JPS59140714A - 圧電共振子 - Google Patents
圧電共振子Info
- Publication number
- JPS59140714A JPS59140714A JP1516783A JP1516783A JPS59140714A JP S59140714 A JPS59140714 A JP S59140714A JP 1516783 A JP1516783 A JP 1516783A JP 1516783 A JP1516783 A JP 1516783A JP S59140714 A JPS59140714 A JP S59140714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end surface
- thickness
- thickness direction
- resonator
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 241001562081 Ikeda Species 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、面積振動を利用した圧電共振子に関する。
第１図は、従来の角板の拡がシ振動モードを利用した圧
電セラミック共振子である。図におい′Ｃ１は圧電セラ
ミック基板、２．３は対向電極である。厚み方向端面４
は平滑になっている。このような構造の共振子は実用化
されているが、使用したい振動モード以外のスプリアス
振動、たとえば厚み振動モードのスプリアスレスポンス
をさらに小さくしたいという要求がある。
電セラミック共振子である。図におい′Ｃ１は圧電セラ
ミック基板、２．３は対向電極である。厚み方向端面４
は平滑になっている。このような構造の共振子は実用化
されているが、使用したい振動モード以外のスプリアス
振動、たとえば厚み振動モードのスプリアスレスポンス
をさらに小さくしたいという要求がある。
この発明の目的は、厚み振動スプリアスを減少すること
である。
である。
この発明の他の目的は、共振周波数調整すると同時に厚
み振動スゲリアスを減少することである。
み振動スゲリアスを減少することである。
この発明の他の目的は、量産性よく厚み振動スプリアス
を減少することである。
を減少することである。
この発明の要旨は、面積振動を利用した圧電共振子の厚
み方向端面の表面粗さを大きくしたことである。また、
姓ましくけ、厚み方向端面の山谷の差が２（μｍ）以上
になるようにすることである。
み方向端面の表面粗さを大きくしたことである。また、
姓ましくけ、厚み方向端面の山谷の差が２（μｍ）以上
になるようにすることである。
以下にこの発明の一実施例について説明する。
第１図と同一部分には同一番号を付して説明を省略する
。
。
圧電セラミック基板１１の厚み方向端面４は、メツシュ
の粗い研磨砥石で研磨し”Ｃある。面積振動を用いた共
振子の厚み方向端面を研磨すると共振周波数が高くなる
ため周波数調整方法として利用されるが、このとき研磨
砥石のメツシュが粗いものを用いると周波数調整ととも
に厚み方向端面４′の表面粗さが大きくなる。第３図は
従来の厚み方向端面４をもつ共振子のスプリアス特性、
第４図は本発明−実施例厚み方向端面４１をもつ共振子
のスプリアス特注を示す。、第４図に示すものは÷１０
０の研磨砥石で厚み方向端面４１（４面）を形成した例
であるが、−ｆＨｏｏ（らいの研磨砥石から効果がある
。つまシ、◆４００＜らいの研磨砥石よシ荒いものを使
うと端面４１の表面粗さが２（μｍ）以上になシ、この
あたりからスプリアス抑圧効果が顕著になるなお、圧電
共成子の形状は矩形状（正方形、平行四辺形、長方形そ
の他これらの変形例）に限らず、円形その池田形に準す
る変形例のものでもよい。また、二端子型共振子に限ら
れないことはいうまでもない。
の粗い研磨砥石で研磨し”Ｃある。面積振動を用いた共
振子の厚み方向端面を研磨すると共振周波数が高くなる
ため周波数調整方法として利用されるが、このとき研磨
砥石のメツシュが粗いものを用いると周波数調整ととも
に厚み方向端面４′の表面粗さが大きくなる。第３図は
従来の厚み方向端面４をもつ共振子のスプリアス特性、
第４図は本発明−実施例厚み方向端面４１をもつ共振子
のスプリアス特注を示す。、第４図に示すものは÷１０
０の研磨砥石で厚み方向端面４１（４面）を形成した例
であるが、−ｆＨｏｏ（らいの研磨砥石から効果がある
。つまシ、◆４００＜らいの研磨砥石よシ荒いものを使
うと端面４１の表面粗さが２（μｍ）以上になシ、この
あたりからスプリアス抑圧効果が顕著になるなお、圧電
共成子の形状は矩形状（正方形、平行四辺形、長方形そ
の他これらの変形例）に限らず、円形その池田形に準す
る変形例のものでもよい。また、二端子型共振子に限ら
れないことはいうまでもない。
以上の実施例からもあきらかなようにこの発明によると
、面積振動を利用した圧電共振子の厚み方向端面の表面
粗さを大きくしたので、厚み振動モードにもとづくスプ
リアスレスポンスが小さくなる。また、周波数調整とと
もにスプリアスレスポンス抑圧対策も同時にてき゛Ｃ能
率的である。さらに、端面を研磨砥石で研磨するだけと
いった簡単な作業でスゲリアスレスポンスが抑圧できて
量産性が高い。
、面積振動を利用した圧電共振子の厚み方向端面の表面
粗さを大きくしたので、厚み振動モードにもとづくスプ
リアスレスポンスが小さくなる。また、周波数調整とと
もにスプリアスレスポンス抑圧対策も同時にてき゛Ｃ能
率的である。さらに、端面を研磨砥石で研磨するだけと
いった簡単な作業でスゲリアスレスポンスが抑圧できて
量産性が高い。
第１図、第２図は斜視図、第３図、第４図は特性図。
４′は厚み方向端面０
特許比ｊ頭人
株式会社 行田製作所
第４図
す、ｌ 侵 （Ｍシ・５
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （【）面積振動を利用した圧電共振子の厚み方向端面の
表面粗さを大きくした圧電共振子。 （２）厚み方向端面の山谷の差が２（μｍ）以上とした
特許請求の範囲４０項記載の圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1516783A JPS59140714A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1516783A JPS59140714A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59140714A true JPS59140714A (ja) | 1984-08-13 |
Family
ID=11881239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1516783A Pending JPS59140714A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59140714A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1037383A2 (en) * | 1999-03-18 | 2000-09-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration device and piezoelectric resonance component |
| WO2020040203A1 (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子用基板及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4946513A (ja) * | 1972-09-12 | 1974-05-04 | ||
| JPS51135486A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezo-electric ceramics oscillator |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1516783A patent/JPS59140714A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4946513A (ja) * | 1972-09-12 | 1974-05-04 | ||
| JPS51135486A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezo-electric ceramics oscillator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1037383A2 (en) * | 1999-03-18 | 2000-09-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric vibration device and piezoelectric resonance component |
| US6362561B1 (en) * | 1999-03-18 | 2002-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Piezoelectric vibration device and piezoelectric resonance component |
| WO2020040203A1 (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子用基板及びその製造方法 |
| JPWO2020040203A1 (ja) * | 2018-08-21 | 2021-09-02 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子用基板及びその製造方法 |
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