JPS59173939A - 飛行時間型イオン質量分析装置 - Google Patents
飛行時間型イオン質量分析装置Info
- Publication number
- JPS59173939A JPS59173939A JP58048533A JP4853383A JPS59173939A JP S59173939 A JPS59173939 A JP S59173939A JP 58048533 A JP58048533 A JP 58048533A JP 4853383 A JP4853383 A JP 4853383A JP S59173939 A JPS59173939 A JP S59173939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- ion
- focusing
- electrode
- flight
- Prior art date
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- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イオン質量を分析する質量分析装置に関する
もので、特にエネルギーを与えられたイオンの飛行時間
の差を用いてイオン質量を分別分析する飛行時間型イオ
ン質量分析装置に関するものである。
もので、特にエネルギーを与えられたイオンの飛行時間
の差を用いてイオン質量を分別分析する飛行時間型イオ
ン質量分析装置に関するものである。
従来の飛行時間型イオン質量分析装置は、その原理がダ
ブル・シー・ウィリー（Ｗ、Ｃ０Ｗｉｌｅｙ）とアイ・
エイチ・マクラレン（Ｉ、Ｈ，ＭｃＬａｒｅｎ）とによ
ってザ・レヒュー・オブ・サイエンティフィック・イン
スツルメンツ（Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、 Ｉｎ５ｔｒ、＋２６
巻、１２号、１１５０頁＝１１５７頁、１９５５年）に
述べられている。
ブル・シー・ウィリー（Ｗ、Ｃ０Ｗｉｌｅｙ）とアイ・
エイチ・マクラレン（Ｉ、Ｈ，ＭｃＬａｒｅｎ）とによ
ってザ・レヒュー・オブ・サイエンティフィック・イン
スツルメンツ（Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、 Ｉｎ５ｔｒ、＋２６
巻、１２号、１１５０頁＝１１５７頁、１９５５年）に
述べられている。
すなわち、従来の装置では、イオンが偏向軌道を画かず
イオン加速室から直線的な飛行軌道を画きイオン検出器
に到達するようになっており、高い分解能を得るべく飛
行距離を長くとると、検出でトるイオンの入射時の立体
角が飛行距離の２乗に反比例して小さくなるとともに、
イオン検出信号が減少するという問題点がある。
イオン加速室から直線的な飛行軌道を画きイオン検出器
に到達するようになっており、高い分解能を得るべく飛
行距離を長くとると、検出でトるイオンの入射時の立体
角が飛行距離の２乗に反比例して小さくなるとともに、
イオン検出信号が減少するという問題点がある。
さらにイオンの初期エネルギーがそろえられないため、
この初期エネルギーの分布がそのまま分解能に影響する
という問題点があることにより、高感度かつ高分解能か
得られないという欠点をもっでいた。
この初期エネルギーの分布がそのまま分解能に影響する
という問題点があることにより、高感度かつ高分解能か
得られないという欠点をもっでいた。
そのため、飛行時間型イオン質量分析装置買は、分析時
間が短く時間的に変化するイオン密度の解析に有用であ
るなどの特徴をもつにもががわらず、四重極型イオン質
量分析装置に比して応用が広く開けることかなかった。
間が短く時間的に変化するイオン密度の解析に有用であ
るなどの特徴をもつにもががわらず、四重極型イオン質
量分析装置に比して応用が広く開けることかなかった。
本発明は、従来の飛行時間型イオン質量分析装置の上記
欠点を排除し、高感度かつ高分解能の飛行時間型イオン
質量分析装置を提供することを目的とする。
欠点を排除し、高感度かつ高分解能の飛行時間型イオン
質量分析装置を提供することを目的とする。
このため、本発明の飛行時間型イオン質量分析装置は、
イオンの加速・集束手段と、この加速・集束手段で加速
・集束されたイオンを通す入射孔と、該入射孔を通過す
るイオンを発散・集束させる少なくとも１つの発散・集
束手段をそなえた飛行分析段と、該飛行分析段の最終集
束点に配置された出射孔と、該出射孔を通過するイオン
を検出するイオン検出手段とをそなえ、該入射孔に所要
の時１ｉｆｔ幅だけイオンを通すタイミング電極が設け
られるとともに、該イオン加速・集束手段または該発散
・集束手段がイオンを集束させる集束レンズとして構成
されたことを特徴としている。
イオンの加速・集束手段と、この加速・集束手段で加速
・集束されたイオンを通す入射孔と、該入射孔を通過す
るイオンを発散・集束させる少なくとも１つの発散・集
束手段をそなえた飛行分析段と、該飛行分析段の最終集
束点に配置された出射孔と、該出射孔を通過するイオン
を検出するイオン検出手段とをそなえ、該入射孔に所要
の時１ｉｆｔ幅だけイオンを通すタイミング電極が設け
られるとともに、該イオン加速・集束手段または該発散
・集束手段がイオンを集束させる集束レンズとして構成
されたことを特徴としている。
以下、本発明の−・実施例を図面について説明すると、
第１，２図は本発明の一実施例としての飛行時間型イオ
ン質量分析装置を示すもので、第１図はそのイオン発生
源（こ連結し′ζ出力をオシロスコープ−にに表示した
ｊ烏合の概略図、第２図はそのタイミング電極と駆動回
路の詳細な構造を示す説明図である。
第１，２図は本発明の一実施例としての飛行時間型イオ
ン質量分析装置を示すもので、第１図はそのイオン発生
源（こ連結し′ζ出力をオシロスコープ−にに表示した
ｊ烏合の概略図、第２図はそのタイミング電極と駆動回
路の詳細な構造を示す説明図である。
第１図′において、構成ならびに配置を説明すると、イ
オン加速・集束段Ａと飛行分析段Ｃとは、１つの筒Ｆを
入射孔１３を有するタイミング電極Ｂ１で仕切ることに
よって区分されている。
オン加速・集束段Ａと飛行分析段Ｃとは、１つの筒Ｆを
入射孔１３を有するタイミング電極Ｂ１で仕切ることに
よって区分されている。
そして、イオン加速・集束段Ａには、イオン源１かイオ
ン取り出し孔２を介して連結されるとともに、このイオ
ン源１からイオンを加速して取り出す加速手段Ａ１と、
この加速したイオンをタイミング電極Ｂ１の杢射孔Ｂに
集束さぜる集束手段Ａ２とがそなえられる。
ン取り出し孔２を介して連結されるとともに、このイオ
ン源１からイオンを加速して取り出す加速手段Ａ１と、
この加速したイオンをタイミング電極Ｂ１の杢射孔Ｂに
集束さぜる集束手段Ａ２とがそなえられる。
一方、飛行分析段Ｃには入射孔Ｂを通過するイオンを発
散・集束させる２つの発散・集束手段Ｃ１，Ｃ２かそな
えられており、この飛行分析段Ｃのイオン最終集束、Ｉ
、′、ξには出射孔１）か配設されている。
散・集束させる２つの発散・集束手段Ｃ１，Ｃ２かそな
えられており、この飛行分析段Ｃのイオン最終集束、Ｉ
、′、ξには出射孔１）か配設されている。
この出射孔１）の後にはイオン検出器Ｅが配置され、イ
オン加速・集束段Ａ、飛行分析段Ｃおよびイオン検出器
Ｅか共に真空排気系３に連なっている。
オン加速・集束段Ａ、飛行分析段Ｃおよびイオン検出器
Ｅか共に真空排気系３に連なっている。
イオン検出器印加電源４に接続されたイオン検出器Ｅは
、増幅器５を介してオシロスコープ６に接続され、タイ
ミングパルス発生器７は、タイミング電極Ｂ１とオシロ
スコープ６とに接続されている。
、増幅器５を介してオシロスコープ６に接続され、タイ
ミングパルス発生器７は、タイミング電極Ｂ１とオシロ
スコープ６とに接続されている。
ところで、加速手段Ａ１はイオン源１に対して加速電位
＼７ｏをもつ加速電極で構成され、集束手段Ａ ２ 、
発散・集束手段Ｃ１およびＣ２は高い集束作用をもっ三
電極構造のユニポテンシャルレンズで構Ｉ＆され、それ
ぞれ電位Ｖｌ、＼７３．＼ｌ、が印加されるようになっ
ている。
＼７ｏをもつ加速電極で構成され、集束手段Ａ ２ 、
発散・集束手段Ｃ１およびＣ２は高い集束作用をもっ三
電極構造のユニポテンシャルレンズで構Ｉ＆され、それ
ぞれ電位Ｖｌ、＼７３．＼ｌ、が印加されるようになっ
ている。
さらに、タイミング電ｉＢ１は、レンズ中央の電極が偏
心した配設となっている三電極構造のユニポテンシャル
レンズで構成され、電位Ｖ２が印加されるようになって
いる。
心した配設となっている三電極構造のユニポテンシャル
レンズで構成され、電位Ｖ２が印加されるようになって
いる。
なお、加速手段Ａ１の加速電極は集束手段Ａ２のユニポ
テンシャルレンズのイオン源１側の電極で兼用してもよ
い。また、発散・集束手段（ユニポテンシャルレンス）
Ｃ１，Ｃ２は、設定されたイオンの飛行距離に応じて適
当数（少な（とも１つ）だけ設けることがで外る。
テンシャルレンズのイオン源１側の電極で兼用してもよ
い。また、発散・集束手段（ユニポテンシャルレンス）
Ｃ１，Ｃ２は、設定されたイオンの飛行距離に応じて適
当数（少な（とも１つ）だけ設けることがで外る。
第１図において、本装置の動作を説明すると、イオン取
り出し孔２を通って加速手段（加速電極）の加速電位Ｖ
０の作用でイオン）原１から取り出されたイオンは、集
束手段（ユニポテンシャルレンズ）Ａ２の集束作用によ
り入射孔Ｂに集束される。
り出し孔２を通って加速手段（加速電極）の加速電位Ｖ
０の作用でイオン）原１から取り出されたイオンは、集
束手段（ユニポテンシャルレンズ）Ａ２の集束作用によ
り入射孔Ｂに集束される。
そして、タイミング電極Ｂ１の三電極の電位が等電位＼
・′ｏどなる所要の時間幅では、この集束されたイオン
か入射孔ｔ３から飛行分析段Ｃにイオン軌道を［ｊ旧す
゛られずに入り、イオンは発散・集束手段（ユニポテン
シャルレンズ）ＣＩ、Ｃ２により発散・集束を繰り返す
軌道すなわちイオン軌道領域１０内の軌道を画いて出射
孔りから出てイオン検出器Ｅで検出される。
・′ｏどなる所要の時間幅では、この集束されたイオン
か入射孔ｔ３から飛行分析段Ｃにイオン軌道を［ｊ旧す
゛られずに入り、イオンは発散・集束手段（ユニポテン
シャルレンズ）ＣＩ、Ｃ２により発散・集束を繰り返す
軌道すなわちイオン軌道領域１０内の軌道を画いて出射
孔りから出てイオン検出器Ｅで検出される。
また、イオンを検出する所要の時間幅以外では、タイミ
ング電極Ｂ１の中心電極にイオンを偏向させる偏同電位
＼・“、か印加されるので、イオンはイオン軌道領域１
１ヘイオン軌道を曲げられイオン検出器Ｉ艶まで飛行で
きない。
ング電極Ｂ１の中心電極にイオンを偏向させる偏同電位
＼・“、か印加されるので、イオンはイオン軌道領域１
１ヘイオン軌道を曲げられイオン検出器Ｉ艶まで飛行で
きない。
イオン検出器Ｅで検出され増幅器５で増幅されたイオン
検出信号８は、タイミングパルス発生器７がらのタイミ
ングパルス信号９と同時にオシロスコープ６上に表示さ
れる。
検出信号８は、タイミングパルス発生器７がらのタイミ
ングパルス信号９と同時にオシロスコープ６上に表示さ
れる。
このようにして、入射孔Ｂがらイオン検出器Ｅまでのイ
オン飛行時間が、イオン検出信号８のタイミンクパルス
信号９がらの時間遅れ１として観測されるのである。
オン飛行時間が、イオン検出信号８のタイミンクパルス
信号９がらの時間遅れ１として観測されるのである。
なお、本装置において、加速・集束手段ｌ＼１．ノ〜２
ならびに発散・集束手段Ｃ１，Ｃ２の一例として用いら
れるユニポテンシャルレンズの集束作用は、エフ・エイ
チ・リ−１’（Ｆ、Ｈ，Ｒｅａｄ）によってジャーナル
−オブ・サイエンティフィック・インスッルメンツ（Ｊ
。
ならびに発散・集束手段Ｃ１，Ｃ２の一例として用いら
れるユニポテンシャルレンズの集束作用は、エフ・エイ
チ・リ−１’（Ｆ、Ｈ，Ｒｅａｄ）によってジャーナル
−オブ・サイエンティフィック・インスッルメンツ（Ｊ
。
Ｓ ｃｉ、Ｉ ｎ５Ｌｒ、、 ２巻、２号、６７９頁−
６８４頁１９６９年）に公表されている。
６８４頁１９６９年）に公表されている。
次に、第２図において、タイミング電極Ｂ１とその駆動
回路の詳細な構造および動作について説明すると、符号
Ｂ２．Ｂ３．Ｂ４．ＢＳはアルミナセラミック板であっ
て、焼成前の練和生乾燥状態で符号Ｂ ３． Ｂ ４．
。
回路の詳細な構造および動作について説明すると、符号
Ｂ２．Ｂ３．Ｂ４．ＢＳはアルミナセラミック板であっ
て、焼成前の練和生乾燥状態で符号Ｂ ３． Ｂ ４．
。
Ｂ５の原材料表面にそｊ′Ｌぞれメタライスインクを塗
布し、同じく練和半乾燥したアルミナセラミック板１３
２の原材料でおおい焼成すると、メタライズインクは導
体化し符号Ｂ６．Ｂ７．Ｂ８の平行平板電極となり、全
体は一体化してタイミング電極（ユニポテンシャルレン
ズ）［３■を形成する。
布し、同じく練和半乾燥したアルミナセラミック板１３
２の原材料でおおい焼成すると、メタライズインクは導
体化し符号Ｂ６．Ｂ７．Ｂ８の平行平板電極となり、全
体は一体化してタイミング電極（ユニポテンシャルレン
ズ）［３■を形成する。
このタイミング電ｉＢ１の中央にはイオンの入射孔Ｉ３
か開けられており、平行平板電極Ｂ Ｇ 、 １３８を
加速手段Ａ１の加速電極と同電位＼７ｏとじ乎１ｊ平板
電極Ｂ７（こ偏向電位Ｖ、を加えると入射孔Ｂ中に不平
等電界か発生し、そこを通過するイオンは偏向されて集
束軌道から外れ、次の飛行分析段を通過することがでと
ない。
か開けられており、平行平板電極Ｂ Ｇ 、 １３８を
加速手段Ａ１の加速電極と同電位＼７ｏとじ乎１ｊ平板
電極Ｂ７（こ偏向電位Ｖ、を加えると入射孔Ｂ中に不平
等電界か発生し、そこを通過するイオンは偏向されて集
束軌道から外れ、次の飛行分析段を通過することがでと
ない。
第２図中のＮｌ”Ｎ）ランン又り７１を含む回路はタイ
ミングパルス発生器７の出力段の一部であって、端子７
２に電圧か加えられないとぎは、トランジスタ７１は深
くバイアスされていて平行平板電極Ｂ７には偏向電位Ｖ
、か加えられている。端子７２に正電圧か加えられると
、トランジスタ７１には飽和電流か流れ、平行平板電極
Ｂ７は加速手段Ａ１の加速電極と同電位となり、入射孔
Ｂを通過するイオンは次の飛行分析段を通過することか
できる。
ミングパルス発生器７の出力段の一部であって、端子７
２に電圧か加えられないとぎは、トランジスタ７１は深
くバイアスされていて平行平板電極Ｂ７には偏向電位Ｖ
、か加えられている。端子７２に正電圧か加えられると
、トランジスタ７１には飽和電流か流れ、平行平板電極
Ｂ７は加速手段Ａ１の加速電極と同電位となり、入射孔
Ｂを通過するイオンは次の飛行分析段を通過することか
できる。
さて、本発明の装置の作用効果を説明するために、加速
手段Ａ１と集束手段ノ＼２とを１つのユニポテンシャル
レンズで兼ね、イオン取り出し孔２からこのユニポテン
シャルレンズまでの距離を４０ｍｍに設定し、イオンの
加速電圧をイオンの初期エネルギーの２０００倍に設定
した装置を用いた実験例を示す。
手段Ａ１と集束手段ノ＼２とを１つのユニポテンシャル
レンズで兼ね、イオン取り出し孔２からこのユニポテン
シャルレンズまでの距離を４０ｍｍに設定し、イオンの
加速電圧をイオンの初期エネルギーの２０００倍に設定
した装置を用いた実験例を示す。
この装置では、イオンはレンズ入口で直径１ 、８ ＋
ｎ＋ｎのビームとなり、この際のイオンの初期エネルギ
ーによる差は無視できる程度となる。
ｎ＋ｎのビームとなり、この際のイオンの初期エネルギ
ーによる差は無視できる程度となる。
また、集束手段Ａ２のユニポテンシャルレンズは、アパ
ーチャの直径を１．０ｍｍ、電極間隔を５ｍｍ、電極電
位比＼７．／Ｖｏ＝２０と集束性のよい条件に設定して
いるので、縮小レンズとして使用するユニポテンシャル
レンズの作用で直径を２ｍｍと設定したイオン取り出し
孔２の像は、直径（１，３８ｍｆＯと小さくなる。その
際の球面収差は０ 、 ｉ’、ｌ ６ ｍｍと小さい。
ーチャの直径を１．０ｍｍ、電極間隔を５ｍｍ、電極電
位比＼７．／Ｖｏ＝２０と集束性のよい条件に設定して
いるので、縮小レンズとして使用するユニポテンシャル
レンズの作用で直径を２ｍｍと設定したイオン取り出し
孔２の像は、直径（１，３８ｍｆＯと小さくなる。その
際の球面収差は０ 、 ｉ’、ｌ ６ ｍｍと小さい。
従って、像の大きさと球面収差の大きさとで決まるタイ
ミング電極Ｂ １の入射孔Ｂの孔径を直径ｔｉ 、 Ｓ
ｍａｎと小さく設定で゛きる。
ミング電極Ｂ １の入射孔Ｂの孔径を直径ｔｉ 、 Ｓ
ｍａｎと小さく設定で゛きる。
さらに、発散・集束手段ＣＬＣ２にも集束性のよいユニ
ポテンシャルレンズを用いることによって、入射孔Ｂに
おけるイオンの集光立体角をそこなうことなくイオン′
の飛行距離を長くすることかできる。よってタイミング
電極１３１からイオン検出器Ｅまでの飛行距離として５
００ｍ＋ｎを設定したと外には、分解能として１０００
と高い値かイｑられる。
ポテンシャルレンズを用いることによって、入射孔Ｂに
おけるイオンの集光立体角をそこなうことなくイオン′
の飛行距離を長くすることかできる。よってタイミング
電極１３１からイオン検出器Ｅまでの飛行距離として５
００ｍ＋ｎを設定したと外には、分解能として１０００
と高い値かイｑられる。
以」二詳述したように本発明の飛行時間型イオン質量分
析装置によれば、イオン源から取り出せるイオンの立体
角が大きくなり、イオンの初期エネルギーをそろえるこ
とかできるとともに、イオンの飛行距離を長くしてもイ
オンの集光立体角をそこなうことなくイオンを検出でき
るので、高い分析感度か摺られるという利点がある。
析装置によれば、イオン源から取り出せるイオンの立体
角が大きくなり、イオンの初期エネルギーをそろえるこ
とかできるとともに、イオンの飛行距離を長くしてもイ
オンの集光立体角をそこなうことなくイオンを検出でき
るので、高い分析感度か摺られるという利点がある。
さらに、タイミング電極の入射孔孔径およびこの入射孔
孔径にほぼ等しいタイミング電極の電極間距離を小さく
で外、目、つ、イオンの飛行距離を長くできるので、タ
イミング電極とイオン検出器との開のイオン飛行距離と
、タイミング電極におけるイオンの出発点の差すなわち
タイミング電極の電極間距離との比にほぼ等しい装置の
分解能が高まるという効果かえられる。
孔径にほぼ等しいタイミング電極の電極間距離を小さく
で外、目、つ、イオンの飛行距離を長くできるので、タ
イミング電極とイオン検出器との開のイオン飛行距離と
、タイミング電極におけるイオンの出発点の差すなわち
タイミング電極の電極間距離との比にほぼ等しい装置の
分解能が高まるという効果かえられる。
図は、本発明の一実施例としての飛行時間型イオン質量
分析装置を示すもので、第１図はその概略図、第２図は
そのタイミング電極および駆動回路の詳細な構造を示す
説明図である。 １・・イオン源、２・・イオン取り出し孔、３・・真空
排気系、４・・イオン検出器印加電源、５・・イオン検
出手段を構成する増幅器、６−・オシロスコープ、７・
・タイミングパルス発生器、８・・イオン検出信号、９
・・タイミングパルス信号、１０．１１・・イオン軌道
領域、７１・・ＮＰＮ）ランジスタ、７２・・端子、Ａ
・・イオン加速・集束段、Ａ１・・加速手段（加速電極
）、Ａ２・・集束手段（ユニポテンシャルレンズ）、Ｂ
・・入射孔、Ｂ１・・タイミング電極（ユニポテンシャ
ルレンス）、Ｂ２ 、 Ｂ ３ 、 Ｂ ４ 、 Ｂ
５・・アルミナセラミック板、Ｂ６ 、 Ｂ ７ 、１
−３８・・平行平板電極、Ｃ・・飛行分析段、Ｃ１，Ｃ
２・・発散・集束手段（ユニポテンシャルレンズ）、Ｄ
・・出射孔、Ｅ・・イオン検出手段を構成するイオン検
出器、Ｆ・・筒。 代理人 弁理士 飯沼義彦
分析装置を示すもので、第１図はその概略図、第２図は
そのタイミング電極および駆動回路の詳細な構造を示す
説明図である。 １・・イオン源、２・・イオン取り出し孔、３・・真空
排気系、４・・イオン検出器印加電源、５・・イオン検
出手段を構成する増幅器、６−・オシロスコープ、７・
・タイミングパルス発生器、８・・イオン検出信号、９
・・タイミングパルス信号、１０．１１・・イオン軌道
領域、７１・・ＮＰＮ）ランジスタ、７２・・端子、Ａ
・・イオン加速・集束段、Ａ１・・加速手段（加速電極
）、Ａ２・・集束手段（ユニポテンシャルレンズ）、Ｂ
・・入射孔、Ｂ１・・タイミング電極（ユニポテンシャ
ルレンス）、Ｂ２ 、 Ｂ ３ 、 Ｂ ４ 、 Ｂ
５・・アルミナセラミック板、Ｂ６ 、 Ｂ ７ 、１
−３８・・平行平板電極、Ｃ・・飛行分析段、Ｃ１，Ｃ
２・・発散・集束手段（ユニポテンシャルレンズ）、Ｄ
・・出射孔、Ｅ・・イオン検出手段を構成するイオン検
出器、Ｆ・・筒。 代理人 弁理士 飯沼義彦
Claims (2)
- （１）イオンの加速・集束手段と、この加速・集束手段
で加速・集束されたイオンを通す入射孔と、該入射孔を
通過するイオンを発散・集束させる少なくとも１つの発
散・集束手段をそなえた飛行分析段と、該飛行分析段の
最終集束点に配置された出射孔と、該出射孔を通過する
イオンを検出するイオン検出手段とをそなえ、該入射孔
に所要の時間幅だけイオンを通すタイミング電極が設け
られるとともに、該イオン〃１１速・集束手段または該
発散・集束手段がイオンを集束させる集束レンズとして
構成されたことを特徴とする、飛行時間型イオン質量分
析装置。 - （２）該集束レンズが、三電極構造のユニポテンシャル
レンズとして構成された、特許請求の範囲第１項に記載
の飛行時間型イオン質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048533A JPS59173939A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 飛行時間型イオン質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048533A JPS59173939A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 飛行時間型イオン質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59173939A true JPS59173939A (ja) | 1984-10-02 |
| JPH0124342B2 JPH0124342B2 (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=12805999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58048533A Granted JPS59173939A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 飛行時間型イオン質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59173939A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01160653U (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-08 | ||
| WO1998008244A3 (en) * | 1996-08-17 | 1998-04-09 | Millbrook Instr Limited | Charged particle velocity analyser |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP58048533A patent/JPS59173939A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01160653U (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-08 | ||
| WO1998008244A3 (en) * | 1996-08-17 | 1998-04-09 | Millbrook Instr Limited | Charged particle velocity analyser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0124342B2 (ja) | 1989-05-11 |
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