JPS59174070A - 画像記録方法 - Google Patents

画像記録方法

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JPS59174070A
JPS59174070A JP58047890A JP4789083A JPS59174070A JP S59174070 A JPS59174070 A JP S59174070A JP 58047890 A JP58047890 A JP 58047890A JP 4789083 A JP4789083 A JP 4789083A JP S59174070 A JPS59174070 A JP S59174070A
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JP
Japan
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light
laser light
laser
half mirror
sweep
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JP58047890A
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Inventor
Tatsunosuke Masuda
益田 達之助
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 j厚を塗布したプリント基板等の画像形取材相上に、配
線パターン等の画像を、寸法歪みなく.焼き例けうるよ
うにした画像記録カ法に関づ−る。
電子回路のプリント基板に、配線パターンを形成するに
は、密着露光力式と直接露光方式とがある。
密殖露光力式は、界面にレジヌト膜孕塗布.形成したプ
リント基板に、ネガあるいはポジの画像を形成したマス
クフィルムを密着させて露光し、これを現像して、レジ
ストパターンの作成を行なうものである。
この密着露光方式では、まず、所定iilij像のマス
クフィルムの作成を、たとえば自動製図機等によって行
うのに数時間tWし,また、フィルム自体が,温匿や湿
度の変化によって伸縮し、歪みが生じるなどして、プリ
ント基板に形成される配置>Jパターン等に、寸法歪み
が生じるという欠点がめった。この寸法の誤差があると
、泉工:l呈でのグリノ1−7’= 板へのドIJ I
Jソング孔明け)時に、孔の位置カバターンとずれてし
甘い、フ1ス郁合が生じる。
直」i露光方式は、こうした従来の密脇露光力式とは異
なυ、マスクフィルムを使用することなく、2次元両像
データを、テジタル画隊信号として、メモリ装置病に記
録させておき1.7Cれを、Fileみ出し、この信号
(画イオ信号)によってiii制御される光?、プリン
ト基板上に走育させて、画イfljパターン全形成する
ものである。
B:= 1図−2、従来の直接露光装置の一例を示すン
ステムI荷成図である。
記・説装侮(1)に2次元向1ボ信号が記憶され、CP
U(2)で足前のための時系列曲走i信号に変換さJ′
シて、A″′0(音響光学)光変調器(a ) ニ1具
11”aされる。
蕗元ビームの光諒、たとえば、アルゴンイオンレーザ−
チューブ(4)からし」出される光ビームは、A−0元
笈調;4器(3)において変w1・4され、エキスパフ
ター(V))を刈り、固定ミラー(5)(6)イ肛て、
多聞反躬婉(°o (以下、ポリゴンミラーという)に
入る。
ポリゴンミラー(7)では、モータ(8)で回1伝され
る各@面で反射する露光ビームを、図中紙面と直角の方
向に、所定ひるが9角をもって振らぜる。
さらに、露光ビームは、ポリゴンミラー(7)の便く接
近した位置に配置されている集束レンズ(LO)、及び
プリント基板に近い位置に配置されている同定ミラー(
11) i通って、未露光のブリット基板(留止に、光
点を結びつつ掃引照射される。
プリント基板(]21は、ステージ(13)に固定され
ており、このステージ(13)は、モータ(I→が等速
で副走査力面(図中矢印0力向)にラレ勤する副走萱送
9イ戒柚ケなしている。
し7こかつて、ポリゴンミラー(7)が回1伝し、ステ
ージ(1力が移動すると、プリント基板(1同上は、露
光ビームの結像光点で、順次にその全面を平聞走3fさ
れる。
ところが、こうした直接露光装置においては、ステージ
(13)fr−機械的に駆動してな”る副走賢方向の移
動精屁は、モータ(1→および伝達機構さえ適切に設計
されれば、さして困貼なく、必要な精度を保J侍するこ
とかできる。しかし、ボリコ゛ンミラー(γンの回転に
よる主走畳方向の掃引精度は、ポリゴンミラー(γ)や
集束I/ンズ(10)等全aむ光学系の設Y、1と上作
号15度に1り:I係するにも拘らず、役割や工作に起
因する誤差2充分に小さくすることは容易でなく。
又ポリゴンミラ−(7)の回転と走畳方向の光点位置の
直i9J!的関ル1を、充分な精度で保つことも、技δ
1;j的にi砥めて困離である。
吊2図(ri、上記の欠点を補うようにした&光装置の
従来例の構成説明図である。
6132図において、第1図と同一の狛号をイ利しであ
る都側は、そコ]7と同じ働きをするので、その説明?
省く。
第2図のものにおいては、第1図のものに対し、格子状
スケール(15)、光検出器(1G)及び補助レーザー
チューブ(貨)全追加し、かつ固定ミラー(5)(11
)は、ハーフミラ−(5)(11)としである。
!3己3図は、第2図の格子状スケール(15)の一部
を示している。
化2図において、格子状スケール(15)fl二、ハー
フミラ−Q()に対して、プリント基板(胸の露光位置
と共範の位置におかれている。
第1図と同様に、アルゴンレーザーチューブ(4)から
射出されたレーザー光は、未露光のプリント基板(旧を
掃引露光する。プリント基板(旧に塗布された感光液を
感光しない光を発するイ11′i助レーザーチューブ(
17)から射出されるレーザー光(は、アルコ゛ンレー
ザーテユーブ(4)から躬出さゴするレーザー光と同光
軸をとるように、調整設置されており、プリント基板(
12)孕走五する(露光はしない)と同時に、格子状ス
ケール(15) (i:走育する。
格子状スケール(15片ルミするレーザー光は、第3図
に示す格子を通過すると、毎週遮断を課返した光となり
、光検出器(16)に入る。
光検出器(16)は、レーザー光をパルス信号に鎚換し
、CPU(2)に入り、第1図に説明した如く、記憶装
置(1)からωLみ出して、プリント基4反(1匂上に
歪のない画f象が露光される。
レーザー光は、波長の異る2I+tiの光を利用してい
るため、集束レンズ(10)は、色収差を抑えたもの?
使用しても、なお残存色収差(倍率の)が残り、ハーフ
ミラ−(11)においても収差が生じるので、第3図の
格子状スケール(15)は、それら両者の影響全補正し
た非線形のものケ用いる必要がある。
本発明は、従量の方式においては、2本のレーザーチュ
ーブを使用している7艦め、装置が高側となる欠点があ
るのを、1本のレーザーチューブを用いることによって
、装置全体の製作費の低下を可能とするものである。
2本のレーザー光の光軸を完全に一致さぜないと、ポリ
ゴンミラー(′γ)による走奔において、ブリット基板
(12)迄の距離が長いので、誤差が増大され、走亘角
の大小により、プリント基板(IS4上での走i位置に
よって誤差が生じることになるが、本発明によれば、こ
のような欠点は除去される。
さらに1本発明によると、色収差についての考M、が不
1胃となり、かつ集束レンズ(10)も安価になり、弔
3図の格子法スケール(15)についても、1色の光に
対する収差を考Hするたけでよい。
本発明は、レーザーチューブの使用ti本とすることに
よって、d−j2図に示した従量・レリに比し、精度が
向上するとともに、製作費を低下しうる画像記録方法を
提供すること?目的とするものである。
本発明の第1の主眼は、1本のレーザーチューブのみを
使用することにあり、これによって、レーザーチューブ
2本のときのような、光軸を合わせる作業が不要になり
、2本の光軸の誤差が、走査角による誤差の大小のバラ
ツキとなる誤差から、完全解放されることとなる。また
、色収差の光1も、か不要となるため、集束レンズ(1
,0)も安1iiiiなものでよい。
本発明は、プリント基板に塗布さ′!1.た感光材の感
光特性に着眼したものである。即ち、通常、プリント基
板用の感光材は、ある光量以下では感光せず、ある光量
以上で感光するという特性のあるものを使用する。
第4図は、本発明の実施例な示し、第2図と異るのは、
補助レーザーチューブ(17) ’z琢9除き、かつ・
・−フミラー(に)をミラー(5)に代えたものである
第21ン1において説明した如く、CP U (2)か
らの2値データーに列し、A−0光変調器(3)からは
、感光(シが感光するらえさのレーザー光と、感光材が
感光せす元栓11“品: (1G)がパルスとして検出
できる強さの17−ザー光の2値のレーザー光が射出さ
れる。
このA−0光変り・4器(3)の割出レーザー光の21
111i制御技術、並ひに光検出器(16)の検出技術
自体は、不発明の1」的とするところではなく、公知の
づ支術を用いればよいので、その詳訂口な説明は行わな
い。
本発明によれば、レーザーチューブ21本省略すること
が誓き、かつ色収差全装しないレンズ全筒用することが
できるため、光軸合せへ■の組立及び1ijj+l整作
系が21り俄となり、製作費が減少し、かつ、2本光軸
の誤差による走i角の大小による誤にの°i広犬が防止
できる等、多大の効果がある。
格子状スケール(15)及び光検出器(16)の代わり
に、1次う1.配置1(さメまた光′1匠アレーセンサ
ーを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、虻米のプリント基板の直j衣籟光装置゛の一
例を示す構成説明図、 第2図は、補助レーザービームを・便用したプリント基
板の直接蕗光装置を示す構1民説明図、第3図は、旨も
2図における格子状スケールの一例を示す正面図、 >g4図は1本発明の方法を笑施する7′?Lめの構成
の一例を示す概要図である。 (1)記憶装置     (2)CPU(S)A−O光
変調器   (4)アルゴンレーザーチューブ(5)固
定ミラー    (5)ハーフミラ−(6)固定ミラー
    (γ)ポリゴンミラー(8)モータ     
  (9)拡大レンズ(10)集束レンズ    (1
1)固定ミラー(11)ハーフミラ−(1匂プリント基
板(13)ステージ     (14)モータ(15)
格子状スケール  (16)光検出器(17)補助レー
ザーチューブ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (」)感光4a’(i:塗布した記録1IIli(+:
    光走査して所定の画像を記録する際において1、感光側
    が実質的に感光しない光量を最低限常に存在せしめ、記
    録面上を掃引する光の一部をハーフミラ−等で分離して
    、光掃引位置検出手段に入力し、検出された掃引光の位
    置信号にもとづくタイミングの画像信号で、光を変調す
    ることケ特徴とする画像記録方法。 (2)光掃引位置検出手段が、元金分離するためのハー
    フミラ−に対して光走森により露光される記録面と共範
    に配置された格子状スケールと、光検出器とからなるこ
    とを特徴とする特15−lニー6求の範囲第(1)項に
    記載の画像記録方法。 (3)光1’lfk引位置恢出手段が、分離光のh+f
    引1川に1次元配置された光電アレーセンザであること
    ?特徴とする特許請求の範111II第(1)項に記載
    の画像記録方法。
JP58047890A 1983-03-24 1983-03-24 画像記録方法 Pending JPS59174070A (ja)

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