JPS59124046U - ZnSe研磨用治具 - Google Patents

ZnSe研磨用治具

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JPS59124046U
JPS59124046U JP1982194991U JP19499182U JPS59124046U JP S59124046 U JPS59124046 U JP S59124046U JP 1982194991 U JP1982194991 U JP 1982194991U JP 19499182 U JP19499182 U JP 19499182U JP S59124046 U JPS59124046 U JP S59124046U
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JP
Japan
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polishing jig
znse
alloy
jig
polishing
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JP1982194991U
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JPS6131810Y2 (ja
Inventor
文章 樋口
宏邦 難波
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工業技術院長
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は平面研磨機の一例を示す縦断面図である。第2
図は本考案研磨用治具の実施例を示す断面図である。第
3図はFe−Ni合金のNi含有量と熱膨張係数の関係
を示す図である。 1・・・揺動軸、2.2′・・・研磨試料、3・・・研
磨定盤、4.4′・・・研磨試料貼付基板、5・・・ボ
ール接触部。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)平面研磨機にZn5e研磨試料を取付ける治具に
    おいて、前UnSeと同一の熱膨張係数を有する合金よ
    り成る研磨試料貼付基板を具備することを特徴とするZ
    n5e研磨用治具。
  2. (2)合金がNi43%を含むFe合金である実用新案
    登録請求の範囲第1項記載のZn5e研磨用治具。
JP1982194991U 1982-02-10 1982-02-10 ZnSe研磨用治具 Granted JPS59124046U (ja)

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JP1982194991U JPS59124046U (ja) 1982-02-10 1982-02-10 ZnSe研磨用治具

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Publication Number Publication Date
JPS59124046U true JPS59124046U (ja) 1984-08-21
JPS6131810Y2 JPS6131810Y2 (ja) 1986-09-16

Family

ID=33429757

Family Applications (1)

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JP (1) JPS59124046U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01153265A (ja) * 1987-12-04 1989-06-15 Tdk Corp ヘッドピース集合体の研磨方法
JP2001198796A (ja) * 2000-01-20 2001-07-24 Toray Ind Inc 研磨方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01153265A (ja) * 1987-12-04 1989-06-15 Tdk Corp ヘッドピース集合体の研磨方法
JP2001198796A (ja) * 2000-01-20 2001-07-24 Toray Ind Inc 研磨方法

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JPS6131810Y2 (ja) 1986-09-16

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