JPS59174070A - 画像記録方法 - Google Patents
画像記録方法Info
- Publication number
- JPS59174070A JPS59174070A JP58047890A JP4789083A JPS59174070A JP S59174070 A JPS59174070 A JP S59174070A JP 58047890 A JP58047890 A JP 58047890A JP 4789083 A JP4789083 A JP 4789083A JP S59174070 A JPS59174070 A JP S59174070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser light
- laser
- half mirror
- sweep
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/32—Circuits or arrangements for control or supervision between transmitter and receiver or between image input and image output device, e.g. between a still-image camera and its memory or between a still-image camera and a printer device
- H04N1/36—Circuits or arrangements for control or supervision between transmitter and receiver or between image input and image output device, e.g. between a still-image camera and its memory or between a still-image camera and a printer device for synchronising or phasing transmitter and receiver
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
- G03F7/2053—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a laser
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N1/053—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position in main scanning direction, e.g. synchronisation of line start or picture elements in a line
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/10—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using flat picture-bearing surfaces
- H04N1/1008—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using flat picture-bearing surfaces with sub-scanning by translatory movement of the picture-bearing surface
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/113—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors
- H04N1/1135—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using oscillating or rotating mirrors for the main-scan only
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
- H04N2201/0471—Detection of scanning velocity or position using dedicated detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
- H04N2201/04734—Detecting at frequent intervals, e.g. once per line for sub-scan control
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
- H04N2201/04744—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanned beam or a reference beam
- H04N2201/04746—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanned beam or a reference beam after modulation by a grating, mask or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
j厚を塗布したプリント基板等の画像形取材相上に、配
線パターン等の画像を、寸法歪みなく.焼き例けうるよ
うにした画像記録カ法に関づ−る。
線パターン等の画像を、寸法歪みなく.焼き例けうるよ
うにした画像記録カ法に関づ−る。
電子回路のプリント基板に、配線パターンを形成するに
は、密着露光力式と直接露光方式とがある。
は、密着露光力式と直接露光方式とがある。
密殖露光力式は、界面にレジヌト膜孕塗布.形成したプ
リント基板に、ネガあるいはポジの画像を形成したマス
クフィルムを密着させて露光し、これを現像して、レジ
ストパターンの作成を行なうものである。
リント基板に、ネガあるいはポジの画像を形成したマス
クフィルムを密着させて露光し、これを現像して、レジ
ストパターンの作成を行なうものである。
この密着露光方式では、まず、所定iilij像のマス
クフィルムの作成を、たとえば自動製図機等によって行
うのに数時間tWし,また、フィルム自体が,温匿や湿
度の変化によって伸縮し、歪みが生じるなどして、プリ
ント基板に形成される配置>Jパターン等に、寸法歪み
が生じるという欠点がめった。この寸法の誤差があると
、泉工:l呈でのグリノ1−7’= 板へのドIJ I
Jソング孔明け)時に、孔の位置カバターンとずれてし
甘い、フ1ス郁合が生じる。
クフィルムの作成を、たとえば自動製図機等によって行
うのに数時間tWし,また、フィルム自体が,温匿や湿
度の変化によって伸縮し、歪みが生じるなどして、プリ
ント基板に形成される配置>Jパターン等に、寸法歪み
が生じるという欠点がめった。この寸法の誤差があると
、泉工:l呈でのグリノ1−7’= 板へのドIJ I
Jソング孔明け)時に、孔の位置カバターンとずれてし
甘い、フ1ス郁合が生じる。
直」i露光方式は、こうした従来の密脇露光力式とは異
なυ、マスクフィルムを使用することなく、2次元両像
データを、テジタル画隊信号として、メモリ装置病に記
録させておき1.7Cれを、Fileみ出し、この信号
(画イオ信号)によってiii制御される光?、プリン
ト基板上に走育させて、画イfljパターン全形成する
ものである。
なυ、マスクフィルムを使用することなく、2次元両像
データを、テジタル画隊信号として、メモリ装置病に記
録させておき1.7Cれを、Fileみ出し、この信号
(画イオ信号)によってiii制御される光?、プリン
ト基板上に走育させて、画イfljパターン全形成する
ものである。
B:= 1図−2、従来の直接露光装置の一例を示すン
ステムI荷成図である。
ステムI荷成図である。
記・説装侮(1)に2次元向1ボ信号が記憶され、CP
U(2)で足前のための時系列曲走i信号に変換さJ′
シて、A″′0(音響光学)光変調器(a ) ニ1具
11”aされる。
U(2)で足前のための時系列曲走i信号に変換さJ′
シて、A″′0(音響光学)光変調器(a ) ニ1具
11”aされる。
蕗元ビームの光諒、たとえば、アルゴンイオンレーザ−
チューブ(4)からし」出される光ビームは、A−0元
笈調;4器(3)において変w1・4され、エキスパフ
ター(V))を刈り、固定ミラー(5)(6)イ肛て、
多聞反躬婉(°o (以下、ポリゴンミラーという)に
入る。
チューブ(4)からし」出される光ビームは、A−0元
笈調;4器(3)において変w1・4され、エキスパフ
ター(V))を刈り、固定ミラー(5)(6)イ肛て、
多聞反躬婉(°o (以下、ポリゴンミラーという)に
入る。
ポリゴンミラー(7)では、モータ(8)で回1伝され
る各@面で反射する露光ビームを、図中紙面と直角の方
向に、所定ひるが9角をもって振らぜる。
る各@面で反射する露光ビームを、図中紙面と直角の方
向に、所定ひるが9角をもって振らぜる。
さらに、露光ビームは、ポリゴンミラー(7)の便く接
近した位置に配置されている集束レンズ(LO)、及び
プリント基板に近い位置に配置されている同定ミラー(
11) i通って、未露光のブリット基板(留止に、光
点を結びつつ掃引照射される。
近した位置に配置されている集束レンズ(LO)、及び
プリント基板に近い位置に配置されている同定ミラー(
11) i通って、未露光のブリット基板(留止に、光
点を結びつつ掃引照射される。
プリント基板(]21は、ステージ(13)に固定され
ており、このステージ(13)は、モータ(I→が等速
で副走査力面(図中矢印0力向)にラレ勤する副走萱送
9イ戒柚ケなしている。
ており、このステージ(13)は、モータ(I→が等速
で副走査力面(図中矢印0力向)にラレ勤する副走萱送
9イ戒柚ケなしている。
し7こかつて、ポリゴンミラー(7)が回1伝し、ステ
ージ(1力が移動すると、プリント基板(1同上は、露
光ビームの結像光点で、順次にその全面を平聞走3fさ
れる。
ージ(1力が移動すると、プリント基板(1同上は、露
光ビームの結像光点で、順次にその全面を平聞走3fさ
れる。
ところが、こうした直接露光装置においては、ステージ
(13)fr−機械的に駆動してな”る副走賢方向の移
動精屁は、モータ(1→および伝達機構さえ適切に設計
されれば、さして困貼なく、必要な精度を保J侍するこ
とかできる。しかし、ボリコ゛ンミラー(γンの回転に
よる主走畳方向の掃引精度は、ポリゴンミラー(γ)や
集束I/ンズ(10)等全aむ光学系の設Y、1と上作
号15度に1り:I係するにも拘らず、役割や工作に起
因する誤差2充分に小さくすることは容易でなく。
(13)fr−機械的に駆動してな”る副走賢方向の移
動精屁は、モータ(1→および伝達機構さえ適切に設計
されれば、さして困貼なく、必要な精度を保J侍するこ
とかできる。しかし、ボリコ゛ンミラー(γンの回転に
よる主走畳方向の掃引精度は、ポリゴンミラー(γ)や
集束I/ンズ(10)等全aむ光学系の設Y、1と上作
号15度に1り:I係するにも拘らず、役割や工作に起
因する誤差2充分に小さくすることは容易でなく。
又ポリゴンミラ−(7)の回転と走畳方向の光点位置の
直i9J!的関ル1を、充分な精度で保つことも、技δ
1;j的にi砥めて困離である。
直i9J!的関ル1を、充分な精度で保つことも、技δ
1;j的にi砥めて困離である。
吊2図(ri、上記の欠点を補うようにした&光装置の
従来例の構成説明図である。
従来例の構成説明図である。
6132図において、第1図と同一の狛号をイ利しであ
る都側は、そコ]7と同じ働きをするので、その説明?
省く。
る都側は、そコ]7と同じ働きをするので、その説明?
省く。
第2図のものにおいては、第1図のものに対し、格子状
スケール(15)、光検出器(1G)及び補助レーザー
チューブ(貨)全追加し、かつ固定ミラー(5)(11
)は、ハーフミラ−(5)(11)としである。
スケール(15)、光検出器(1G)及び補助レーザー
チューブ(貨)全追加し、かつ固定ミラー(5)(11
)は、ハーフミラ−(5)(11)としである。
!3己3図は、第2図の格子状スケール(15)の一部
を示している。
を示している。
化2図において、格子状スケール(15)fl二、ハー
フミラ−Q()に対して、プリント基板(胸の露光位置
と共範の位置におかれている。
フミラ−Q()に対して、プリント基板(胸の露光位置
と共範の位置におかれている。
第1図と同様に、アルゴンレーザーチューブ(4)から
射出されたレーザー光は、未露光のプリント基板(旧を
掃引露光する。プリント基板(旧に塗布された感光液を
感光しない光を発するイ11′i助レーザーチューブ(
17)から射出されるレーザー光(は、アルコ゛ンレー
ザーテユーブ(4)から躬出さゴするレーザー光と同光
軸をとるように、調整設置されており、プリント基板(
12)孕走五する(露光はしない)と同時に、格子状ス
ケール(15) (i:走育する。
射出されたレーザー光は、未露光のプリント基板(旧を
掃引露光する。プリント基板(旧に塗布された感光液を
感光しない光を発するイ11′i助レーザーチューブ(
17)から射出されるレーザー光(は、アルコ゛ンレー
ザーテユーブ(4)から躬出さゴするレーザー光と同光
軸をとるように、調整設置されており、プリント基板(
12)孕走五する(露光はしない)と同時に、格子状ス
ケール(15) (i:走育する。
格子状スケール(15片ルミするレーザー光は、第3図
に示す格子を通過すると、毎週遮断を課返した光となり
、光検出器(16)に入る。
に示す格子を通過すると、毎週遮断を課返した光となり
、光検出器(16)に入る。
光検出器(16)は、レーザー光をパルス信号に鎚換し
、CPU(2)に入り、第1図に説明した如く、記憶装
置(1)からωLみ出して、プリント基4反(1匂上に
歪のない画f象が露光される。
、CPU(2)に入り、第1図に説明した如く、記憶装
置(1)からωLみ出して、プリント基4反(1匂上に
歪のない画f象が露光される。
レーザー光は、波長の異る2I+tiの光を利用してい
るため、集束レンズ(10)は、色収差を抑えたもの?
使用しても、なお残存色収差(倍率の)が残り、ハーフ
ミラ−(11)においても収差が生じるので、第3図の
格子状スケール(15)は、それら両者の影響全補正し
た非線形のものケ用いる必要がある。
るため、集束レンズ(10)は、色収差を抑えたもの?
使用しても、なお残存色収差(倍率の)が残り、ハーフ
ミラ−(11)においても収差が生じるので、第3図の
格子状スケール(15)は、それら両者の影響全補正し
た非線形のものケ用いる必要がある。
本発明は、従量の方式においては、2本のレーザーチュ
ーブを使用している7艦め、装置が高側となる欠点があ
るのを、1本のレーザーチューブを用いることによって
、装置全体の製作費の低下を可能とするものである。
ーブを使用している7艦め、装置が高側となる欠点があ
るのを、1本のレーザーチューブを用いることによって
、装置全体の製作費の低下を可能とするものである。
2本のレーザー光の光軸を完全に一致さぜないと、ポリ
ゴンミラー(′γ)による走奔において、ブリット基板
(12)迄の距離が長いので、誤差が増大され、走亘角
の大小により、プリント基板(IS4上での走i位置に
よって誤差が生じることになるが、本発明によれば、こ
のような欠点は除去される。
ゴンミラー(′γ)による走奔において、ブリット基板
(12)迄の距離が長いので、誤差が増大され、走亘角
の大小により、プリント基板(IS4上での走i位置に
よって誤差が生じることになるが、本発明によれば、こ
のような欠点は除去される。
さらに1本発明によると、色収差についての考M、が不
1胃となり、かつ集束レンズ(10)も安価になり、弔
3図の格子法スケール(15)についても、1色の光に
対する収差を考Hするたけでよい。
1胃となり、かつ集束レンズ(10)も安価になり、弔
3図の格子法スケール(15)についても、1色の光に
対する収差を考Hするたけでよい。
本発明は、レーザーチューブの使用ti本とすることに
よって、d−j2図に示した従量・レリに比し、精度が
向上するとともに、製作費を低下しうる画像記録方法を
提供すること?目的とするものである。
よって、d−j2図に示した従量・レリに比し、精度が
向上するとともに、製作費を低下しうる画像記録方法を
提供すること?目的とするものである。
本発明の第1の主眼は、1本のレーザーチューブのみを
使用することにあり、これによって、レーザーチューブ
2本のときのような、光軸を合わせる作業が不要になり
、2本の光軸の誤差が、走査角による誤差の大小のバラ
ツキとなる誤差から、完全解放されることとなる。また
、色収差の光1も、か不要となるため、集束レンズ(1
,0)も安1iiiiなものでよい。
使用することにあり、これによって、レーザーチューブ
2本のときのような、光軸を合わせる作業が不要になり
、2本の光軸の誤差が、走査角による誤差の大小のバラ
ツキとなる誤差から、完全解放されることとなる。また
、色収差の光1も、か不要となるため、集束レンズ(1
,0)も安1iiiiなものでよい。
本発明は、プリント基板に塗布さ′!1.た感光材の感
光特性に着眼したものである。即ち、通常、プリント基
板用の感光材は、ある光量以下では感光せず、ある光量
以上で感光するという特性のあるものを使用する。
光特性に着眼したものである。即ち、通常、プリント基
板用の感光材は、ある光量以下では感光せず、ある光量
以上で感光するという特性のあるものを使用する。
第4図は、本発明の実施例な示し、第2図と異るのは、
補助レーザーチューブ(17) ’z琢9除き、かつ・
・−フミラー(に)をミラー(5)に代えたものである
。
補助レーザーチューブ(17) ’z琢9除き、かつ・
・−フミラー(に)をミラー(5)に代えたものである
。
第21ン1において説明した如く、CP U (2)か
らの2値データーに列し、A−0光変調器(3)からは
、感光(シが感光するらえさのレーザー光と、感光材が
感光せす元栓11“品: (1G)がパルスとして検出
できる強さの17−ザー光の2値のレーザー光が射出さ
れる。
らの2値データーに列し、A−0光変調器(3)からは
、感光(シが感光するらえさのレーザー光と、感光材が
感光せす元栓11“品: (1G)がパルスとして検出
できる強さの17−ザー光の2値のレーザー光が射出さ
れる。
このA−0光変り・4器(3)の割出レーザー光の21
111i制御技術、並ひに光検出器(16)の検出技術
自体は、不発明の1」的とするところではなく、公知の
づ支術を用いればよいので、その詳訂口な説明は行わな
い。
111i制御技術、並ひに光検出器(16)の検出技術
自体は、不発明の1」的とするところではなく、公知の
づ支術を用いればよいので、その詳訂口な説明は行わな
い。
本発明によれば、レーザーチューブ21本省略すること
が誓き、かつ色収差全装しないレンズ全筒用することが
できるため、光軸合せへ■の組立及び1ijj+l整作
系が21り俄となり、製作費が減少し、かつ、2本光軸
の誤差による走i角の大小による誤にの°i広犬が防止
できる等、多大の効果がある。
が誓き、かつ色収差全装しないレンズ全筒用することが
できるため、光軸合せへ■の組立及び1ijj+l整作
系が21り俄となり、製作費が減少し、かつ、2本光軸
の誤差による走i角の大小による誤にの°i広犬が防止
できる等、多大の効果がある。
格子状スケール(15)及び光検出器(16)の代わり
に、1次う1.配置1(さメまた光′1匠アレーセンサ
ーを使用してもよい。
に、1次う1.配置1(さメまた光′1匠アレーセンサ
ーを使用してもよい。
第1図は、虻米のプリント基板の直j衣籟光装置゛の一
例を示す構成説明図、 第2図は、補助レーザービームを・便用したプリント基
板の直接蕗光装置を示す構1民説明図、第3図は、旨も
2図における格子状スケールの一例を示す正面図、 >g4図は1本発明の方法を笑施する7′?Lめの構成
の一例を示す概要図である。 (1)記憶装置 (2)CPU(S)A−O光
変調器 (4)アルゴンレーザーチューブ(5)固
定ミラー (5)ハーフミラ−(6)固定ミラー
(γ)ポリゴンミラー(8)モータ
(9)拡大レンズ(10)集束レンズ (1
1)固定ミラー(11)ハーフミラ−(1匂プリント基
板(13)ステージ (14)モータ(15)
格子状スケール (16)光検出器(17)補助レー
ザーチューブ
例を示す構成説明図、 第2図は、補助レーザービームを・便用したプリント基
板の直接蕗光装置を示す構1民説明図、第3図は、旨も
2図における格子状スケールの一例を示す正面図、 >g4図は1本発明の方法を笑施する7′?Lめの構成
の一例を示す概要図である。 (1)記憶装置 (2)CPU(S)A−O光
変調器 (4)アルゴンレーザーチューブ(5)固
定ミラー (5)ハーフミラ−(6)固定ミラー
(γ)ポリゴンミラー(8)モータ
(9)拡大レンズ(10)集束レンズ (1
1)固定ミラー(11)ハーフミラ−(1匂プリント基
板(13)ステージ (14)モータ(15)
格子状スケール (16)光検出器(17)補助レー
ザーチューブ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (」)感光4a’(i:塗布した記録1IIli(+:
光走査して所定の画像を記録する際において1、感光側
が実質的に感光しない光量を最低限常に存在せしめ、記
録面上を掃引する光の一部をハーフミラ−等で分離して
、光掃引位置検出手段に入力し、検出された掃引光の位
置信号にもとづくタイミングの画像信号で、光を変調す
ることケ特徴とする画像記録方法。 (2)光掃引位置検出手段が、元金分離するためのハー
フミラ−に対して光走森により露光される記録面と共範
に配置された格子状スケールと、光検出器とからなるこ
とを特徴とする特15−lニー6求の範囲第(1)項に
記載の画像記録方法。 (3)光1’lfk引位置恢出手段が、分離光のh+f
引1川に1次元配置された光電アレーセンザであること
?特徴とする特許請求の範111II第(1)項に記載
の画像記録方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58047890A JPS59174070A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 画像記録方法 |
US06/582,085 US4566016A (en) | 1983-03-24 | 1984-02-21 | Dual intensity laser beam picture recording method |
DE3407981A DE3407981C2 (de) | 1983-03-24 | 1984-03-03 | Verfahren zum Aufzeichnen eines Bildes auf einem photoempfindlichen Material und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
FR8404622A FR2543395B1 (fr) | 1983-03-24 | 1984-03-22 | Procede d'enregistrement d'une image |
GB08407654A GB2138646B (en) | 1983-03-24 | 1984-03-23 | Correcting for scanning irregularities in a picture recording system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58047890A JPS59174070A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 画像記録方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174070A true JPS59174070A (ja) | 1984-10-02 |
Family
ID=12787994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58047890A Pending JPS59174070A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 画像記録方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4566016A (ja) |
JP (1) | JPS59174070A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62127655A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-09 | Toshiba Mach Co Ltd | レ−ザ描画検査方法および装置 |
JPH077152B2 (ja) * | 1986-02-03 | 1995-01-30 | 富士写真フイルム株式会社 | 光ビーム走査装置 |
JPS63157087A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 感材検知方法およびそのための装置 |
US4805012A (en) * | 1987-09-23 | 1989-02-14 | Eastman Kodak Company | System for high resolution exposure address with coarser resolution exposing array |
EP0423820B1 (en) * | 1989-10-19 | 1996-01-31 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer |
US5341157A (en) * | 1992-08-14 | 1994-08-23 | Bumb & Associates | Laser-driven silk screen mask device |
CN102455169B (zh) * | 2010-11-03 | 2014-02-19 | 上海微电子装备有限公司 | 零位传感器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5228335A (en) * | 1975-08-29 | 1977-03-03 | Hitachi Ltd | Optical unit |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4044363A (en) * | 1974-12-23 | 1977-08-23 | Dymo Industries, Inc. | Laser photocomposition system and method |
JPS5497050A (en) * | 1978-01-17 | 1979-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | Video clock signal generator |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP58047890A patent/JPS59174070A/ja active Pending
-
1984
- 1984-02-21 US US06/582,085 patent/US4566016A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5228335A (en) * | 1975-08-29 | 1977-03-03 | Hitachi Ltd | Optical unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4566016A (en) | 1986-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3249154B2 (ja) | 近接リソグラフィックシステムにおける横位置測定装置及びその方法 | |
CA2078731C (en) | Positional deviation measuring device and method thereof | |
JP2002504239A (ja) | 小型のプレーナ型光学相関器 | |
US3708619A (en) | Automatic focusing of optical systems | |
US4393411A (en) | Laser read-write system for the production of engravings | |
WO1980001002A1 (en) | Pattern inspection system | |
US4938598A (en) | Method and apparatus for position detection on reduction-projection system | |
EP0237102B1 (en) | Arrangement for aligning a mask and a substrate relative to each other | |
JPS59174070A (ja) | 画像記録方法 | |
JPS61108904A (ja) | 光学的干渉測定装置 | |
CN1272621A (zh) | 测量象差引起的位置移动和/或畸变的方法装置 | |
US5030986A (en) | Film printing and reading system | |
JPS5832147A (ja) | レチクル検査方法 | |
US3540791A (en) | Simplified multiple image generation | |
US4866464A (en) | Method and apparatus for generating a scan timing signal with diffuser and detector array | |
JPH0250448B2 (ja) | ||
GB2133565A (en) | An observation device and an aligner using same | |
JPS59140417A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
JPH02206706A (ja) | 位置検出装置及び位置検出方法 | |
US3544197A (en) | Optical crosscorrelation | |
US6313916B1 (en) | Position detecting system and projection exposure apparatus with the same | |
JPS62232611A (ja) | 画像走査記録装置のレ−ザ露光装置 | |
US5532781A (en) | Focus detection device for an optical system | |
JPS62149252A (ja) | 画像入力装置 | |
JPS627481B2 (ja) |