JPS5918447U - アモルフアスシリコン電界効果型トランジスタ - Google Patents
アモルフアスシリコン電界効果型トランジスタInfo
- Publication number
- JPS5918447U JPS5918447U JP11230282U JP11230282U JPS5918447U JP S5918447 U JPS5918447 U JP S5918447U JP 11230282 U JP11230282 U JP 11230282U JP 11230282 U JP11230282 U JP 11230282U JP S5918447 U JPS5918447 U JP S5918447U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- field effect
- effect transistor
- light
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案−実施例断面図である。
１・・・・・・透明基板、２，１０・・・・・・遮光膜
、３，５・・・・・・５ｉｏａ、Ｇ・・・・・・ゲート
電極、４・・・・・・コンデンサ電極、６・・・・・・
Ｓｉ３Ｎ４膜、ＡＳ・・・・・・アモルファスシリコン
膜、５−−−−−−ソース電極、Ｄ−−−−−−ドレイ
ン電極、８・・・・・・表示電極。
、３，５・・・・・・５ｉｏａ、Ｇ・・・・・・ゲート
電極、４・・・・・・コンデンサ電極、６・・・・・・
Ｓｉ３Ｎ４膜、ＡＳ・・・・・・アモルファスシリコン
膜、５−−−−−−ソース電極、Ｄ−−−−−−ドレイ
ン電極、８・・・・・・表示電極。
Claims (1)
- 透明基板上においてアモルファスシリコンチャンネル部
分に対応した位置に形成された遮光膜、この遮光膜を被
覆して形成された絶縁膜、この絶縁膜上において上記遮
光膜に対応する位置に設けられたゲート電極、このゲー
ト電極を覆って形成された他の絶縁膜、この絶縁膜上に
形成されたアモルファスシリコン膜、このアモルファス
シリコン膜上に上記ゲート電極を挾んで配置されたソー
ス及びドレイン電極、上記アモルファスシリコン膜表面
に設けられた他の遮光膜を備えてなるアモルファスシリ
コン電界効果型トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11230282U JPS5918447U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | アモルフアスシリコン電界効果型トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11230282U JPS5918447U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | アモルフアスシリコン電界効果型トランジスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918447U true JPS5918447U (ja) | 1984-02-04 |
Family
ID=30260386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11230282U Pending JPS5918447U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | アモルフアスシリコン電界効果型トランジスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918447U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6151878A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 表示用パネルの製造方法 |
| JPH0527397A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-02-05 | Polaroid Corp | 予め露光したフイルムを有するフイルムアセンブリー |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP11230282U patent/JPS5918447U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6151878A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 表示用パネルの製造方法 |
| JPH0527397A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-02-05 | Polaroid Corp | 予め露光したフイルムを有するフイルムアセンブリー |
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