JPS5915840A - リンケイ酸ガラス膜のリン濃度測定法 - Google Patents
リンケイ酸ガラス膜のリン濃度測定法Info
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- JPS5915840A JPS5915840A JP12478482A JP12478482A JPS5915840A JP S5915840 A JPS5915840 A JP S5915840A JP 12478482 A JP12478482 A JP 12478482A JP 12478482 A JP12478482 A JP 12478482A JP S5915840 A JPS5915840 A JP S5915840A
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- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 title abstract 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 3
- WFERVLWLPNZDOV-UHFFFAOYSA-N O[Si](O)(O)OP(=O)=O Chemical compound O[Si](O)(O)OP(=O)=O WFERVLWLPNZDOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- -1 Phospho Chemical class 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、リンケイ酸ガラス（Ｐｈｏｓｐｈｏ ５
ｉｌｉｃａｔｅ Ｇｌａ■、 ＰＳＧ）膜のリン濃度
測定法に関するものである。
ｉｌｉｃａｔｅ Ｇｌａ■、 ＰＳＧ）膜のリン濃度
測定法に関するものである。
一般に、リンケイ酸ガラス膜（以下「ＰＳＧ膜」と略す
）中のリン濃度の測定は、ＰＳＧ膜を赤外分光光度計に
かけ、与えられる赤外吸収スペクトルからリン濃度を推
定することによシ行われる。
）中のリン濃度の測定は、ＰＳＧ膜を赤外分光光度計に
かけ、与えられる赤外吸収スペクトルからリン濃度を推
定することによシ行われる。
すなわち、ＰＳＧ膜の赤外吸収スペクトルをとる（１）
と、第１図に示すように、１３２５ＣＩＩ−”（波数）
にＰ−０，１０５０〜１１００Ｃ１１−１（波数）に５
ｉ−０の吸収が表われるので、その比（Ｒ−）を（ａ−
ｂ ）／（ａ′＝ｂ′）から求めてｋの値よりリンの濃
度を推定することが行われる。しかしながら、実際にＰ
ＳＧ膜の赤外吸収スペクトルをとると、第２図の鎖線イ
内のように２０００〜１３００Ｃ１＋”付近に赤外干渉
によるノイズが発生するため、このノイズによりリン濃
度の推定が困難になっている。このノイズは、ＰＳＧ膜
中のリン濃度やＰＳＧ膜の膜厚によって強度が変化する
。
にＰ−０，１０５０〜１１００Ｃ１１−１（波数）に５
ｉ−０の吸収が表われるので、その比（Ｒ−）を（ａ−
ｂ ）／（ａ′＝ｂ′）から求めてｋの値よりリンの濃
度を推定することが行われる。しかしながら、実際にＰ
ＳＧ膜の赤外吸収スペクトルをとると、第２図の鎖線イ
内のように２０００〜１３００Ｃ１＋”付近に赤外干渉
によるノイズが発生するため、このノイズによりリン濃
度の推定が困難になっている。このノイズは、ＰＳＧ膜
中のリン濃度やＰＳＧ膜の膜厚によって強度が変化する
。
そこで、この発明者は、上記ノイズを除去し、リン濃度
や膜厚の大小によって影響をうけることなく正確にリン
濃度を求められないかと一連の研究を重ねた結果、赤外
分光光度計における赤外線の投射を、ＰＳＧ膜に対して
赤外線を傾斜させた状態であてることにより行うと、所
期の目的が達成されることを見いだし、この発明に到達
した。
や膜厚の大小によって影響をうけることなく正確にリン
濃度を求められないかと一連の研究を重ねた結果、赤外
分光光度計における赤外線の投射を、ＰＳＧ膜に対して
赤外線を傾斜させた状態であてることにより行うと、所
期の目的が達成されることを見いだし、この発明に到達
した。
すなわち、この発明は、リンケイ酸ガラス膜を赤外分光
光度計にかけ、与えられた赤外吸収スベ（９） クトルからリンの濃度を測定する方法であって、赤外分
光光度計における赤外線の投射を、リンケイ酸ガラス膜
に対して赤外線を傾斜させた状態であてることにより行
うことをその要旨とするも□のである。
光度計にかけ、与えられた赤外吸収スベ（９） クトルからリンの濃度を測定する方法であって、赤外分
光光度計における赤外線の投射を、リンケイ酸ガラス膜
に対して赤外線を傾斜させた状態であてることにより行
うことをその要旨とするも□のである。
つぎに、この発明の詳細な説明する。
第３図に示すように、ＰＳＧＳｉＯ２ｉ基板２上に載せ
、赤外線ｋを矢印のようにＰＳＧＳｉＯ２面に対して直
角にあてると、図示のように、ＰＳＧＳｉＯ２びＳｉ基
板２を一直線に透過する光（Ａ→Ｂ −＋ Ｃ−１−Ｇ
）と、ＰＳＧＳｉＯ２ｉ基板２との界面およびＰＳＧ
ＳｉＯ２気３との界面で反射する光（Ａ ＋Ｂ −＋
Ｃ＋Ｄ ＋Ｅ −＋ Ｆ ）とが生じる。前者の透過光
をαとし、後者の透過光をβとすると、透過光α、βは
、両者間の距離が非常に短いため平行光とみなせる。そ
して、透過光α、βの位相がＧ、Ｆにおいて同相になる
と干渉が生じると考えられる。実際には、基板濃度、Ｐ
ＳＧ膜中のリン濃度の変化によシそれぞれの屈折率が変
化し、また赤外吸収率も変化するためもつと複雑になっ
ているが、干渉は、基本的には、上記の現象によって生
じるものと考えられる。
、赤外線ｋを矢印のようにＰＳＧＳｉＯ２面に対して直
角にあてると、図示のように、ＰＳＧＳｉＯ２びＳｉ基
板２を一直線に透過する光（Ａ→Ｂ −＋ Ｃ−１−Ｇ
）と、ＰＳＧＳｉＯ２ｉ基板２との界面およびＰＳＧ
ＳｉＯ２気３との界面で反射する光（Ａ ＋Ｂ −＋
Ｃ＋Ｄ ＋Ｅ −＋ Ｆ ）とが生じる。前者の透過光
をαとし、後者の透過光をβとすると、透過光α、βは
、両者間の距離が非常に短いため平行光とみなせる。そ
して、透過光α、βの位相がＧ、Ｆにおいて同相になる
と干渉が生じると考えられる。実際には、基板濃度、Ｐ
ＳＧ膜中のリン濃度の変化によシそれぞれの屈折率が変
化し、また赤外吸収率も変化するためもつと複雑になっ
ているが、干渉は、基本的には、上記の現象によって生
じるものと考えられる。
この発明は、透過光α、βが同相にならないようにＰＳ
ＧＳｉＯ２射赤外線に対して傾斜させるものである。こ
れを第４図に示す。すなわち、入射赤外線に′に対して
ＰＳＧＳｉＯ２Ｓｉ基板２を傾斜させると、前記同様、
ＰＳＧＳｉＯ２ｉ基板２を一直線に透過する光（Ａ′→
Ｂ′→Ｃ′→Ｇ′）と反射する光（Ａ／→Ｂ′→Ｃ′→
Ｄ′→Ｅ′→Ｆ′）とが生じる。なお、ＰＳＧＳｉＯ２
面に対して赤外線を直角にあてたときの光路を鎖線で示
す。ＰＳＧＳｉＯ２して赤外線を傾斜させてあてると、
反射光の反射角が小さくなり、反射光の光路差（ｃ／
ｏ／ Ｅ’ ＞が赤外線を直角にあてたときの光路
差（Ｃ−Ｄ−Ｅ）に対して変化する。そして、透過光α
′とβ′間の距離が赤外線を直角にあてたときの透過光
αとβ間の距離よりもかなり大きくなる。その結果、透
過光α′、β′がＧ’、 Ｆ’において同相になりにく
くなり、干渉ノイズの発生が防止される。
ＧＳｉＯ２射赤外線に対して傾斜させるものである。こ
れを第４図に示す。すなわち、入射赤外線に′に対して
ＰＳＧＳｉＯ２Ｓｉ基板２を傾斜させると、前記同様、
ＰＳＧＳｉＯ２ｉ基板２を一直線に透過する光（Ａ′→
Ｂ′→Ｃ′→Ｇ′）と反射する光（Ａ／→Ｂ′→Ｃ′→
Ｄ′→Ｅ′→Ｆ′）とが生じる。なお、ＰＳＧＳｉＯ２
面に対して赤外線を直角にあてたときの光路を鎖線で示
す。ＰＳＧＳｉＯ２して赤外線を傾斜させてあてると、
反射光の反射角が小さくなり、反射光の光路差（ｃ／
ｏ／ Ｅ’ ＞が赤外線を直角にあてたときの光路
差（Ｃ−Ｄ−Ｅ）に対して変化する。そして、透過光α
′とβ′間の距離が赤外線を直角にあてたときの透過光
αとβ間の距離よりもかなり大きくなる。その結果、透
過光α′、β′がＧ’、 Ｆ’において同相になりにく
くなり、干渉ノイズの発生が防止される。
例えば、ＰＨ３／ ＳｉＨ４（形成ガス比（ホスフィン
）／（シラン）〕比０．０５ 、 Ｐ Ｓ Ｇ膜の膜厚
４０００λ、Ｓｉ基板＜１１１＞ Ｐ型８−１２Ω印の
試料を赤外分光光度計にかけ、ｐｓｃ膜を入射赤外線に
対して４０度傾斜させると、干渉ノイズの発生をみるこ
となく、リンの濃度の測定ができる。
）／（シラン）〕比０．０５ 、 Ｐ Ｓ Ｇ膜の膜厚
４０００λ、Ｓｉ基板＜１１１＞ Ｐ型８−１２Ω印の
試料を赤外分光光度計にかけ、ｐｓｃ膜を入射赤外線に
対して４０度傾斜させると、干渉ノイズの発生をみるこ
となく、リンの濃度の測定ができる。
以上のように、この発明は、ＰＳＧ膜を赤外分光光度計
にかけ、与えられた赤外吸収スペクトルからリンの濃度
を測定する方法であって、赤外分光光度計１こおける赤
外線の投射を、ＰＳＧ膜に対して赤外線を傾斜させた状
態であてることにより行うため、干渉ノイズの発生を防
止でき、基板濃度、ＰＳＧ膜厚、リン濃度のいかんにか
かわらずリン濃度の測定が可能となる。
にかけ、与えられた赤外吸収スペクトルからリンの濃度
を測定する方法であって、赤外分光光度計１こおける赤
外線の投射を、ＰＳＧ膜に対して赤外線を傾斜させた状
態であてることにより行うため、干渉ノイズの発生を防
止でき、基板濃度、ＰＳＧ膜厚、リン濃度のいかんにか
かわらずリン濃度の測定が可能となる。
第１図はＰＳＧ膜の赤外吸収スペクトル図、第２図は干
渉ノイズの発生状態説明図、第３図は干渉ノイズ発生原
理図、第４図はこの発明の一実施例の説明図であるう １・・・ＰＳＧ膜 ２・・・Ｓｉ基板 Ｒ、Ｒ’・・・
赤外線（５） 匂プ 廖Ｅ （ｃｍ−’） 第１図 第３図 浪 駁 （ｃｍ−１） 第２図
渉ノイズの発生状態説明図、第３図は干渉ノイズ発生原
理図、第４図はこの発明の一実施例の説明図であるう １・・・ＰＳＧ膜 ２・・・Ｓｉ基板 Ｒ、Ｒ’・・・
赤外線（５） 匂プ 廖Ｅ （ｃｍ−’） 第１図 第３図 浪 駁 （ｃｍ−１） 第２図
Claims (1)
- （１）リンケイ酸ガラス膜を赤外分光光度計にかけ、与
えられた赤外吸収スペクトルからリンの濃度を測定する
方法であって、赤外分光光度計における赤外線の投射を
、リンケイ酸ガラス膜に対して赤外線を傾斜させた状態
であてることにより行うことを特徴とするリンケイ酸ガ
ラス膜のリン濃度測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12478482A JPS5915840A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | リンケイ酸ガラス膜のリン濃度測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12478482A JPS5915840A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | リンケイ酸ガラス膜のリン濃度測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915840A true JPS5915840A (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=14894034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12478482A Pending JPS5915840A (ja) | 1982-07-16 | 1982-07-16 | リンケイ酸ガラス膜のリン濃度測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915840A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075341A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Japan Science & Technology Corp | 溶存・懸濁性物質濃度を近赤外分光法によって計測する方法 |
-
1982
- 1982-07-16 JP JP12478482A patent/JPS5915840A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075341A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Japan Science & Technology Corp | 溶存・懸濁性物質濃度を近赤外分光法によって計測する方法 |
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