JPS59115652U - ウエハ−プロ−バ− - Google Patents
ウエハ−プロ−バ−Info
- Publication number
- JPS59115652U JPS59115652U JP807283U JP807283U JPS59115652U JP S59115652 U JPS59115652 U JP S59115652U JP 807283 U JP807283 U JP 807283U JP 807283 U JP807283 U JP 807283U JP S59115652 U JPS59115652 U JP S59115652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer prober
- chip
- wafer
- recorded
- marking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Combination Of More Than One Step In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロック構成図である
。 １・・・光学顕微鏡、２・・・プローバー、３・・・コ
ントロールボックス、４・・・テスター、５・・・レー
ザーマーカー、６・・・ウェハーチャック、７・・・ウ
ェハー、８・・・プローブ。
。 １・・・光学顕微鏡、２・・・プローバー、３・・・コ
ントロールボックス、４・・・テスター、５・・・レー
ザーマーカー、６・・・ウェハーチャック、７・・・ウ
ェハー、８・・・プローブ。
Claims (1)
- チップの試験結果に基づく印をチップにつけるためのレ
ーザーマーカーを具備することを特徴とするウェハープ
ローバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP807283U JPS59115652U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | ウエハ−プロ−バ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP807283U JPS59115652U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | ウエハ−プロ−バ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59115652U true JPS59115652U (ja) | 1984-08-04 |
Family
ID=30139579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP807283U Pending JPS59115652U (ja) | 1983-01-24 | 1983-01-24 | ウエハ−プロ−バ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59115652U (ja) |
-
1983
- 1983-01-24 JP JP807283U patent/JPS59115652U/ja active Pending
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