JPS59174595A - 種結晶保持装置 - Google Patents
種結晶保持装置Info
- Publication number
- JPS59174595A JPS59174595A JP4962283A JP4962283A JPS59174595A JP S59174595 A JPS59174595 A JP S59174595A JP 4962283 A JP4962283 A JP 4962283A JP 4962283 A JP4962283 A JP 4962283A JP S59174595 A JPS59174595 A JP S59174595A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed crystal
- holding device
- crystal
- base body
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/32—Seed holders, e.g. chucks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転引上法により単結晶育成装置において使用
する種結晶保持装置に関する。
する種結晶保持装置に関する。
すでに提案されている種結晶保持装置を第1図を参照し
て説明する。
て説明する。
第1図(a)は種結晶、同図(b)は種結晶保持装置を
示す斜視図である。第1図(b)の種結晶保持装置2に
互いに直角をなす2つの方向、すなわち結晶引上方向に
鋭角θ1をもつくさび角3およびそれに直角方向に鋭角
θ2をもつくさび角4の溝が設けられている。この保持
装置2は、種結晶lを溝5に嵌合し得るように切り出し
種結晶保持装置2の上部より差し込み保持する。この保
持装置2の構造は、前記構造により、種結晶に局部的な
圧力を与えることなく、種結晶1を完全に固定すること
をねらったものである。
示す斜視図である。第1図(b)の種結晶保持装置2に
互いに直角をなす2つの方向、すなわち結晶引上方向に
鋭角θ1をもつくさび角3およびそれに直角方向に鋭角
θ2をもつくさび角4の溝が設けられている。この保持
装置2は、種結晶lを溝5に嵌合し得るように切り出し
種結晶保持装置2の上部より差し込み保持する。この保
持装置2の構造は、前記構造により、種結晶に局部的な
圧力を与えることなく、種結晶1を完全に固定すること
をねらったものである。
しかし、種結晶1を溝5に正確に嵌合させるためには、
くさび角θ、およびくさび角θ1を含む面に垂直な方向
にくさび角θ2で正確に種結晶lを切り出す必要があワ
た。そうでなければ種結晶1は例えば2つの稜12と1
3のみで溝5に接触することになる。そのような結合で
は結晶か成長するに伴って種結晶1にかかる荷車が大き
くなったとき第2図に示ずように種結晶1の稜12およ
び/または13から始まるひひ割れ14.15を生ずる
虞れがある。
くさび角θ、およびくさび角θ1を含む面に垂直な方向
にくさび角θ2で正確に種結晶lを切り出す必要があワ
た。そうでなければ種結晶1は例えば2つの稜12と1
3のみで溝5に接触することになる。そのような結合で
は結晶か成長するに伴って種結晶1にかかる荷車が大き
くなったとき第2図に示ずように種結晶1の稜12およ
び/または13から始まるひひ割れ14.15を生ずる
虞れがある。
本発明の目的は前述した問題を解決し簡単な構成で種結
晶を確実に保持することができる種結晶保持装置を提供
することにある。
晶を確実に保持することができる種結晶保持装置を提供
することにある。
前記目的を達成するために本発明による種結晶保持装置
は、基体と、前記基体の下端面から上端面方向に拡がる
ように基体に形成されたくさび溝と、前記基体の」二端
面から下方向に向けて形成されためねじ部と、前記めね
じ部と前記くさび溝の上端面間に設けられた連絡孔と、
前記雌ねし部に螺合される支持棒と、上端を前記支持棒
に即されて、下端で前記くさび溝に挿入されたくさび形
の種結晶を押す押え棒とから構成されている。
は、基体と、前記基体の下端面から上端面方向に拡がる
ように基体に形成されたくさび溝と、前記基体の」二端
面から下方向に向けて形成されためねじ部と、前記めね
じ部と前記くさび溝の上端面間に設けられた連絡孔と、
前記雌ねし部に螺合される支持棒と、上端を前記支持棒
に即されて、下端で前記くさび溝に挿入されたくさび形
の種結晶を押す押え棒とから構成されている。
以下、図面等を参照して本発明をさらにN’P L、
<説明する。
<説明する。
第3図は本発明による種結晶保持装置の実施例およびこ
の装置で保持する種結晶を示す斜視図である。
の装置で保持する種結晶を示す斜視図である。
種結晶は第3図(a)に示すように角度θをなす2平面
で挟まれたくさび形に研磨する。この形状は前述した結
晶の形状よりは遥かに簡単である。
で挟まれたくさび形に研磨する。この形状は前述した結
晶の形状よりは遥かに簡単である。
この実施例で前記角度θを5°にしである。
本発明による種結晶保持装置は、基本的には円柱状の基
体21、支持棒27および押え棒25がら形成されてい
る。なおこの実施例では、基体21、押え棒25および
支持棒27をアルミナ磁器を用いて形成した。
体21、支持棒27および押え棒25がら形成されてい
る。なおこの実施例では、基体21、押え棒25および
支持棒27をアルミナ磁器を用いて形成した。
前記基体21にはその下端面から上端面方向に拡がるよ
うに基体に形成されたくさび溝22が形成され一ζいる
。このくさび溝22の両側面のなす角度はθである。
うに基体に形成されたくさび溝22が形成され一ζいる
。このくさび溝22の両側面のなす角度はθである。
またこの基体21の上端面から下方向に向けて形成され
ためねじ部26が形成されており、このめねじ部26の
底面と前記くさび溝22の上端面間に連絡孔22が設り
られている。
ためねじ部26が形成されており、このめねじ部26の
底面と前記くさび溝22の上端面間に連絡孔22が設り
られている。
支持棒27の下端側にはめねじ部26に螺合させられる
おねしが設けられている。
おねしが設けられている。
連絡孔23の径はめねし26の内径よりは小さい。
押え棒25は前記連絡孔23よりも小さい径の軸部25
Bとめねじ26の内径より小さい頭部25Δから形成さ
れている。押え棒25をめねじ26側から落とし込むと
押え棒25の軸部25Bの先端は連絡孔23からさくび
溝22内に侵入し、押え棒25の頭部25Aがめねし2
6の底で受けられて保持される。
Bとめねじ26の内径より小さい頭部25Δから形成さ
れている。押え棒25をめねじ26側から落とし込むと
押え棒25の軸部25Bの先端は連絡孔23からさくび
溝22内に侵入し、押え棒25の頭部25Aがめねし2
6の底で受けられて保持される。
次に第4図を参照して種結晶31の保持状態を説明する
。
。
まず支持棒27のおねじをゆるめておくか、完全に抜い
てしまってもよい。次に押え棒25を上方向へ押し上げ
る。次に種結晶3Iをくさび形の溝22に挿入する。続
いて押え棒25の下端が種結晶31に接触するまで支持
棒27を締めて装着完了する。
てしまってもよい。次に押え棒25を上方向へ押し上げ
る。次に種結晶3Iをくさび形の溝22に挿入する。続
いて押え棒25の下端が種結晶31に接触するまで支持
棒27を締めて装着完了する。
前述の装置を用いて、本発明の発明者はニオブ酸リチウ
ム単結晶(融点1253℃)を回転引上げ法(引上速度
3 +u / hour、回転速度20 r、p、m
)によって重量500 gの結晶を成長させた。
ム単結晶(融点1253℃)を回転引上げ法(引上速度
3 +u / hour、回転速度20 r、p、m
)によって重量500 gの結晶を成長させた。
その結果数回の成長において種結晶に損傷が発生せず、
結晶が融液中に脱落することはなかった。
結晶が融液中に脱落することはなかった。
以上のように本発明の種結晶保持装置によれば複雑な種
結晶の切り出しをすることなく、また種結晶を損傷する
ことなく、きわめて節電な操作によって種結晶を保持す
ることができる。
結晶の切り出しをすることなく、また種結晶を損傷する
ことなく、きわめて節電な操作によって種結晶を保持す
ることができる。
第1図はすでに提案されている種結晶保持装置およびこ
の装置で保持される種結晶を示す斜視図である。 第2図は前記装置において予想される問題を説明するだ
めの種結晶の斜視図である。 第3図は本発明による種結晶保持装置の実施例およびこ
の装置で保持する種結晶を示す斜視図である。 第4図は前記実施例装置で種結晶を保持した状態を示す
斜視図である。 21・・・基体 22・・憾さび溝23・・
・連絡孔 25・・・押え棒26・・・めねじ
27・・・支持棒31・・・種結晶 特許出願人 浜松テレビ株式会社
の装置で保持される種結晶を示す斜視図である。 第2図は前記装置において予想される問題を説明するだ
めの種結晶の斜視図である。 第3図は本発明による種結晶保持装置の実施例およびこ
の装置で保持する種結晶を示す斜視図である。 第4図は前記実施例装置で種結晶を保持した状態を示す
斜視図である。 21・・・基体 22・・憾さび溝23・・
・連絡孔 25・・・押え棒26・・・めねじ
27・・・支持棒31・・・種結晶 特許出願人 浜松テレビ株式会社
Claims (4)
- (1)基体と、前記基体の下端面から上端面方向に拡が
るように基体に形成されたくさび溝と、前記基体の上端
面から下方向に向けて形成されためねじ部と、前記めね
じ部と前記くさび溝の上端面間に設けられた連絡孔と、
前記めねし部に螺合される支持棒と、上端を前記支持棒
に押されて、下端で前記くさび溝に挿入されたくさび形
の種結晶を押す押え棒とから構成した種結晶保持装置。 - (2) 前記連−絡孔の径は前記めねじの内径よりは
小さく、前記押え棒は、前記連絡孔よりも小さい径の軸
部と、前記めねじの内径より小さい頭部を有する特許請
求の範囲第1項記載の種結晶保持装置。 - (3)基体と支持棒は同一の材料で形成されている特許
請求の範囲第1項記載の種結晶保持装置。 - (4)前記めねじとおねじは支持棒に引上中に加えられ
る回転力に対して締り方向である特許請求の範囲第1項
記載の種結晶保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4962283A JPS59174595A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 種結晶保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4962283A JPS59174595A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 種結晶保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174595A true JPS59174595A (ja) | 1984-10-03 |
JPH0142918B2 JPH0142918B2 (ja) | 1989-09-18 |
Family
ID=12836326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4962283A Granted JPS59174595A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 種結晶保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59174595A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007261855A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokuyama Corp | 単結晶引上用種結晶体の保持方法 |
CN112846787A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 安徽省旌德县江南机电配件有限公司 | 一种磁性槽楔上料加工和下料输送一体装置 |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP4962283A patent/JPS59174595A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007261855A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokuyama Corp | 単結晶引上用種結晶体の保持方法 |
CN112846787A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 安徽省旌德县江南机电配件有限公司 | 一种磁性槽楔上料加工和下料输送一体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0142918B2 (ja) | 1989-09-18 |
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