JPS59124046U - ZnSe研磨用治具 - Google Patents
ZnSe研磨用治具Info
- Publication number
- JPS59124046U JPS59124046U JP1982194991U JP19499182U JPS59124046U JP S59124046 U JPS59124046 U JP S59124046U JP 1982194991 U JP1982194991 U JP 1982194991U JP 19499182 U JP19499182 U JP 19499182U JP S59124046 U JPS59124046 U JP S59124046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing jig
- znse
- alloy
- jig
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は平面研磨機の一例を示す縦断面図である。第2
図は本考案研磨用治具の実施例を示す断面図である。第
3図はFe−Ni合金のNi含有量と熱膨張係数の関係
を示す図である。 1・・・揺動軸、2.2′・・・研磨試料、3・・・研
磨定盤、4.4′・・・研磨試料貼付基板、5・・・ボ
ール接触部。
図は本考案研磨用治具の実施例を示す断面図である。第
3図はFe−Ni合金のNi含有量と熱膨張係数の関係
を示す図である。 1・・・揺動軸、2.2′・・・研磨試料、3・・・研
磨定盤、4.4′・・・研磨試料貼付基板、5・・・ボ
ール接触部。
Claims (2)
- (1)平面研磨機にZn5e研磨試料を取付ける治具に
おいて、前UnSeと同一の熱膨張係数を有する合金よ
り成る研磨試料貼付基板を具備することを特徴とするZ
n5e研磨用治具。 - (2)合金がNi43%を含むFe合金である実用新案
登録請求の範囲第1項記載のZn5e研磨用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982194991U JPS59124046U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | ZnSe研磨用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1982194991U JPS59124046U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | ZnSe研磨用治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59124046U true JPS59124046U (ja) | 1984-08-21 |
JPS6131810Y2 JPS6131810Y2 (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=33429757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1982194991U Granted JPS59124046U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | ZnSe研磨用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59124046U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01153265A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-15 | Tdk Corp | ヘッドピース集合体の研磨方法 |
JP2001198796A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Toray Ind Inc | 研磨方法 |
-
1982
- 1982-02-10 JP JP1982194991U patent/JPS59124046U/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01153265A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-15 | Tdk Corp | ヘッドピース集合体の研磨方法 |
JP2001198796A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Toray Ind Inc | 研磨方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6131810Y2 (ja) | 1986-09-16 |
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