JPS59184815A - 誤差を補正するための装置を有する測定装置 - Google Patents
誤差を補正するための装置を有する測定装置Info
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- JPS59184815A JPS59184815A JP59061244A JP6124484A JPS59184815A JP S59184815 A JPS59184815 A JP S59184815A JP 59061244 A JP59061244 A JP 59061244A JP 6124484 A JP6124484 A JP 6124484A JP S59184815 A JPS59184815 A JP S59184815A
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000001148 spastic effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、相対的に互に変位可能な二つの対象物に設け
られた測定目盛およびこの測定目盛を走査する走査ユニ
ットと、測定方向に対し横に少なくとも一つの調整要素
により調整可能な誤差補正形材とを備え、調整要素のマ
ーク担持体の調整マークがスケール担持体のスケールに
を備えた、誤差、特に目盛誤差および／まだは機械誤差
を補正するだめの装置を有する測定装置に関する。
られた測定目盛およびこの測定目盛を走査する走査ユニ
ットと、測定方向に対し横に少なくとも一つの調整要素
により調整可能な誤差補正形材とを備え、調整要素のマ
ーク担持体の調整マークがスケール担持体のスケールに
を備えた、誤差、特に目盛誤差および／まだは機械誤差
を補正するだめの装置を有する測定装置に関する。
ドイツ特許明細書３１３６９８１から、誤差を補正する
ために誤差補正形材が偏心輪により測定方向に対し横に
調整可能な長さ測定装置が知られている。
ために誤差補正形材が偏心輪により測定方向に対し横に
調整可能な長さ測定装置が知られている。
ドクター・ヨハネス・ハイデンハイン社の刊行物１イン
クリメ、ンタル長さ測定装置ＬＳ １０７．’１９８２
年１０月にも同様に、誤差を補正するために誤差補正形
材が偏心輪によシ測定方向に対し横に調整可能な長さ測
定装置が記載されている。誤差補正形材を調整するため
に、偏心輪がそれぞれ固定調整マークを有し、この調整
マークに、測定装置のハウジング上の固定スケールが所
属している。
クリメ、ンタル長さ測定装置ＬＳ １０７．’１９８２
年１０月にも同様に、誤差を補正するために誤差補正形
材が偏心輪によシ測定方向に対し横に調整可能な長さ測
定装置が記載されている。誤差補正形材を調整するため
に、偏心輪がそれぞれ固定調整マークを有し、この調整
マークに、測定装置のハウジング上の固定スケールが所
属している。
一般に、補正すべき誤差は、測定装置の測定目盛の目盛
誤差および機械部品の案内誤差の形態の機械誤差から成
っている。通常、このような測定装置は、引渡し前に例
えば干渉計により較正され、場合によっては測定目盛に
存在する目盛誤差を偏心輪を用いて誤差補正形材を調整
することによシ補正する。一般に、この目盛誤差の補正
後、偏心輪に固定しで配置された調整マークの少なくと
も一部が固定スケールのゼロマークからそれる。この測
定装置を加工機械または測定機械に取シつけた後、なお
場合によっては存在する被測−機械部品の案内誤差を同
様に偏心輪を用いて誤差補正形材を調整することにより
補正しなければなら々い。しかしながら、例えば既存の
誤差記録を用いて案内誤差をこのように補正する場合に
、偏心輪のすべての調整マークが固定スケールのゼロマ
ークに所属してないことは不利であることが判明・して
いるので、誤差の結果に対応する誤差補正形材の再生可
能な調整は、後に再調整するときでもむづかしく、かつ
必らずしも誤差とは無関係ではない。
誤差および機械部品の案内誤差の形態の機械誤差から成
っている。通常、このような測定装置は、引渡し前に例
えば干渉計により較正され、場合によっては測定目盛に
存在する目盛誤差を偏心輪を用いて誤差補正形材を調整
することによシ補正する。一般に、この目盛誤差の補正
後、偏心輪に固定しで配置された調整マークの少なくと
も一部が固定スケールのゼロマークからそれる。この測
定装置を加工機械または測定機械に取シつけた後、なお
場合によっては存在する被測−機械部品の案内誤差を同
様に偏心輪を用いて誤差補正形材を調整することにより
補正しなければなら々い。しかしながら、例えば既存の
誤差記録を用いて案内誤差をこのように補正する場合に
、偏心輪のすべての調整マークが固定スケールのゼロマ
ークに所属してないことは不利であることが判明・して
いるので、誤差の結果に対応する誤差補正形材の再生可
能な調整は、後に再調整するときでもむづかしく、かつ
必らずしも誤差とは無関係ではない。
本発明の課題は、前述の種類の測定装置において、再生
再録な誤差の補正を可能にすることである。
再録な誤差の補正を可能にすることである。
この課題は、本発明により特許請求の範囲第１項記載の
特徴事項により解決される。
特徴事項により解決される。
本発明でなしとげられる利点は、特に、個々の誤差成分
を互に独立して、調整スケールを完全に利用しながら補
正できる、提案された補正装置により簡単な手段で正確
に再生可能々誤差の補正ができることにある。
を互に独立して、調整スケールを完全に利用しながら補
正できる、提案された補正装置により簡単な手段で正確
に再生可能々誤差の補正ができることにある。
本・発明の有利な構成は実施態様項に記載されている。
以下、本発明の実施例を図面によね詳細に説明する。
第１ａ、Ｉｂ図には、カプセルに包まれた長さ測定装置
が部分的な長手方向と横断面で示されており、そのハウ
ジング１が任意の仕方で加工機械または測定機械のベッ
ト２に固定されている。ハウジング１の内面には、接着
層５により測定スケール４が取りつけられておシ、その
目盛が走査ユニット５により周知の手段（図示省略）で
走査される。加工機械または測定機械のスライダ６にね
じ７により取付脚部８が固定されており、この取付脚部
８は、創状の中間部片１０を有する連行部材９を有し、
中間部片１０は、屋根状に傾斜した密封リップ１１で閉
鎖された長手方向隙間１２を通ってノ・ウジング１の内
部に突出している。ベット２に対するスライダ６の相対
運動が痙性部材９により角度し／（−１５（第２図）を
介して走査ユニット５に伝達される。
が部分的な長手方向と横断面で示されており、そのハウ
ジング１が任意の仕方で加工機械または測定機械のベッ
ト２に固定されている。ハウジング１の内面には、接着
層５により測定スケール４が取りつけられておシ、その
目盛が走査ユニット５により周知の手段（図示省略）で
走査される。加工機械または測定機械のスライダ６にね
じ７により取付脚部８が固定されており、この取付脚部
８は、創状の中間部片１０を有する連行部材９を有し、
中間部片１０は、屋根状に傾斜した密封リップ１１で閉
鎖された長手方向隙間１２を通ってノ・ウジング１の内
部に突出している。ベット２に対するスライダ６の相対
運動が痙性部材９により角度し／（−１５（第２図）を
介して走査ユニット５に伝達される。
ベット２に対する測定スケ−尤４の目盛誤差およびスラ
イダ乙の案内誤差を補正するために、長さ測定装置は、
ハウジング１の内部に配置された補正装置を有する。一
体の角度形の誤差補正形材１４が、決められた間隔で横
断面減少部１５を有し、その近くにそれぞれ偏心輪の形
の調整要素１６が存在しておシ、この調整要素を用いて
誤差補正形材１４をその直線コースから測定方向に対し
横に誤差コースに対応してかたよらせることにより調整
可能である。角度レバー１３が走査ユニット５に軸１７
を中心として揺動可能に支承され、かつその比較的長い
自由端にロール１８を有し、このロール１８は、走査ユ
ニット５を測定方向Ｘに移動させたときに誤差補正形材
１４の直線コースをたどり、かつ補正すべき誤差コース
に対応する角度レバー１５の揺動を実現する。誤差の補
正は、角度レバー１３のいっそう短い自由端に配置され
た偏心輪１９を介して行われ、この偏心輪１９け漣行部
材？にばね２０によシ当接し、かつ角度レバー１３の揺
動を走査ユニット５と連行部材９の間の相対運動に変換
する。
イダ乙の案内誤差を補正するために、長さ測定装置は、
ハウジング１の内部に配置された補正装置を有する。一
体の角度形の誤差補正形材１４が、決められた間隔で横
断面減少部１５を有し、その近くにそれぞれ偏心輪の形
の調整要素１６が存在しておシ、この調整要素を用いて
誤差補正形材１４をその直線コースから測定方向に対し
横に誤差コースに対応してかたよらせることにより調整
可能である。角度レバー１３が走査ユニット５に軸１７
を中心として揺動可能に支承され、かつその比較的長い
自由端にロール１８を有し、このロール１８は、走査ユ
ニット５を測定方向Ｘに移動させたときに誤差補正形材
１４の直線コースをたどり、かつ補正すべき誤差コース
に対応する角度レバー１５の揺動を実現する。誤差の補
正は、角度レバー１３のいっそう短い自由端に配置され
た偏心輪１９を介して行われ、この偏心輪１９け漣行部
材？にばね２０によシ当接し、かつ角度レバー１３の揺
動を走査ユニット５と連行部材９の間の相対運動に変換
する。
偏心輪１６は、ハウジング１の壁３６の孔２１の中で回
転可能な偏心円板１６ａからなり、この偏心円板１６ａ
が偏心して配置された突起２２（第３ａ 、３ｂ図）を
有し、この突起２２が誤差補正形材１４をかたよらせる
ためにその長孔２３に係合している。誤差補正形材１４
を調整する目的で偏心輪１６を回転させるために、偏心
円板１６ａには、回転工具を係合させるために外方から
近づきうる二つの凹み２４が設けられている。当面の誤
差の経過に対応して誤差補正形材１４の調整を実施した
後、誤差補正形材１４が、偏心した突起２２を通る孔２
６のねじ２５によシ、およびナツト２７によシハウジン
グ１にその位置で固定される。その場合、誤差補正形材
１４のシャンクがナツト２７のだめのねじシ安全装置と
して役立つ。偏心輪１６によシかたよらせることによシ
誤差補正形材１４を調整したときに長さの変化が生じる
ので、全体の誤差補正形材１・４を長さ方向に変位させ
ることができる長孔２３が設けられている。誤差補正形
材１４の一端が周知のように（図示省略）測定ゼロ点に
対して固定されている。
転可能な偏心円板１６ａからなり、この偏心円板１６ａ
が偏心して配置された突起２２（第３ａ 、３ｂ図）を
有し、この突起２２が誤差補正形材１４をかたよらせる
ためにその長孔２３に係合している。誤差補正形材１４
を調整する目的で偏心輪１６を回転させるために、偏心
円板１６ａには、回転工具を係合させるために外方から
近づきうる二つの凹み２４が設けられている。当面の誤
差の経過に対応して誤差補正形材１４の調整を実施した
後、誤差補正形材１４が、偏心した突起２２を通る孔２
６のねじ２５によシ、およびナツト２７によシハウジン
グ１にその位置で固定される。その場合、誤差補正形材
１４のシャンクがナツト２７のだめのねじシ安全装置と
して役立つ。偏心輪１６によシかたよらせることによシ
誤差補正形材１４を調整したときに長さの変化が生じる
ので、全体の誤差補正形材１・４を長さ方向に変位させ
ることができる長孔２３が設けられている。誤差補正形
材１４の一端が周知のように（図示省略）測定ゼロ点に
対して固定されている。
偏心円板１６ａには、誤差の補正を再生可能にするため
に、リング、形のマーク担持体２８に調整マークＭが設
けられており、マーク担持体２８が偏心円板１６ａの円
錐形のリング溝３０に挿入され、かつ板ばね５１により
環状構３０の開口に対し押圧されてこの位置に固定され
る。
に、リング、形のマーク担持体２８に調整マークＭが設
けられており、マーク担持体２８が偏心円板１６ａの円
錐形のリング溝３０に挿入され、かつ板ばね５１により
環状構３０の開口に対し押圧されてこの位置に固定され
る。
調整マークＭは、偏心円板１６ａを有するハウジング１
の壁の形態のスケール担持体５５上にあるスケール３２
のゼロマークＮに所属している。測定スケール４の目盛
の目盛誤差を補正するために偏心輪１６によυ誤差補正
形材１４を調整した後、一般に調整マークＭのうちの少
なくとも一部がゼロマークＮからそれる。機械部品２．
乙の案内誤差を補正するために偏心輪１６によシ誤差補
正形材１４を続いて調整するために、ゼロマークＮから
それている調整マークＭを、問題のマーク担持体２８を
押し込んで回転させることによシ再びゼロマークＮに所
属させるこ、とによシ、案内誤差の正確に再生可能な補
正を例えば既存の誤差記録を用いて、ゼロマークＮの両
側にあるスケール・３２を完全に利用して行うことがで
きる。また、機械案内の摩耗が増加するため後で事情に
よっては必要になる再設定を再生可能な仕方で実施する
ことができる。
の壁の形態のスケール担持体５５上にあるスケール３２
のゼロマークＮに所属している。測定スケール４の目盛
の目盛誤差を補正するために偏心輪１６によυ誤差補正
形材１４を調整した後、一般に調整マークＭのうちの少
なくとも一部がゼロマークＮからそれる。機械部品２．
乙の案内誤差を補正するために偏心輪１６によシ誤差補
正形材１４を続いて調整するために、ゼロマークＮから
それている調整マークＭを、問題のマーク担持体２８を
押し込んで回転させることによシ再びゼロマークＮに所
属させるこ、とによシ、案内誤差の正確に再生可能な補
正を例えば既存の誤差記録を用いて、ゼロマークＮの両
側にあるスケール・３２を完全に利用して行うことがで
きる。また、機械案内の摩耗が増加するため後で事情に
よっては必要になる再設定を再生可能な仕方で実施する
ことができる。
特に簡単な仕方で、マーク担持体は、例えば金属製の再
び取り外し可能な自己接着性のリング板からなることも
できる。
び取り外し可能な自己接着性のリング板からなることも
できる。
第１ａ、Ｉｂ図はカプセルに包まれた長さ測定装置の部
分的な長さ方向の図と横断面図、第２図は補正装置の個
々の要素を示す図、第３ａ。 ５ｂ図は本発明の特徴を有する偏心輪の横断面と平面図
である。 ４・・・測定目盛 ５・・・走査ユニット１４・
・・誤差補正形材 １６・・・調整要素２８・・・マー
ク担持体 ３２・・・スケール３３・・・スケール担持
体 Ｍ・・・調整マーク代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史 ニｔシｒ２ ｂ３ｂ １５３１１
分的な長さ方向の図と横断面図、第２図は補正装置の個
々の要素を示す図、第３ａ。 ５ｂ図は本発明の特徴を有する偏心輪の横断面と平面図
である。 ４・・・測定目盛 ５・・・走査ユニット１４・
・・誤差補正形材 １６・・・調整要素２８・・・マー
ク担持体 ３２・・・スケール３３・・・スケール担持
体 Ｍ・・・調整マーク代理人 江 崎 光 好 代理人 江 崎 光 史 ニｔシｒ２ ｂ３ｂ １５３１１
Claims (3)
- （１）相対的に互に変位可能な二つの対象物に設けられ
た測定目盛およびこの測定目盛を走査する走査ユニット
と、測定方向に対し横に少ガくとも一つの調整要素にょ
シ調整可能な誤差補正形材とを有し、調整要素上のマー
ク担持体の調整マークがスケール担持体のスケ−の伝達
要素を有する、誤差、特に目盛誤差および／または機械
誤差を補正するための装置を有する測定装置において、
マーク担持体（２８）と調整要素（１６）が相対的に互
に調整可能であることを特徴とする測定装置。 - （２） マーク担持体（２８）が締付リングとして、
調整要素（１６）の円椎形状のリング溝（５ｏ）に回転
可能にかつ固定可能に配置されている、゛特許請求の範
囲第１項記載の測定装置。 - （３） マーク担持体が自己接着性のリング板からな
る、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3311562A DE3311562C1 (de) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur |
| DE33115621 | 1983-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59184815A true JPS59184815A (ja) | 1984-10-20 |
Family
ID=6195075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59061244A Pending JPS59184815A (ja) | 1983-03-30 | 1984-03-30 | 誤差を補正するための装置を有する測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4608758A (ja) |
| EP (1) | EP0123018B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59184815A (ja) |
| AT (1) | ATE22492T1 (ja) |
| DE (2) | DE3311562C1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61254811A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-12 | ベブ・カ−ル・ツアイス・イエ−ナ | 長さ測定系用の物差し取付け手段 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2204691A (en) * | 1987-05-07 | 1988-11-16 | Advanced Manufacturing Technol | Position measurement |
| DE9006138U1 (de) * | 1990-05-31 | 1990-08-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
| JP3443050B2 (ja) * | 1999-10-21 | 2003-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 姿勢調整装置 |
| DE102005044000A1 (de) * | 2005-09-14 | 2007-03-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung zum Befestigen eines Trägers einer Maßverkörperung und Verfahren zum Befestigen des Trägers |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542766A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Measuring machine with compensator |
| JPS54155070A (en) * | 1978-05-12 | 1979-12-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Error corrector for length measuring machine |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH353903A (de) * | 1956-02-02 | 1961-04-30 | Zweifel Peter | Orientierungskompass, kombiniert mit Neigungsmesser |
| DE3136981C1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-01-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fehlerkompensationseinrichtung |
-
1983
- 1983-03-30 DE DE3311562A patent/DE3311562C1/de not_active Expired
-
1984
- 1984-01-24 AT AT84100698T patent/ATE22492T1/de not_active IP Right Cessation
- 1984-01-24 DE DE8484100698T patent/DE3460781D1/de not_active Expired
- 1984-01-24 EP EP84100698A patent/EP0123018B1/de not_active Expired
- 1984-02-27 US US06/583,692 patent/US4608758A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-03-30 JP JP59061244A patent/JPS59184815A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542766A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Measuring machine with compensator |
| JPS54155070A (en) * | 1978-05-12 | 1979-12-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Error corrector for length measuring machine |
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| JPS61254811A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-12 | ベブ・カ−ル・ツアイス・イエ−ナ | 長さ測定系用の物差し取付け手段 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0123018A1 (de) | 1984-10-31 |
| EP0123018B1 (de) | 1986-09-24 |
| ATE22492T1 (de) | 1986-10-15 |
| DE3311562C1 (de) | 1984-05-24 |
| DE3460781D1 (en) | 1986-10-30 |
| US4608758A (en) | 1986-09-02 |
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