JPS59107544A

JPS59107544A - Ｉｃソケツト

Info

Publication number: JPS59107544A
Application number: JP21684482A
Authority: JP
Inventors: Mutsuyo Kanetani; 金谷　睦世
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1982-12-13
Filing date: 1982-12-13
Publication date: 1984-06-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はソケットに関し、特に、半導体装置の選別検査
において半導体装置の自動測定のために用いるソケット
に関する。

従来、半導体装置、たとえば第１図に示すようなフラン
トバソケージよりなる半導体装置を選別検査する場合、
半導体装置を測定位置に固定して測定を行うために第２
図に示すようなＩＣソケソ、トが使用されている。この
ソケットは被測定半導体装置のリード端子の配列に合せ
て配列された多数の測定端子３を持つ測定部２を中央に
設けたソケット本体ｌと、このソケ・７ト本体ｌの一側
縁で回動軸４を介して該ソケット本体】に連結され、該
回動軸４を中心に回動して開閉され、該ソケット本体１
との間に被測定半導体装置を挟み付けて測定端子３との
電気的接触を確保する上蓋５とからなる。

ところが、この従来技術では、上蓋５の開閉が手動で行
われるので、操作が面倒であるトに、被測定半導体装置
のリード端子と測定端子との接触が確実に行われず、ま
た選別検査処理の一貫自動化を図るための自動選別機に
使用することができないという問題があった。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、自動
選別機に使用でき、半導体装置の自動測定を行うことが
でき、またリード端子と測定端子とを自動的に確実に接
触させるこ−ができるＩＣソケットを提供することにあ
る。

以下、本発明を図面に示す一実施例にしたがって詳細に
説明する。

第３図は本発明によるＩＣソケットの一実施例を示す斜
視図である。

この実施例において、ＩＣソケットのソケット本体１１
の中央部には、被測定半導体装置の外部リードピンと接
触する測定端子１３を持つ測定部１２が形成されており
、被測定半導体装置はこの測定部１２の孔内にパッケー
ジが嵌まり込み、外部リート−ピンが測定端子１３と接
触するよう位置決めされる。

ソケット本体１１の一側縁には、回動軸１４によって上
蓋１５が取り付けられている。この上蓋１５は回動軸１
４を中心としてソケット本体１１に対して回動し、閉鎖
時には、ソケット本体１１の測定部１２の測定端子１３
と被測定半導体装置の外部リードピンとの接触を確保す
るよう被測定半導体装置をソケット本体１１との間に挟
んで押圧力を加える。そのため、上蓋１５の中央部には
、ソケ・スト本体１１の測定部１２と適合した位置にお
いて被測定半導体装置のパッケージを受は入れる略正方
形の孔１６と、この孔１６の四辺における上蓋１５の内
側面には、外部リードピンを測定端子１３に押圧する押
え突起１７が設りられている。

前記回動軸１４の自動的な回動を行うため、回動軸１４
の一端にはピニオン１８が固定され、また前記上蓋１５
の一側面には、一端を回動軸に固定された回動アーム１
９が固定されている。このピニオン１８はその歯とかみ
合う歯を持つラックバ−２０と係合し、該う・２クバー
２０はシリンダ２１により上下方向に往復運動すること
ができる。

したがって、シリンダ２１によりラックバ−２０がたと
えば下降方向に運動すると、ピニオン１８は第３図で見
て反時計方向に回動し、上蓋１５が回動アーム１９と共
にソケット本体１１に対して閉鎖方向に動作する。上蓋
１５を開く場合には、ラックバ−２０を上昇方向に動作
さ・口、ピニオン１８を時計方向に回動させればよい。

さらに、本実施例では、上蓋１５を閉した時にその閉鎖
状態を保つための上蓋ロック機構２２がソケット本体１
１の一例部に設けられている。この上蓋ロック機構２２
はフック方式よりなり、ソケット本体１１の一側面に回
動ピン２４を中心に回動自在に取り付けられた略Ｓ字形
のフック２３を有している。このフック′１３の上端は
閉鎖時の上蓋１５の一側縁と自動的に係合して固定する
クランプ爪２５として上蓋１５の方向に突出している。

また、フック２３の下端は、シリンダ２６でレバー２７
を矢印方向に動作させた時に該レバー２７でソケット本
体１１の方向に押され、それによって、フック２３は回
動ビン２４の回りで第３図の反時計方向に回動し、フッ
ク２３を上蓋１５から外し、上蓋クランプ力を解除する
よう構成されている。

次に、本実施例の作用について説明する。

まず、上蓋１５を開いた状態で被測定半導体装置をたと
えば自動挿入機でソケット本体１１°の測定部１２に自
動挿入し、そのパッケージが測定部１２１７）孔内に収
容されかつ外部リードピンが測定端子１３と接触する状
態とする。

その後、シリンダ２１を作動させて、ラックバ−２０を
下降方向に動作させると、ピニオン１Ｂが反時計方向に
回動する。このピニオン１８の回動と共に回動軸Ｉ４も
同一方向に回動し、該回動軸１４と同調して回動アーム
１９も反時計方向に回動し、上蓋Ｉ５は回動アーム１９
と一緒にソケット本体１１に対して閉鎖方向に回動する
。

その結果、上蓋１５ばソケ・２ト本体１１との間に被測
定半導体装置を挟み付け、そのパッケージを上Ｍ１５の
孔Ｉ６の中に受は入れると共に、外部リードピンを押え
突起１７で測定端子１３に対して押圧し、外部リードピ
ンと測定端子Ｉ３との接触を確実にする。また、上蓋１
５の閉鎖により、上蓋ロック機構２２は上蓋１５とソケ
ット本体１１をその閉鎖状態に固定し、外部リードピン
と測足端子１３との接触を確実に維持しながら被測定半
導体装置の測定を行うことができる。

このように、本実施例によれば、ソケットの上Ｍｌ　５
をシリンダ２１、ランクパー２０、ピニオン１８、回転
軸１４、回動アーム１９よりなる上蓋開閉機構によって
自動的に開閉できるので、自動選別機やエージング装置
等に使用して測定の一貫自動化を実現することができ、
作業能率が向上し、また外部リードピンとＩＣソケット
の測定端子１３との接触を確保でき、正確な測定が可能
である。

なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上蓋開閉機構を前記実施例とは違って、回動ア
ーム１９がピニオン１８に直接連動する構造等にするこ
とができ、シリンダ２１．２６もエアシリンダの他に、
油圧シリンダ、モータ等を用いること等も可能である。

また、シリンダ２Ｉをラックバ−２０の上方に設置して
上方から駆動力を与えることもできる。

Ｊた、ソケット本体１１と上蓋１５をいずれもプラスチ
ック材料の成型品で形成すれば、それぞれの回転軸１４
に対するかみ合い誤差も最小限にすることができ、コン
パクトな一体構造が得られる。。

本発明はフラット形半導体装置の他、シングルインライ
ン（Ｓ　Ｉ　Ｌ）形、リードレスチップキャリア（ＬＣ
Ｃ）形等の半導体装置に広（適用できる。

以上説明したように、本発明によれば、ＩＣソケットの
上蓋の開閉を自動的に行うことができ、自動選別機やエ
ージング装置等に使用できることにより、−貫自動化に
よる作業能率の向上が可能となる他、被測定半導体装置
の外部端子とＩＣソケットの測定端子との接触が確実と
なり、正確な測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はフラットパッケージを有する半導体装置の一例
の斜視図、第２図は従来のＩＣソケットの斜視図、第３図は本発明
によるＩＣソケットの一実施例を示す斜視図である。１１・・・ソケット本体、１２・・・測定部、１３・・
・測定端子、１４・・・回動軸、１５・・・上蓋、１８
・・・ピニオン、１９・・・回動アーム、２０・・・ラ
ックバ−１２１・・・シリンダ、２２・・・上蓋口、り
機構。

Claims

【特許請求の範囲】１、半導体装置の測定を行うために用いるＩＣソケット
において、半導体装置の測定部を有するソケット本体と
、このソケット本体に対して回動軸を中心にして回動し
、ソケット本体との間に半導体装置を挟み込む開閉可能
な上蓋と、この上蓋を前記ソケット本体に対して係止す
るロック機構と、前記上蓋を自動的に開閉する上蓋開閉
機構とを備えてなることを特徴とするＩＣソケット。２、前記上蓋開閉機構は、前記回動軸の端部に設けたピ
ニオンと係合して上下方向に往復動作するランクバーと
、該ラックバ−を駆動する駆動手段とを有することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のＩＣソケット。