曲角方向すなわち
磁化困難軸方向）ｌＩＢｒ がノ」）キい。一方デー
タ情報用磁気記録媒体４のＢ−Ｈ特性は第５図（ｂ）に
示す様に前記サーボ用媒体３とは逆に円周方向（２）の
Ｂｒ が大きく、半径方向のＢｒ が外さい為にサーボ
用磁気記録媒体３中に書き込まれたサーボ情報はサーボ
用へ、ドによってのみ読み出しおよび再書込みがなされ
データ用ヘッドでは読み出しおよび書込みは出来ない。
体４からの各情報の読み書きは各々ヘッドギャップの方
向が互いに９０°ずれたデータ情報用磁気ヘッドとサー
ボ情報用磁気ヘッドの２種類使用しても良いし、１つの
へラドコア内にデータ及びサーボ両情報用のヘッドを組
みこむこともできる。まだサーボ情報用磁気・＼ラドと
して磁気抵抗効果を利用した読出し専用へ、ドを用いる
ことも出来る。第５図（ａ）はサーボ情報用磁気記録媒
体３のＢ−、Ｈ特性であり、ディスクの半径方向（磁化
容易軸方向）はＥｌ）の様に残留磁束當［Ｂ ｒ は大
きいが円周方向（２）（磁化容易軸と曲角方向すなわち
磁化困難軸方向）ｌＩＢｒ がノ」）キい。一方デー
タ情報用磁気記録媒体４のＢ−Ｈ特性は第５図（ｂ）に
示す様に前記サーボ用媒体３とは逆に円周方向（２）の
Ｂｒ が大きく、半径方向のＢｒ が外さい為にサーボ
用磁気記録媒体３中に書き込まれたサーボ情報はサーボ
用へ、ドによってのみ読み出しおよび再書込みがなされ
データ用ヘッドでは読み出しおよび書込みは出来ない。
逆にデータ情報用磁気記録媒体４中ＶＣ＠き込まれたテ
ーク情報はデータ用ヘッドによってのみ読み出しおよび
再書込みがなされサーボ用ヘッドでは読み出しおよび揚
込みは出来ない。
ーク情報はデータ用ヘッドによってのみ読み出しおよび
再書込みがなされサーボ用ヘッドでは読み出しおよび揚
込みは出来ない。
この様にサーボ用磁気記録媒体をデータ用磁気記録媒体
と分けることによりデータ領域の損失なしに高トラツク
密度が可能となる。
と分けることによりデータ領域の損失なしに高トラツク
密度が可能となる。
以下本発明による磁気記憶体の特徴を実施例により睨明
する。
する。
実施例１
非磁性基体Ｉとしてのディスク状アルミニウム合金盤上
に非磁性層２としてニッケルー燐合金を約５０μｍの厚
さにめっきし、最大表面粗さ００２μｍになるまで鏡面
樹層仕上げした。該ニッケルー燐合金層上に第３図の装
置を用いてサーボ情報用磁気記録媒体３として面内半径
方向に磁化容易軸を有するコバルト・ニッケル合金を斜
め蒸元法にて第３図（’ｂ）の様に膜厚Ｏ１μｍにて被
覆し、該サーボ用媒体３の上にデータ情報用磁８奴体４
として面内円周方向に磁化容易軸を有するコバルト・ニ
ッケル合金を同じく第３図傾の様に斜め蒸着法によって
膜厚Ｏ１μｍにて被覆した。該データ用媒体４の上に保
護膜５としてテトラヒドロキシシランのアルコール溶液
をスピン塗布して２００℃で焼成し膜厚０゜１μｍのケ
イ酸重合物を被覆して磁気ディスクを作った。
に非磁性層２としてニッケルー燐合金を約５０μｍの厚
さにめっきし、最大表面粗さ００２μｍになるまで鏡面
樹層仕上げした。該ニッケルー燐合金層上に第３図の装
置を用いてサーボ情報用磁気記録媒体３として面内半径
方向に磁化容易軸を有するコバルト・ニッケル合金を斜
め蒸元法にて第３図（’ｂ）の様に膜厚Ｏ１μｍにて被
覆し、該サーボ用媒体３の上にデータ情報用磁８奴体４
として面内円周方向に磁化容易軸を有するコバルト・ニ
ッケル合金を同じく第３図傾の様に斜め蒸着法によって
膜厚Ｏ１μｍにて被覆した。該データ用媒体４の上に保
護膜５としてテトラヒドロキシシランのアルコール溶液
をスピン塗布して２００℃で焼成し膜厚０゜１μｍのケ
イ酸重合物を被覆して磁気ディスクを作った。
実施例２
実施例１と同様に但し、非磁性基体としてポリエステル
を用い、その上に実施例１と同様にサーボ情報用磁気記
録媒体、データ情報用磁気記録媒体、保護膜の順に被覆
して磁気ディスクを作った。
を用い、その上に実施例１と同様にサーボ情報用磁気記
録媒体、データ情報用磁気記録媒体、保護膜の順に被覆
して磁気ディスクを作った。
実施例１，２の磁気ディス〃を用いて線届度３ｏＯｏＯ
ＦＢ、ＰＩ、トラック￥１７ｉ１５００〜３ｔＪＯＯＴ
ＰＩを得ることが出来た。
ＦＢ、ＰＩ、トラック￥１７ｉ１５００〜３ｔＪＯＯＴ
ＰＩを得ることが出来た。
実施例３
実施例１と同様にして得られたこ、ケル−燐合金層上第
４図の装置を用いて、第４図の口兄明で述べた方法にて
サーボ情報用磁気すじ惰媒体３とデータ情報用磁気記憶
媒体４をそれぞれ膜厚ｏ、ｉμｍ。
４図の装置を用いて、第４図の口兄明で述べた方法にて
サーボ情報用磁気すじ惰媒体３とデータ情報用磁気記憶
媒体４をそれぞれ膜厚ｏ、ｉμｍ。
（１，０５μｍにて被覆しだ。該媒体の上に保護膜とし
てＢ、Ｃをイオンブンーティンダ法によりＯ，ＯＳμｍ
の厚さに被覆して磁気ディスクを作った。
てＢ、Ｃをイオンブンーティンダ法によりＯ，ＯＳμｍ
の厚さに被覆して磁気ディスクを作った。
なお本発明は連続薄膜磁性媒体を有する磁気記憶体につ
いてのべたが、針状の鉄酸化物、鉄窒化物、Ｃｒ Ｏ２
微粒子又はＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ反びそれらの合金微粒子等
の磁性体微粒子を付根バインダー中に分散させた不連続
磁性媒体においても磁場中で前記磁性体微粒子をサーボ
用媒体は半径方向に、又データ用媒体は円周方向に分散
配向させることにより、使用出来ることは明らかて゛あ
る。また斜め蒸着法の他にも磁場中蒸着又は磁場中スパ
ッタリングによっても半径方向及び円周方向に磁化容易
軸を有するザーボ用反ひデータ用媒体を作ることが出来
る。
いてのべたが、針状の鉄酸化物、鉄窒化物、Ｃｒ Ｏ２
微粒子又はＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ反びそれらの合金微粒子等
の磁性体微粒子を付根バインダー中に分散させた不連続
磁性媒体においても磁場中で前記磁性体微粒子をサーボ
用媒体は半径方向に、又データ用媒体は円周方向に分散
配向させることにより、使用出来ることは明らかて゛あ
る。また斜め蒸着法の他にも磁場中蒸着又は磁場中スパ
ッタリングによっても半径方向及び円周方向に磁化容易
軸を有するザーボ用反ひデータ用媒体を作ることが出来
る。
図 哀
第ｐ千よσづ図は磁気記憶体の〜ｒ面図である。
この図で
１・・・非磁性基体、２・−・非磁性層、３・・サーボ
情報用磁気記録媒体、４・・・データ情報用磁気記録媒
体、５・・保護膜、 第３図（ｂｊ 、 （Ｍｊは斜め蒸着法に用いる装置の
概１１１３図である。 第３図（の’）’ 、 （Ｑ）′’ は磁気ディスクの
斜視図。 この図で ６・・・ルツボ、７．７’・・シールド、８・・・蒸気
流、９・・−ディスク、ＩＯ・−蒸気流入射方向、１１
・・・ディスク回転方向、１３・・・サーボ情報用磁気
記録媒体の単位時間当りの付着領域、１４−・データ情
報用磁気記録媒体の単位時間当りの付着領域、第４図（
し）は別の斜め蒸着装置の概略図である。 第４図（ａ）′ は磁気ディスクの斜視図である。 この図で ６・・・サーホ情報用破気記録媒体被覆用ルツボ、６′
・・・データ情報用磁気記録媒体扱覆用ルソホ、７・・
・シールド、８，８′・・・蒸気流、９・・・ディスク
、。 １０ 、１０’・・・蒸気流入射方向、１１・・ディス
ク回転方向、ｌ ２ 、 ｌ ２’・・・シャッター、
１３・・・サーボ情報用磁気記録媒体の単位時間当りの
付着領域、１４・・・データ情報用磁気記録媒体の単位
時間当りの付着領域、 第５図（、） 、 （ｂ）はサーボ情報用及びデータ情
報用磁気記録媒体のヒステリシス特性。 ２１ 囚 才 ２ 圀 第３図 （ａ） （Ｃ）（ｂ ）
（
ｄノオ μ 閃 （０） （ｂ）
情報用磁気記録媒体、４・・・データ情報用磁気記録媒
体、５・・保護膜、 第３図（ｂｊ 、 （Ｍｊは斜め蒸着法に用いる装置の
概１１１３図である。 第３図（の’）’ 、 （Ｑ）′’ は磁気ディスクの
斜視図。 この図で ６・・・ルツボ、７．７’・・シールド、８・・・蒸気
流、９・・−ディスク、ＩＯ・−蒸気流入射方向、１１
・・・ディスク回転方向、１３・・・サーボ情報用磁気
記録媒体の単位時間当りの付着領域、１４−・データ情
報用磁気記録媒体の単位時間当りの付着領域、第４図（
し）は別の斜め蒸着装置の概略図である。 第４図（ａ）′ は磁気ディスクの斜視図である。 この図で ６・・・サーホ情報用破気記録媒体被覆用ルツボ、６′
・・・データ情報用磁気記録媒体扱覆用ルソホ、７・・
・シールド、８，８′・・・蒸気流、９・・・ディスク
、。 １０ 、１０’・・・蒸気流入射方向、１１・・ディス
ク回転方向、ｌ ２ 、 ｌ ２’・・・シャッター、
１３・・・サーボ情報用磁気記録媒体の単位時間当りの
付着領域、１４・・・データ情報用磁気記録媒体の単位
時間当りの付着領域、 第５図（、） 、 （ｂ）はサーボ情報用及びデータ情
報用磁気記録媒体のヒステリシス特性。 ２１ 囚 才 ２ 圀 第３図 （ａ） （Ｃ）（ｂ ）
（
ｄノオ μ 閃 （０） （ｂ）
Claims (6)
- （１）基体上に被覆された磁気記憶体の面内単一方向に
磁化容易軸を有するサーボ情報用磁気記憶媒体と該媒体
の上に被覆される該サーボ情報用磁気記１・居媒体の磁
化容易軸に対し直角方向に１６化容易軸を有するデータ
情報用磁気記憶媒体とを具備してなることを特徴とする
磁気記憶体。 - （２）サーボ情報用磁気記憶媒体の磁化容易軸が面内半
径方向にあり、データ情報用磁気Ｓｅ憶媒体の磁化容易
軸か面内円周方向にある特許３１：：求の範囲第１項記
載の磁気記憶体。 - （３）サーボ情報用磁気記憶媒体の磁化容易軸か面内円
周方向にあり、データ情報用磁気記憶媒体の磁化容易軸
が面内半径方向にある特許請求の範囲第１項記載の磁気
記憶体。 - （４）基体上に形成される磁気記憶体の単一方向に蒸気
の入射方向を倚する斜め蒸着により面内単一方向に磁化
容易軸を有するサーボ情報用磁気記憶媒体を形成し、該
媒体の上に該媒体の磁化容易軸に直角方向に蒸気の入射
方向を有する斜め蒸着により前記サーボ情報用磁気記憶
媒体の磁界容易軸と直角方向に磁化容易軸を有するデー
タ情報用磁気記憶媒体を形成せしめることを特徴とする
磁気記憶体の製造方法。 - （５）磁気記憶体の半径方向に蒸気の入射方向を有する
斜め蒸着により面内半径方向に磁化容易軸を有するサー
ボ情報用磁気記憶媒体を扱覆し、該媒体上に磁気記憶体
の円周方向に蒸気の入射方向を倚する斜め蒸着により面
内円周方向に磁゛化容易軸を有するデータ情報用磁気記
憶媒体を被覆する特許請求の範囲第４項配戦の磁気記憶
体の製造方法。 - （６）磁気記憶体の円周方向に蒸気の入射方向を存する
斜め蒸滝により面内円周方向に磁化容易軸を有するサー
ボ情報用磁気記憶媒体を被覆し、該媒体上に磁気記憶体
の面内半径方向に蒸気の入射方向を侍する斜め蒸着によ
り面内半径方向に磁化容易軸を有するデータ情報用磁気
記憶媒体を被覆する特許請求の範囲第４〕貝６己載の磁
気記憶体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584283A JPS59191134A (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 磁気記憶体とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584283A JPS59191134A (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 磁気記憶体とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59191134A true JPS59191134A (ja) | 1984-10-30 |
Family
ID=13298665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6584283A Pending JPS59191134A (ja) | 1983-04-14 | 1983-04-14 | 磁気記憶体とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59191134A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009055826A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Iseki & Co Ltd | コンバインの刈取穀稈搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5321905A (en) * | 1976-08-12 | 1978-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | Preparation of magnetic recording material |
| JPS57127925A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-04-14 JP JP6584283A patent/JPS59191134A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5321905A (en) * | 1976-08-12 | 1978-02-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | Preparation of magnetic recording material |
| JPS57127925A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Sekisui Chem Co Ltd | Magnetic recording medium |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009055826A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Iseki & Co Ltd | コンバインの刈取穀稈搬送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5815343A (en) | Magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording system | |
| US4950548A (en) | Magnetic recording medium and method of producing same | |
| JP3286291B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US20050196649A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| JPH087250A (ja) | 磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 | |
| JPH07105027B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS59191134A (ja) | 磁気記憶体とその製造方法 | |
| JP3582435B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS58128023A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH04195717A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置 | |
| JPH0773433A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置 | |
| JPH0268716A (ja) | 磁気ディスク媒体の製造方法 | |
| JP2002324313A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3864637B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61194623A (ja) | 記録媒体 | |
| JPS59171031A (ja) | 磁気デイスク | |
| JPH05101385A (ja) | 円周方向に揃つた磁化容易軸を有する磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS60231911A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02236815A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH02101618A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPH031726B2 (ja) | ||
| JPH04143920A (ja) | 磁気ディスク | |
| JPS6260119A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH01269211A (ja) | 磁気ヘツド | |
| Ouchi et al. | Perpendicular magnetic recording media |