JPS5911524A - Manufacture of magnetic head - Google Patents
Manufacture of magnetic headInfo
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- JPS5911524A JPS5911524A JP11917982A JP11917982A JPS5911524A JP S5911524 A JPS5911524 A JP S5911524A JP 11917982 A JP11917982 A JP 11917982A JP 11917982 A JP11917982 A JP 11917982A JP S5911524 A JPS5911524 A JP S5911524A
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/147—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with cores being composed of metal sheets, i.e. laminated cores with cores composed of isolated magnetic layers, e.g. sheets
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、磁気ヘッドの製造方法に係り、更に詳しくは
、磁気的最適特性を変化させることなく、優れた耐魔耗
性を有する磁気ヘッドを簡便に得ることが可能な磁気ヘ
ッドの製造方法に関する。[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head, and more particularly, to a method of manufacturing a magnetic head, and more particularly, to a method of manufacturing a magnetic head that has excellent wear resistance without changing the optimum magnetic characteristics. The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head that can be easily obtained.
磁気ヘッドは、例えば、オーディオやVTR(ビデオテ
ープレコーダ)等の磁気記録媒体装置の主要部を構成す
るものであり、チップ、ヨーク及びコイルをその主要構
成材としている。第1図は、このような磁気ヘッドの主
要部を示す概、企図である。図において、磁気ヘッドは
、チップ1a及び1bが空隙部(ギャップ)2をはさん
で配設され、ヨーク3及びコイル4を具備して成るもの
である。A magnetic head constitutes the main part of a magnetic recording medium device such as an audio device or a VTR (video tape recorder), and its main components are a chip, a yoke, and a coil. FIG. 1 is a schematic diagram showing the main parts of such a magnetic head. In the figure, the magnetic head is comprised of chips 1a and 1b disposed with a gap 2 in between, and a yoke 3 and a coil 4.
これらの中で、磁気記録媒体との摺動部を構成するチッ
プは最も重要なものの一つである。このチップを製造す
るための磁性材料には、磁気的性質として、(1)高透
磁率を有すること、(2)磁企及小さいこと並びに(3
)結晶異方性が小さいこと等が要求される。それと同時
に、機械的性質として、(1)優れた耐摩耗性を有する
こと及び(2)加工性が良好であること等が要求される
。Among these, the chip that constitutes the sliding part with the magnetic recording medium is one of the most important. The magnetic material used to manufacture this chip has the following magnetic properties: (1) high magnetic permeability, (2) small magnetic flux, and (3)
) Low crystal anisotropy is required. At the same time, mechanical properties such as (1) excellent wear resistance and (2) good workability are required.
しかしながら、現実には、上記した特性の全てを満足す
る材料を得ること番ゴ、製造上の問題をも含めて困難で
あり、従って、使用目的に応じて、いずれかの特性を犠
牲にして製造されているのが実情である。However, in reality, it is difficult to obtain a material that satisfies all of the above characteristics, including manufacturing problems, and therefore, depending on the purpose of use, it is difficult to obtain a material that satisfies all of the above characteristics. The reality is that this is the case.
例えば、磁気ヘッド用材料として一般に使用されている
i+”6−5%kl −10%Siから成るセンダスト
合金は、優れた磁気的特性及び耐摩耗性を有しているも
のの、その加工が困鈴であるという問題点を有してする
。又、センダスト合金は、一般に、鋳造によって製造さ
t′1ているが、その製造時に結晶粒が粗大化するIL
Ll向か大きく、そのために、加工中に鋳造物の一部が
欠落する、所謂、°゛カケ°′現象が生じ易いという問
題点を有している。史に、結晶粒が大きいことと関連し
て、磁気ヘッドとして使用している間に、結晶粒の結晶
方位の違いにより摺動部の顯耗鼠にバラツギが生じて摺
動面が粗面化したり、チップのギャップ部においてチッ
ピングが生ずる等の問題点を有している。第2図は、鋳
造により製造したセンダスト合金の多紬晶体を、約5分
間パフ研摩したものの研賊表面部分の断面図である。図
から明らかなように、それぞれの結晶粒(A−M)は約
0.2〜IIIIIIの大きさを有し、研摩表面は約0
.3μm程度の凹凸を有していることがわかる。これは
、結晶粒が粗大化し2、これら結晶粒の結晶方位の違い
により摩耗足に差違が生じていることを示している。For example, Sendust alloy consisting of i+"6-5%kl-10%Si, which is commonly used as a material for magnetic heads, has excellent magnetic properties and wear resistance, but it is difficult to process. Sendust alloys are generally produced by casting, but during production, the grains become coarse.
It is large in the direction of Ll, and therefore has the problem that a so-called "chip" phenomenon is likely to occur, in which a part of the casting is missing during processing. Historically, due to large crystal grains, when used as a magnetic head, differences in the crystal orientation of the crystal grains caused variations in the wear of the sliding parts, causing the sliding surface to become rough. In addition, there are problems such as chipping occurring at the gap portion of the chip. FIG. 2 is a cross-sectional view of the polished surface of a polycrystalline body of Sendust alloy produced by casting, which was puff polished for about 5 minutes. As is clear from the figure, each grain (A-M) has a size of about 0.2 to III, and the polished surface is about 0.
.. It can be seen that it has irregularities of about 3 μm. This indicates that the crystal grains have become coarse 2 and that differences in the wear feet are caused by differences in the crystal orientation of these crystal grains.
又、40〜85%Ni及び残部が1=’eから成るパー
マロイ合金を使用することが8えられるが、この材料は
、磁気的特性か優れているものの、耐摩耗性が不良であ
り、実用に供することは困難である0
更に、非晶質合金を使用する磁気ヘッドがあるが、箔状
の積層構造を有する磁気ヘッドを製造する場合には、そ
の工程が繁雑になる上、優れた耐摩耗性が要求されるV
TR川磁用ヘッド等に使用する場合には、耐摩耗性が劣
るという問題点を有している。It is also possible to use a permalloy alloy consisting of 40-85% Ni and the balance 1 = 'e, but although this material has excellent magnetic properties, it has poor wear resistance and is not practical. Furthermore, there are magnetic heads that use amorphous alloys, but manufacturing a magnetic head with a foil-like laminated structure requires complicated processes and requires excellent durability. V that requires abrasion resistance
When used in a TR river magnetic head, etc., it has a problem of poor wear resistance.
上記した材料は、通常、鋳造成いは溶湯急冷法等により
製造、加工されているが、一方において、溶射法により
面接チップを形成する方法か行なわれている。溶射法は
、膜厚形成速度か着しく速く、且つ、均一な組成のチッ
プか形成できるという利点を治している。しかしながら
、空気中−Cの処理であるために、浴射祠料が酸化さノ
]たり、或いVまチップ中に小孔(ボア)な生する等の
問題点を有している。そのため、アルミニウム等を比較
的多く含有する軟質磁性材料を使用すること191、ア
ルミニウム等が酸化され枯いために極めて困ケ1(であ
る。しかも、軟質磁性材料においては、磁気的特性や耐
摩耗性の最適な値を与える組成か、上記アルミニウム等
を比較的多く含有する範囲にあるために、このような組
成の軟質磁性材料を使用した磁気ヘッドを得ることが望
まれている。The above-mentioned materials are usually produced and processed by casting, molten metal quenching, etc., but on the other hand, a method of forming faceted chips by thermal spraying is also used. The thermal spraying method has the advantage of being able to form a film at a fairly high speed and forming chips with a uniform composition. However, since the treatment is carried out using -C in air, there are problems such as the oxidation of the abrasive material or the formation of small holes (bores) in the V-chip. Therefore, it is extremely difficult to use soft magnetic materials that contain a relatively large amount of aluminum, etc.191, as the aluminum etc. oxidizes and dries up. It is desired to obtain a magnetic head using a soft magnetic material having such a composition because it has a composition that provides an optimum value of or contains a relatively large amount of the above-mentioned aluminum and the like.
本発明の目的は、上記しに問題点を石消し、磁気的最適
特性を変化させることなく、優れに耐摩耗性を有する磁
気ヘッドを簡便に得ることが11」能な磁気ヘッドの製
造方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a magnetic head that eliminates the above-mentioned problems and easily obtains a magnetic head with excellent wear resistance without changing the optimum magnetic characteristics. It is about providing.
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁気ヘッドを構成す
るチップの少なくとも記録媒体との摺動面を含む部分を
、低圧プラズマ溶射コーティング法により、軟質磁性材
料を塗布して形成することを特徴とするものである。The method for manufacturing a magnetic head of the present invention is characterized in that at least a portion of a chip constituting the magnetic head, including a sliding surface with a recording medium, is coated with a soft magnetic material by a low-pressure plasma spray coating method. It is something to do.
以下において、本発明を更に詳しく説明する。In the following, the invention will be explained in more detail.
本発明の磁気ヘッドOPA造方法は、磁気ヘッドを構成
するチップを、低圧プラズマ溶射コーティング法により
、例えば、次のようにして製造するものである。In the magnetic head OPA manufacturing method of the present invention, a chip constituting the magnetic head is manufactured by a low-pressure plasma spray coating method, for example, as follows.
即ち、磁気ヘッドを構成するチップの所定の形状を有す
る金型を用意し、この金型に必要に応じてマスキング板
等を取り付ける。そして、この金型な低圧中に置き、軟
質磁性材料を、アルゴン(Ar)7′ラズマ炎等により
プラズマ溶射し、頼り也ねることにより積層せしめ、チ
ップを8A造する。That is, a mold having a predetermined shape of a chip constituting the magnetic head is prepared, and a masking plate or the like is attached to this mold as necessary. Then, the mold is placed in a low pressure environment, and a soft magnetic material is plasma sprayed using an argon (Ar) 7' plasma flame or the like, and the mold is laminated to form a chip of 8A.
チップの製造は、チップ全体を低圧ゾラスマ溶射法によ
って製造してもよく、又、一部を他の磁性材料を用いて
形成しておき、摺動向を含む部分のみを低圧プラズマ溶
射法により製造してもよい。The entire chip may be manufactured by low-pressure Zoramasma spraying, or a part may be formed using another magnetic material and only the part including the sliding movement may be manufactured by low-pressure plasma spraying. It's okay.
更に、磁気ヘッドを構成するヨークに、軟質磁性材料を
低圧プラズマ溶射法により、a型を用いて直接付着せし
め製造してもよい。Furthermore, a soft magnetic material may be directly attached to the yoke constituting the magnetic head using a type A method by low-pressure plasma spraying.
尚、金型として、ギャツf構成材と共に磁気ヘッド部位
そのものの形状を有するものを使用することは、後加工
工程が短縮され、ニアネットシエイプ(Near Ne
t 5hape ) 形成性が得られることから好ま
しい。又、個々のチップ素形材を作成県た後、これらを
組み合わせて機械加ユニし、磁気ヘッドを製造すること
も可能である。In addition, using a mold that has the shape of the magnetic head part itself together with the Gatsu f component material shortens the post-processing process and reduces near net shape.
t 5 hape ) is preferable because it provides good formability. It is also possible to manufacture a magnetic head by manufacturing individual chip materials and then machining them together.
上記により製造したチツ7″は、次いで、必要に応じて
、トランスアークで約800℃の温度において焼鈍しを
行なった後、所定の形状に精密研屋する。そして、金型
から外し、磁気記録媒体との摺動向を形成する部分を研
摩した後、ヨーク、コイル等と共に所定の操作を施すこ
とにより、磁気ヘッドを借ることができる。The chips 7'' manufactured in the above manner are then annealed at a temperature of about 800°C in a transformer arc, if necessary, and then precision-polished into a predetermined shape.Then, they are removed from the mold and magnetically recorded. After polishing the portion that forms the sliding movement with the medium, the magnetic head can be used by performing predetermined operations together with the yoke, coil, etc.
本発明において、チツf製造時の低圧プラズマ溶射コー
ティングの条件は、磁性材料を塗布することができる条
件であれば特に限定されない。In the present invention, the conditions for low-pressure plasma spray coating at the time of manufacturing the chip are not particularly limited as long as the conditions allow the application of the magnetic material.
本発明において使用される軟質磁性材料は、磁気的特性
および耐摩耗性が良好なものであ2’tぽいかなるもの
でも使用可能である。このような軟質磁性材料としては
、飼えば、アルミニウム(Al)3〜12重蓋%、ケイ
素(Si)4〜12爪hi%及び残部が鉄(Fe)から
成る合金、或いはニツウル(Ni) 40〜85車j
d%、モリブデン (Mo)0〜6重鼠%、ニオブ(N
b)0〜7重M%及び残部がクロム(Cr)から成る合
金等が挙げられる。As the soft magnetic material used in the present invention, any material having good magnetic properties and wear resistance can be used. Such soft magnetic materials include an alloy consisting of 3 to 12% aluminum (Al), 4 to 12% silicon (Si), and the balance iron (Fe), or Ni 40%. ~85 car j
d%, molybdenum (Mo) 0-6%, niobium (N
b) An alloy containing 0 to 7% by weight and the balance consisting of chromium (Cr), etc. can be mentioned.
実施例1
軟質磁性材料として、それぞれ325メツシユ(45μ
m)の平均粒径な有する、ケイ素9.7M<旭%、アル
ミニウム761也鼠%及び残部が鉄から成る混合粉末を
用意した。Example 1 As a soft magnetic material, 325 meshes (45μ
A mixed powder having an average particle size of 9.7M<Asahi% silicon, 761% aluminum, and the balance iron was prepared.
一方、第3図に示すような形状の磁気ヘッドのチツン″
部分を彫り込んだ金型5を用意し、キ・ヤッノ構成材と
して厚さ0.7μ01−のアルミナ化切板6゜7をそれ
ぞれ挿入した。この金型のp、−A′断面を第4図に示
した。On the other hand, the tip of a magnetic head shaped as shown in Fig.
A mold 5 with carved parts was prepared, and an alumina cut plate 6°7 with a thickness of 0.7μ01 was inserted as a component material. A p, -A' cross section of this mold is shown in FIG.
上記金型のガイド8にマスキング板9を値;合した後、
50 torr の低用量において、上記軟質磁性材
料粉末を、Arプラズマ炎により、電流900A及び8
0KVAの出力条件でグラズマ溶射を施してチッf1.
Oを形成した。B −B’断面を第5図に示した。After fitting the masking plate 9 to the guide 8 of the mold,
At a low dose of 50 torr, the soft magnetic material powder was subjected to an Ar plasma flame with a current of 900 A and 8
Glazma spraying was applied under the output condition of 0KVA and the chip f1.
O was formed. A cross section taken along line B-B' is shown in FIG.
尚、別途実験を行なったところによると、上記のプラズ
マ溶射条件において、/ラズマ治射1・!ス当り、約3
0μrn の膜厚で軟質磁性材料層が形成されること
が確認された。又、プラズマ炎の長さは50c1rL程
度に達し、被塗物への街突速1夏がマツハ2に近いもの
となり、軟質磁性材料粉末の俗解も完全であるため均一
な組成で高密度のチップが形成されることが確1+F(
された。According to a separate experiment, under the above plasma spraying conditions, /lasma spraying 1.! Hit, about 3
It was confirmed that a soft magnetic material layer was formed with a film thickness of 0 μrn. In addition, the length of the plasma flame reaches approximately 50c1rL, and the speed at which it hits the object to be coated is close to that of Matsuha 2, and the general understanding of soft magnetic material powder is perfect, so it is possible to achieve high-density chips with a uniform composition. It is certain that 1+F(
It was done.
次いで、トランスアークにより、釣800 ℃の温度で
5分間焼鈍しを行なった後、炉外に取り出してマスキン
グ板を取り外した。そして、金型5の上面5′と水平に
なるようにチッ7”10の表面を精密研摩し、それぞれ
のチップ10a及び10bを金型から取り外した。これ
らのチップについて、マスキング板との接触面を平面研
摩仕上げし、更に、マスキング板6を挿入して設けた空
隙部をキ・ヤツゾ部分として研削した後、このギャップ
部分にガラスを封止して、コイル、ヨーク等と共に磁気
ヘッドを構成した。最後に、磁気記録媒体との摺動向を
研摩してVTR用磁気ヘッドを得た。Next, the material was annealed using a trans-arc at a temperature of 800.degree. C. for 5 minutes, and then taken out of the furnace and the masking plate was removed. Then, the surfaces of the chips 7'' and 10 were precisely polished so that they were parallel to the upper surface 5' of the mold 5, and the respective chips 10a and 10b were removed from the mold. After that, the masking plate 6 was inserted and the gap formed was ground as a key part, and this gap was sealed with glass to form a magnetic head together with the coil, yoke, etc. Finally, a magnetic head for a VTR was obtained by polishing the sliding movement with the magnetic recording medium.
上記方法により製造された磁気ヘッドのチップの摺動面
は、その結晶粒が釣0.05μm程度であり、又、チッ
プの密度が100%であるために、優れた磁気回路特性
を有するものであることが確認された。The sliding surface of the chip of the magnetic head manufactured by the above method has excellent magnetic circuit characteristics because its crystal grains are approximately 0.05 μm in size and the density of the chip is 100%. It was confirmed that there is.
又、その耐摩耗性を、従来のセンダスト合金から成る磁
気ヘッドき共KVTRK実装し比較したところ、その摩
耗−は従来品と比較して、本発明品は約半分の載置であ
り、寿命で2倍以上向上していることが峰紹された。In addition, when comparing its wear resistance with a conventional magnetic head made of Sendust alloy mounted on a KVTRK, it was found that compared to the conventional product, the wear resistance of the product of the present invention was about half that of the conventional product. It was reported that the improvement was more than double.
実施例2
第6図に示した形状の金型を使用して、実施例1と同一
組成の軟質磁性材料を同様の条件で低圧プラズマ溶射処
理を施し、ニアネットシェイグ・グロセスで磁気ヘッド
を形成した。Example 2 Using a mold with the shape shown in Figure 6, a soft magnetic material with the same composition as in Example 1 was subjected to low-pressure plasma spraying under the same conditions, and a magnetic head was formed with near net Scheig growth. Formed.
尚、第6図において、第3図と同じものには同一の番号
を(qしてある。又、第7図は第6図のCC/断面を、
第8図は同じくプラズマ溶射処理後のD −1)’断面
をそれぞれ示すものである。In Fig. 6, the same parts as in Fig. 3 are given the same numbers (q). Also, Fig. 7 shows the CC/cross section of Fig.
FIG. 8 similarly shows the D-1)' cross section after plasma spraying treatment.
第6図において、磁気回路を形成するチップ部分を彫り
込んだ金型に、ギャッ′/″構成材として厚さ0.7μ
m のサファイア板11か挿入さ7′1ている。In Figure 6, a gap of 0.7 μm in thickness is added to the mold in which the chip portion forming the magnetic circuit is carved.
The sapphire plate 11 of m is inserted 7'1.
この金型な用いて実施例1と同様のフ0ラズマ溶側条件
で溶射をm L、た後、同様の操作でVTR用磁気ヘッ
ドを得た。Using this mold, mL of thermal spraying was carried out under the same plasma melt side conditions as in Example 1, and then a magnetic head for a VTR was obtained in the same manner.
この磁気ヘッドについて、実施例1と同様に[7て結晶
粒、落度、磁気回路特性並びに耐胎耗性を調べたところ
、実施例1とはl!j同等の結果か得られた。Regarding this magnetic head, the crystal grains, drop, magnetic circuit characteristics, and wear resistance were examined in the same manner as in Example 1. jEquivalent results were obtained.
実施例3
実施例1において、軟質磁性材料として、平均粒径32
5メツシユ(45μm)を有する、ニッケル81 重量
%、モリブデン5.5mm%及び残部が鉄から成る混合
粉末を用いた他はすべて同様の操作にて、低圧プラズマ
溶射コーティング法によりチップを形成し、磁気ヘッド
を製造した。Example 3 In Example 1, the soft magnetic material had an average particle size of 32
A chip was formed by a low-pressure plasma spray coating method using the same procedure except that a mixed powder of 81% by weight of nickel, 5.5mm% of molybdenum, and the balance iron having a mesh size of 5.5 mm (45 μm) was used. Manufactured the head.
上記方法により製造された磁気ヘッドのチップ摺動面は
、その結晶粒が0.03μm以下であり、又、チップの
密度が100%であるために、優れた磁気回路特性を有
するものであることが確認された。The chip sliding surface of the magnetic head manufactured by the above method has crystal grains of 0.03 μm or less, and the chip density is 100%, so it has excellent magnetic circuit characteristics. was confirmed.
又、その耐摩耗性を、従来のセンダスト合金から成る磁
気ヘッドと共に、実施例1と同様の方法で比較したとこ
ろ、その賭耗坦は従来品に対し、本発明品は約半分の載
置であり、本発明品が優れていることが確認された。In addition, when its wear resistance was compared with a conventional magnetic head made of Sendust alloy using the same method as in Example 1, the wear resistance of the present invention product was about half that of the conventional product. It was confirmed that the product of the present invention is superior.
変形例
実施例と同様の方法で、磁気ヘッドを構成するそれぞれ
の歯形材を作製した後、機械的に集積して製造した磁気
ヘッドも同等の性能を有することが確認された。It was confirmed that a magnetic head manufactured by mechanically integrating the tooth profiles constituting the magnetic head after manufacturing them in the same manner as in the modified example had equivalent performance.
又、チップ暴利としてパーマロイ糸合金を使用し、これ
に低圧プラズマ溶射法を用いて、磁気記録Qili体と
の摺動面を含む部分を軟質磁性材料で形成した場合にも
良好な性能を有する磁気ヘッドを得ることが可能である
。In addition, when a permalloy thread alloy is used as a chip profiteer, and a low-pressure plasma spraying method is applied to the permalloy thread alloy, the part including the sliding surface with the magnetic recording Qili body is formed of a soft magnetic material. It is possible to get a head.
本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、従来その製造
に使用することが困候であった軟質磁性材料を用いて、
簡便に、往つ、大鼠の磁気ヘッドを製造することが可能
なものである。しかも、その軟質磁性材料の組成は、ア
ルミニウムを比較的高濃度で含有する磁気的最適特性の
ものを使用することかi+]能である。更に、グラス゛
マ溶射コーティング中に破塗物の極性を逆の極性にする
ことにより、破溶射面(チップ表面)を清浄化すること
がiJ能な上、溶射終了後、6it tt材料を供給せ
ずに溶射を施すことにより、炉側1をl!l!続的に施
工することが可能であるという利点をもイi t−てい
る。According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a soft magnetic material, which has conventionally been difficult to use in manufacturing, is used.
It is possible to easily manufacture a large mouse magnetic head. Furthermore, it is possible to use a composition of the soft magnetic material that contains aluminum at a relatively high concentration and has optimal magnetic properties. Furthermore, by changing the polarity of the abrasive material to the opposite polarity during glass spray coating, it is possible to clean the abrasive spray surface (chip surface), and there is no need to supply 6it tt material after thermal spraying. By applying thermal spraying to the furnace side 1, l! l! It also has the advantage of being able to be constructed continuously.
本発明の製造方法により旬られる磁気ヘッドは、寸法精
度か良好なものであり、磁気的最適特性が劣ることなく
優れた耐摩耗性を有1゛るものである。The magnetic head manufactured by the manufacturing method of the present invention has good dimensional accuracy, excellent magnetic properties, and excellent wear resistance.
又、結晶粒が均一で微細なものであるために、磁気記録
媒体との摺動面において摩耗ttjの相違による粗面化
が起こらず、チッピングや”力う°゛等の現象が生ずる
ことのないものである。In addition, since the crystal grains are uniform and fine, the sliding surface with the magnetic recording medium does not become rough due to differences in wear ttj, which prevents phenomena such as chipping and "force warping" from occurring. It's something that doesn't exist.
第1図&−1磁気ヘッドの概念図、第2図を4センダス
ト合金のパフ研摩後の表面の[lji曲図、第31ツロ
:を実施例1における金型の概念図、第4図は第3図の
A −A’断面図、第5図は低圧)°ラスマ溶射後の第
3図のB −B’…1面図、第6図は実huL例2に4
5ける金型の概念図、第7図は粕6図のc −c’断面
図及び第8図は低圧、7″ラズマ溶射接の第6図の1)
−1)′断面図である。
1 a、 1 b、 1 o−・−チップ、2−・
A−ヤッ/、3・・・ヨーク、4・・・コイル、5・・
・薇捜、5′・・・金型上11’ll、6.7・・・ア
ルミナ化切板、8・・・〃イド、9・・・マス4ング板
、11・・・サファイア板。Figure 1 &-1 is a conceptual diagram of the magnetic head, Figure 2 is a conceptual diagram of the mold in Example 1, and Figure 2 is a conceptual diagram of the surface of the Sendust alloy after puff polishing. Figure 3 A-A' sectional view, Figure 5 is low pressure) Figure 3 B-B'...1 side view after lasma spraying, Figure 6 is actual huL example 2.
Fig. 5 is a conceptual diagram of the mold, Fig. 7 is a c-c' cross-sectional view of Kasu Fig. 6, and Fig. 8 is a low-pressure, 7'' plasma welding part 1) of Fig. 6.
-1)' sectional view. 1 a, 1 b, 1 o-・-chip, 2-・
A-Y/, 3... Yoke, 4... Coil, 5...
- Rose, 5'...Mold top 11'll, 6.7...Aluminized cutting plate, 8...Id, 9...Mass 4 ring plate, 11...Sapphire plate.
Claims (3)
体との摺動面を含む部分を、低圧プラズマ溶射コーティ
ング法により、軟質磁性材料を塗布して形成することを
特徴とする磁気ヘッドの製造方法。(1) A method for manufacturing a magnetic head, which comprises forming at least a portion of a chip constituting the magnetic head, including a sliding surface with a recording medium, by applying a soft magnetic material using a low-pressure plasma spray coating method.
%、ケイ素(St)4〜12重加%及び残部が鉄(Fe
)から成るものである特許請求の範囲第1項記載の磁
気ヘッドの製造方法。(2) The soft magnetic material consists of 3 to 12% aluminum (i), 4 to 12% silicon (St), and the balance iron (Fe).
) A method for manufacturing a magnetic head according to claim 1.
5重世%、モリグデ゛ン(Mo)0〜6重M%、二Aグ
(Nb)0〜7重坦%及び残部がクロム(Cr)から成
るものである特i+!l−請求の範囲第1項記載の磁気
ヘッドの製造方法。(3) Soft magnetic material strength/Nickel (Ni) 4o~8
The special i+! is composed of 5% Mo, 0 to 6% Mo, 0 to 7% Nb, and the balance chromium (Cr)! 1- A method of manufacturing a magnetic head according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11917982A JPS5911524A (en) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | Manufacture of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11917982A JPS5911524A (en) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | Manufacture of magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5911524A true JPS5911524A (en) | 1984-01-21 |
Family
ID=14754860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11917982A Pending JPS5911524A (en) | 1982-07-10 | 1982-07-10 | Manufacture of magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5911524A (en) |
-
1982
- 1982-07-10 JP JP11917982A patent/JPS5911524A/en active Pending
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