JPS59169988A - 微細な気孔を有する炭素／炭化硅素複合体及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は微細な気孔°を有する炭素／炭化硅素複合体及
びその製造法に関する。 近年炭素材料の発達は目ざましくまたその発達に応じた
用途開発も精力的に進められた眉果、様々な用途におい
て実用化に至っており、その形態は＊細状、布帛状、あ
るいは成型体秀であるが特に内部に気孔を含む多孔質体
構造の成型体は新しい素材として特に江　目さ！しはじ
めて注１（を有すること、第２に多孔質１（・、造であ
るため、軽坑で辿気通液性にｂｉ７′１．且つ有効表面
４Ａが悦めて大きいという特性を餉えていることによる
ものである。そしてか＼る多孔質体構造の成壓体はその
特長を十分に活かして、例えば特殊電池の電極板、船殊
戸材、保Ｗ；材、吸着材等梓々の用途に適用されてお９
更に床几な用途開発が期待されている。 しかしかかる優れた性質を有する炭素多孔質体Ｖこおい
ても次に述べる欠点があシ、その用途し「１発の一つの
障害となっ一〇いる事は否定出来ない。 即ち高温時における耐酸化性に劣り、１だ高温時に各椋
金属と反応を起す、址だ金ス」４との包合化を行なう場
合、両者のｙｏ、１面における所＋ｉｊ’ｌ　ｊ：ｓれ
性か悪く、就中金属がアルミニウムの杓合その傾向が著
しい。高温時の耐酸化性について（ｄ、酸素の存る：下
Ｖ′Ｃ丸・いて４’ＤＯ℃以上に加熱すると重量減が犬
きく、消耗が偏しい。これらの現象は炭素多孔質体の］
細部ね晶４１ン造が不定形のものであってもグラファイ
ト化されプこものてあっても同体である０−力かかる欠
点は炭化硅素では極めて少い。 本発明者等は炭素多孔質体の有する：Ｓ’Ｊ述の欠点に
％み鋭、は研死を重ねた結果本発明を完成したもので必
ってその目的とするところｄ多一孔質体を副成する被雑
な網目上４逅の内部に至る炭素質組織の表層部を硅素化
し、炭化硅素の層で被覆しプこ畝細な気孔を有する炭素
／炭化硅素多孔質体及びその娯遺去を提供するにある０
上述の１］的は、炭素の表面を炭化硅ふにて祉覆しだ複
合体によシ構成され、微＋Ｌ　ｆ：、気孔が形成されて
なる微細な気孔を有する戻素／炭化姓累（ソ合体により
史には、ポリビニルアルコール系樹脂と熱硬化性樹ｊ信
よりなる微円な気孔をイラする）孔質体を、硅ノ、成分
を含イ１する気体のイｒ在下で加−１，）し、該多孔質
体を炭、（；化すると共にその表面を炭化硅素／Ｖ’ｊ
にて払抜すらこと並びに微Ａ”、＋ｉな気孔を■する炭
、（二多孔ヶ４体を、硅素成分を含有する気体の存在下
で８００℃〜１５００℃にｍ品して炭素多孔質体の表面
を炭化硅素層にてイ、“２１ゴすることを特徴とする依
ｍ１１な気孔をイ」する、災素／炭化姓ふ複合体の装造
、去により達成される。 本発明に係る炭素／炭化！１圭索複合体は炭六の少く面
が炭化硅素にて被りされており、微細な気孔を具えたも
のである。そして複合体の基本′４１）造を形成する炭
素菅路は、公知の做糺な気孔を有する炭素多孔質体を使
用してもよいが、ポリビニルアルコール系樹脂と熱硬化
性イζ］脂よりなる微、１′Ｉｌｌな気孔を有する多孔
質体を出発原シートとして使用し、加占・塾により炭化
硅素Ｒ，ｆｉ、にて夕面忙級＋１１する除に炭素化し炭
素骨格をノ杉成するの力；女ｊ−またはクール、ピッチ
類と混合し、成ノ杉、し“−或により得られた炭素多孔
質体（特しｉｌｌ”ｉ、（４８６７１８８号公）−υ）
、炭≦・≦質微小中空イ木ｆ８占合１＋’ｉを用いて成
形後、暁成して１υられｌこル之−９イし′［４体（ｑ
４″公＋１ｉｊ　４９−１９９９９号公報）　、Ａｓ”
、雄状（１１１９６号公幸艮）、網状ポリウレタン檜ｌ
”ｋ　ユ’Ｆ勿（こＣ反状のフラン４’；ｒＪ　ＢＭを
含浸させて炭化しｉｔ炭炭素多孔鉢体米国特１１第３．
９２７．１８６号１シ」ｉ前、−）、ポリビニルアルコ
−ＪＬ系合成樹脂と熱硬化（’ｌ　ａ１１１ｉ＋よりな
る成型体の炭酸炭素化物（侮１ｉｄｌ！自５５−４６０
６９号）等が４・けられるが、政細な連ａ気孔を有し炭
化硅素の被覆が容易であることから、ポリビニルアルコ
ール １ヒ性（す１脂よりなる成凰体の焼成炭素化物７５；最
も好適である。また後者、即らポリビニルア）しｊ−ル
系樹脂と熱硬化性切崩よりなる倣Ｒ州な夕（孔をイイす
る多孔質体は、ポリビニルアルコール樹ｊ盾多孔′成イ
本に熱硬化性７ｙｊ＋１行もしくはその子刀期縮合吻溶
液を含浸した後別熱硬化させる方法及びポリビニルアル
コールと熱硬化性樹脂初１）］縮合物との混合溶液に澱
粉等の気孔生成剤と酸触媒および架橋剤としてのアルデ
ヒド翻を添加混合し、加熱ｆＪ化後後水洗て未反応原料
、気孔生成剤等を除去する方法により容易に製造できる
０そして、ポリビニルアルコール系多孔９４体に含合物
等が挙げられるが、レゾール樹脂が最適でめシ、次いで
ノボランク樹脂が好ましいものである。熱硬化性樹脂／
ポリビニノドアルコール樹脂多孔質体の製造に適用する
熱硬化性位ｊ脂としては、フェノール樹脂、就中水溶性
レゾールィＪ　ｊ’、ｓが好コ、°１である。レソ゛−
ル樹月旨は、フェノール紮１全アル）ヒドク、ｊと塩リ
ム性触媒の存イｌ、下で反ｌい、けしめて＜：上られる
初ｊυ１生成１けｊであり、例え（憶ン、ノール１シル
に対し、１．５ん６５モルのアルデヒド類不−・？や過
≦゛１１の塩Ｊ、ｒ性、唸１．１１の存在下で反応ビぜ
たトυ期潜り合’：：’ｒ）を！ａ定定木水溶性′Ｕじ
”１−に維持することによりｉ−＋　ｌ；八る０医に上
記多孔質体毛：、硅；；慴戊分′［含有す７）気体２′
Ｆ曲気）’　テ８０　［１〜ｉ　５　Ｄ　［１℃に加・
鳴すると畝１１．１１１．　気’ｉ’Ｌ＋　’ｋ　：’
Ｔする炭４この表（ｆｔｉか炭化硅−（７（（で３ｉ１
れＩと１台体が侍ら几る。こｑ）　ｊ’！λ（上ヌ：　
！＆分全全含有る気体は気体化てきるイしべ分を含イＪ
する化合物の気化・：勿のみでも、また該気Ｓと水メＳ
、アンモニア、チノ素、アルゴン等の不活性カスを混合
した７昆合物であってもよい。更に、’、Ｊｉ　ｌ、・
之、１索を（のま−ま、あるいは心安に応じて例えはＣ
ｕＣμ２−９の触媒の存在下で塩素、塩化水系、エチレ
ンジクロライド等の低級有機塩素化合物と少くとも２０
０℃の加熱条件下にて接触反応せしめて発生した硅素外
含有ガスを用いる害もできるＱ シｆ−Ｄ−′：、ｉた、佳パ成分を含Ｔｉする１Ｌ合′
（カでカス化出来るものとしては、ン３１＋’：Ｑａ　
、　ＳｔＨ，、５ＬＯ−２零の：［・（４炭化合′；勿
、ツノチル、′クロ・・し／フンで代、くさ〕Ｌ　る　
づ１１表１止　ふ　化　合　１ｙ’Ｊ　　Ｊｗ’　　≧
−（′プ　つ　Ｚし　る　／）；　、　　、ダ　ン１ジ
　Ｉ刃　（こよる力ｌ云１′二ｂ・いてＩｌ、　：１ｉ
ＣＲ４が最もガニｊである。 ＜Ｊ）’ｆ３　：ｂＬ分と含Ｔｉする刀ス、よう、りえ
・よ：、ｉ　ｌ　ＣＭ　、；−・上２系で−ごＬＥ／ノ
：　１　入圧り１・ｊ、　　：ＩＣ０，４ｃつ寸、１王
・′工　６〜４０７之、ｒ１２　　のノ上圧２より７〜
６０％でりる集注がｌ子−＝　　Ｌ　　〈、　　　、’
ｚｌ’　　（−３１・；　Ｑ　＝’　　　Ｄ　　−２Ｊ
　　、’＝　　、　　、＋　２（・＞Ｌ　、、：：ｉｓ
　’ａ　　・；、　　）９５〜８ＪＸ；の７）圧り′）
、７台か・Ｚも好、１なｄ呆η゛１才　“り　れ　る　
０ ・Ｋ）らΔＪ　ｉ−、ｉ、−いＣ７ま糸成力・をよ勺゛
する気休ｆｔ却下ての多孔質体の刀０熱温度は重″Ｄ：
な戟汁であり８００〜１５００℃であるか灯ましく；４
ｉｏｏ。 〜１３５０’Ｃ，符にス子ましぐは１１５０〜１５００
℃である。このｉｌ、ｌｊＫ範囲内であれ（・よ多孔質
体の構成成分を原ばとして該多孔゛貢体の表面を炭化硅
素化する事が出来、多（Ｌ貞体４１′１ｉ成成分の損失
がほとんどなく炭素多孔質体の衣層お↓びその内層部を
炭化硅素の微少結晶の緻密バごで被接出来る。特に温度
条件が１１５０〜１６００℃の範囲内においては、炭化
硅素への転化速度、１セ１］ち複合体の骨格を形成する
多孔質体の単位時１ＩＨ５あたシの重量増加率が最も大
きくしかも最も緻密な炭化硅素結晶の構造層を形成せし
めることが可能である。 加熱温度が８００℃未満では炭化硅素の生成速度がおそ
くなり、一方１５００℃を超えると重ｊ１２−損失が大
きくなるｔよかりでなく形成された炭化硅素の結晶が粗
大となシ、更に副反応によシ炭化硅素の刺状結晶が発生
するようＩ／ｃなる。 本発明において硅素成分を含有する気体と多孔Ａ体の反
応時間は通常５分乃至１２０分程反である。反応時間が
短いほど形成される炭化硅糸層の厚味はうすく、また長
いほど厚くなるが、４．ｉに長時間接触反応を行なった
場合には、炭素多孔置体全体が炭化硅素化され、炭化硅
素多孔質体が１与られる。 また原料となる多孔質体の性質によつ−にの反応性は異
ってくる。前記多孔質体の組１戦は独立気孔、連続気孔
等ｄ々のものがあるがその担改が比較的低温で焼成され
不定形ｂε系（ＣＭいものである程上記反応時における
反応性に冨み、ｌたそのＩ旦、峨が比較的高温で焼成さ
７Ｌだグツファイト形炭素構遺Ｉ（近いものであるほど
及応任〃漬小さくなり、炭化硅素化による瓜・［′ＣＣ
増率率低くなるｆり目「りを示す。 更に原、ト一↓となる多孔質体の裁忘がづ冶なイ￥、換
ムずれ（１気孔径が小さく気孔箪が低い程、硅メー分を
含む気体の内部への浸透ｉｌが乏しくなり成形体の外形
（（！と内部との灰化Ｍ：系への転化のｉＪ合が相通し
、不均質なものとなる。反応系を肌圧伏態にして行うと
これらの欠点は戊分改巷されるが、辰層の、ｆｉｇ造は
大か〃・ジなものとならざるを得ない。以上、多孔質体
の訃１穢構造、炭化硅素との反応性等を総合的にち應す
ると、ポリビニルアルコール系樹脂と熱硬化性樹脂より
なる微細な気孔を有する多孔質体、９、ｆにポリこニル
アルコールと熱硬化性制力旨初期鰯合物との混合浴液に
殿粉等の気孔生成剤と酸触媒、および架橋剤としてのア
ルデヒド類を添加混合し、加熱峡化後水況して未反応原
料、気孔生成Ａす等を除去してイＪられるポリビニルア
ルコール系合成４Ｎ脂多孔質体は好適なものである。 炭化硅素化を実施する手段としては、外部よリノガ定温
度に加熱された縦型あるいは構成の反応管中に上記原料
多孔質体を光調して反１心カスを導入させる事により該
炭素多孔り１体を炭化硅素化せしめる方法、ノミ宜な反
応管中で多孔ｆｉ体にＩｆ」−接電圧を負荷し所定温１
北に壕で自己発熱せしめた状態で反応性カスを４を人し
仙ぷ化せしめる方法とがめる。 本５Ａ明方法の実施にあだっ−Ｃ１史用てきるノ又応肯
の４４′イは、ｉ＋！Ｊ者の外部加熱方式の、１合ｉ／
Ｑ　Ｌいてはアルミナ−７リカ糸又はアルミナ糸の気密
型磁製チーーブ２−好霊しく、父に名の、１市′屯によ
る内部発熱方式では石英管、バイレックスカラス等の硬
質透明カラスチューブが好適でめる。チーーブの形状は
通常断面円形で内径１０〜２００賜／長さ３００〜２０
００　ｒｎのものが使用され、ノ糸料尋人部及び装品取
出郡はす：」えはＮ２カスの如き不活性ガスによって外
部からの朶気の反人、内部からの反応カスの排出がない
ようもζノールされる。通′市による内部発熱方式の揚
台（こ：、ｃチー−ブ同に設（直したカーホン冠位又（
−白金直やスを介して電流を導く方法が好ましい。 尚、反応管内への硅素成分を含有する気体の導入九１ば
通常１０〜５００？屈／分、好１しくは５０〜２００　
ｒｎｌ／分である。 以上本発すリによれ（げ炭素多孔質体の榎雑な網目構造
の内部に至る炭木質組紙の八ｊ４・５あるいは内層の全
１１１≦少くともその一部を炭化！＋Ｅ　Ｍ化し、外気
に接するＲｕ分は元金に炭化他系の層で仮すされた炭化
硅素系多孔夕１体をイＧる争が出来る。この炭化硅系系
多孔員体は、炭素（オタ′（か本来沫イｆしているすぐ
れ／こ性質に力０えて炭化イ山素のすぐれた性負が伺与
さｚしたものとなる。鼓１ｊち、商温時のｉｊ沃化性が
良好となり高巳使用時における損耗、重量損失がほとん
どなくなシ、また金属との複合索材を製造する場合の加
工性が向上する。 更に波及効果として、低温焼ＪＪｙ、さノした脈系多孔
質体の場合、その脆弱きが問題と７．−７）ｊり１合力
・多いが、表層を炭化硅素化する事に１９す１５度を向
上せしめ得るものである。 炭化硅系は不定形炭素あるいはグラファイトと熱膨張係
数が近似している為１品温下でも熱的歪による破損や剥
離を起す事ｙＪｉないといつ点も一つの重要な特長であ
る。 以−ト実施例を姑けて本発明を具体的にｄ明するＯ 来施例１ 止金Ｈｙｌ　１　ン００、けん化反９９％のポリビニル
アルコールを水に分散させ＋　（Ｋいで加Ａ／）浴解し
、６０℃になったところでＨＩ矩の籾温の小友紛澱粉の
水分散液をノノロえて撹拌しながら８Ｕ’Ｃに加熱した
。この混合液を４０℃に冷却法、３７％のホルマリン及
びに＋敵を加えて均一に混合し、ポリビニルアルコール
８％、数例４％、・５シマリン１０％、ｆ−Ｃ畝１０％
からなる溶液をｈ“」整した。該浴液を２００Ｘ２００
＋ノｂのシ〜にｂｉｂ　Ｌ／込ミ、６１ｊ　℃テ１８　
Ｒｉ！ｉｊ加１．−シた礫水抗してｆｚ粉及び未反応物
を浴出せしめ、厚さ２５　ｈｒＩｊ、の連続気孔を有す
るポリビニル“アルコール系伺脂多孔質体を得た。 上記のポリビニルアルコール系４．Ｊ　ｊ遺り孔質体を
固形分、？、１度２０％のメラミンイリｊ脂水溶、皮（
スミテックスレジン１ご３、狂友化♀工＊Ｅ　（’、：
＞　込！ｆｒ＋　）にυ４後乾燥し、更に１４　Ｄ　℃
て５時開硬化した０ １よ多孔Ｔ１体を災に固形分脹度６５・％の水ｉΔ性レ
し−ル恒」脂（スミライトレジンＰ　Ｒ−９６Ａ、住友
デュレス［株］製品）に授項し、多孔：１６体中り）レ
ゾール（ｌ’ｊ　ＩＩ’；ｊ　；Ｊ’ｓが６６重鼠％と
なる４４付着した後乾燥し、引枕いて１４Ｑ℃で２１寺
向イじ１化した。 こうして得られた連ちＣ気孔を有う゛るポリビニルアル
コール系樹脂多孔質体（試料ｙｆｏＳ−１）を′電気炉
に入れ、擢累雰囲気中で１５０℃／’ｈｒの昇温速鹿で
９００℃まで昇温して炭化した。 得られた炭素多孔質体（試料ハ；　Ｓｃ　−’　１　）
は平均孔径１０μ、遵わ℃気孔率９２％の不定形沃素よ
りなる網目り伍造を有するもので２・、っ／こ。 水平に保持した内径５０誌／長さ５　［Ｊ　１１　ｍｂ
の５ｉ０２　　Ａｇ２０Ｂ系気密型磁製管に上記試小、
６Ｃ−１全冗−ｙ＋シ’＠ビ」金人気圧に保っ１こ状態
でての−９１ムｊ　り　Ｓ１０Ｍ４１０　’Ｘ　Ｉ（２
８０％　”２　’　Ｏ’　”Ａｒ　〕Ｗ成Ｌ７）Ｃ昆合
ガス金流正が５　Ｑ　ｍ１２１分になるように調整しつ
う他芹１１方回へ流通し管間空気が元金にわト除さｔシ
、＞〆常状態になってから外−１〜から、シ（気抵抗）
仁　熱　体　しこ　よ　９　ツノｕ　　７Ｉ　しｙｔ。 反応時間ｉｉ　６　Ｌ１分とし、同部碍ｊ及を７ｕＯ１
ｂｏ０１ｕ＋Ｊ０．　　１１　５　（Ｊ　　１　１２Ｌ
］０　、　１５００．　　１ｊ＋５０　、１５００及び
１！＋５１Ｊ℃として反応を行なった。反応元結吹七ノ
気中亦ブ渚処珪した。１請呆を第１タシ（・Ｃ）」＜了
〇第１表 実施例２ 実施例１でｒｕられた連続気孔を不するポリビニルアル
コール系樹脂条孔質体１試料ｓ−ｉを７１゜気〃−に入
れ、’ｘ’ｉ＝’４囲気中でｌ　５０　℃／　ｌ＋ｒ　
ｖｌ。 昇温速度て２０００℃まで昇温しで炭化し、一部クラフ
ァイト化した炭素よシなる連５１光気孔を有する炭素多
孔質体（試料ｉ１ｉ　：→ｃ−２）を得た。 内径４０ＴＩＩ＋７長さ５００ａｉの透り１１石英管内
洗実施例１に記載の方法により得られた：；・、、−１
及びＳ　Ｃ−２（ｉｉ人し、両端を白金製電極板て支持
した。 −力別の１−製管に金属硅素１７ｇと二塩化５．〕６ｙ
をｋＬ　ｔｉｌノによく混合しｉＣ状７％ｉ−Ｌ、：Ｉ
ｌ；Ｘ；＋　ｈ：：　Ｌ、こ１Ｌを４００′Ｃに力０熱
し−ＤツＣＱ２６０％、＋＜２４０％ノｈａ合ンノスｋ
　；４＋人し、その先生７ｊスを１）・Ｊ記反応υに９
、（Ｊｎ）ｉ／分のθｉｊＪＭで縞・、いた。反応１〕
し」の４二気がダックによシ逸宜変圧しうるよう（こし
−多ｓＬ貿体表向温度が１５００℃（′こじξだれるよ
うにし、こ。 １２０分Ｉｌｊ医待し、放はは瓜−Ｌλ測測定行なった
。 試料扁５ｃ−１の炭素多孔質体は２０５％試料扁、３Ｃ
−２の一部クラファイト化したし２樅多孔ヱ′よシ・（
１１８０％の正瓜増がイ・１（−Ｊざノした。 ＸＩ−回折によってｒｉ’ｉｌべだ和呆、１１ｆ−名と
もしｊｄ会・。 這のｐよｙ最同ノ菖・にｊユる止で炭化硅素化ざｎてい
ることかわ１ハった。 実施例３ 内ｕ　ｂ　Ｕ８１　Ａ長さ５００　瀾の＄１０２−　、
ｇ　’７：　Ｇ　４系気山・型破シ４を水平に保持し、
失泥島１て得たＭ　ｆＡ　気孔をイ１するＶζリビニル
アルコール系ＺＭ＋　Ｊｉｉｊし孔２Ｊ　１，４は３４
　＝：　−１挿入し、・山ピッを大気圧に保った状、野
でヤの一油より◇ｘｃＱ、４４０％ｉ：、、ｓｏ％ｎ２
１０％の組成ｒ鳴する硫合〃スを流量か５ｕノｎＱ／分
になるように；Ｊ、、　４滅しつつ他’１．Ｌｌカ向へ
Ｊｉｊ　Ｌゴ内生気が排斥され定′ン）、私法ンご沫１
こｎてから外部よ、１）　ｔａ気込抗加熱し卜Ｖこ藩り
別澱と１コっだ　力１熱は１ｂＯ℃／　ｒ：１．ｒ　　
の昇ｔｑ、、連肪でソＵＯＣ２で昇温し、同温度で２時
間保付し反応を元請させたところ、面ｊ酸化性が良好で
強１．．を的：ご）◇テノシた微細な迎伐気孔を有する
炭系／炭化硅礒多ＪＬ質体が得られた。 実施例４ 混合１ｉ１５００．りん化ｇｊ−９９％のホリヒニルア
ノ１コール７し蔦ｔ工部を水に分散ざぜ、力Ｄメ、５溶
解後、６０℃（Ｃｌっ／こところて）５１定の粒径の小
麦ｂＪ紐粉の水分酸液を加えて均一（ぐ混合した。 更に水浴１／Ｌレゾーノ１初ｓｒａ　（スミシイトレジ
ンＩ゛Ｒ−９６１〕髪、住友テユレスＧ“１２１４品）
う５ｕ正量ｔ１１（ｌＪ！ｉＩ型分）力。え、（へ千１
−シな〃・ら７０〜８０℃に力ｌ熱し／ｃ０このン昆合
、袋を４［ｉ℃に？δ人：ｊイ髭、３７糸の、１、ルン
リン及びｊｉ＋＋８　ｒ−２ｔカｊえてナーノー（・′
こイＩへ合し、〕λノー／Ｉ−とホリビ：二Ｊ１．−）
＋１Ｉ−−ル合也て８徂息ん、戯扮４ル量２、ホルマリ
ン１０八１□　％　、　　ｌ、Ｉｓｔ　以　　ＩＪｍ　
　鳥人　〉Ｃが　ら　な　Ｉ）６；　　び２　乞　１

【
弓　さ之　し　プこ　Ｏｍ　ＩＷ　ｒ’ａ　（ｌ：外エ
ンＵ　Ａｈ　ＪＦ、内径４　Ｕ　ｂｔＬ　、ｌ／Ｉ、：
ｉ’ｕさ６５０−の１１４ヱ円局状（０塁に０１．シ込
み、６０　’Ｃで１８１１子ＩＬ＋」力０娼しｔ反応き
ぞた＆　（’Ｊこｒ；’ｅ　Ｌでしｊｉ　＞Ｄ）及び未
反応・１男ｔ（δ出さしめ、述・・：ルメＬ　（’Ｌを
・１ｊする・＋３リビニルノ′〕ｉｊ−ルＡ　４μｆｉ
ｌ賀／ンエノール系・μｉ　ｌ！Ｍ多孔員体′１１′表
造しだ０（ご・（ネ１〕・ユ、ニー−】９ａり孔体の平
均孔径は５０μであった。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　炭素の表面を炭化硅素にて被覆した複合体に
   よ多構成され、微細な気孔が形成されてなる微細な気孔
   を有する炭素／炭化硅素複合体。 （２）　　ポリビニルアルコール系樹脂と熱硬化性樹脂
   よシなる連続気孔を有する多孔質体を、硅素成分を含有
   する気体の存在下で高々１５００℃に加熱し、該多孔質
   体を炭素化すると共に、その表面を炭化硅素ノ※にて被
   覆することを特徴とする微細な気孔を有する炭素／炭化
   硅素腹合体の製造法。 （５）　　微細な気孔を有する炭素多孔質体を、硅素成
   分を含癩する気体の存在下でｂｏｏ℃〜１５００℃に加
   熱して炭素多孔質体の表面を炭化硅累層にて被覆すると
   とを％徴とする微細な気孔を有する炭素／炭化硅素複合
   体の製造法０