JPS59163550A - 電子線回折像の自動判別方法 - Google Patents
電子線回折像の自動判別方法Info
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- JPS59163550A JPS59163550A JP58038624A JP3862483A JPS59163550A JP S59163550 A JPS59163550 A JP S59163550A JP 58038624 A JP58038624 A JP 58038624A JP 3862483 A JP3862483 A JP 3862483A JP S59163550 A JPS59163550 A JP S59163550A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20058—Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［ｒ’ｊ二呈上の利用分野］
本弁明は電子顕微鏡等にＪ、って１１ｉられる電子線回
折（（（から試料の同定をΔンラインＣ゛自動的に行な
う方法に関づる。
折（（（から試料の同定をΔンラインＣ゛自動的に行な
う方法に関づる。
［従来技術］
電子顕微鏡を用いて、透過像モード又は走査透過像上−
ドて゛、試料の回折像を）１υ影し、この回折象を分析
して試料の同定Ａ”）指数側（プ或いＩｌｌ： ：ｒｒ
’、 ｉｔ”ｌ中の結晶の方位の測定を行なっているが
、従来の方法にＪ３いては、全て手作業で行７ｉねざる
を行なかった。
ドて゛、試料の回折像を）１υ影し、この回折象を分析
して試料の同定Ａ”）指数側（プ或いＩｌｌ： ：ｒｒ
’、 ｉｔ”ｌ中の結晶の方位の測定を行なっているが
、従来の方法にＪ３いては、全て手作業で行７ｉねざる
を行なかった。
ＥｉｉＪら、従来にｄ３いては、まり゛回折像を撮影し
、この像を現像し、次にネｊｊ上で回折像の寸法を測定
して結晶の格子面間隔であるｄ ｌｉｉ′７の絹みを求
め、この得られたｄ値の組みを、秤々の物質に対り−る
（１ （ｌｌ′ｉを記録しでいるカードどｉ（ｋ含して
ｄ値の絹みが最ち一＝致りるノＪ−ドを選びだし、試料
の同定を行ない、更に選ばねだカードに記入されでいる
指数人（１＋ 、 ｋ 、’ｌ ）を利用して回折像の
指数（４（、：Ｊを行なっている。
、この像を現像し、次にネｊｊ上で回折像の寸法を測定
して結晶の格子面間隔であるｄ ｌｉｉ′７の絹みを求
め、この得られたｄ値の組みを、秤々の物質に対り−る
（１ （ｌｌ′ｉを記録しでいるカードどｉ（ｋ含して
ｄ値の絹みが最ち一＝致りるノＪ−ドを選びだし、試料
の同定を行ない、更に選ばねだカードに記入されでいる
指数人（１＋ 、 ｋ 、’ｌ ）を利用して回折像の
指数（４（、：Ｊを行なっている。
しかしなｈ＼ら、このｊ、う４１道メ（の万ン去は１乍
葉に知識と経験を要づと共に、快適でないｌｌｉ’ｉ
ｋブ作業を伴なう上、長時間を要ずという欠点がδるる
。
葉に知識と経験を要づと共に、快適でないｌｌｉ’ｉ
ｋブ作業を伴なう上、長時間を要ずという欠点がδるる
。
［発明の目的Ｊ
本発明は、このＪ、う４ｆ従来の欠＋１′、ｊを１６７
決しでオンラインで自動的（こ回折像を分析して、試Ｉ
ＢＩの同定等を１゛１ない有る電子線回折像の分（）［
′方法をｋ ｆｉｊづることを口面としている。
決しでオンラインで自動的（こ回折像を分析して、試Ｉ
ＢＩの同定等を１゛１ない有る電子線回折像の分（）［
′方法をｋ ｆｉｊづることを口面としている。
［発明の］１１１成」
本発明は電子線回折像を電気信舅に艮ｊ ｔ５．（、Ｌ
、座標ｘ、ｙに対応りる画寮の強度をＵＸＶどづるとき
、を求めで中心スポラ１〜の座標とし、ＵＸＶか早卑：
１１ｆｔｊ、り人さ４１ｉｉｉ！ｉ素が形成する画素
集団１こ関し、夫々の中心座標と前記中心スポラ１〜と
の間のｆＩ Ｕ’＋ Ｇこ応じて回折リングか回折スポ
ラ１〜かの判定を＜−５７，’＋：′い、各１ｉ］折１
ノング及び又はスポラ１−に対応りる格ｊ−曲間隔ｉｈ
を求め、請求められた試料の格子ｉｆ１爾ｉｉ１１ｉｌ
゛、・冒ＩＩ′）の組みを（重々の物質の格子面間隔値
を表わリチータと照合仕ることにより、試料の同定を１
１４＋−うことをｆｒ徴としくいる。
、座標ｘ、ｙに対応りる画寮の強度をＵＸＶどづるとき
、を求めで中心スポラ１〜の座標とし、ＵＸＶか早卑：
１１ｆｔｊ、り人さ４１ｉｉｉ！ｉ素が形成する画素
集団１こ関し、夫々の中心座標と前記中心スポラ１〜と
の間のｆＩ Ｕ’＋ Ｇこ応じて回折リングか回折スポ
ラ１〜かの判定を＜−５７，’＋：′い、各１ｉ］折１
ノング及び又はスポラ１−に対応りる格ｊ−曲間隔ｉｈ
を求め、請求められた試料の格子ｉｆ１爾ｉｉ１１ｉｌ
゛、・冒ＩＩ′）の組みを（重々の物質の格子面間隔値
を表わリチータと照合仕ることにより、試料の同定を１
１４＋−うことをｆｒ徴としくいる。
［発明の作用］
以下本発明において基本となっている、ｒとえをぶ２明
りる。
りる。
回折像には、周知のＪ、うｔこ各々第′１図（ａ）。
（ｂ）、（ｃ）に示すように、化較的大きな結晶から回
折された゛電子線に基づくスポラ１〜状の回ＩＪｉ像の
みから成るもの、粉末状の結晶から回折された電子線に
遥１鷺づくリング状の回］バ像からのみ成る乙の、両者
が混在しているしのの：３１φがあり、スフ」（ツ１〜
とリンクに対しては別（１ム１の処理を行なりイイ（］
れ （。王 ４Ｊ・１ろ な （ハ 。
折された゛電子線に基づくスポラ１〜状の回ＩＪｉ像の
みから成るもの、粉末状の結晶から回折された電子線に
遥１鷺づくリング状の回］バ像からのみ成る乙の、両者
が混在しているしのの：３１φがあり、スフ」（ツ１〜
とリンクに対しては別（１ム１の処理を行なりイイ（］
れ （。王 ４Ｊ・１ろ な （ハ 。
回折像を二次元的に分布する画蒜、に合挽ジノ、′ご際
に、座標×、ｙにス・１応づる画素の強度をＵｘｙ、回
１ｊＴリングの中心どくｆるスポラ１〜の）・ｉ−ｔ”
Ａ ｉ−（Ｌｌつ。
に、座標×、ｙにス・１応づる画素の強度をＵｘｙ、回
１ｊＴリングの中心どくｆるスポラ１〜の）・ｉ−ｔ”
Ａ ｉ−（Ｌｌつ。
Ｖｏ）どづると、中心スポラ１〜ｆＪ、複数の回折リン
標ｕＯ，ｖＯにＪづいて」５人となるＬｊ、１Ｊ”であ
る。それば中心スポットの座標（ｕｏ、Ｖｏ）が求めら
れる。他のスポット又はリング【まＵｘｙか基ｊ’＋’
： ｉ！ｌ’！ ｊ、り人ぎな一塊の画素集団と児なけ
るから、このような画素集団についτその中心の斤４票
（最大７′Ｉｉ標ど最小Ｐ１へ標の平均１直）を求め、
この中心の叶４コ１１が表わづ位１行と前記中心スポラ
１〜との距ば（を求めれ（、Ｙ、この画素集団の中心が
中心スポラ１〜に）ｌｉいか否かが判定でさる。１回折
リングの場合ｉ；二ｔ、ｊ１、この距離はＯあるいはＯ
に近いｉｌｌ′＋になるは一す゛（゛あるから、このｒ
１問１が基へＩｏ伯Ｊ、り小さいか否かに１」、り両糸
↓１、団がスポラ１〜かリングかを振り分（Ｊで別個の
処ｊ甲を行イｆ゛うことがて゛さる。
標ｕＯ，ｖＯにＪづいて」５人となるＬｊ、１Ｊ”であ
る。それば中心スポットの座標（ｕｏ、Ｖｏ）が求めら
れる。他のスポット又はリング【まＵｘｙか基ｊ’＋’
： ｉ！ｌ’！ ｊ、り人ぎな一塊の画素集団と児なけ
るから、このような画素集団についτその中心の斤４票
（最大７′Ｉｉ標ど最小Ｐ１へ標の平均１直）を求め、
この中心の叶４コ１１が表わづ位１行と前記中心スポラ
１〜との距ば（を求めれ（、Ｙ、この画素集団の中心が
中心スポラ１〜に）ｌｉいか否かが判定でさる。１回折
リングの場合ｉ；二ｔ、ｊ１、この距離はＯあるいはＯ
に近いｉｌｌ′＋になるは一す゛（゛あるから、このｒ
１問１が基へＩｏ伯Ｊ、り小さいか否かに１」、り両糸
↓１、団がスポラ１〜かリングかを振り分（Ｊで別個の
処ｊ甲を行イｆ゛うことがて゛さる。
「実施例」
本発明（，１、この１」、うな考えにＪＪづ＜ ｂ （
Ｊ） （あわが、実Ｊ）ｉ！！例を分り易くりるために
予め以−１・の（ｊ、・、（ご）い（説明りる、１ 同Ｊｌｉ像がスポラ１〜のみ、リンクの・・旬１両ｉ”
ｌ ｉｉｊ白（゛あるかの判定（３１以下のＪ、う（こ
行イｆう、。
Ｊ） （あわが、実Ｊ）ｉ！！例を分り易くりるために
予め以−１・の（ｊ、・、（ご）い（説明りる、１ 同Ｊｌｉ像がスポラ１〜のみ、リンクの・・旬１両ｉ”
ｌ ｉｉｊ白（゛あるかの判定（３１以下のＪ、う（こ
行イｆう、。
全１乍而（Ｊ占める明るさの人４ｆるｉ＋！、力（ｉ！
ｉｆ １．・、スポット戊い（Ｊ、リングに対応した部
分ンは１１１１記、′（つ（１） 楊Ｃ）−１ｃｍノノ
イｉ、： 巽ナル／Ｚ メ 、 Ｉ］ＯＪＤ’ ｌ
ｄ、 ヲ’ｌ’ｊＧ 、ｌｌＸ ”Ｊ Ｋン凹、１県
の明るさの１徒がく分イｌｒ （両糸の検出強（９）こ
との出］児６父のづン４＋ ） Ｌ、ｌスポラ１−のみ
、リングの力９両イ１がｊｊ：ｅ ’（ｌ Ｌ Ｌ Ｇ
合Ｃ（，１１、ｕ）２図におイ（、山、ｊ、、１１イ。
ｉｆ １．・、スポット戊い（Ｊ、リングに対応した部
分ンは１１１１記、′（つ（１） 楊Ｃ）−１ｃｍノノ
イｉ、： 巽ナル／Ｚ メ 、 Ｉ］ＯＪＤ’ ｌ
ｄ、 ヲ’ｌ’ｊＧ 、ｌｌＸ ”Ｊ Ｋン凹、１県
の明るさの１徒がく分イｌｒ （両糸の検出強（９）こ
との出］児６父のづン４＋ ） Ｌ、ｌスポラ１−のみ
、リングの力９両イ１がｊｊ：ｅ ’（ｌ Ｌ Ｌ Ｇ
合Ｃ（，１１、ｕ）２図におイ（、山、ｊ、、１１イ。
一点鎖線［」に点ｆ！線ハて゛示４．Ｊζ−）な明瞭な
ｊＭいがある。、イ「１し、第２図にｌｉ５い−Ｃ１横
１１４ｊ １．ｉ強＋＋Ｓ ）を、縦軸は度数１−１
＜ １ ＞を示してシ５す、実線て′示されＣいるのは
、バックグラウンド成分て゛ある９そこで、このｊ車数
分布の違いを、１シ１１えは通’ｉ？’＋、分ｉｉ！を
７１（めるのに用いられる以下の式 ０式％（１） （′ｊえられる１（〆（σをり）出し、このｉ：’ｒｉ
ｈ〜スポッ１〜、リング、両者混在の各場合に夕・１
応し℃取られた領ＤＵのどこに入るかにＪ、す、同析１
／、；の（Ｙ別を判別−りるようにし−（いる。（口し
第１式にＪ）い（、Ｉ ｔＪ、１ストの式にＪ、っで）
づえられる加ｉト＼１？均−Ｌ：（’？する６゜第３図
は本発明を実施覆るためのｆξ′１ｌ−７の（１（７略
を小づためのらの（パ、図中１（ユｇＴｈ了ｖＣ１微暁
であり、７′ｌ！、Ｊ、電子１；’Ｉ ”；”ｌ’ を
六である。１１」了田幹１クリ４より電子顕９１（（鏡
１には電子錫］微鏡１を透過１へ（硯゛察七−ト（こし
７ｊニリ、走査透過像観埜ｔ−ドにしたりりるための制
御Ｃ’ｊ ′；′２が供給されルｔｌ ｃ−（／’）
’ＪＩＥ ”ｊ”ｊＱ Ｒｊｊ２１ Ｌ Ｉ、１ｊ’Ｑ
過ｉｆ、４Ｂを電気信紀に変換りるため（υ１最（り、
（ンＨ，ｔパ１°２が取リｆ＝Ｉ ｉ、ｌらねＣおり
、電子顕微鏡１が透過（＜＜４ （ｉＩ巳≦し−１・（
こイヱつ１ｄＫｊ ＆二、このＩＩ′１ン像装置２（こ
Ｊ、−）’（’、（ニアられた１ｉ１＋ｉ鴎に夕・１１
心！Ｊるアナ１１グの１１，１系列１バ翼（３１、／＼
１つ変換器３によりデジタルら−）に変換され−（電Ｔ
−訓算１；聚４に供給される。又、電子顕微鏡１が走査
透過医観察モードにイｊ゛つだ際には、透過電子検出器
；うが光軸上に挿入され、試η′！１を電子線で走イ１
１シた際の透過電子の検出（５号かＡ １．）変換器６
に」、リーｆ゛シタルイ５号に変換され−Ｃ電子ｊ！’
ｌ’ ｉＪ機４に供給される。
ｊＭいがある。、イ「１し、第２図にｌｉ５い−Ｃ１横
１１４ｊ １．ｉ強＋＋Ｓ ）を、縦軸は度数１−１
＜ １ ＞を示してシ５す、実線て′示されＣいるのは
、バックグラウンド成分て゛ある９そこで、このｊ車数
分布の違いを、１シ１１えは通’ｉ？’＋、分ｉｉ！を
７１（めるのに用いられる以下の式 ０式％（１） （′ｊえられる１（〆（σをり）出し、このｉ：’ｒｉ
ｈ〜スポッ１〜、リング、両者混在の各場合に夕・１
応し℃取られた領ＤＵのどこに入るかにＪ、す、同析１
／、；の（Ｙ別を判別−りるようにし−（いる。（口し
第１式にＪ）い（、Ｉ ｔＪ、１ストの式にＪ、っで）
づえられる加ｉト＼１？均−Ｌ：（’？する６゜第３図
は本発明を実施覆るためのｆξ′１ｌ−７の（１（７略
を小づためのらの（パ、図中１（ユｇＴｈ了ｖＣ１微暁
であり、７′ｌ！、Ｊ、電子１；’Ｉ ”；”ｌ’ を
六である。１１」了田幹１クリ４より電子顕９１（（鏡
１には電子錫］微鏡１を透過１へ（硯゛察七−ト（こし
７ｊニリ、走査透過像観埜ｔ−ドにしたりりるための制
御Ｃ’ｊ ′；′２が供給されルｔｌ ｃ−（／’）
’ＪＩＥ ”ｊ”ｊＱ Ｒｊｊ２１ Ｌ Ｉ、１ｊ’Ｑ
過ｉｆ、４Ｂを電気信紀に変換りるため（υ１最（り、
（ンＨ，ｔパ１°２が取リｆ＝Ｉ ｉ、ｌらねＣおり
、電子顕微鏡１が透過（＜＜４ （ｉＩ巳≦し−１・（
こイヱつ１ｄＫｊ ＆二、このＩＩ′１ン像装置２（こ
Ｊ、−）’（’、（ニアられた１ｉ１＋ｉ鴎に夕・１１
心！Ｊるアナ１１グの１１，１系列１バ翼（３１、／＼
１つ変換器３によりデジタルら−）に変換され−（電Ｔ
−訓算１；聚４に供給される。又、電子顕微鏡１が走査
透過医観察モードにイｊ゛つだ際には、透過電子検出器
；うが光軸上に挿入され、試η′！１を電子線で走イ１
１シた際の透過電子の検出（５号かＡ １．）変換器６
に」、リーｆ゛シタルイ５号に変換され−Ｃ電子ｊ！’
ｌ’ ｉＪ機４に供給される。
電子計算賎４は１１１；像装置２又は）ぺ過電子検出器
５）より供給される画卸伝′；３や、試料を同定した結
宋や、検索用の各種物質にり１１する〔１値の絹みにつ
いてのデータ等を記憶部る外部記憶装置７に接続されて
いる。又、電子；；ｌ算ｔ５．！ｔ ｉに（３１、回折
像上ニクー用のＣＲＴ ８や、キーボード９ 、 ＨＢ
ンソール用のＣＲＴ １０が接続され−（いる１゜ このような構成の装置を用いて、）ｊ、ず、操ｆｌ”
’；＜はキーボー１〜′９により電子計算１人４に指令
る謬ノえて、例えば、試％Ｉ３１の透過像モードにお４
づる回折像か届像駅間２に投影されるようにＪる。ぞこ
で、Ａ−−ボード９にＪミリ電ｊ′：１号″ｌ墓（又（
４（、二ｉ則ソＥの聞り含を指令りると、゛電子訓ｎ
ｔｊＪ４−１は第４図（、二示りδ；すれ図に従っ−（
分析作業を進めて行く、１ 即ら、まり゛撮像装置２にＪ、つにの１最＠：）ζ；？
１“の画面上に投影された回折像をＡＤ技１φ器３に」
、ってデジタル伯母に変換しで電子１．ｌ杓機４に取り
込み、電子計障）大４内の記憶部に５１２×５１２１１
υの画素データどじで記憶部する（スラップＡ）。次に
、電工ｈ１算機４によりこの記憶、された！！！！ １
１４ｉデークを読み出し゛（、この画像の回折像が各々
第′１し１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示りＪ、うイ１ス
ポットのみから成る−しのノ）璽リングのみから成るし
のか、これとし両者が混在しているのかぎ判定りる（ス
テップ「３）。この１′１１定は以−Ｆの」、うに行イ
ｆう、。
５）より供給される画卸伝′；３や、試料を同定した結
宋や、検索用の各種物質にり１１する〔１値の絹みにつ
いてのデータ等を記憶部る外部記憶装置７に接続されて
いる。又、電子；；ｌ算ｔ５．！ｔ ｉに（３１、回折
像上ニクー用のＣＲＴ ８や、キーボード９ 、 ＨＢ
ンソール用のＣＲＴ １０が接続され−（いる１゜ このような構成の装置を用いて、）ｊ、ず、操ｆｌ”
’；＜はキーボー１〜′９により電子計算１人４に指令
る謬ノえて、例えば、試％Ｉ３１の透過像モードにお４
づる回折像か届像駅間２に投影されるようにＪる。ぞこ
で、Ａ−−ボード９にＪミリ電ｊ′：１号″ｌ墓（又（
４（、二ｉ則ソＥの聞り含を指令りると、゛電子訓ｎ
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分析作業を進めて行く、１ 即ら、まり゛撮像装置２にＪ、つにの１最＠：）ζ；？
１“の画面上に投影された回折像をＡＤ技１φ器３に」
、ってデジタル伯母に変換しで電子１．ｌ杓機４に取り
込み、電子計障）大４内の記憶部に５１２×５１２１１
υの画素データどじで記憶部する（スラップＡ）。次に
、電工ｈ１算機４によりこの記憶、された！！！！ １
１４ｉデークを読み出し゛（、この画像の回折像が各々
第′１し１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示りＪ、うイ１ス
ポットのみから成る−しのノ）璽リングのみから成るし
のか、これとし両者が混在しているのかぎ判定りる（ス
テップ「３）。この１′１１定は以−Ｆの」、うに行イ
ｆう、。
第５図に示りＪ、う（こ、画（り゛の縦）Ｉ′１”！
１．ｌｘ Ｐｉ・１．Ｉｌｊ：ム２びＹｊ・ｌ’−！”
’）、をどり、Ｘ圧）票が×、Ｙ１中’ｌ’７１′、ハ
・ｙ −ｃある画素の強度をＵＸＶで表わ？ｊｂのとり
ると、全ＵＸＶ（１）うら強度■である画素の個数を各
１の伯につい−（計数して強度Ｉについ−Ｃの度＃、１
ｌ（Ｉ）を幹出りる。次にＨ（１）の伯を用いて第（２
）式で表わされる加弔＼Ｆ均を悼出づる１、そこで、こ
の１ｊＩＩ中平均のｅｌｌ出合用いて、第（１） 、（
で表わされる分ｉｉ父０を惇出りる。更にこの停出され
たびが８８．０（１０ｊメトＣ・ある〈ケース１）か、
１０５，０００以北（二・ある（ ’７ １２ ）
／Ｊ’ 、 ８８，０００ト１０５，０００ト（１）
Ｒ”ｒｊ ”Ｃ’ ＋１ｇ ；＜１（／／−ス３）か
を判別ザる。 （ＥＩ Ｌ、、この場合、全画素数ＩＪ
５１２ Ｘ ！ｉ １２ ’Ｃ・あり、Ｉ、Ｊ ｘｙ
の明るさく強１良）の階調は２５５にとられている。そ
しく、ケース１（゛あれば゛、回折１象はスポットのみ
から成り、クーース２（゛あれｆＪ同ＩＪｒ Ｖ４＋
ＬＪリングのみから成り、〕〕１−スｃ３（ｉｔすれば
、回ＩＪｒ Ｉ’ｉ：に（、Ｌメポットと’） ン’ｊ
カ１゜に含まれ（いるしのと判定する（スラップＦ３
）。
１．ｌｘ Ｐｉ・１．Ｉｌｊ：ム２びＹｊ・ｌ’−！”
’）、をどり、Ｘ圧）票が×、Ｙ１中’ｌ’７１′、ハ
・ｙ −ｃある画素の強度をＵＸＶで表わ？ｊｂのとり
ると、全ＵＸＶ（１）うら強度■である画素の個数を各
１の伯につい−（計数して強度Ｉについ−Ｃの度＃、１
ｌ（Ｉ）を幹出りる。次にＨ（１）の伯を用いて第（２
）式で表わされる加弔＼Ｆ均を悼出づる１、そこで、こ
の１ｊＩＩ中平均のｅｌｌ出合用いて、第（１） 、（
で表わされる分ｉｉ父０を惇出りる。更にこの停出され
たびが８８．０（１０ｊメトＣ・ある〈ケース１）か、
１０５，０００以北（二・ある（ ’７ １２ ）
／Ｊ’ 、 ８８，０００ト１０５，０００ト（１）
Ｒ”ｒｊ ”Ｃ’ ＋１ｇ ；＜１（／／−ス３）か
を判別ザる。 （ＥＩ Ｌ、、この場合、全画素数ＩＪ
５１２ Ｘ ！ｉ １２ ’Ｃ・あり、Ｉ、Ｊ ｘｙ
の明るさく強１良）の階調は２５５にとられている。そ
しく、ケース１（゛あれば゛、回折１象はスポットのみ
から成り、クーース２（゛あれｆＪ同ＩＪｒ Ｖ４＋
ＬＪリングのみから成り、〕〕１−スｃ３（ｉｔすれば
、回ＩＪｒ Ｉ’ｉ：に（、Ｌメポットと’） ン’ｊ
カ１゜に含まれ（いるしのと判定する（スラップＦ３
）。
とこで、この判定によっ【例え（４に回１ｊ↑色：ノコ
＼スボッ］・ののから成るものとりると、第４図にｏｉ
ｋ’Ｊ ＱスＪ−ツブＯ（Ｊ移行し、全く回］ｊｉを
妥（Ｊす゛に直声じた電子線のスポラｉ〜（ある中心ス
ポットのＪ：！全１ｒ：１（ｕｏ、ｖｏ）ど他の回折ス
ポラ１〜のＩ：＋、’：： ４％： （＋＋ 。
＼スボッ］・ののから成るものとりると、第４図にｏｉ
ｋ’Ｊ ＱスＪ−ツブＯ（Ｊ移行し、全く回］ｊｉを
妥（Ｊす゛に直声じた電子線のスポラｉ〜（ある中心ス
ポットのＪ：！全１ｒ：１（ｕｏ、ｖｏ）ど他の回折ス
ポラ１〜のＩ：＋、’：： ４％： （＋＋ 。
■）とを求め、更に中心スポットと各回（ｊｉミスボッ
へ１、（の距目１１い、及び各回折スポラ１〜に対応す
４）ｄ ｉｔ１＋ ｌ）苧４ｊ３める〈ステッーノＣ）
。このス）ツノ゛Ｃ（よ詳細には第６図の流れ図に示す
−Ｊ、うに１、ｊ、づ゛、Ｕｘｙを一定強麿より小さい
もの（黒ｌ〕Ｉ＼ル）と一定強庶以上のもの（白レベル
）に分ＣＪ ’−Ｃ所謂２１的化処１里を行ない（スデ
ツープ０−１）、 関りの自レベル画素集団のうら、最
大の６のを中心スポラｌ−と見Ｉ３（シ、中心スポラＩ
・の座）３、（ｕＯ９＼’ｏ）を求める（ステップＣ−
２）。但し、白１ノベルの一塊りのある画素集団のＰｕ
（’：ｘ： （ｕ 、 ｖ ）は以上の？（４膚１．二
Ｊ、り求める。
へ１、（の距目１１い、及び各回折スポラ１〜に対応す
４）ｄ ｉｔ１＋ ｌ）苧４ｊ３める〈ステッーノＣ）
。このス）ツノ゛Ｃ（よ詳細には第６図の流れ図に示す
−Ｊ、うに１、ｊ、づ゛、Ｕｘｙを一定強麿より小さい
もの（黒ｌ〕Ｉ＼ル）と一定強庶以上のもの（白レベル
）に分ＣＪ ’−Ｃ所謂２１的化処１里を行ない（スデ
ツープ０−１）、 関りの自レベル画素集団のうら、最
大の６のを中心スポラｌ−と見Ｉ３（シ、中心スポラＩ
・の座）３、（ｕＯ９＼’ｏ）を求める（ステップＣ−
２）。但し、白１ノベルの一塊りのある画素集団のＰｕ
（’：ｘ： （ｕ 、 ｖ ）は以上の？（４膚１．二
Ｊ、り求める。
ｕ ＝ （ｕｎ＋ａｘ＋ｕ＋＋＋ｉｎ）／ ２−（
３−１）ｖ ＝ （ｖｍａｘ＋ｖｍｉｎ） ／
２− （３−２）ここＣ，＋ＢＢ）ｘ、 ｕｍｉｎ
は第５図（Ｊ示り」；うに各々この画；：・、集団の愚
人Ｘ座ａ ｆｉ！’！及び最小Ｘ Ｊｐ標制であり、＼
’Ｐセ−（Ｓ：につい−（も同様である１、従つ（’Ｉ
ＩＱ（３１最人の画素集団のｘ斤−慄の最大直と最小１
的の平均Ｃ′あり、ＶＱも同４ｊｌ Ｃある。続い（、
、ｌｌｐのｊ卑りの両歯についてもその座拐Ｉを求め、
各回１１ｒスボツ１〜の座標（ｕ、＼ｌ）を求める（ス
テップＣ−４）、。
３−１）ｖ ＝ （ｖｍａｘ＋ｖｍｉｎ） ／
２− （３−２）ここＣ，＋ＢＢ）ｘ、 ｕｍｉｎ
は第５図（Ｊ示り」；うに各々この画；：・、集団の愚
人Ｘ座ａ ｆｉ！’！及び最小Ｘ Ｊｐ標制であり、＼
’Ｐセ−（Ｓ：につい−（も同様である１、従つ（’Ｉ
ＩＱ（３１最人の画素集団のｘ斤−慄の最大直と最小１
的の平均Ｃ′あり、ＶＱも同４ｊｌ Ｃある。続い（、
、ｌｌｐのｊ卑りの両歯についてもその座拐Ｉを求め、
各回１１ｒスボツ１〜の座標（ｕ、＼ｌ）を求める（ス
テップＣ−４）、。
次に中心スポラｌへ（ＬＩｏ、Ｖｏ）から各スポット（
Ｂ 、 ｖ ） ；Ｉ：での距Ｎｔ Ｒｓを以上の′５
１幹を行イＣうＪ−ど（こより求める。。
Ｂ 、 ｖ ） ；Ｉ：での距Ｎｔ Ｒｓを以上の′５
１幹を行イＣうＪ−ど（こより求める。。
１’＜ｓ ＝ （１１−１１Ｑ ）
２ −１ い’ ｖ ｏ ）
２ − （４）この１ｉｒｉ ／７い（。二
例えば５％以内のｉｉ２いしかイ昌Ｘ複叙のｂ“１ｊ自
ｆｌ ｌｆｆ−、ｒ゛−夕は水来同−値と４ｊ：るはず
の６０）が、種々の誤ｊζ゛の介入にＪ、り異なった（
１１となったととえられるの−（・、このよう４ｇ複数
の／Ｉ！薗顧の平均値を用い（一つの２［ｌ離値デーク
を５１くめる１、−とこ（パ、求められた距起１ ｉｉ
／ｉ Ｒｓに）Ｊづい−（結晶の修了面間隔（１ムであ
るｄ値ＤＳを求める（スＴツブＣ−５）。このｄ（「１
は以下の一般式に、Ｊ、り求める。
２ −１ い’ ｖ ｏ ）
２ − （４）この１ｉｒｉ ／７い（。二
例えば５％以内のｉｉ２いしかイ昌Ｘ複叙のｂ“１ｊ自
ｆｌ ｌｆｆ−、ｒ゛−夕は水来同−値と４ｊ：るはず
の６０）が、種々の誤ｊζ゛の介入にＪ、り異なった（
１１となったととえられるの−（・、このよう４ｇ複数
の／Ｉ！薗顧の平均値を用い（一つの２［ｌ離値デーク
を５１くめる１、−とこ（パ、求められた距起１ ｉｉ
／ｉ Ｒｓに）Ｊづい−（結晶の修了面間隔（１ムであ
るｄ値ＤＳを求める（スＴツブＣ−５）。このｄ（「１
は以下の一般式に、Ｊ、り求める。
ｄ＝（１−・ 、’ｉ）／Ｒ・・・ （５）但し、１式
においてＲは中心スポラ１〜と回１１１スボッｌ−（又
は回折リング）までの距離Ｃ′あり、（１−・λ）はカ
メラ定数で゛ある。、カメラ定数は゛に置の状態によ−
）で変化づるため、格子面間１（ｂ）が既知である金の
然るＫＳｒ子等を用い（測定したデータを用いて較正し
たしのを用いる。
においてＲは中心スポラ１〜と回１１１スボッｌ−（又
は回折リング）までの距離Ｃ′あり、（１−・λ）はカ
メラ定数で゛ある。、カメラ定数は゛に置の状態によ−
）で変化づるため、格子面間１（ｂ）が既知である金の
然るＫＳｒ子等を用い（測定したデータを用いて較正し
たしのを用いる。
次にリングのみから成ると判定された場合について説明
する。この場合には第４図に示りようにスーツ−ツブＯ
（Ｊ移行し、１ノングの半径「〈１゛及びｄ １ｅｆｔ
Ｄ ｒを求める。このステップＤを更’ｒに’＋Ｔ Ｉ
川に示しｌＪものが第７図である。いＪ：、第８図に示
すような画像を処理りる場合を例にどインど、電子計０
低４において、各両桑の座標Ｘにス・１してΣＵｘｙを
弁出しくこの操作を画（ｔ！のＸ＋！１１１への射影ｊ
ｑ・作どよぶものとりる）、同碌に各画素の汁コ標ｙに
対しく６ΣＬＪｘｙを０出（この操作を両ｆグ）のＹ軸
への則影操作とよぶｂのとする）？ｌる（ステップＤ
−１） 、。
する。この場合には第４図に示りようにスーツ−ツブＯ
（Ｊ移行し、１ノングの半径「〈１゛及びｄ １ｅｆｔ
Ｄ ｒを求める。このステップＤを更’ｒに’＋Ｔ Ｉ
川に示しｌＪものが第７図である。いＪ：、第８図に示
すような画像を処理りる場合を例にどインど、電子計０
低４において、各両桑の座標Ｘにス・１してΣＵｘｙを
弁出しくこの操作を画（ｔ！のＸ＋！１１１への射影ｊ
ｑ・作どよぶものとりる）、同碌に各画素の汁コ標ｙに
対しく６ΣＬＪｘｙを０出（この操作を両ｆグ）のＹ軸
への則影操作とよぶｂのとする）？ｌる（ステップＤ
−１） 、。
ＪのΣＵＸＶ及びΣＵｘｙの（ＩＣ１は各々Ｘ 、 Ｙ
（１′）（ｉｆ＋ ｌご対Ｘ して例えば第８図の曲線Ａ、Ｂで示づ、」、うなりのど
４「す、中心スポラｉ〜の位置にＪ３い−Ｃ最大ど４Ｔ
る、。
（１′）（ｉｆ＋ ｌご対Ｘ して例えば第８図の曲線Ａ、Ｂで示づ、」、うなりのど
４「す、中心スポラｉ〜の位置にＪ３い−Ｃ最大ど４Ｔ
る、。
ξこで、曲線Ａ、ＢにＪ５いて、圃が最大となるＸ、宇
標とｙ座標を求めれば、これが中心スポットの座標（ｕ
ｏ、Ｖｏ）である。このＪ、うにして中心スポラｉ〜の
座（票（Ｌｌｏ、＼ｔｏ＞を′−Ｊミめ（ステップＤ−
２）だ後、中心スポットの位置を通りＸ軸に平行な第８
図におい−Ｃ’ ｌ 、 ｉ＋ −Ｔ：示Ｊ線分とＹ軸
に平行な線分ｎ 、 ｓ Ｉｚの画素の１ｉｆｔ Ｕ
ｘｙを読み出づ。
標とｙ座標を求めれば、これが中心スポットの座標（ｕ
ｏ、Ｖｏ）である。このＪ、うにして中心スポラｉ〜の
座（票（Ｌｌｏ、＼ｔｏ＞を′−Ｊミめ（ステップＤ−
２）だ後、中心スポットの位置を通りＸ軸に平行な第８
図におい−Ｃ’ ｌ 、 ｉ＋ −Ｔ：示Ｊ線分とＹ軸
に平行な線分ｎ 、 ｓ Ｉｚの画素の１ｉｆｔ Ｕ
ｘｙを読み出づ。
これら各線分上の画素の値を、中心スポラ１−に向う向
ぎに座標軸の向ぎを揃えて図示づると、各々第９図の（
ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）て示づようにｎいに略相
似形をしてＪ３す、いずれ−し回１ｊ１リングの位置に
極大を有している。そこで、゛重子Ｒ’ｌ−Ｆ＞（幾に
Ｊ３いて第９図（ａ ＞、 （Ｉ））、 （ｃ ）
。
ぎに座標軸の向ぎを揃えて図示づると、各々第９図の（
ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）て示づようにｎいに略相
似形をしてＪ３す、いずれ−し回１ｊ１リングの位置に
極大を有している。そこで、゛重子Ｒ’ｌ−Ｆ＞（幾に
Ｊ３いて第９図（ａ ＞、 （Ｉ））、 （ｃ ）
。
（ｄ ）に示Ｃた強面を足し合ＵＣ１第９図＜ｅ ）に
示づような結宋を１：する演Ｃ）を行ない、先に求めた
中心スポットの座標とこの第９図（ｅ ）に承り値が極
大となる座標との路間１を求めれば、これにより各リン
グ半径Ｒｒが高精度に求められる。、 ’ｌ’径［＜１
゛が求められると、ステップＣの場合ど同様に前記（５
）°式を用いて（１値を求める。
示づような結宋を１：する演Ｃ）を行ない、先に求めた
中心スポットの座標とこの第９図（ｅ ）に承り値が極
大となる座標との路間１を求めれば、これにより各リン
グ半径Ｒｒが高精度に求められる。、 ’ｌ’径［＜１
゛が求められると、ステップＣの場合ど同様に前記（５
）°式を用いて（１値を求める。
次に第４図にＪプ１プるステップＢにＪ＞いで、スポッ
トとリングが共に存在していると判定され）こ場合を説
明りる。このＪ、うに判定されると、ｕ： ／１図＋、
、ｍ Ｊ＞ ４プるステップ［に移行覆る。ステップＥ
ｆ、Ｊ、詳細【こＩＪ第１０図の流れ図に承部−（ン
のであり、即ら、にづ゛ステップｒｌ−１におりる場合
と全く同様に前ｊホしたＸ軸へのｑ１影操作とＹ軸への
射影操作４−打入とりるｙを求めζ中心スポラ１〜の座
標（１０゜ＶＯ）とＪ−る〈ステップ［丁−１）。尚、
この」８含回折像にはスポット状のものも含Ｊ：れ−（
いるため、Ｘ軸及びＹ軸への射影強電には第１１図のＪ
、うにスポットに基づく極大部Ｇが生じるｌ）′Ｘ、ス
ポットの占める面積はリングの而（ろに比較しζ小さい
ため、極大部Ｇが座標（ｕｏ、ｖｏ）を求める際に陣害
になることはない。次に画像の２１１０化を行ない（ス
テップＥ−３）、この２１ｉｆｉ化された画像情報に従
って同−画像内にｄ’３ ＆ノるスポラ１〜とリングの
弁別を行なう（ステップＥ−４）。即ら、−塊りの画素
集団について前記′１ｆ８１）式に従ってその座’ｅｊ
ｉ（ｕ、ｖ）を刃くめる。画素集Ｅｎ７“ン〜リングな
らば、その座標は最初に求めた中心スポラ１〜の座標（
Ｕ、）、ＶＯ）と同一か、或い（ユこの座標を中心どづ
る極く小ざい半径ｒ（、の円内に（Ｑ−ｊ′″ｌている
はずである。そこで、求められた各両七束団に対してそ
の座標がこの円内に入るか否かを判定し、この円内に入
るものはリングど児なして、スポラ１〜として分析処理
り−る対象がら除外づる。リングをスポラ１〜として混
同して処理づるど、小さな距ｆｄｔ、 ｒ＜ ｓを右り
る多数の回折スポットが存在づることに’ｃＬす、前記
第（５）式にＪ、す￥／数の大公４「伯をイＪづるｄ値
が存在するという誤った分析結末を導き、そのｉ＝め試
別の正しい同定ができ’ｃＬ ＜ ’Ｊる３゜このＪ、
うにし−（リングを除外した、各スポラＩ・に”Ｊ ｌ
ｌＣｌ Ｊる両；ｂ集団のχ（（標を求めた後は、中心
スポットの座’ＩＸ（Ｌｌｏ 、 Ｖｏ ）Ｃま既に求
められ（いるノニめ、第０図（、二示しｌこ、ステップ
Ｃ−３からＣ、−５よ（・と仝く同様の処理を行ない、
各スポットの路間Ｉ Ｒｒどｄ （ｉｉ°Ｉ仝求める（
ステップｆ”−５＞ 、、次に第７図に示した流れ図に
おりるスラップ［）−３からステップｌ）、−Ｅ）まひ
と全く同様のＶυ即を？−１なうことにより、各リング
の半径１−＜１・とｃｌ １ｉＦＩＤ ＋・をン１ミめ
る０、 このＪ二うにして、スブツ・プＣ又（よ（二（こよつで
スポラｔ−の座標（ｕ、ｖ）、距離Ｒ８及びｄｆｆｆＤ
ｓが求められたら、これらデータを各々電子ｉｔ”Ａ１
機４の記憶部の記憶領域ＰＸＹ、Ｒ８及びＤＳに記憶り
る。同様にス゛アップＤ又は「によってリングの半径Ｒ
ｒ及びｄ １ｆｆｉ Ｄ ｒが求められ１〔ら、各７ｚ
記恒領域ＲＲ及びＯＰ、に記憶する１、〈こＣ゛、次に
第４図に示づステップＦを行ない、外部記悌、駅間７に
記憶・、され−（いる多数の各種物質のｄ伽の組みを表
わすデータを読み出し、°電子田鈎１（戊４に（１−３
いて既に求められた試）Ｊ （７） ｄ値デークど照合
づる。この場合、外部記憶装置には第１２図（ａ）に示
づＪ、うに物質毎にその名称、屈−りる結晶系＋”Ｏ＋
ｌ）ｏ、ｃｏで表わされる絡子定故と共に複数のｄ伯デ
ーク（＋、 ｌ 、 ｄ ２．・・・ｄｎ及び各（ｄ値
の指数（ｈ、に、ｌ）、、 （ｈ、に、ｌ）
？ 、 ・・・ （１１。
トとリングが共に存在していると判定され）こ場合を説
明りる。このＪ、うに判定されると、ｕ： ／１図＋、
、ｍ Ｊ＞ ４プるステップ［に移行覆る。ステップＥ
ｆ、Ｊ、詳細【こＩＪ第１０図の流れ図に承部−（ン
のであり、即ら、にづ゛ステップｒｌ−１におりる場合
と全く同様に前ｊホしたＸ軸へのｑ１影操作とＹ軸への
射影操作４−打入とりるｙを求めζ中心スポラ１〜の座
標（１０゜ＶＯ）とＪ−る〈ステップ［丁−１）。尚、
この」８含回折像にはスポット状のものも含Ｊ：れ−（
いるため、Ｘ軸及びＹ軸への射影強電には第１１図のＪ
、うにスポットに基づく極大部Ｇが生じるｌ）′Ｘ、ス
ポットの占める面積はリングの而（ろに比較しζ小さい
ため、極大部Ｇが座標（ｕｏ、ｖｏ）を求める際に陣害
になることはない。次に画像の２１１０化を行ない（ス
テップＥ−３）、この２１ｉｆｉ化された画像情報に従
って同−画像内にｄ’３ ＆ノるスポラ１〜とリングの
弁別を行なう（ステップＥ−４）。即ら、−塊りの画素
集団について前記′１ｆ８１）式に従ってその座’ｅｊ
ｉ（ｕ、ｖ）を刃くめる。画素集Ｅｎ７“ン〜リングな
らば、その座標は最初に求めた中心スポラ１〜の座標（
Ｕ、）、ＶＯ）と同一か、或い（ユこの座標を中心どづ
る極く小ざい半径ｒ（、の円内に（Ｑ−ｊ′″ｌている
はずである。そこで、求められた各両七束団に対してそ
の座標がこの円内に入るか否かを判定し、この円内に入
るものはリングど児なして、スポラ１〜として分析処理
り−る対象がら除外づる。リングをスポラ１〜として混
同して処理づるど、小さな距ｆｄｔ、 ｒ＜ ｓを右り
る多数の回折スポットが存在づることに’ｃＬす、前記
第（５）式にＪ、す￥／数の大公４「伯をイＪづるｄ値
が存在するという誤った分析結末を導き、そのｉ＝め試
別の正しい同定ができ’ｃＬ ＜ ’Ｊる３゜このＪ、
うにし−（リングを除外した、各スポラＩ・に”Ｊ ｌ
ｌＣｌ Ｊる両；ｂ集団のχ（（標を求めた後は、中心
スポットの座’ＩＸ（Ｌｌｏ 、 Ｖｏ ）Ｃま既に求
められ（いるノニめ、第０図（、二示しｌこ、ステップ
Ｃ−３からＣ、−５よ（・と仝く同様の処理を行ない、
各スポットの路間Ｉ Ｒｒどｄ （ｉｉ°Ｉ仝求める（
ステップｆ”−５＞ 、、次に第７図に示した流れ図に
おりるスラップ［）−３からステップｌ）、−Ｅ）まひ
と全く同様のＶυ即を？−１なうことにより、各リング
の半径１−＜１・とｃｌ １ｉＦＩＤ ＋・をン１ミめ
る０、 このＪ二うにして、スブツ・プＣ又（よ（二（こよつで
スポラｔ−の座標（ｕ、ｖ）、距離Ｒ８及びｄｆｆｆＤ
ｓが求められたら、これらデータを各々電子ｉｔ”Ａ１
機４の記憶部の記憶領域ＰＸＹ、Ｒ８及びＤＳに記憶り
る。同様にス゛アップＤ又は「によってリングの半径Ｒ
ｒ及びｄ １ｆｆｉ Ｄ ｒが求められ１〔ら、各７ｚ
記恒領域ＲＲ及びＯＰ、に記憶する１、〈こＣ゛、次に
第４図に示づステップＦを行ない、外部記悌、駅間７に
記憶・、され−（いる多数の各種物質のｄ伽の組みを表
わすデータを読み出し、°電子田鈎１（戊４に（１−３
いて既に求められた試）Ｊ （７） ｄ値デークど照合
づる。この場合、外部記憶装置には第１２図（ａ）に示
づＪ、うに物質毎にその名称、屈−りる結晶系＋”Ｏ＋
ｌ）ｏ、ｃｏで表わされる絡子定故と共に複数のｄ伯デ
ーク（＋、 ｌ 、 ｄ ２．・・・ｄｎ及び各（ｄ値
の指数（ｈ、に、ｌ）、、 （ｈ、に、ｌ）
？ 、 ・・・ （１１。
ｋ 、 ｌ ） ｎを記憶した原波検素データを記憶し
Ｃいるが、この原波検索データから（、Ｌ効率良く物質
の周定はできないため、このデータを第１２図（１））
に承り、ようにｄ値を中心にして並へかえて効率良く同
定のための検索を行ない胃るようにしている。即ら、こ
のＳ１ｆべ変λた被検索データは、原波検索デー・夕に
含まれている全物質のｃｌ ｊｌｊ＋データを、例えば
最も小さいものから順に！１にへ、各ｄ値に対してこの
碩を右する物質名に対応づるアドレスを記憶づ−るよう
にしたものである０、電子泪弁 ゛機４により、
測定にｊ、−）Ｃ既に求めた（１（的データとこの被検
索データとを照合し、各ｄ（１１に対しく該当づる物質
名を拾い挙げて行き、最も多くの回数挙げられｌζ物質
名が正しい名称であるぶ°ｆ然竹が畠いため、この名称
を第１３図（ａ ）に示りＪ、′うにＣＲＴｌｏに表示
りる。この同定結果ＩＪ第１３図（ａ ）のように最−
す多く挙げられた結晶名だ（）を表示りるようにしても
良いが、第１３図（（））に承りように挙け１られた結
晶名の仝Ｃをその挙げられた回数の％と共に表示Ｊるよ
うにしく０良い。
Ｃいるが、この原波検索データから（、Ｌ効率良く物質
の周定はできないため、このデータを第１２図（１））
に承り、ようにｄ値を中心にして並へかえて効率良く同
定のための検索を行ない胃るようにしている。即ら、こ
のＳ１ｆべ変λた被検索データは、原波検索デー・夕に
含まれている全物質のｃｌ ｊｌｊ＋データを、例えば
最も小さいものから順に！１にへ、各ｄ値に対してこの
碩を右する物質名に対応づるアドレスを記憶づ−るよう
にしたものである０、電子泪弁 ゛機４により、
測定にｊ、−）Ｃ既に求めた（１（的データとこの被検
索データとを照合し、各ｄ（１１に対しく該当づる物質
名を拾い挙げて行き、最も多くの回数挙げられｌζ物質
名が正しい名称であるぶ°ｆ然竹が畠いため、この名称
を第１３図（ａ ）に示りＪ、′うにＣＲＴｌｏに表示
りる。この同定結果ＩＪ第１３図（ａ ）のように最−
す多く挙げられた結晶名だ（）を表示りるようにしても
良いが、第１３図（（））に承りように挙け１られた結
晶名の仝Ｃをその挙げられた回数の％と共に表示Ｊるよ
うにしく０良い。
このＪ、うにし−Ｃ第４図にＪ３い（ステップ「で承り
試１′ｒｌの同定が終了づると、この同定された試別の
各回折スポットあるい（３表リングについ（１１“１７
１’：故の指数イ＝＋りど結晶方位の算出が行なわれる
（／、ｊツノ゛０）、、この面指数の指数イ」りは電子
計剪ｊ ｉ；文１１にＪ、−）（外部記椋、）り置に記
憶されＣいる１皇被倹素ノー゛−夕を読み出し−（、該
当する物質の（１価と指数どの関係を記録しでいるデー
タを倹素り−ることに、」。
試１′ｒｌの同定が終了づると、この同定された試別の
各回折スポットあるい（３表リングについ（１１“１７
１’：故の指数イ＝＋りど結晶方位の算出が行なわれる
（／、ｊツノ゛０）、、この面指数の指数イ」りは電子
計剪ｊ ｉ；文１１にＪ、−）（外部記椋、）り置に記
憶されＣいる１皇被倹素ノー゛−夕を読み出し−（、該
当する物質の（１価と指数どの関係を記録しでいるデー
タを倹素り−ることに、」。
す（−ｊ ＜１：５ ａ又、結晶力位の針幹も指数（ｊ
ｌ ＬＪられｊＪフークを基に逆格子ベク１ヘルの９１
締を電子ｉｉ’ｌ’、 ｆ；’ｒ’ ｉ大４において行
イ１うことによって自動的に行むい、ｊ！７られた結果
をＣＲＴＩ Ｏ等に表示１する。
ｌ ＬＪられｊＪフークを基に逆格子ベク１ヘルの９１
締を電子ｉｉ’ｌ’、 ｆ；’ｒ’ ｉ大４において行
イ１うことによって自動的に行むい、ｊ！７られた結果
をＣＲＴＩ Ｏ等に表示１する。
尚、°本発明は１達した実施例に限定されることなく幾
多の変形が可能である。例えば、１）ホし７Ｃ実施例に
おいては、回折像を１．ｌｊｉ成−りる各画素にＪ′３
ｉＪる検出強風の度数分荀を表４つり１７１をεマ出づ
るため、所謂分散を算出するための式と同形の式を用い
たが、他のｉＪｃによっ−Ｕｉ出しで−６尺＜、３例え
（。ｒ、第１式の（Ｉ−１）を３正した式を用いても良
いし、第２図に示した度数分布を表ねり曲線をスムーズ
イングした後、曲線の傾きをｐ出して、この（ｌＪ′ｉ
さの（＋ｔ“１により回折像がスポラ１〜から成るかリ
ングから成るかを判定づ−るＪ、うにしてし良い。
多の変形が可能である。例えば、１）ホし７Ｃ実施例に
おいては、回折像を１．ｌｊｉ成−りる各画素にＪ′３
ｉＪる検出強風の度数分荀を表４つり１７１をεマ出づ
るため、所謂分散を算出するための式と同形の式を用い
たが、他のｉＪｃによっ−Ｕｉ出しで−６尺＜、３例え
（。ｒ、第１式の（Ｉ−１）を３正した式を用いても良
いし、第２図に示した度数分布を表ねり曲線をスムーズ
イングした後、曲線の傾きをｐ出して、この（ｌＪ′ｉ
さの（＋ｔ“１により回折像がスポラ１〜から成るかリ
ングから成るかを判定づ−るＪ、うにしてし良い。
「効果１
上述したように本発明にｊ、れは、回折像にスポラ１〜
とリングが混在している揚台に、自動的にスポットとリ
ングを振り分（プて、両者に対して別個の処理を行なっ
て、各スポラ１〜及びリングに対応りるｄ値を求め、こ
のｄ（１らに基づい−（被検索データを検索ツることに
よりオンラインで７１（判を分析することか（さる、２
従つζ、分析のための′）１１識や経験が無く−（し、
ヌ↑）（適（゛ない暗Ｙ！（゛作ｉ４をりることなしく
こ、試別の分析を短日１間−（ｌ′↑ｊ−／：ｉ、うこ
とがン一゛。−・る。
とリングが混在している揚台に、自動的にスポットとリ
ングを振り分（プて、両者に対して別個の処理を行なっ
て、各スポラ１〜及びリングに対応りるｄ値を求め、こ
のｄ（１らに基づい−（被検索データを検索ツることに
よりオンラインで７１（判を分析することか（さる、２
従つζ、分析のための′）１１識や経験が無く−（し、
ヌ↑）（適（゛ない暗Ｙ！（゛作ｉ４をりることなしく
こ、試別の分析を短日１間−（ｌ′↑ｊ−／：ｉ、うこ
とがン一゛。−・る。
第１図ｔＪ、ｌ 、”’Ｉ ｉｌｒ ｆりξがスポラ１
〜状で（（りる引合、リンク状（・（し）る開会、ズボ
ツトとリングハ＼ｉｆ１： （Ｉシ（いくＣ）：ｒＡ
ｉ イ＋−比（： ｔ、７ Ｃ示”Ｊ ７ｊ メ０）
ｌ’；７１、’４３２ ｔ”ｌ Ｌ、１． 回Ｊｌｉ
−がス、１（ツトｌ／Ｓ 、リング１ツク、両者か混（
１−の各場合に、；ン）ノく、ン両９）、Ｕ））・５′
！出弓Ｍｉ ｌ＜ｊの１良故ブ）イ１ｊを比中身しく７
Ｊ（・）ｌζめの図、Ｑ’Ｓ ３ ｌツ１は本発明・３
実施り〈ＣためのＫ Ｆ＋”？の （りｌを示・」ため
の図、第４図は試わ１を自動的（こｆｉｌ定りるための
望即Ｕ）流れの仝休を示リッチめ０）ｉり１、第５３図
（３１１画棟の）・ｌＩ４へ“；ど白１ノベルの画素Ｌ
Ｉ−団の１・ｉ・（１を説明りるための図、第６図（，
１回Ｉｆ泡；１戸スボツ（〜状Ｃある場合に（」埴を求
めるための流れ［シ１、第７図は回折像力（リング状℃
・ある場合にｄｊｌｉ：（４ｉ求めるための流れ図、第
８図（、Ｌｌｌ！ｌｉ県の田影操作ＩＪ： 、ｊ、−）
（冑られる強）臭を説明づるための図、第９図ｉよ中心
スポッ１−から′リングまでの距離を求める速埋イ、−
説明覆るための図、第１０図は回１ｊ１１６ｒ ７ｊ（
スポツ１〜とリングから成る場合にｄ植・２＞ｌ＜ ９
）ろための処理の（７１コれを説、明づるための図、第
１１図は回折均（がスポッ１〜とリンクから成る場合の
’ｔｌ影強肛を１シリ承り−るだめの図、ｈ′Ｅ １２
図は原ンｂ！！（う′ｒ′−，ｈＴ−夕と原板検察デー
タから作られた被検索デーク・￥説明づるための１図、
第１３４川は分析結果のＣＲＴ（こおｔづるンく不例を
ボタための図て゛あＱ。 １：電子顕微鏡、２ ： １ｊｌＡ ｉり÷′只２：Ｉ
゛″′１．３ ： ＡＤ変換：ｆ：→、４．電１′口幹
）浅、５：透過１［子検出器、Ｏ：Ａ ｆ）☆］グｒ；
＋；、７：外部記・１．Ｃえ装置、Ｅ；：シニター用０
［どＬｌつ：１−ボード、１０：二１）゛、ｌ−ル用Ｃ
［マ丁１゜ 第１図 第３図 第４５図 ：Ｖ ｖｌＴｌｉｎ Ｉ Ｙ １２５第６図 ［押面穴Ｅ→く丼むケセづ■１璽士］閣］二璽１］］
（ステ・ソフ’Ｃ−５）２９５−
〜状で（（りる引合、リンク状（・（し）る開会、ズボ
ツトとリングハ＼ｉｆ１： （Ｉシ（いくＣ）：ｒＡ
ｉ イ＋−比（： ｔ、７ Ｃ示”Ｊ ７ｊ メ０）
ｌ’；７１、’４３２ ｔ”ｌ Ｌ、１． 回Ｊｌｉ
−がス、１（ツトｌ／Ｓ 、リング１ツク、両者か混（
１−の各場合に、；ン）ノく、ン両９）、Ｕ））・５′
！出弓Ｍｉ ｌ＜ｊの１良故ブ）イ１ｊを比中身しく７
Ｊ（・）ｌζめの図、Ｑ’Ｓ ３ ｌツ１は本発明・３
実施り〈ＣためのＫ Ｆ＋”？の （りｌを示・」ため
の図、第４図は試わ１を自動的（こｆｉｌ定りるための
望即Ｕ）流れの仝休を示リッチめ０）ｉり１、第５３図
（３１１画棟の）・ｌＩ４へ“；ど白１ノベルの画素Ｌ
Ｉ−団の１・ｉ・（１を説明りるための図、第６図（，
１回Ｉｆ泡；１戸スボツ（〜状Ｃある場合に（」埴を求
めるための流れ［シ１、第７図は回折像力（リング状℃
・ある場合にｄｊｌｉ：（４ｉ求めるための流れ図、第
８図（、Ｌｌｌ！ｌｉ県の田影操作ＩＪ： 、ｊ、−）
（冑られる強）臭を説明づるための図、第９図ｉよ中心
スポッ１−から′リングまでの距離を求める速埋イ、−
説明覆るための図、第１０図は回１ｊ１１６ｒ ７ｊ（
スポツ１〜とリングから成る場合にｄ植・２＞ｌ＜ ９
）ろための処理の（７１コれを説、明づるための図、第
１１図は回折均（がスポッ１〜とリンクから成る場合の
’ｔｌ影強肛を１シリ承り−るだめの図、ｈ′Ｅ １２
図は原ンｂ！！（う′ｒ′−，ｈＴ−夕と原板検察デー
タから作られた被検索デーク・￥説明づるための１図、
第１３４川は分析結果のＣＲＴ（こおｔづるンく不例を
ボタための図て゛あＱ。 １：電子顕微鏡、２ ： １ｊｌＡ ｉり÷′只２：Ｉ
゛″′１．３ ： ＡＤ変換：ｆ：→、４．電１′口幹
）浅、５：透過１［子検出器、Ｏ：Ａ ｆ）☆］グｒ；
＋；、７：外部記・１．Ｃえ装置、Ｅ；：シニター用０
［どＬｌつ：１−ボード、１０：二１）゛、ｌ−ル用Ｃ
［マ丁１゜ 第１図 第３図 第４５図 ：Ｖ ｖｌＴｌｉｎ Ｉ Ｙ １２５第６図 ［押面穴Ｅ→く丼むケセづ■１璽士］閣］二璽１］］
（ステ・ソフ’Ｃ−５）２９５−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電子線回折像を電気侶弓に変換し、（・；へ標Ｘ、■に
ス・１応りる画素の強度をＵｘｙとするとぎ、ΣｔＪｘ
ｙ及びΣＬＪｘｙが最大になる座標ＵＱ及びｖＯを求め
× （中心スポラ１〜の座標とし、Ｕｘｙかに！ 準１１ｉ
１ｆ Ｊ、り人心な画素か形成りる画素集団に関し、人
々の中心座控；と前記中心スポラ１〜どの間の距離に応
じ（回１）ｉリングか回折スポラ１〜かの判定を（１４
ｊい、各１ｊｊ＋１１ｉリング及び又（、］、ススポラ
〜に対応づる袷１１向間際１顧を求め、請求められた試
わ１の格ｒ面間１１Ａ頭の泪みを仲々の物質の格子面間
隔値を表わづザーダと照合づることにＪ、す、試わ１の
同にを行なうこ、！を一１２Ｙ徴とりる電子線回折医の
自動分析方法、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58038624A JPS59163550A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子線回折像の自動判別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58038624A JPS59163550A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子線回折像の自動判別方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59163550A true JPS59163550A (ja) | 1984-09-14 |
| JPH0411822B2 JPH0411822B2 (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=12530391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58038624A Granted JPS59163550A (ja) | 1983-03-09 | 1983-03-09 | 電子線回折像の自動判別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59163550A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145953A (ja) * | 1986-12-09 | 1988-06-18 | Shimadzu Corp | Ｘ線回折法を用いた分析方法 |
| JPH05505453A (ja) * | 1988-06-16 | 1993-08-12 | ゲルサン エスタブリッシュメント | 結晶中の誤った配向の有無の決定 |
| JPH06249799A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Natl Res Inst For Metals | 電子線回折強度迅速精密計測装置 |
| US6992286B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-01-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system |
| JP2010014548A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線回折像の解析方法及び透過型電子顕微鏡 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4148799B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2008-09-10 | 京セラ株式会社 | 電子回折パターンの解析方法及び解析装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838623A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | Daido Steel Co Ltd | 搬送機構 |
-
1983
- 1983-03-09 JP JP58038624A patent/JPS59163550A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838623A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | Daido Steel Co Ltd | 搬送機構 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145953A (ja) * | 1986-12-09 | 1988-06-18 | Shimadzu Corp | Ｘ線回折法を用いた分析方法 |
| JPH05505453A (ja) * | 1988-06-16 | 1993-08-12 | ゲルサン エスタブリッシュメント | 結晶中の誤った配向の有無の決定 |
| JPH06249799A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Natl Res Inst For Metals | 電子線回折強度迅速精密計測装置 |
| US6992286B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-01-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system |
| EP1463088A3 (en) * | 2003-03-18 | 2007-01-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system using an electron beam |
| EP2237306A1 (en) * | 2003-03-18 | 2010-10-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system using an electron beam |
| JP2010014548A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線回折像の解析方法及び透過型電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411822B2 (ja) | 1992-03-02 |
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