JPS5896206A - 表面荒さの評価装置 - Google Patents
表面荒さの評価装置Info
- Publication number
- JPS5896206A JPS5896206A JP19445581A JP19445581A JPS5896206A JP S5896206 A JPS5896206 A JP S5896206A JP 19445581 A JP19445581 A JP 19445581A JP 19445581 A JP19445581 A JP 19445581A JP S5896206 A JPS5896206 A JP S5896206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface roughness
- reflected light
- sample
- light
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面荒さの定量的な評価を行なうことができる
装置に関する。
装置に関する。
表面荒さを評価する装置として、従来、反射率測定装置
がある。これを第１図に従って説明すると、１は白色光
或いはレーザー光等の光源、２はスリット、３はステー
ジ、４はサンプル、５は光検出器および表示装置であり
、このように構成された反射率測定装置によると、光源
１からの光をスリット２を通してサンプル４に入射角θ
で照射し、サンプル４からの反射光の内反射角θの正反
射光をスリット２を通して光検出器５で測定表示される
。
がある。これを第１図に従って説明すると、１は白色光
或いはレーザー光等の光源、２はスリット、３はステー
ジ、４はサンプル、５は光検出器および表示装置であり
、このように構成された反射率測定装置によると、光源
１からの光をスリット２を通してサンプル４に入射角θ
で照射し、サンプル４からの反射光の内反射角θの正反
射光をスリット２を通して光検出器５で測定表示される
。
このようにして測定した反射光強度は入射光強度から吸
引と散乱の両者による減衰を差引いた値であるために、
サンプル間の比較を行なう場合、サンプル同志が全く同
じ吸収係数をもつ材質でないと正確な比較評価ができな
い欠点があった。たとえば同一材質であっても形成条件
や測定までの経時変化によシ光吸収による減光率は異な
ってくる。従ってこの反射率測定装置によシ表面荒さを
評価できるのは全く同じ材質でかつ表面組成も同じであ
るサンプル同志に限定される欠点があった。
引と散乱の両者による減衰を差引いた値であるために、
サンプル間の比較を行なう場合、サンプル同志が全く同
じ吸収係数をもつ材質でないと正確な比較評価ができな
い欠点があった。たとえば同一材質であっても形成条件
や測定までの経時変化によシ光吸収による減光率は異な
ってくる。従ってこの反射率測定装置によシ表面荒さを
評価できるのは全く同じ材質でかつ表面組成も同じであ
るサンプル同志に限定される欠点があった。
本発明はこれらの欠点を解決することを目的とし、異な
った材質間および異なった表面組成間でも表面荒さの比
較評価ができるようにした評価装置としたことを特徴と
する特 以下に本発明の一実施例を図面に従って説明する。６は
ハロゲンランプ等の光源、７は金属顕微鏡の鏡筒、８は
切換え可能な複数の対物レンズ、９はハーフミラ−１１
０は中間レンズ、１１はノ（ンドパスフィルタ、１２は
光検出器、１３はデジタルボルトメータ等の表示装置で
ある。そして上記光検出器１２としては例えば、第３図
に示すような装置があり、フォトダイオード１４で検出
した信号をオペアンプ１５に入力させ、入力した信号は
コンデンサ１６で発振防止を行ない、フィードバック抵
抗１７で増幅し、出力信号を電圧計の表示装置１３で表
示させる構成の微弱光検出回路による光検出器が安価で
光感度にすぐれたものとして使用できる。
った材質間および異なった表面組成間でも表面荒さの比
較評価ができるようにした評価装置としたことを特徴と
する特 以下に本発明の一実施例を図面に従って説明する。６は
ハロゲンランプ等の光源、７は金属顕微鏡の鏡筒、８は
切換え可能な複数の対物レンズ、９はハーフミラ−１１
０は中間レンズ、１１はノ（ンドパスフィルタ、１２は
光検出器、１３はデジタルボルトメータ等の表示装置で
ある。そして上記光検出器１２としては例えば、第３図
に示すような装置があり、フォトダイオード１４で検出
した信号をオペアンプ１５に入力させ、入力した信号は
コンデンサ１６で発振防止を行ない、フィードバック抵
抗１７で増幅し、出力信号を電圧計の表示装置１３で表
示させる構成の微弱光検出回路による光検出器が安価で
光感度にすぐれたものとして使用できる。
次に上記本発明の詳細な説明すると、光源６からの光を
）・−フミラー９で反射させ、対物レンズ８を通してサ
ンプル４に入射させる通常の観察方法でサンプル４の焦
点を合せる。
）・−フミラー９で反射させ、対物レンズ８を通してサ
ンプル４に入射させる通常の観察方法でサンプル４の焦
点を合せる。
サンプル４からの反射光は対物レンズ８およびハーフミ
ラ−９を透過し、中間レンズ１０およびバンドパスフィ
ルタ１１を介して中間レンズ１０の焦点距離位置にある
光検出器１２により光強度を測定して表示装置１３によ
り表示する。
ラ−９を透過し、中間レンズ１０およびバンドパスフィ
ルタ１１を介して中間レンズ１０の焦点距離位置にある
光検出器１２により光強度を測定して表示装置１３によ
り表示する。
そこで、複数の対物レンズ８を切換えて低倍率にして測
定したときの反射光強度ＲＬと同一サンプルで対物レン
ズ８を高倍率にして測定した反射光強度Ｒ）ｌとの比Ｒ
Ｌ／ＲＨは同じ吸収係数をもつ物質の反射光強度の比で
あるから、吸収効果を相殺しており散乱効果のみを反映
している。つまり、第４図囚に示すように対物レンズ８
を低倍率にして反射光強度を測る場合は入射光の照射面
積は太きいが、立体角が小さいので検出可能な反射光は
正反射光が主となる。一方、対物レンズ８が高倍率のと
きは第４図（Ｂ）に示すように立体角が大きいので検出
可能な反射光は正反射光および乱反射光となる。そして
表面が鐘面に近い程ＲＬが大きくなるためＲＶ陥は大き
くなる結果を得ており、ＲＬｙ／ＲＨの大きさで表面荒
さの評価を行なうことができることになる。
定したときの反射光強度ＲＬと同一サンプルで対物レン
ズ８を高倍率にして測定した反射光強度Ｒ）ｌとの比Ｒ
Ｌ／ＲＨは同じ吸収係数をもつ物質の反射光強度の比で
あるから、吸収効果を相殺しており散乱効果のみを反映
している。つまり、第４図囚に示すように対物レンズ８
を低倍率にして反射光強度を測る場合は入射光の照射面
積は太きいが、立体角が小さいので検出可能な反射光は
正反射光が主となる。一方、対物レンズ８が高倍率のと
きは第４図（Ｂ）に示すように立体角が大きいので検出
可能な反射光は正反射光および乱反射光となる。そして
表面が鐘面に近い程ＲＬが大きくなるためＲＶ陥は大き
くなる結果を得ており、ＲＬｙ／ＲＨの大きさで表面荒
さの評価を行なうことができることになる。
実験結果によむと、ＲＬとして１０倍の対物レンズを用
いたときの反射光強度を、ＲＨとして１００倍の対物レ
ンズを用いたときが表面荒さとして対応が最もよかった
。
いたときの反射光強度を、ＲＨとして１００倍の対物レ
ンズを用いたときが表面荒さとして対応が最もよかった
。
またバンドパスフィルタ１１で光を単色化しているので
、サンプル表面の散乱効果が強く表われ、表面荒さの分
解能を上げている効果もある。さらにバンドパスフィル
タ１１を通すと光量は大巾に減衰するので、サンプル４
に入射する前の光路にフィルタを配置すると信号／バッ
クグランド比が低下してしまうが、本発明はサンプル４
と反射光を測定する光検出器１２の間に設置しているの
で信号／バックグラウンド比の低下はないことになり、
測定精度がすぐれる。
、サンプル表面の散乱効果が強く表われ、表面荒さの分
解能を上げている効果もある。さらにバンドパスフィル
タ１１を通すと光量は大巾に減衰するので、サンプル４
に入射する前の光路にフィルタを配置すると信号／バッ
クグランド比が低下してしまうが、本発明はサンプル４
と反射光を測定する光検出器１２の間に設置しているの
で信号／バックグラウンド比の低下はないことになり、
測定精度がすぐれる。
以上説明した本発明によＳと、サンプルの光の吸収の影
響を相殺して反射光強度により測定することができるた
めに光の散乱の効果だけで表面荒さの評価ができること
になる。従って異なった材質間でも定量的に表面荒さの
程度が比較評価できる利点がある。
響を相殺して反射光強度により測定することができるた
めに光の散乱の効果だけで表面荒さの評価ができること
になる。従って異なった材質間でも定量的に表面荒さの
程度が比較評価できる利点がある。
また、顕微鏡を使って試料を観察できるので、所望の場
所の表面荒さを評価できる利点もあり、さらに非常に安
価でコンパクトであるために例えば蒸着工程の品質管理
等に容易に導入することができる等の効果を有する。
所の表面荒さを評価できる利点もあり、さらに非常に安
価でコンパクトであるために例えば蒸着工程の品質管理
等に容易に導入することができる等の効果を有する。
第１図は従来の反射率測定装置の説明図、第２図は本発
明の一実施例を示す説明図、第３図は本発明の表面荒さ
測定装置に用いる反射光強度を測定する検出器の一例を
示す配線図、第４図（４）、（Ｂ）は表面荒さを評価す
る測定方法の説明図である。 ６・・・光源 ８・・・切換可能な複数の対物レンズ９
・・ハーフミラ−１１・・・バンドパスフィルタ１２・
・光検出器 １３・・・表示装置特許出願人 沖電気
工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 −１１：ｉｉｌ 醋２； 麺３（２ ７ −４； （Ａ） 手続補正書（自発） 昭和５７年５月１８１１ 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １、事件の表示 昭和５６年特許願 第１９４４５５号 ２、発明の名称 表面荒さの評価装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２号名 称
（０２９）沖電気工業株式会社代表者 三宅正男 ４、代 理 人 ル ア、補正の内容 １、明細書第２頁第８行に「吸引」とあるのを「吸収」
と補正する。 ２ 明細書第３頁第１行に「図面」とあるのを「第２図
」と補正する。
明の一実施例を示す説明図、第３図は本発明の表面荒さ
測定装置に用いる反射光強度を測定する検出器の一例を
示す配線図、第４図（４）、（Ｂ）は表面荒さを評価す
る測定方法の説明図である。 ６・・・光源 ８・・・切換可能な複数の対物レンズ９
・・ハーフミラ−１１・・・バンドパスフィルタ１２・
・光検出器 １３・・・表示装置特許出願人 沖電気
工業株式会社 代理人弁理士 金 倉 喬 二 −１１：ｉｉｌ 醋２； 麺３（２ ７ −４； （Ａ） 手続補正書（自発） 昭和５７年５月１８１１ 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １、事件の表示 昭和５６年特許願 第１９４４５５号 ２、発明の名称 表面荒さの評価装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２号名 称
（０２９）沖電気工業株式会社代表者 三宅正男 ４、代 理 人 ル ア、補正の内容 １、明細書第２頁第８行に「吸引」とあるのを「吸収」
と補正する。 ２ 明細書第３頁第１行に「図面」とあるのを「第２図
」と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、切換え可能な複数の対物レンズおよび反射光を検出
する光検出器を備えた金属顕微鏡と、上記光検出器で検
出された反射光量を表示する表示装置とより成り、上記
複数の対物レンズによる反射量の比により表面荒さを評
価することを特徴とする表面荒さの評価装置。 ２ サンプルと光検出器との間にノ（ンドノ（スフイル
タを設置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の表面荒さ評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19445581A JPS5896206A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 表面荒さの評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19445581A JPS5896206A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 表面荒さの評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896206A true JPS5896206A (ja) | 1983-06-08 |
| JPS6253042B2 JPS6253042B2 (ja) | 1987-11-09 |
Family
ID=16324847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19445581A Granted JPS5896206A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 表面荒さの評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896206A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1015869A4 (en) * | 1996-09-19 | 2000-07-05 | Molecular Dynamics Inc | MICRO IMAGING SYSTEM |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01103118U (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-12 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830608A (ja) * | 1981-08-18 | 1983-02-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面荒さ評価装置 |
-
1981
- 1981-12-04 JP JP19445581A patent/JPS5896206A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830608A (ja) * | 1981-08-18 | 1983-02-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 表面荒さ評価装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1015869A4 (en) * | 1996-09-19 | 2000-07-05 | Molecular Dynamics Inc | MICRO IMAGING SYSTEM |
| EP1015869A1 (en) * | 1996-09-19 | 2000-07-05 | Molecular Dynamics, Inc. | Micro-imaging system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253042B2 (ja) | 1987-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4966457A (en) | Inspecting apparatus for determining presence and location of foreign particles on reticles or pellicles | |
| US3851169A (en) | Apparatus for measuring aerosol particles | |
| KR960012329B1 (ko) | 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치 | |
| US3229564A (en) | Reflectometer | |
| US4227809A (en) | Method of detecting flaws on the surface of metal | |
| JP2003501623A (ja) | 縦方向に動かされる繊維複合体にある異物の検出方法及び装置 | |
| KR950014849A (ko) | 콜로이드 매체의 박막에 의해 산란된 광도 측정용 검출기 | |
| JP3106790B2 (ja) | 薄膜特性値測定方法及び装置 | |
| JPS5896206A (ja) | 表面荒さの評価装置 | |
| JPS6129453B2 (ja) | ||
| JPS6361601B2 (ja) | ||
| JPH07167793A (ja) | 位相差半導体検査装置および半導体装置の製造方法 | |
| JPH03115844A (ja) | 表面欠点検出方法 | |
| JP3106521B2 (ja) | 透明基板の光学的検査装置 | |
| RU2035721C1 (ru) | Способ контроля прозрачности плоских светопропускающих материалов | |
| JPH06213766A (ja) | 散乱光と散乱角度分布の測定方法 | |
| JPH08128806A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPH0725618Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH0419457Y2 (ja) | ||
| JPS569717A (en) | Optical filter device using liquid crystal | |
| SU872955A1 (ru) | Способ измерени толщины сло и устройство дл его осуществлени | |
| JPH06180293A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH09236408A (ja) | 焦点位置検出装置 | |
| SU130700A1 (ru) | Способ определени качества поверхности, например бумаги | |
| JP2001050720A (ja) | 表面検査方法および装置 |