JPS5918353Y2 - 発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPS5918353Y2 JPS5918353Y2 JP7286478U JP7286478U JPS5918353Y2 JP S5918353 Y2 JPS5918353 Y2 JP S5918353Y2 JP 7286478 U JP7286478 U JP 7286478U JP 7286478 U JP7286478 U JP 7286478U JP S5918353 Y2 JPS5918353 Y2 JP S5918353Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- spectrometer
- emission
- present
- emission spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、波長１７Ｑｎｍ以下の真空極紫外領域と波長
１７Ｑｎｍ以上の真空紫外可視部領域におけるスペクト
ル線を同時に測定し、金属材料中のガス成分例えばＯや
ＮおよびＣ，Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ。
１７Ｑｎｍ以上の真空紫外可視部領域におけるスペクト
ル線を同時に測定し、金属材料中のガス成分例えばＯや
ＮおよびＣ，Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ。
Ｃｒ 、ＡＩなどの元素を同時に定量分析することがで
きる発光分光分析装置に関するものである。
きる発光分光分析装置に関するものである。
従来の金属材料などの分析に使用されている真空型発光
分光分析装置では、分光器内部の真空度が１０ ”Ｔｏ
ｒｒ程度になっており、弧光や火花放電などの発光装置
によって被検試料から発した光は分光器内部にある回折
格子で分光されて検出器へ導かれるようになっている。
分光分析装置では、分光器内部の真空度が１０ ”Ｔｏ
ｒｒ程度になっており、弧光や火花放電などの発光装置
によって被検試料から発した光は分光器内部にある回折
格子で分光されて検出器へ導かれるようになっている。
この際に使用される回折格子のブレイズ波長の違いと真
空度の問題で測定可能な波長は一般に１６５〜５００
ｎｍ程度である。
空度の問題で測定可能な波長は一般に１６５〜５００
ｎｍ程度である。
このような従来の真空型分光器では、ガス成分例えばＯ
やＮなどのスペクトル線測定は困難である。
やＮなどのスペクトル線測定は困難である。
なぜならばＯやＮなどの場合は比較的感度のよいスペク
トル線は１００〜１５Ｑｎｍ領域に存在するために、分
光器内部を■０−５〜１０ ’Ｔｏｒｒ程度の高真空に
しないと光が吸収されて光強度が小さくなり測定が困難
となることと、波長１００〜１５０ ｎｍの範囲まで測
定可能なブレイズ波長を有した回折格子を使用すると他
元素の測定に支障をきたし多元素の同時定量分析は不可
能である。
トル線は１００〜１５Ｑｎｍ領域に存在するために、分
光器内部を■０−５〜１０ ’Ｔｏｒｒ程度の高真空に
しないと光が吸収されて光強度が小さくなり測定が困難
となることと、波長１００〜１５０ ｎｍの範囲まで測
定可能なブレイズ波長を有した回折格子を使用すると他
元素の測定に支障をきたし多元素の同時定量分析は不可
能である。
本考案はこれらの問題点を解消し、ＯやＮをはじめ、通
常発光分光法によって分析されているＣ２５ｉ、Ｍｎ、
Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａ１などの元素が同時に定
量分析可能とした発光分光分析装置を提供するものであ
る。
常発光分光法によって分析されているＣ２５ｉ、Ｍｎ、
Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａ１などの元素が同時に定
量分析可能とした発光分光分析装置を提供するものであ
る。
しかして、本考案は１７Ｑｎｍ以上の波長域の発光スペ
クトルの分析ができる従来公知の真空型分光器に、内部
の真空度を前記真空型分光器より高くしかつ真空極紫外
域の分析が可能な分光器を備えた高真空試料室を接続さ
せたことを特徴とする。
クトルの分析ができる従来公知の真空型分光器に、内部
の真空度を前記真空型分光器より高くしかつ真空極紫外
域の分析が可能な分光器を備えた高真空試料室を接続さ
せたことを特徴とする。
第１図にもとづいて本考案の内容を説明する。
第１図において、１は内部を１０−５〜１Ｏ−６Ｔｏｒ
ｒ程度の高真空にした高真空試料室で、その中央部に被
検試料２と該被検試料２を励起発光させる励起光源３を
設ける。
ｒ程度の高真空にした高真空試料室で、その中央部に被
検試料２と該被検試料２を励起発光させる励起光源３を
設ける。
被検試料２より発光した光は水晶からなるレンズ４を通
して従来の真空型分光器５へ入射させてＣ，Ｓｉ、Ｍｎ
、Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、ＡＩなどの元素の定量分
析を行う。
して従来の真空型分光器５へ入射させてＣ，Ｓｉ、Ｍｎ
、Ｐ、Ｓ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、ＡＩなどの元素の定量分
析を行う。
一方高真空試料室には内部を１０−５〜１０ ’Ｔｏｒ
ｒの高真空とした極紫外領域の分光ができる分光器６，
６′を１個ないし数個接続させる。
ｒの高真空とした極紫外領域の分光ができる分光器６，
６′を１個ないし数個接続させる。
本考案の装置を用いることにより、励起光源３からの１
回の発光による光を各方向から有効に取出してＯやＮを
はしめ従来分析可能であった元素も同時に測定すること
ができる。
回の発光による光を各方向から有効に取出してＯやＮを
はしめ従来分析可能であった元素も同時に測定すること
ができる。
第１図に示した分光器６にＯ専用分光器、分光器６′に
Ｎ専用分光器を設け、高真空試料室１の真空度を１Ｏ−
６Ｔｏｒｒとして、化学分析によって成分が既知となっ
ている鋼（第１表参照）を被検試料とし次の手順で発光
分光分析を行なった。
Ｎ専用分光器を設け、高真空試料室１の真空度を１Ｏ−
６Ｔｏｒｒとして、化学分析によって成分が既知となっ
ている鋼（第１表参照）を被検試料とし次の手順で発光
分光分析を行なった。
即ち、２５×２５×ｔ５ｍｍの被検試料を高真空試料室
内に設置した後、試料中央部をアルゴンスパッタリング
して、試料表面に空気中で吸着した酸素。
内に設置した後、試料中央部をアルゴンスパッタリング
して、試料表面に空気中で吸着した酸素。
窒素などをあらかじめ除いた後、対電極を使用した火花
放電により発光させ定量分析を行なった。
放電により発光させ定量分析を行なった。
分析した結果、第１表のようにＣ，Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ、Ｓ
をはしめＮ、０も化学分析値に相応する値が得られ、本
考案の装置が実用上有効であることが確認された。
をはしめＮ、０も化学分析値に相応する値が得られ、本
考案の装置が実用上有効であることが確認された。
第１図は本考案の光学系配列の一例を示す。
Claims (1)
- １７０ｍｍ以上の波長域の発光スペクトルの分析ができ
る真空型分光器に、さらに内部の真空度を該真空型分光
器より高くしかつ真空極紫外域の分析ができる分光器を
備えた高真空試料室を接続させたことを特徴とする発光
分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7286478U JPS5918353Y2 (ja) | 1978-05-31 | 1978-05-31 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7286478U JPS5918353Y2 (ja) | 1978-05-31 | 1978-05-31 | 発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54175387U JPS54175387U (ja) | 1979-12-11 |
| JPS5918353Y2 true JPS5918353Y2 (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=28984955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7286478U Expired JPS5918353Y2 (ja) | 1978-05-31 | 1978-05-31 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918353Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-05-31 JP JP7286478U patent/JPS5918353Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54175387U (ja) | 1979-12-11 |
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