JPS59145065A - ２流体式スプレイノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、２流体式スプレィノズルの液体滴下防止法に
関する。

近年、半導体装置の製造工程の自動化が進みつつある。

例えば素子特性検査の自動化、ワイヤボンドの自動化等
である。そして自動化が困難とされていたホトレジスト
の現像、エツチング、洗滌等も、現像液、エツチング液
、洗滌液のスプレィ化によって自動化の道が開かれるこ
ととなった。

従来、自動機に使用されているスプレィノズルは、第１
図に示される構造のものが一般的である。

中心のノズル１と、そのまわりにある外側管体２と、こ
の管体２に連結された外側ノズル３とから構成され、外
側ノズル３の先端に液滴下防止用の液たまり部３ａが設
けられている。スプレィノズルのスプレィプロセスとし
ては、中心のノズル１に所望の液体Ａ＆、外側のノズル
２に所望の気体ＢＹそれぞれ供給する様になっている。

そしてスプレィ処理後に次の工程に移るには、液体Ａと
気体Ｂの供給を同時に止めてから、半導体ウニで・など
の試料を次の工程に移す、。このように流体Ａ。

Ｂの供給な同時に停止する従来のスゲレイ方式は、製造
工程の自動化に適している反面、液体及び気体の供給を
止めた場合にノズル先端の液たまり部３ａに液（現像液
、エツチング液、洗滌液等）がたまり、それが時々試料
上九滴下し、試料に現像ムラ、エツチングムラ、洗滌ム
ラ等を生ずる欠点があり、これがホトレジ工程での歩留
の低下の一要因になっている。

そこで、本発明の目的は、スプレィノズルにおいて、そ
の先端から液が滴下するすな防止する方法を提案するに
ある。

本発明は、第１図に示された様な２流体式スプレィノズ
ルにおいて、従来同時に流体の供給な止めていたのな、
液体供給な止めた後一定期間な経て気体の供給な止める
様にしたことを特徴とするものである。

本発明では、液体の供給な止めた後も一定期間気体が供
給するため、液たまり部３ａに溜った液が気体によって
スプレィ状に飛散させられ、その結果、従来の欠点であ
る液の滴下現象は生じない。

本発明な実施例について説明すると、第１図に示すよう
な２流体式ノズルにおいて、第２図に示すように液体Ａ
の供給停止後、ｔ＝０．５秒間気体Ｂの供給な続けてか
ら気体Ｂの供給な停止した。

このようにすると、ノズル先端の液たまり部３ａに溜ま
ろうとする液は吹き飛ばされ滴下を防止することができ
た。

本発明に係わる液滴下防止方法な、自動化された現像工
程及び洗滌工程に適用した結果、グローブ歩留を約２％
向上させることができた。なお、気体供給時間ｔは実験
的に最適な値が求められるもので、上記実施例ではその
一例を示し１こに止まる。

【図面の簡単な説明】

第１図はスプレィノズルの縦断面図、第２図は本発明の
詳細な説明するためのタイムチャートである。 １・・中心ノズル、２・・・外側管体、３・・・外側ノ
ズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、少なくとも第１の流体を流すための第１のノズルと
   、第２の流体な流すための第２のノズルとからなり、前
   記第１．第２の流体な混合してスプレィするスプレィノ
   ズル。